JP6525580B2 - 樹脂成形装置及び樹脂成形方法 - Google Patents
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Description
2 成形型
3 上型
4 下型
5 半導体チップ(電子部品)
6 基板
7 吸着孔
8 側面部材(枠部材)
8a 上部部材
8b 下部部材
9 底面部材
9a 上部部材
9b 下部部材
10 キャビティ
11 弾性部材
12 駆動部材
13 駆動機構(第1の駆動機構、第2の駆動機構)
14 基台
15 駆動機構(第2の駆動機構、第1の駆動機構)
16 空間
17 基板押さえピン(基板押さえ部材)
17a 先端面
17b テーパ部(先端部)
18 弾性部材(弾性体)
19 貫通穴(穴)
20 接続電極部
21 樹脂材料
22 流動性樹脂
23 硬化樹脂
24 樹脂成形品
25 空間
26 空間
27 基板押さえプレート(取付板)
28 空間
29 基板押さえピン(基板押さえ部材)
30 弾性部材(弾性体)
31 基板供給・収納モジュール
32A、32B、32C 成形モジュール
33 樹脂材料供給モジュール
34 封止前基板
35 封止前基板供給部
36 封止済基板
37 封止済基板収納部
38 基板載置部
39 基板搬送機構
40 X−Yテーブル
41 樹脂材料収容部
42 樹脂材料投入機構
43 樹脂材料供給機構
S1、P1、C1、M1 所定位置
Claims (10)
- 上型と、該上型に相対向して設けられた下型と、少なくとも前記下型に設けられた枠部材と、少なくとも前記下型に設けられ前記枠部材の内側において前記枠部材に対して相対的に昇降可能な底面部材と、前記枠部材と前記底面部材とによって囲まれた空間からなるキャビティと、前記キャビティに樹脂材料を供給する樹脂材料供給機構と、主面に電子部品が装着された基板を前記下型と前記上型との間に搬送する基板搬送機構と、前記枠部材を昇降させる第1の駆動機構と、前記底面部材を昇降させる第2の駆動機構とを備えた樹脂成形装置であって、
前記枠部材又は前記底面部材に設けられた基板押さえ部材である基板押さえピンと、
前記基板押さえピンに設けられた先端部と、
前記先端部に設けられ、前記基板の前記主面に設けられた所定の領域に形成された穴に入り込むような形状を有するテーパ部と、
前記テーパ部に設けられたテーパ面と、
前記テーパ面に形成されたエンジニアリングプラスチックの膜とを備え、
前記第1の駆動機構又は前記第2の駆動機構を用いて前記基板押さえピンを上昇させて前記テーパ部を前記穴内に挿入することによって前記エンジニアリングプラスチックの膜を前記穴の縁に密着させて押圧し、
前記枠部材と前記底面部材とを上昇させて前記上型と前記下型とが型締めされることによって前記エンジニアリングプラスチックの膜が前記穴の縁に密着されて押圧された状態において、前記キャビティにおいて前記樹脂材料から生成された流動性樹脂の中に前記電子部品が浸漬するとともに前記流動性樹脂が前記穴の周囲から前記穴の中に入り込むことが防止され、前記流動性樹脂が硬化して形成された硬化樹脂によって、前記穴の内側面を前記硬化樹脂から露出させて前記電子部品が樹脂封止されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
前記上型と前記下型とが型開きされた状態において、前記基板押さえピンの前記先端部が前記枠部材の上面より高く形成されていることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
前記基板押さえピンを支持する弾性体を備えることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
1又は複数の前記基板押さえピンと、
1又は複数の前記基板押さえピンが取り付けられた取付板と、
前記取付板を支持する1又は複数の弾性体とを備えることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載された樹脂成形装置において、
前記上型と前記下型とを型締めする型締め機構を有する少なくとも1個の成形モジュールと、
前記1個の成形モジュールに前記樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールとを備え、
前記樹脂材料供給モジュールと前記1個の成形モジュールとが着脱可能であり、前記1個の成形モジュールが他の成形モジュールに対して着脱可能であることを特徴とする樹脂成形装置。 - 主面に電子部品が装着された基板を上型と該上型に相対向する下型との間に配置する工程と、少なくとも前記下型に含まれる枠部材と底面部材とによって囲まれた空間からなるキャビティに樹脂材料を供給する工程と、第1の駆動機構によって前記枠部材を昇降させる工程と、前記枠部材内において第2の駆動機構によって前記底面部材を昇降させる工程とを備えた樹脂成形方法であって、
前記枠部材又は前記底面部材に設けられ先端部を有する基板押さえ部材である基板押さえピンを上昇させる工程と、
前記基板の所定の領域に形成された穴に入り込むような形状を有し前記先端部に設けられたテーパ部を前記穴内に挿入することによって、前記テーパ部のテーパ面に形成されたエンジニアリングプラスチックの膜を前記穴の縁に密着させて押圧する工程と、
前記枠部材を上昇させることにより前記枠部材によって前記基板の周縁部を押圧する工程と、
前記キャビティ内において前記樹脂材料から流動性樹脂を生成する工程と、
前記底面部材を上昇させることによって、前記エンジニアリングプラスチックの膜を前記穴の縁に密着させて押圧する状態において前記流動性樹脂に前記電子部品を浸漬させる工程と、
前記流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成する工程とを備え、
前記硬化樹脂を形成する工程では、前記エンジニアリングプラスチックの膜を前記穴の縁に密着させて押圧することによって前記流動性樹脂が前記穴の周囲から前記穴の中に入り込むことを防止して前記穴の内側面を前記硬化樹脂から露出させ、前記基板の主面において前記穴以外の領域において硬化した前記硬化樹脂によって前記電子部品を樹脂封止することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項6に記載された樹脂成形方法において、
前記樹脂材料を供給する工程においては、前記基板押さえピンの前記先端部が前記枠部材の上面よりも高く位置することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項6に記載された樹脂成形方法において、
前記押圧する工程においては、弾性体によって支持された前記基板押さえピンを使用することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項6に記載された樹脂成形方法において、
前記押圧する工程においては、1又は複数の前記弾性体によって支持された取付板に取り付けられた1又は複数の前記基板押さえピンを使用することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項6〜9のいずれか1つに記載された樹脂成形方法において、
前記上型と前記下型とを型締めする型締め機構を有する少なくとも1個の成形モジュールを準備する工程と、
前記1個の成形モジュールに前記樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールを準備する工程とを備え、
前記樹脂材料供給モジュールと前記1個の成形モジュールとが着脱可能であり、
前記1個の成形モジュールが他の成形モジュールに対して着脱可能であることを特徴とする樹脂成形方法。
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