KR20150125560A - 시트 모양 수지체, 수지 성형 장치, 수지 성형 방법 및 성형 제품의 제조 방법 - Google Patents

시트 모양 수지체, 수지 성형 장치, 수지 성형 방법 및 성형 제품의 제조 방법 Download PDF

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토와 가부시기가이샤
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Abstract

[과제] 압축 성형에 의해서 성형 제품을 제조하는 경우에, 불량의 저감과 공정수의 삭감을 가능하게 하는 수지 성형 장치를 제공한다.
[해결 수단] 수지 성형 장치에, 캐비티(4)를 가지는 성형형을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 수지 재료로서 사용되는 시트 모양 수지(5)의 하면에 이형 필름(6)을 밀착시킨 상태에서 이형 필름(6)에 대해서 시트 모양 수지(5)를 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 가압하는 회전 롤러(35)와, 이형 필름(6)과 시트 모양 수지(5)의 전체를 동시에 캐비티(4)에 반송하여 공급하는 반송용 지그(32)를 구비한다. 이형 필름(6)에 대해서 시트 모양 수지(5)가 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 가압되는 것에 의해서, 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)를 배제한다.

Description

시트 모양 수지체, 수지 성형 장치, 수지 성형 방법 및 성형 제품의 제조 방법{SHEET-TYPE RESIN BODY, RESIN MOLDING APPARATUS, RESIN MOLDING METHOD AND MOLDING PRODUCT MANUFACTURING METHOD}
본 발명은, 성형 제품을 제조할 때에 사용되는 수지(樹脂) 재료인 시트 모양 수지, 시트 모양 수지를 사용하는 수지 성형 장치, 수지 성형 방법 및 성형 제품의 제조 방법에 관한 것이다.
캐비티를 가지는 성형형(成形型)을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에, 압축 성형 기술에 의해서 시트 모양 수지를 사용하여 성형 제품을 제조하는 것이 행해지고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 수지 성형된 수지 성형체로부터 1개 또는 복수개의 성형 제품이 제조된다. 수지 성형체로서는, 예를 들면, 전체 기판과, 전체 기판이 가지는 복수의 영역에 장착된 복수의 반도체 부품 등으로 이루어지는 칩 모양 부품(이하「칩」이라고 함)과, 복수의 영역이 일괄하여 덮이도록 하여 평판 모양으로 형성된 경화 수지로 이루어지는 씰링 수지를 가지는 수지 씰링체를 들 수 있다. 캐비티에 공급된 시트 모양 수지가 용융하여 용융 수지(유동성 수지)가 생성되고, 그 유동성 수지가 경화하여 경화 수지가 생성된다.
수지 씰링체는, 기판이 가지는 복수의 영역의 각 영역 또는 소정수의 영역을 단위로 하여, 절단 등의 방법에 따라 개편화(個片化) 된다. 이것에 의해서, 각 영역 또는 소정수의 영역을 단위로 하는 성형 제품에 상당하는 전자 부품의 완성품이 제조된다. 전자 부품의 완성품으로서는, 반도체 집적회로(semiconductor integrated circuit ；IC로 대략 칭함), LED 등의 광 반도체 소자, 트랜지스터 등의 전자 부품을 들 수 있다.
특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2006－256195호 공보(청구항 1, 도 2 ~ 도 3)
최근, 제1로, 전자 부품에 대한 소형화 및 저배화(低背化)의 요구가 강해지고 있다. 제2로, 저가격화의 요구로부터, 1매의 기판으로부터 제조되는 전자 부품의 취득수를 늘리는 것을 목적으로서, 기판의 대형화의 요구가 강해지고 있다. 이들 2개의 요구를 만족하기 위해서, 경화 수지가 형성되는 공간인 캐비티의 박형화와 대형화의 경향이 강해지고 있다.
특허 문헌 1에 기재된 종래 기술에 의하면, 제1로, 시트 모양 수지의 원재료에 상당하고 금형 캐비티 내에 공급되는 과립 모양 수지 재료의 양의 편차에 기인하여, 캐비티의 용적에 대해서 유동성 수지의 용적의 과부족이 발생할 우려가 있다. 유동성 수지의 과부족이 발생한 경우에는, 씰링 수지의 두께가 불균일하거나, 씰링 수지에 기포(void)가 발생하거나, 씰링 수지의 표면에 미충전 개소(리세스(recess))가 생겨 외관 불량이 발생하는, 등의 우려가 있다. 제2로,「수지 씰링용의 금형 캐비티 내에 소요량의 과립 모양 수지 재료를 공급하여 가열 용융화 하는」것에 의해 용융 수지를 생성할 때에, 용융 수지의 내부에 기포가 발생할 우려가 있다. 이 경우에는, 씰링 수지에 기포(void)가 발생할 우려가 있다. 제3으로, 캐비티의 박형화의 경향이 강해짐에 따라, 과립 모양 수지 재료에서의 입경(粒徑)의 편차에 기인하는 다음의 악영향이 발생하기 쉬워진다. 그러한 악영향은, 먼저, 배선용의 금속 세선(細線)(와이어)의 단선 등의 원인이 되는 유동성 수지의 유동이 발생하는 것이다. 다음으로, 지름이 큰 과립과 지름이 작은 과립과의 사이에서의 용융하기 쉬운 정도가 다른 것에 기인하여, 씰링 수지에서 두께가 불균일한 것이다. 상술한 3개의 경우 중 어느 것에서도, 전자 부품의 수율을 저하시킨다고 하는 문제가 발생한다.
제4로, 종래 기술에 의하면, 금형 캐비티 내에 과립 모양 수지 재료를 공급하기 전에, 과립 모양 수지 재료를 가압 평탄화하는 것에 의해, 해당 수지 재료를 시트 모양 수지 재료로 보형(保刑)한다. 따라서, 공정수가 증가한다고 하는 문제가 발생한다.
상술한 문제는, 압축 성형 기술에 의해서 시트 모양 수지를 사용하여 전자 부품 이외의 성형 제품을 제조하는 경우에도 발생한다. 전자 부품 이외의 성형 제품으로서는, 예를 들면, 투광성 수지로 이루어지는 경화 수지를 가지는 렌즈 등의 광학 부품을 들 수 있다.
상술한 문제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 압축 성형에 의해서 성형 제품을 제조하는 경우에, 수율의 향상과 공정수의 삭감을 가능하게 하는 시트 모양 수지체, 수지 성형 장치, 수지 성형 방법 및 성형 제품의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관한 시트 모양 수지체는, 캐비티를 가지는 성형형(成形型)을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 있어서의 수지(樹脂) 재료로서 사용되는 시트 모양 수지와, 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 제1 면에 밀착하여 마련된 제1 필름과, 제1 면에 대향하는 제2 면에 밀착하여 마련된 제2 필름을 구비하며, 제1 필름과 제2 필름 중 적어도 일방이, 하나 또는 복수의 성형 제품을 포함하는 수지 성형체를 성형형으로부터 취출할 때에 이형(離型) 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름으로 이루어지며, 기능성 필름과 시트 모양 수지는 적어도 일부분이 겹쳐 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 시트 모양 수지체는, 상술한 시트 모양 수지체에 있어서, 제1 필름 및 제2 필름은, 시트 모양 수지를 보호하는 것을 목적으로 하여 시트 모양 수지의 제1 면 및 제2 면에 각각 밀착하여 마련된 보호 필름이며, 이들 보호 필름 중 적어도 일방이 기능성 필름인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 시트 모양 수지체는, 상술한 시트 모양 수지체에 있어서, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 해당 시트 모양 수지를 기능성 필름에 대해서 가압하는 것에 의해, 시트 모양 수지와 기능성 필름이, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착된 것인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 시트 모양 수지체의 제조 방법은, 캐비티를 가지는 성형형을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 수지 재료로서 사용되는 시트 모양 수지와, 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 제1 면에 밀착하여 마련된 제1 필름과, 제1 면에 대향하는 제2 면에 밀착하여 마련된 제2 필름을 구비하며, 제1 및 제2 필름 중 적어도 일방이 하나 또는 복수의 성형 제품을 포함하는 수지 성형체를 성형형으로부터 취출할 때에 이형 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름으로 이루어지는 시트 모양 수지체의 제조 방법으로서, 캐비티를 덮도록 성형형의 위에 기능성 필름을 배치하는 공정과, 기능성 필름의 적어도 일부와 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 해당 기능성 필름의 위에 해당 시트 모양 수지를 놓는 공정과, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 해당 시트 모양 수지를 기능성 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 시트 모양 수지와 기능성 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 시트 모양 수지체의 제조 방법은, 캐비티를 가지는 성형형을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 수지 재료로서 사용되는 시트 모양 수지와, 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 제1 면에 밀착하여 마련된 제1 필름과, 제1 면에 대향하는 제2 면에 밀착하여 마련된 제2 필름을 구비하며, 제1 및 제2 필름 중 적어도 일방이 하나 또는 복수의 성형 제품을 포함하는 수지 성형체를 성형형으로부터 취출할 때에 이형 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름으로 이루어지는 시트 모양 수지체의 제조 방법으로서, 기능성 필름의 적어도 일부와 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹친 부분을 가지는 상태에서 해당 기능성 필름 및 해당 시트 모양 수지를 성형형까지 공급하는 공정과, 겹친 부분이 캐비티를 덮도록 성형형의 위에 기능성 필름 및 시트 모양 수지를 놓는 공정과, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 해당 시트 모양 수지를 기능성 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 시트 모양 수지와 기능성 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 장치는, 캐비티를 가지는 제1 향(型)과, 해당 제1 형에 서로 대향하는 제2 형과, 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 수지 공급 기구와, 캐비티에 이형 필름을 공급하는 필름 공급 기구를 구비하며, 캐비티에서 시트 모양 수지가 용융한 후, 경화하여 형성된 경화 수지를 포함하는 수지 성형체를 제조하는 수지 성형 장치로서, 이형 필름의 적어도 일부와 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 이형 필름의 위에 시트 모양 수지를 놓는 배치 기구와, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 시트 모양 수지를 이형 필름에 가압하는 것에 의해서, 시트 모양 수지와 이형 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 가압 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 장치는, 상술한 수지 성형 장치에 잇어서, 수지 공급 기구와 필름 공급 기구와 배치 기구를 겸하는 반송 기구를 구비하며, 반송 기구는, 시트 모양 수지가 이형 필름의 위에 놓여진 상태에서 이형 필름과 시트 모양 수지를 캐비티까지 반송하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 장치는, 상술한 수지 성형 장치에 있어서, 캐비티의 개구에 투영한 시트 모양 수지의 윤곽이, 캐비티의 개구의 적어도 일부분으로부터 돌출하고 있고, 제1 형에서 캐비티의 외측에 형성된 홈을 구비하며, 용융 수지 중 캐비티에 수용할 수 없는 잉여 수지가 홈에 수용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 방법은, 캐비티를 가지는 제1 형과, 해당 제1 형에 서로 대향하는 제2 형으로 이루어지는 성형형의 캐비티에 이형 필름을 공급하는 공정과, 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 공정과, 캐비티에서 시트 모양 수지를 용융시켜 용융 수지를 생성하는 공정과, 제1 형과 제2 형을 형 체결하는 공정과, 용융 수지를 경화시켜 경화 수지를 형성하는 공정과, 제1 형과 제2 형을 형 개방하는 공정과, 경화 수지를 가지는 수지 성형체를 취출하는 공정을 구비하는 수지 성형 방법으로서, 기능성 필름의 적어도 일부와 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 이형 필름의 위에 시트 모양 수지를 놓는 공정과, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 시트 모양 수지를 이형 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 시트 모양 수지와 이형 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 방법은, 상술한 수지 성형 방법에 있어서, 캐비티에 이형 필름을 공급하는 공정과 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 공정은 공통되는 공정으로서, 공통되는 공정에서는 시트 모양 수지를 이형 필름의 위에 놓은 후에 캐비티까지 시트 모양 수지와 이형 필름을 반송하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 방법은, 상술한 수지 성형 방법에 있어서, 캐비티의 개구에 투영한 상기 시트 모양 수지의 윤곽이, 상기 캐비티의 개구의 적어도 일부분으로부터 돌출하고 있으며, 제1 형과 제2 형을 형 체결하는 공정에서는, 용융 수지 중 캐비티에 수용할 수 없는 잉여 수지를, 제1 형에서 캐비티의 외측에 형성된 홈에 수용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 성형 제품의 제조 방법은, 캐비티를 가지는 제1 형과, 해당 제1 형에 서로 대향하는 제2 형으로 이루어지는 성형형의 캐비티에 이형 필름을 공급하는 공정과, 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 공정과, 캐비티에서 시트 모양 수지를 용융시켜 용융 수지를 생성하는 공정과, 제1 형과 제2 형을 형 체결하는 공정과, 용융 수지를 경화시켜 경화 수지를 형성하는 공정과, 제1 형과 제2 형을 형 개방하는 공정과, 경화 수지를 가지는 수지 성형체를 취출하는 공정과, 수지 성형체를 개편화 하여 성형 제품을 제조하는 공정을 가지는 성형 제품의 제조 방법으로서, 이형 필름의 적어도 일부와 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 이형 필름의 위에 시트 모양 수지를 놓는 공정과, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 시트 모양 수지를 이형 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 시트 모양 수지와 이형 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 성형 제품의 제조 방법은, 상술한 성형 제품의 제조 방법에 있어서, 캐비티에 이형 필름을 공급하는 공정과 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 공정은 공통되는 공정으로서, 공통되는 공정에서는 시트 모양 수지를 이형 필름의 위에 놓은 후에 캐비티까지 시트 모양 수지와 이형 필름을 반송하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 성형 제품의 제조 방법은, 상술한 성형 제품의 제조 방법에 있어서, 캐비티의 개구에 투영한 상기 시트 모양 수지의 윤곽이, 상기 캐비티의 개구의 적어도 일부분으로부터 돌출하고 있으며, 제1 형과 제2 형을 형 체결하는 공정에서는, 용융 수지 중 캐비티에 수용할 수 없는 잉여 수지를, 제1 형에서 캐비티의 외측에 형성된 홈에 수용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 수지 성형체를 성형형으로부터 취출할 때에 이형 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름이 밀착한 시트 모양 수지체로서, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 시트 모양 수지와 기능성 필름이 가압되는 것에 의해서 시트 모양 수지와 기능성 필름과의 사이에 존재하는 기체가 배제된 것을 특징으로 하는 시트 모양 수지체를 얻을 수 있다. 그러한 시트 모양 수지체를 사용하는 것에 의해서, 제1로, 시트 모양 수지와 기능성 필름과의 사이에 존재하는 기체에 기인하여 발생하는, 수지 성형체에서의 경화 수지의 두께의 편차, 기포, 표면의 리세스(recess) 등을 억제할 수 있다. 게다가, 과립 모양 수지 재료를 사용하는 경우와 비교하여, 입경(粒徑)의 편차에 기인하는 악영향을 방지할 수 있다. 이들의 것에 의해서, 성형 제품을 제조할 때에 있어서의 수율을 향상시킬 수 있다.
제2로, 수지 성형체를 성형형으로부터 취출할 때에 이형 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름이 밀착한 시트 모양 수지를 사용하는 것에 의해서, 수지 성형하기 전에 캐비티에 이형 필름을 공급하는 것이 불필요하게 된다. 따라서, 수지 성형할 때의 공정수를 삭감할 수 있다.
본 발명에 의하면, 제1 필름과 제2 필름 중 적어도 일방에는 이형 필름이 포함된다. 이형 필름은, 시트 모양 수지를 보호하는 것을 목적으로 하여 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 서로 대향하는 면에 각각 붙여진 보호 필름으로서 기능을 한다. 따라서, 수지 성형하기 전에, 시트 모양 수지로부터 적어도 1매의 보호 필름을 벗기는 공정을 생략할 수 있다. 따라서, 수지 성형할 때의 공정수를 삭감할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 시트 모양 수지를 사용하는 수지 성형 방법을 공정순으로 나타내는 개략 단면도이다.
도 2의 (1) 및 (2)는, 도 1에 이어서 수지 성형 방법을 공정순(工程順)으로 나타내는 개략 단면도이다. 도 2의 (3) 및 (4)는, 본 발명에 관한 시트 모양 수지를 사용하는 수지 성형 방법의 변형예를 공정순으로 나타내는 개략 단면도이다.
도 3의 (1)은, 본 발명에 관한 시트 모양 수지체를 제조할 때 또는 사용할 때에, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 시트 모양 수지를 이형 필름에 대해서 가압하는 공정을 나타내는 사시도이다. 도 3의 (2)는, 본 발명에 관한 시트 모양 수지를 캐비티의 위까지 반송한 상태를 나타내는 개략 단면도이다.
도 4의 (1) 및 (2)는 , 본 발명에 관한 시트 모양 수지체를 제조할 때 또는 사용할 때에, 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 시트 모양 수지를 이형 필름에 대해서 가압하는 하나의 방법을 순서대로 나타내는 개략 단면도이다. 도 4의 (3)은, 시트 모양 수지를 이형 필름에 대해서 가압하는 다른 방법을 나타내는 개략 단면도이다.
도 5는 본 발명에 관한 시트 모양 수지로서 이형 필름을 겸한 보호 필름을 가지는 시트 모양 수지를 사용하는 수지 성형 방법을 공정순으로 나타내는 개략 단면도이다.
도 6은 본 발명에 관한 시트 모양 수지로서 캐비티의 평면 형상을 내포하는 평면 형상을 가지는 시트 모양 수지를 사용하여, 잉여 수지를 홈에 수용하는 공정을 포함하는 수지 성형 방법을 공정순으로 나타내는 개략 단면도이다.
캐비티(4)를 가지는 성형형(3)을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 수지(樹脂) 재료로서 사용되는 시트 모양 수지(5)에, 시트 모양 수지(5)의 하면에 밀착하여 마련된 이형 필름(6)을 구비한다. 이형 필름(6)에 대해서 시트 모양 수지(5)가 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 가압되는 것에 의해, 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)가 배제되고, 또한, 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)이 밀착한다. 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)이 밀착한 상태에서, 이형 필름(6)과 시트 모양 수지(5) 전체가 동시에 캐비티(4)로 반송되어 공급된다.
[실시예 1]
도 1과 도 2의 (1), (2)와 도 3을 참조하여, 본 발명에 관한 수지 성형 장치의 하나의 실시예를 설명한다. 수지 성형 장치는, 수지 재료로서 시트 모양 수지를 사용하여, 기판에 장착된 칩을 수지 씰링하기 위한 씰링 수지를 성형한다. 도 1의 (1)에 나타내어지는 바와 같이, 수지 성형 장치에는, 하형(1)과 상형(2)을 가지는 성형형(成形型)(3)이 마련된다. 하형(1)에서는, 오목부로 이루어지는 공간인 캐비티(4)가 마련된다. 캐비티(4)에는, 성형형(3)의 외부로부터, 열강화성 수지로 이루어지는 시트 모양 수지(5)가 공급된다. 이형 필름(6)의 위에 시트 모양 수지(5)가 놓여져 밀착한 상태에서, 이형 필름(6)과 시트 모양 수지(5) 전체가 동시에 캐비티(4)에 공급된다.
후술하는 바와 같이, 본 실시예에서는, 도 1의 (1)에 나타내어진 시트 모양 수지(5)는, 성형형(3)의 외부에서, 시트 모양 수지(5)의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 이형 필름(6)에 대해서 가압된다. 시트 모양 수지(5)가 가압되는 것에 의해서 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체가 배제된다. 그 후에, 이형 필름(6)에 밀착한 상태에서 시트 모양 수지(5)가 캐비티(4)에 공급된다.
또, 본 출원 서류에서는, 하형(1)에 마련된 오목부로 이루어지는 공간 자체를 캐비티(4)라고 부른다. 게다가, 그 공간이 이형 필름(6)에 의해서 덮이는 것에 의해서 형성되어 경화 수지가 형성되는 공간도, 편의상 캐비티(4)라고 부른다.
도 1의 (1)에 나타내어지는 바와 같이, 상형(2)이 가지는 형면(型面)(도면에서는 하면)에는, 흡착, 클램프 등의 주지의 방법에 의해서 씰링전 기판(7)이 고정된다. 씰링전 기판(7)은, 전체 기판(8)과 칩(9)을 가진다. 전체 기판(8)과 칩(9)이 각각 가지는 단자끼리가 와이어(10)에 의해서 전기적으로 접속된다. 전체 기판(8)은 가상선(11)에 의해서 격자 모양의 복수의 영역(12)으로 나누어진다.
도 1의 (1) 및 (2)에 나타내어지는 바와 같이, 하형(1)에는 복수의 흡인구멍(13)이 마련된다. 복수의 흡인구멍(13)은, 모두 흡인 펌프 등의 흡인원(도시 없음)에 접속된다. 시트 모양 수지(5)가 놓여진 이형 필름(6)은, 흡기(14)에 의해서 캐비티(4)에서의 형면에 흡착된다. 이형 필름(6)은, 하형(1)에 마련된 히터(도시 없음)에 의해서 가열되어 유연하게 된다. 따라서, 이형 필름(6)은, 흡기(14)에 의해서 캐비티(4)의 외부 가장자리를 향해 잡아 당겨져, 주름이 없는 상태에서 캐비티(4)에서의 형면에 흡착된다.
도 1과 도 2의 (1), (2)를 참조하여, 본 발명에 관한 시트 모양 수지(5)를 사용하는 수지 성형 방법 중 하나의 실시예를 설명한다. 먼저, 도 1의 (1)에 나타내는 바와 같이, 성형형(3)의 외부로부터 캐비티(4)에, 이형 필름(6)의 위에 놓여진 상태에 있는 시트 모양 수지(5)를 공급한다. 시트 모양 수지(5)가 놓여진 이형 필름(6)을, 흡기(14)에 의해서 캐비티(4)에서의 형면에 흡착한다. 이것에 의해서, 이형 필름(6)과 캐비티(4)에서의 형면과의 사이에 기체가 잔류하는 것이 방지된다.
다음으로, 도 1의 (2)에 나타내는 바와 같이, 하형(1)에 마련된 히터(도시 없음)를 사용하여, 시트 모양 수지(5)를 가열하여 용융시킨다. 이것에 의해서, 용융 수지(15)를 생성한다.
다음으로, 도 1의 (3)에 나타내는 바와 같이, 하형(1)과 상형(2)을 상대적으로 승강시켜, 하형(1)과 상형(2)을 형 체결한다. 이것에 의해서, 제1로, 하형(1)과 상형(2)을 사용하여 전체 기판(8)을 클램프 한다. 제2로, 전체 기판(8)에 장착된 칩(9)과 와이어(10)를 용융 수지(15)에 침지한다(담근다).
다음으로, 도 1의 (4)에 나타내는 바와 같이, 계속하여 용융 수지(15)를 가열하는 것에 의해서, 용융 수지(15)를 경화시켜 경화 수지로 이루어지는 씰링 수지(16)를 생성한다. 이것에 의해서, 전체 기판(8)과 칩(9)과 와이어(10)와 씰링 수지(16)를 가지는 수지 씰링체(17)를 완성시킨다. 수지 씰링체(17)가 수지 성형체에 상당한다. 하형(1)과 상형(2)을 형 개방하여, 상형(2)이 가지는 형면으로부터 수지 씰링체(17)를 취출한다. 씰링 수지(16)의 표면에는, 이형 필름(6)의 표면 형상이 전사(轉寫)된다. 따라서, 이형 필름(6)의 표면 형상이 경면(鏡面)인 경우에는, 씰링 수지(16)의 표면을 경면으로 할 수 있다.
다음으로, 도 2의 (1)에 나타내는 바와 같이, 다이서(dicer) 등의 개편화(個片化) 장치가 가지는 스테이지(18)의 위에 수지 씰링체(17)를 반송한다. 개편화 장치는, 예를 들면, 회전 칼날(19) 등의 절단 수단을 가진다. 스테이지(18)에는, 각 영역(12)에서 수지 씰링체(17)를 흡착하기 위한 복수의 흡착용 오목부(20)와, 흡착용 오목부(20)에 각각 연결되는 복수의 흡인구멍(21)이 마련된다. 게다가, 스테이지(18)에는, 회전 칼날(19)의 외주단(外周端)이 수용되는 릴리프(relief) 홈(22)이 마련된다. 복수의 흡인구멍(21)을 경유하는 흡기(23)를 사용하여, 스테이지(18)의 상면에 수지 씰링체(17)를 흡착한다.
다음으로, 도 2의 (1) 및 (2)에 나타내는 바와 같이, 회전 칼날(19)을 사용하여, 회전 칼날(19)과 수지 씰링체(17)가 접촉하는 부분에 절삭수(切削水)(도시 없음)를 공급하면서, 각 가상선(11)에서 수지 씰링체(17)를 절단한다. 이것에 의해서, 수지 씰링체(17)를 개편화 하여 복수의 전자 부품(24)의 완성품을 제조한다. 각 전자 부품(24)은, 개별 기판(25)과 칩(9)과 와이어(10)와 개별 씰링 수지(26)를 가진다. 수지 씰링체(17)에서의 불요부(不要部)(도면에서는 좌측 단부 및 우측 단부)는, 수지 씰링체(17)를 개편화하는 과정에서 절삭수에 의해서 제거된다.
본 실시예에 관해서는, 도 2의 (3) ~ (4)에 나타내는 변형예를 채용할 수 있다. 본 변형예에서는, 도 2의 (3)에 나타내는 바와 같이, 미소(微小)한 각뿔 모양의 요철부(27)가 표면에 형성된 이형 필름(28)을 사용한다. 도 2의 (4)에 나타내는 바와 같이, 이형 필름(28)을 사용하여 수지 성형하는 것에 의해서, 씰링 수지(16)의 표면에 미소한 각뿔 모양의 요철 수지(29)가 형성된 수지 씰링체(30)를 완성시킨다. 칩(9)이 LED 등의 발광소자인 경우에 이 변형예를 채용할 수 있다. 미소한 각뿔 모양의 요철(29)은, LED가 발광한 광선을 산란시키는 산란부로서 기능을 한다.
이 변형예에 의하면, 이형 필름(28)의 표면 형상을 수지 씰링체(30)에서의 씰링 수지(16)의 표면에 전사할 때에, 씰링 수지(16)의 표면에 기체가 존재하는 것이 억제된다. 따라서, 씰링 수지(16)의 표면에 존재하는 기체에 기인하는 미소한 리세스가 발생하는 것 등이 억제된다. 본 변형예에서의 미소한 각뿔 모양의 요철부(27)를 대신하여, 더 미세한 요철을 이형 필름(28)의 표면에 형성해도 괜찮다. 이 경우에는, 씰링 수지(16)의 표면을 무광(matt)으로 할 수 있다.
도 3을 참조하면서, 도 1의 (1)에 나타내어진 시트 모양 수지(5)를 성형형(3)의 외부에서 이형 필름(6)에 대해서 가압하고 나서 캐비티(4)에 공급할 때까지의 공정을, 설명한다. 도 3의 (1)에 나타내는 바와 같이, 먼저, 테이블(31)의 위에 직사각형 모양의 이형 필름(6)을 놓는다. 그 이형 필름(6)을 외주를 향해 인장하면서 테이블(31)의 상면에 이형 필름(6)을 흡착한다. 이것에 의해, 주름이 없는 상태의 이형 필름(6)을 테이블(31)의 상면에 흡착할 수 있다.
다음으로, 직사각형 모양의 이형 필름(6)의 외부 가장자리부를, 예를 들면 틀 모양의 반송용 지그(32)에 의해서 가압한다. 그 후에, 반송용 지그(32)에 의해서 둘러싸인 공간(33)에서, 이형 필름(6)의 위에 시트 모양 수지(5)를 놓는다.
다음으로, 도 3의 (1)에 나타내는 바와 같이, 시트 모양 수지(5)의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로(도면에서의 우측으로부터 좌측을 향해 순차적으로), 이형 필름(6)에 시트 모양 수지(5)를 가압한다. 회전축(34)을 가지는 회전 롤러(35)를 사용하여 이형 필름(6)에 시트 모양 수지(5)를 가압한다. 이것에 의해, 성형형(3)의 외부에, 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)가 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이로부터 배제된다.
다음으로, 도 3의 (2)에 나타내는 바와 같이, 반송 기구(도시 없음)가 가지는 흡인 기구(37)를 사용하여, 흡기(38)에 의해서 이형 필름(6)을 흡착한다. 테이블(31)의 상면에서 이형 필름(6)을 흡착하는 것을 정지한다. 이러한 것에 의해서, 주름이 없는 상태의 이형 필름(6)을 틀 모양의 반송용 지그(32)의 하면에 밀착시킨다.
다음으로, 반송 기구(도시 없음)를 사용하여, 캐비티(4)의 상부까지 틀 모양의 반송용 지그(32)를 반송한다. 그 후에, 흡인 기구(37)에 의한 흡착을 해제하여, 도 1의 (1)에 나타내어진 흡기(14)에 의해서, 캐비티(4)에서의 형면에 이형 필름(6)을 흡착한다. 이형 필름(6)을 흡착하기 직전에서의 상태가 도 1의 (1)에 나타내어진다(도 3의 (1)에 나타내어진 반송용 지그(32)는 도시되어 있지 않다).
본 실시예에 의하면, 성형형(3)의 외부에서 시트 모양 수지(5)가 가압되는 것에 의해서 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)(도 3의 (1)을 참조)가 배제된다. 그 후에, 이형 필름(6)에 시트 모양 수지(5)가 밀착한 상태에서, 이형 필름(6)과 시트 모양 수지(5)와의 전체가 캐비티(4)에 공급된다. 이러한 것에 의해, 제1 효과로서, 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)에 기인하여 발생하는, 수지 씰링체(17)(수지 성형체)에서의 씰링 수지(16)(경화 수지)의 두께의 편차, 기포, 표면의 리세스 등을 억제할 수 있다.
게다가, 제2 효과로서, 성형형(3)의 외부에서 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)(도 3의 (1)을 참조)가 배제되는 것에 기인하는 다음의 효과가 얻어진다. 그것은, 시트 모양 수지(5)가 가열되는 것에 의한 반응이 단시간에 시작하는 특성을 그 시트 모양 수지(5)가 가지고 있는 경우에도, 성형형(3)의 외부에서, 아직 가열되어 있지 않은 시트 모양 수지(5)(환언하면, 아직 용융하기 시작하지 않은 시트 모양 수지(5))와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체(36)를 확실히 배제할 수 있다고 하는 효과이다.
[실시예 2]
도 4를 참조하여, 시트 모양 수지(5)를 사용하는 본 발명에 관한 수지 성형 방법의 다른 실시예를 설명한다. 도 4에서는, 도 3의 (1)에 나타내어진 반송용 지그(32)의 도시를 생략한다.
본 실시예의 특징은, 가열되어 유연하게 된 이형 필름(6)을 캐비티(4)에서의 형면에 흡착하고, 흡착된 이형 필름(6)의 위에 시트 모양 수지(5)를 놓고, 그 후에, 캐비티(4)의 내부에서 시트 모양 수지(5)를 이형 필름(6)에 가압하는 것이다. 이것에 의해서, 제1로, 이형 필름(6)과 캐비티(4)에서의 형면과의 사이에 기체가 잔류하는 것이 방지된다. 제2로, 캐비티(4)의 내부에서, 용융하기 시작하기 직전의 상태에 있는 시트 모양 수지(5)와 이형 필름(6)과의 사이에 존재하는 기체를, 배기(39)로서 확실히 배제할 수 있다. 본 실시예는, 시트 모양 수지(5)가 가열되는 것에 의한 반응이 단시간에는 시작되지 않는다고 하는 특성을 그 시트 모양 수지(5)가 가지고 있는 경우에, 특히 유효하다.
본 실시예에서는, 도 4의 (1)과 도 4의 (2)에 나타내는 바와 같이, 회전축(34)을 가지는 회전 롤러(35)를 사용하여 이형 필름(6)에 시트 모양 수지(5)를 가압한다. 이것을 대신하여, 도 4의 (3)에 나타내는 바와 같이, 판 모양 부재로 이루어지는 스퀴지(squeegee)(40)를 사용하여, 이형 필름(6)에 시트 모양 수지(5)를 가압해도 괜찮다. 회전하지 않는 롤러를 사용하여, 이형 필름(6)에 시트 모양 수지(5)를 가압해도 괜찮다. 다른 실시예에서도, 시트 모양 수지(5)를 가압하는 이들의 수단을 사용할 수 있다.
[실시예 3]
도 5를 참조하여, 본 발명에 관한 시트 모양 수지의 다른 실시예와 그 시트 모양 수지를 사용하는 수지 성형 방법을 설명한다. 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 본 실시예에서의 보호 필름이 붙은 시트 모양 수지(41)는, 시트 모양 수지(42)와, 시트 모양 수지(42)의 상면에 밀착하는 보호 필름(43)과, 시트 모양 수지(42)의 하면에 밀착하는 보호 필름(44)을 가진다. 보호 필름(43, 44)은, 모두 다음의 기능을 가진다. 그들의 기능은, 시트 모양 수지(42)를 외력으로부터 보호하는 기능, 시트 모양 수지(42)에 먼지가 부착하는 것을 방지하는 기능, 시트 모양 수지(42)끼리가 부착하는 것을 방지하여 복수의 시트 모양 수지(42)를 취급하기 쉽게 하는 기능 등이다.
도 3과 도 4를 참조하여 설명한 적당한 방법에 의해서, 보호 필름(43, 44)을 시트 모양 수지(42)에 밀착시킨다. 이것에 의해서, 시트 모양 수지(42)의 상면과 보호 필름(43)과의 사이, 및, 시트 모양 수지(42)의 하면과 보호 필름(44)과의 사이 중 어느 것에서도 기체는 미리 배제된다. 시트 모양 수지(42)의 하면에서의 보호 필름(44)이 이형 필름(44)으로서 기능을 한다. 따라서, 시트 모양 수지(42)와 이형 필름(44)인 보호 필름(44)과의 사이에 존재하는 기체에 기인하여 발생하는, 수지 성형체에서의 경화 수지의 두께의 편차, 기포, 표면의 리세스 등을 억제할 수 있다. 시트 모양 수지(42)와, 해당 시트 모양 수지(42)의 상면 및 하면에 각각 밀착하는 보호 필름(43) 및 보호 필름(이형 필름)(44)이 본 발명의 시트 모양 수지체를 구성한다.
본 실시예의 특징은, 시트 모양 수지(42)의 하면에서의 보호 필름(44)이 이형 필름(44)으로서 기능을 하는 것이다. 시트 모양 수지(42)의 하면에서의 보호 필름(44)은, 도 5의 (2)에 나타내어진 캐비티(4)를 평면에서 보아 완전히 내포하는 치수와 형상을 가진다. 또, 본 출원 서류에서는,「평면에서 보아 내포한다」라고 하는 문언은, 대비되는 대상물끼리가 동일 평면 형상을 가지고 평면에서 보아 완전히 겹치는 경우를 포함한다.「평면에서 보아 완전히 내포한다」라고 하는 문언은, 대비되는 대상물의 일방의 평면 형상의 내측에 타방의 평면 형상을 완전히 포함하는 것을 의미한다.
먼저, 도 5의 (1)에 나타내는 바와 같이, 성형형(3)의 외부에서, 시트 모양 수지(42)의 상면으로부터 보호 필름(43)을 벗긴다. 다음으로, 도 5의 (2)에 나타내는 바와 같이, 성형형(3)의 외부로부터 캐비티(4)에, 이형 필름(44)에 시트 모양 수지(42)가 밀착한 상태에서의 이형 필름(44)과 시트 모양 수지(42)와의 전체를 공급한다. 다음으로, 도 5의 (3)에 나타내는 바와 같이, 하형(1)에 마련된 히터(도시 없음)를 사용하여, 시트 모양 수지(42)를 가열하여 용융시킨다. 이것에 의해서, 용융 수지(15)를 생성한다.
다음으로, 도 5의 (4)에 나타내는 바와 같이, 하형(1)과 상형(2)을 상대적으로 승강시켜, 하형(1)과 상형(2)을 형 체결한다. 이것에 의해서, 제1로, 하형(1)과 상형(2)을 사용하여 전체 기판(8)을 클램프 한다. 제2로, 전체 기판(8)에 장착된 칩(9)과 와이어(10)를 용융 수지(15)에 침지한다(담근다). 이하, 도 1의 (4) ~ 도 2의 (2)를 참조하여 설명한 각 공정과 동일하게 하여, 도 2의 (2)에 나타내어진 복수의 전자 부품(24)의 완성품을 제조한다.
본 실시예에 의하면, 시트 모양 수지(42)의 하면에서의 보호 필름(44)이 이형 필름(44)으로서 기능을 한다. 시트 모양 수지(42)의 하면과 이형 필름(44)과의 사이에서 기체가 미리 배제된다. 이러한 것에 의해서, 시트 모양 수지(42)와 이형 필름(44)과의 사이에 존재하는 기체에 기인하여 발생하는 수지 성형체에서의 경화 수지의 두께의 편차, 기포, 표면의 리세스 등을 억제할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 수지 성형 장치에서, 및, 수지 성형 공정에서, 시트 모양 수지(42)와 이형 필름(44)과의 사이에 존재하는 기체를 배제할 필요가 없다. 게다가, 시트 모양 수지(42)로부터 보호 필름(44)을 벗길 필요가 없다. 따라서, 제1로, 수지 성형 장치의 기구를 간략하게 할 수 있다. 제2로, 수지 성형 공정의 공정수를 삭감할 수 있다.
본 실시예에서는, 시트 모양 수지(42)의 하면에서 이형 필름(44)으로서 기능을 하는 보호 필름(44)으로서, 도 5의 (2)에 나타내어진 캐비티(4)를 평면에서 보아 완전히 내포하는 치수와 형상을 가지는 보호 필름(44)을 사용한다. 이것을 대신하여, 제1로, 캐비티(4)를 평면에서 보아 부분적으로 내포하는 치수와 형상을 가지는 보호 필름(44)을 사용할 수 있다. 예를 들면, 도 5의 (2)에서의 횡방향(우측 방향 및 좌측 방향)을 따라서, 캐비티(4)를 평면에서 보아 내포하는 치수와 형상을 가지는 보호 필름(44)을 사용한다. 이 경우에는, 보호 필름(44)이, 캐비티(4)가 가지는 변(邊) 중 우측의 변과 좌측의 변을 타고 넘어 캐비티(4)의 외측으로 연장한다.
게다가, 도 5의 (2)에서의 우측 방향과 바로 앞 방향을 따라서, 캐비티(4)를 평면에서 보아 내포하는 치수와 형상을 가지는 보호 필름(44)을 사용할 수 있다. 이 경우에는, 보호 필름(44)이, 캐비티(4)가 가지는 변 중 우측의 변과 바로 앞측의 변을 타고 넘어 캐비티(4)의 외측으로 연장한다. 이러한 경우에는, 캐비티(4)와 보호 필름(44)이 겹치는 면적이, 보호 필름(44)이 보호 필름 및 이형 필름으로서 기능을 하는 것을 방해하지 않을 정도로, 넓으면 된다.
제2로, 캐비티(4)의 저면에 대해서 동일 치수와 형상을 가지는, 이형 필름(44)으로서 기능을 하는 보호 필름(44)을 사용할 수 있다.「동일 치수와 형상을 가지는 보호 필름(44)」에는,「보호 필름 및 이형 필름으로서 기능을 하는 것을 방해하지 않을 정도의 크기의 치수와 형상으로서 캐비티(4)의 저면 보다도 작은 치수와 형상을 가지는 보호 필름」이 포함된다. 이들의 보호 필름(44)을 사용한 경우에도, 시트 모양 수지(42)와 이형 필름(44)과의 사이에 존재하는 기체에 기인하여 발생하는, 수지 성형체에서의 경화 수지의 두께의 편차, 기포, 표면의 리세스 등을 억제할 수 있다. 게다가, 보호 필름(44)이 이형 필름(44)으로서 기능을 하므로, 시트 모양 수지(42)로부터 보호 필름(44)을 벗길 필요가 없다.
본 실시예에서는, 성형형(3)의 외부에서, 시트 모양 수지(42)의 상면으로부터 보호 필름(43)을 벗겼다. 이것을 대신하여, 성형형(3)의 내부에서 시트 모양 수지(42)의 상면으로부터 보호 필름(43)을 벗겨도 괜찮다.
[실시예 4]
도 6을 참조하여, 본 발명에 관한 시트 모양 수지와 그 시트 모양 수지를 사용하는 수지 성형 장치와 수지 성형 방법 모두 다른 실시예를 설명한다. 본 실시예의 특징은, 다음과 같다. 제1로, 도 6의 (1), (2)에 나타내어지는 바와 같이, 시트 모양 수지(42)가, 평면에서 보아 캐비티(4)를 완전히 내포하는 치수와 형상을 가지는 것이다. 환언하면, 캐비티(4)에 시트 모양 수지(42)를 공급한 상태에서, 평면에서 보아 시트 모양 수지(42)가 캐비티(4)의 외부 가장자리로부터 완전히 돌출한다. 따라서, 시트 모양 수지(42) 모두의 단부에서 시트 모양 수지(42)가 캐비티(4)의 외측에서의 형면과 겹치는 오버랩부(45)가 형성된다.
제2로, 하형(1)에서, 평면에서 보아 캐비티(4)를 완전히 둘러싸고, 또한, 이형 필름(44)에 의해 완전히 내포되도록 하여, 홈(46)이 마련되어 있는 것이다.
제3으로, 시트 모양 수지(42)가 용융하여 생성된 용융 수지(15)의 체적이 캐비티(4)의 용적을 적당한 양만큼 상회하도록, 시트 모양 수지(42)의 치수 및 형상이 정해져 있는 것이다. 상술한 용융 수지(15)의 체적에 관한「적당한 양」은, 도 6의 (2)에 나타내어진 오버랩부(45)에서의 시트 모양 수지(42)의 체적에 상당한다. 하형(1)과 상형(2)을 형 체결한 상태에서, 캐비티(4)의 용적을 상회하는 정도인 상술한 적당한 양의 용융 수지(15)로 이루어지는 잉여 수지(47)는, 하형(1)의 형면의 위에서의 얇은 통로(48)를 유동하여 홈(46)으로 흘러 들어간다.
제4로, 홈(46)의 위치, 폭 및 깊이가, 다음과 같이 하여 정해져 있는 것이다. 캐비티(4)의 용적을 상회하는 잉여 수지(47) 전부가, 얇은 통로(48)와 홈(46)에서 경화하도록, 홈(46)의 위치, 폭 및 깊이가 정해진다. 잉여 수지(47)인 용융 수지(15)가 홈(46)의 외측으로 유출하지 않도록, 홈(46)의 외측은 내측 보다도 단차 d1만큼 높게 되어 있다(도 6의 (2) ~ (4)에서, 하형(1)측에 그려진 중심선(CL)의 우측의 도면을 참조). 단차 d1의 치수로서는, 예를 들면, 10 ~ 50㎛ 정도를 채용할 수 있다.
도 6을 참조하여 본 실시예에 관한 수지 성형 방법을 설명한다. 먼저, 도 6의 (1)에 나타내는 바와 같이, 성형형(3)의 외부에서 시트 모양 수지(42)의 상면으로부터 보호 필름(43)을 벗긴다.
다음으로, 도 6의 (2)에 나타내는 바와 같이, 성형형(3)의 외부로부터 캐비티(4)에, 이형 필름(44)의 위에 시트 모양 수지(42)가 놓여져 밀착한 상태에서 이형 필름(44)과 시트 모양 수지(42) 전체를 동시에 캐비티(4)에 공급한다. 캐비티(4)에 공급된 시트 모양 수지(42)의 단부(도면에서는 좌측 단부 및 우측 단부가 나타내어짐)에서, 오버랩부(45)를 형성한다. 게다가, 이형 필름(44)에 의해서 홈(46)의 상부를 완전히 덮는다.
다음으로, 도 6의 (3)에 나타내는 바와 같이, 하형(1)에 마련된 히터(도시 없음)를 사용하여, 시트 모양 수지(42)를 가열하여 용융시키는 것에 의해, 용융 수지(15)를 생성한다. 이어서, 하형(1)과 상형(2)을 형 체결한다. 이것에 의해, 하형(1)과 상형(2)을 사용하여 전체 기판(8)을 클램프함과 아울러, 전체 기판(8)에 장착된 칩(9)과 와이어(10)를 용융 수지(15)에 침지한다(담근다). 캐비티(4)로부터 넘쳐흐른 용융 수지(15)로 이루어지는 잉여 수지(47)를, 얇은 통로(48)를 경유하여 홈(46)을 향해 유동시킨다. 캐비티(4)로부터 넘쳐흐른 잉여 수지(47)는 홈(46)에서의 이형 필름(44)의 오목부(49)(도 6의 (4)도 참조)로 흘려 들어간다.
다음으로, 도 6의 (3)과 도 6의 (4)에 나타내는 바와 같이, 계속하여 용융 수지(15)를 가열하는 것에 의해서, 용융 수지(15)를 경화시켜 경화 수지로 이루어지는 씰링 수지(50)를 생성한다. 이것에 의해서, 전체 기판(8)과 칩(9)과 와이어(10)와 씰링 수지(50)를 가지는 수지 씰링체(51)를 완성시킨다. 하형(1)과 상형(2)을 형 개방하여, 상형(2)이 가지는 형면으로부터 수지 씰링체(51)를 취출한다. 이하, 도 2의 (1), (2)를 참조하여 설명한 각 공정과 동일하게 하여, 도 2의 (2)에 나타내어진 복수의 전자 부품(24)의 완성품을 제조한다.
도 6의 (4)에서의 하형(1)측에 그려진 중심선(CL)의 우측에 나타내어지는 바와 같이, 수지 씰링체(51)의 단부에서, 얇은 통로(48)(도 6의 (3)에서의 중심선(CL)의 우측을 참조)에서의 경화 수지로 이루어지는 박판부(52)와, 이형 필름(44)의 오목부(49)에서의 경화 수지로 이루어지는 돌기(53)가 형성된다. 도 2의 (1)에 나타내어진 공정에서, 박판부(52)와 돌기(53)는 불요부로서 제거된다. 또, 수지 씰링체(51)를 반송하기 쉽게 하기 위함 등의 이유로부터, 돌기(53)의 높이 치수는 씰링 수지(50)의 높이 치수 보다도 작은 것이 바람직하다. 따라서, 하형(1)에서, 홈(46)의 깊이 치수는 캐비티(4)의 깊이 치수 보다도 작은 것이 바람직하다.
본 실시예에 의하면, 캐비티(4)의 외측에서 잉여 수지(47)가 경화한다. 이것에 의해서, 성형형(3)이 형 체결한 상태에서의 캐비티(4)의 용적(정확하게는, 이형 필름(44)에 의해서 둘러싸인 캐비티(4)의 용적)에 상당하는 공간에서 씰링 수지(50)가 얻어진다. 환언하면, 성형형(3)이 형 체결한 상태에서 이형 필름(44)에 의해서 둘러싸인 캐비티(4)의 용적으로부터 복수의 칩(9)의 체적의 합계를 뺀 용적의 씰링 수지(50)가 얻어진다.
따라서, 이미 설명한 각 실시예에서의 효과에 더하여, 다음의 효과가 얻어진다. 그것은, 다수의 씰링전 기판(7)을 대상으로 하여 수지 씰링를 행한 경우에, 칩(9)의 두께 및 시트 모양 수지(42)의 치수가 불균일한 경우라도, 두께의 편차가 적은 씰링 수지(50)가 얻어진다고 하는 효과이다. 이 효과는, 작은 두께를 가지는 씰링 수지(50)(예를 들면, 두께가 1.5mm 이하, 더 바람직하게는 1.0mm 이하)를 가지는 전자 부품(24)을 제조할 때에 현저하다.
본 실시예에서는 다음의 2개의 변형예를 채용할 수 있다. 먼저, 제1 변형예에 대해서, 도 6의 (2) ~ (4)에서 하형(1)측에 그려진 중심선(CL)의 좌측의 도면을 참조하여 설명한다. 도 6의 (2)의 좌측에 나타내어지는 바와 같이, 하형(1)에 형성된 홈(46)과 캐비티(4)와의 사이에서의 형면의 높이를, 홈(46)과 하형(1)의 외측(도면에서는 좌측)과의 사이에서의 형면의 높이 보다도, 단차 d2만큼 높게 한다. 이것에 의해, 홈(46)과 캐비티(4)와의 사이에는 돌출부(54)가 형성된다. 돌출부(54)가 이형 필름(44)에 파고드는 것에 의해서, 잉여 수지(47)가 캐비티(4)에 역류하는 것이 억제된다. 게다가, 수지 씰링체(51)에서의 돌출부(54)에 대응하는 부분에는, 전체 기판(8)이 노출하는 부분으로 이루어지는 수지 없음부(55)가 형성된다. 예를 들면, 단차 d2의 치수로서는 10 ~ 50㎛ 정도를, 돌출부(54)의 상면의 폭(도면에서는 좌우 방향에서의 치수)으로서는 0.3 ~ 1.0mm 정도를, 각각 채용할 수 있다.
제2 변형예는, 도 6에 나타내어진 홈(46)의 양측에서의 형면의 높이를 동일 위치로 하는 것이다. 이 변형예는 도 6에는 나타내어져 있지 않다. 이 경우에는, 홈(46)의 상면의 높이와 캐비티(4)의 상면의 높이가 동일 위치에 있다. 도 6의 (2)의 우측에 나타내어진 구성과, 도 6의 (2)의 좌측에 나타내어진 구성과, 도시되지 않았던 1개의 변형예를 포함하는 3개의 구성 중 어느 것을, 용융 수지(15)의 특성(점도, 필러(filler)의 비율 등)에 따라 선택할 수 있다.
본 실시예에서는, 캐비티(4)에 시트 모양 수지(42)를 공급한 상태에서, 평면에서 보아 시트 모양 수지(42)가 캐비티(4)를 완전히 내포하도록 했다. 이것을 대신하여, 평면에서 보아 캐비티(4)가 시트 모양 수지(42)를 완전히 내포하도록 하고, 또한, 시트 모양 수지(42)의 두께를 두껍게 할 수도 있다. 이것에 의해서, 시트 모양 수지(42)가 용융하여 생성된 용융 수지(15)의 체적이 캐비티(4)의 용적을 적당한 양만큼 상회하도록 할 수 있다.
본 실시예에서는, 평면에서 보아 시트 모양 수지(42)가 캐비티(4)를 부분적으로 내포하도록 해도 괜찮다. 예를 들면, 도 6의 (2)에서의 횡방향(우측 방향 및 좌측 방향)을 따라서, 캐비티(4)를 평면에서 보아 내포하는 치수와 형상을 가지는 시트 모양 수지(42)를 사용한다. 이 경우에는, 시트 모양 수지(42)가, 캐비티(4)가 가지는 변 중 우측의 변과 좌측의 변으로부터 돌출하여 캐비티(4)의 외측으로 연장한다. 상술한 우측의 변과 좌측의 변의 각각 외측에 홈(46)을 마련한다. 이 시트 모양 수지(42)를 사용한 경우에도, 캐비티(4)의 외측의 홈(46)에서 잉여 수지(47)를 경화시킬 수 있다.
게다가, 도 6의 (2)에서의 우측 방향과 바로 앞 방향을 따라서, 캐비티(4)를 평면에서 보아 내포하는 치수와 형상을 가지는 시트 모양 수지(42)를 사용할 수 있다. 이 경우에는, 시트 모양 수지(42)가, 캐비티(4)가 가지는 변 중 우측의 변과 바로 앞측의 변으로부터 돌출하여 캐비티(4)의 외측으로 연장한다. 상술한 우측의 변과 바로 앞측의 변과의 각각 외측에 홈(46)을 마련한다. 이 시트 모양 수지(42)를 사용한 경우에도, 캐비티(4)의 외측의 홈(46)에서 잉여 수지(47)를 경화시킬 수 있다.
또, 여기까지 설명한 각 실시예에서는, 수지 성형체를 개편화하는 것에 의해서 성형 제품인 전자 부품(24)을 제조한다. 본 출원 서류에서는,「개편화한다」라고 하는 문언은, 수지 성형체를 복수의 영역(12) 단위의 각각으로 개편화하는 것에 의해서, 각 영역(12)에 상당하는 복수의 성형 제품을 제조하는 것을 의미한다. 게다가,「개편화한다」라고 하는 문언은, 수지 성형체를 절단하여 수지 성형체에서의 불필요한 부분을 제거하는 것에 의해서 1개의 성형 제품을 제조하는 것을 의미한다.
수지 성형체를 절단할 때의「절단」이라고 하는 문언에는, 풀 컷(full cut) 외에, 하프 컷(half cut)한 후에 외력에 의해서 수지 성형체를 분단하는 것이 포함된다.
전체 기판(8)에는, 동이나 철계 합금 등으로 이루어지는 리드 프레임, 유리 에폭시 적층판, 동(銅)이 적층된 폴리이미드 필름의 적층판 등을 기재(基材)로 하는 프린트 기판(프린트 배선판)이 포함된다. 게다가, 이 전체 기판(8)에는, 알루미나, 탄화규소, 사파이어 등을 기재로 하는 세라믹스 기판, 동이나 알루미늄 등의 금속을 기재로 하는 금속 베이스 기판, 유리를 기재로 하는 유리 베이스 기판, 폴리이미드 필름 등을 기재로 하는 필름 베이스 기판 등이 포함된다. 칩(9)에는, 각각 칩 모양의 반도체 집적회로(semiconductor integrated circuit ；IC), 광 반도체소자, 트랜지스터, 다이오드, 저항, 콘덴서, 서미스터(thermistor) 등이 포함된다. 전체 기판(8)에서의 1개의 영역(12)에는 1개의 칩(9)이 장착되어 있어도 좋고, 복수개의 칩(9)이 장착되어 있어도 괜찮다. 1개의 영역(12)에 장착된 복수개의 칩(9)은, 동종이라도 좋고, 이종이라도 좋다.
각 실시예에서는, 전체 기판(8)과 칩(9)이 각각 가지는 단자끼리를, 와이어(10)를 사용한 와이어 본딩에 의해서 전기적으로 접속한다. 이것에 한정하지 않고, 전체 기판(8)과 칩(9)이 각각 가지는 단자끼리를, 플립 칩 본딩에 의해서 접속할 수 있다.
씰링 수지(16, 50)로서는, 예를 들면, 에폭시 수지, 실리콘 수지 등의 열강화성 수지가 경화하여 형성된 경화 수지를 사용한다. 칩(9)으로서 LED 등의 광 반도체소자를 사용하는 경우에는, 투광성 수지를 사용한다.
각 실시예에서는, 시트 모양 수지(5, 42)를 용융시키고 나서 하형(1)과 상형(2)과의 형 체결을 완료할 때까지의 사이에(예를 들면, 도 1의 (2)에 나타내어진 상태로부터 도 1의 (3)에 나타내어진 상태까지의 사이에), 성형형(3)에 마련된 유로(도시 없음)를 사용하여 캐비티(4)의 내부를 감압해도 괜찮다. 이것에 의해, 캐비티(4)의 내부에 잔류하는 가스를 제거할 수 있다. 게다가, 시트 모양 수지(5, 42) 자체를 제조할 때에 시트 모양 수지(5, 42)에 기포가 들어간 경우에 그 기포를 제거할 수 있다. 따라서, 수지 성형체를 제조할 때의 수율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
각 실시예에서는, 하형(1)에 캐비티(4)를 마련한다. 이것에 한정하지 않고, 상형(2)에 캐비티(4)를 마련할 수 있다. 이 경우에는, 시트 모양 수지(5, 42)의 상면에 이형 필름(6, 44)을 놓고, 시트 모양 수지(5, 42)에 대해서 이형 필름(6, 44)을 가압하는 것에 의해서 시트 모양 수지(5, 42)와 이형 필름(6, 44)을 밀착시켜도 괜찮다. 시트 모양 수지(5, 42)와 이형 필름(6, 44)을 밀착시킨 후에 시트 모양 수지(5, 42)를 가열한다. 시트 모양 수지(5, 42)가 가열되어 연화(軟化)하기 시작한 후에, 시트 모양 수지(5, 42)와 그의 상면에 밀착하는 이형 필름(6, 44) 전체를, 시트 모양 수지(5, 42)가 낙하하지 않게 반송할 수 있다.
게다가, 도 1, 5, 6에 나타내어진 하형(1)과 상형(2)과의 쌍방에 캐비티(4)를 마련할 수 있다. 이 경우에는, 도 5의 (1) 및 도 6의 (1)에 나타내어진 시트 모양 수지(42)의 하면에 밀착하는 보호 필름(44)과 상면에 밀착하는 보호 필름(43) 쌍방이 이형 필름으로서 기능을 한다.
수지 씰링하는 것에 의해서 전자 부품(24)을 제조하는 경우에 한정하지 않고, 렌즈, 광학 모듈, 도광판 등의 광학 부품을 수지 성형에 의해서 제조하는 경우나, 수지 성형체로부터 일반적인 성형 제품을 제조하는 경우 등에, 본 발명을 적용할 수 있다. 이러한 경우에도, 여기까지 설명한 내용을 적용할 수 있다.
본 발명은, 상술한 각 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 필요에 따라서, 임의로 또한 적절히 조합, 변경하거나, 또는 선택하여 채용할 수 있는 것이다.
1 : 하형(제1 형, 제2 형)
2 : 상형(제2 형, 제1 형)
3 : 성형형 4 : 캐비티
5, 42 : 시트 모양 수지
6, 28 : 이형 필름(기능성 필름, 제1 필름, 제2 필름)
7 : 씰링전 기판 8 : 전체 기판
9 : 칩 10 : 와이어
11 : 가상선 12 : 영역
13, 21 : 흡인구멍 14, 23, 38 : 흡기
15 : 용융 수지 16, 50 : 씰링 수지
17, 30, 51 : 수지 씰링체(수지 성형체) 18 : 스테이지
19 : 회전칼날 20 : 흡착용 오목부
22 : 릴리프 홈 24 : 전자 부품(성형 제품)
25 : 개별 기판 26 : 개별 씰링 수지
27 : 각뿔 모양의 요철부 29 : 각뿔 모양의 요철 수지
31 : 테이블
32 : 반송용 지그(수지 공급 기구, 필름 공급 기구)
33 : 공간 34 : 회전축(가압 기구)
35 : 회전 롤러(가압 기구) 36 : 기체
37 : 흡인 기구 39 : 배기
40 : 스퀴지
41 : 보호 필름이 붙은 시트 모양 수지
43 : 보호 필름(제1 필름, 제2 필름)
44 : 보호 필름, 이형 필름(기능성 필름, 제2 필름, 제1 필름)
45 : 오버랩부 46 : 홈
47 : 잉여 수지 48 : 얇은 통로
49 : 이형 필름의 오목부 52 : 박판부
53 : 돌기 54 : 돌출부
55 : 수지 없음부 d1, d2 : 단차

Claims (14)

  1. 캐비티를 가지는 성형형(成形型)을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 있어서의 수지(樹脂) 재료로서 사용되는 시트 모양 수지와,
    상기 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 제1 면에 밀착하여 마련된 제1 필름과,
    상기 제1 면에 대향하는 제2 면에 밀착하여 마련된 제2 필름을 구비하며,
    상기 제1 필름과 상기 제2 필름 중 적어도 일방이, 하나 또는 복수의 상기 성형 제품을 포함하는 수지 성형체를 상기 성형형으로부터 취출할 때에 이형(離型) 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름으로 이루어지며,
    상기 기능성 필름과 상기 시트 모양 수지는 적어도 일부분이 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는 시트 모양 수지체.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 필름 및 상기 제2 필름은, 상기 시트 모양 수지를 보호하는 것을 목적으로 하여 상기 시트 모양 수지의 상기 제1 면 및 상기 제2 면에 각각 밀착하여 마련된 보호 필름이며, 이들 보호 필름 중 적어도 일방이 상기 기능성 필름인 것을 특징으로 하는 시트 모양 수지체.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 해당 시트 모양 수지를 상기 기능성 필름에 대해서 가압하는 것에 의해, 상기 시트 모양 수지와 상기 기능성 필름이, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착된 것인 것을 특징으로 하는 시트 모양 수지체.
  4. 캐비티를 가지는 성형형을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 수지 재료로서 사용되는 시트 모양 수지와, 상기 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 제1 면에 밀착하여 마련된 제1 필름과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면에 밀착하여 마련된 제2 필름을 구비하며, 상기 제1 및 상기 제2 필름 중 적어도 일방이 하나 또는 복수의 상기 성형 제품을 포함하는 수지 성형체를 상기 성형형으로부터 취출할 때에 이형 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름으로 이루어지는 시트 모양 수지체의 제조 방법으로서,
    상기 캐비티를 덮도록 상기 성형형의 위에 상기 기능성 필름을 배치하는 공정과,
    상기 기능성 필름의 적어도 일부와 상기 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 해당 기능성 필름의 위에 해당 시트 모양 수지를 놓는 공정과,
    상기 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 해당 시트 모양 수지를 상기 기능성 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 상기 시트 모양 수지와 상기 기능성 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 시트 모양 수지체의 제조 방법.
  5. 캐비티를 가지는 성형형을 사용하여 성형 제품을 제조할 때에 수지 재료로서 사용되는 시트 모양 수지와, 상기 시트 모양 수지를 구성하는 면 중 제1 면에 밀착하여 마련된 제1 필름과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면에 밀착하여 마련된 제2 필름을 구비하며, 상기 제1 및 상기 제2 필름 중 적어도 일방이 하나 또는 복수의 상기 성형 제품을 포함하는 수지 성형체를 상기 성형형으로부터 취출할 때에 이형 필름으로서 기능을 하는 기능성 필름으로 이루어지는 시트 모양 수지체의 제조 방법으로서,
    상기 기능성 필름의 적어도 일부와 상기 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹친 부분을 가지는 상태에서 해당 기능성 필름 및 해당 시트 모양 수지를 상기 성형형까지 공급하는 공정과,
    상기 겹친 부분이 상기 캐비티를 덮도록 상기 성형형의 위에 상기 기능성 필름 및 상기 시트 모양 수지를 놓는 공정과,
    상기 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로, 해당 시트 모양 수지를 상기 기능성 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 상기 시트 모양 수지와 상기 기능성 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 시트 모양 수지체의 제조 방법.
  6. 캐비티를 가지는 제1 형(型)과, 해당 제1 형에 서로 대향하는 제2 형과, 상기 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 수지 공급 기구와, 상기 캐비티에 이형 필름을 공급하는 필름 공급 기구를 구비하며, 상기 캐비티에서 상기 시트 모양 수지가 용융한 후, 경화하여 형성된 경화 수지를 포함하는 수지 성형체를 제조하는 수지 성형 장치로서,
    상기 이형 필름의 적어도 일부와 상기 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 상기 이형 필름의 위에 상기 시트 모양 수지를 놓는 배치 기구와,
    상기 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 상기 시트 모양 수지를 상기 이형 필름에 가압하는 것에 의해서, 상기 시트 모양 수지와 상기 이형 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 가압 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 수지 공급 기구와 상기 필름 공급 기구와 상기 배치 기구를 겸하는 반송 기구를 구비하며,
    상기 반송 기구는, 상기 시트 모양 수지가 상기 이형 필름의 위에 놓여진 상태에서 상기 이형 필름과 상기 시트 모양 수지를 상기 캐비티까지 반송하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
  8. 청구항 6 또는 7에 있어서,
    상기 캐비티의 개구에 투영한 상기 시트 모양 수지의 윤곽이, 상기 캐비티의 개구의 적어도 일부분으로부터 돌출하고 있고,
    상기 제1 형에서 상기 캐비티의 외측에 형성된 홈을 구비하며,
    상기 용융 수지 중 상기 캐비티에 수용할 수 없는 잉여 수지가 상기 홈에 수용되는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
  9. 캐비티를 가지는 제1 형과, 해당 제1 형에 서로 대향하는 제2 형으로 이루어지는 성형형의 상기 캐비티에 이형 필름을 공급하는 공정과, 상기 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 공정과, 상기 캐비티에서 상기 시트 모양 수지를 용융시켜 용융 수지를 생성하는 공정과, 상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 체결하는 공정과, 상기 용융 수지를 경화시켜 경화 수지를 형성하는 공정과, 상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 개방하는 공정과, 상기 경화 수지를 가지는 수지 성형체를 취출하는 공정을 구비하는 수지 성형 방법으로서,
    상기 기능성 필름의 적어도 일부와 상기 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 상기 이형 필름의 위에 상기 시트 모양 수지를 놓는 공정과,
    상기 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 상기 시트 모양 수지를 상기 이형 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 상기 시트 모양 수지와 상기 이형 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 캐비티에 상기 이형 필름을 공급하는 공정과 상기 캐비티에 상기 시트 모양 수지를 공급하는 공정은 공통되는 공정으로서,
    상기 공통되는 공정에서는 상기 시트 모양 수지를 상기 이형 필름의 위에 놓은 후에 상기 캐비티까지 상기 시트 모양 수지와 상기 이형 필름을 반송하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
  11. 청구항 9 또는 10에 있어서,
    상기 캐비티의 개구에 투영한 상기 시트 모양 수지의 윤곽이, 상기 캐비티의 개구의 적어도 일부분으로부터 돌출하고 있으며,
    상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 체결하는 공정에서는, 상기 용융 수지 중 상기 캐비티에 수용할 수 없는 잉여 수지를, 상기 제1 형에서 상기 캐비티의 외측에 형성된 홈에 수용하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
  12. 캐비티를 가지는 제1 형과, 해당 제1 형에 서로 대향하는 제2 형으로 이루어지는 성형형의 상기 캐비티에 이형 필름을 공급하는 공정과, 상기 캐비티에 시트 모양 수지를 공급하는 공정과, 상기 캐비티에서 상기 시트 모양 수지를 용융시켜 용융 수지를 생성하는 공정과, 상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 체결하는 공정과, 상기 용융 수지를 경화시켜 경화 수지를 형성하는 공정과, 상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 개방하는 공정과, 상기 경화 수지를 가지는 수지 성형체를 취출하는 공정과, 상기 수지 성형체를 개편화 하여 성형 제품을 제조하는 공정을 가지는 성형 제품의 제조 방법으로서,
    상기 이형 필름의 적어도 일부와 상기 시트 모양 수지의 적어도 일부가 겹치도록, 상기 이형 필름의 위에 상기 시트 모양 수지를 놓는 공정과,
    상기 시트 모양 수지의 일방의 단부로부터 타방의 단부를 향해 순차적으로 상기 시트 모양 수지를 상기 이형 필름에 대해서 가압하는 것에 의해서, 상기 시트 모양 수지와 상기 이형 필름을, 그들의 사이에 존재하는 기체를 배제하면서 밀착시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 성형 제품의 제조 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 캐비티에 상기 이형 필름을 공급하는 공정과 상기 캐비티에 상기 시트 모양 수지를 공급하는 공정은 공통되는 공정으로서,
    상기 공통되는 공정에서는 상기 시트 모양 수지를 상기 이형 필름의 위에 놓은 후에 상기 캐비티까지 상기 시트 모양 수지와 상기 이형 필름을 반송하는 것을 특징으로 하는 성형 제품의 제조 방법.
  14. 청구항 12 또는 13에 있어서,
    상기 캐비티의 개구에 투영한 상기 시트 모양 수지의 윤곽이, 상기 캐비티의 개구의 적어도 일부분으로부터 돌출하고 있으며,
    상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 체결하는 공정에서는, 상기 용융 수지 중 상기 캐비티에 수용할 수 없는 잉여 수지를, 상기 제1 형에서 상기 캐비티의 외측에 형성된 홈에 수용하는 것을 특징으로 하는 성형 제품의 제조 방법.
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