JPH1086188A - Ic用パッケージのモールド装置 - Google Patents

Ic用パッケージのモールド装置

Info

Publication number
JPH1086188A
JPH1086188A JP24631796A JP24631796A JPH1086188A JP H1086188 A JPH1086188 A JP H1086188A JP 24631796 A JP24631796 A JP 24631796A JP 24631796 A JP24631796 A JP 24631796A JP H1086188 A JPH1086188 A JP H1086188A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
positioning
package
lead frame
positioning pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24631796A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenzo Tanaka
憲三 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP24631796A priority Critical patent/JPH1086188A/ja
Publication of JPH1086188A publication Critical patent/JPH1086188A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14065Positioning or centering articles in the mould
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14065Positioning or centering articles in the mould
    • B29C2045/14147Positioning or centering articles in the mould using pins or needles penetrating through the insert
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14065Positioning or centering articles in the mould
    • B29C2045/14163Positioning or centering articles in the mould using springs being part of the positioning means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】金型にリードフレームを精度良く位置決め可能
なIC用パッケージのモールド装置を提供する。 【解決手段】ICチップ22が配線接続されたリードフ
レーム21を上金型31と下金型41とからなる金型の
間に挿入し、この金型内にモールド樹脂60を充填しこ
れを硬化させてICチップ22のパッケージを成形する
IC用パッケージのモールド装置であって、下金型41
にはリードフレーム21の所定の位置に形成された位置
決め用孔21aの内周と当接可能な先細りテーパ部43
aが形成され、かつスプリング44によって移動可能に
金型に保持された可動位置決めピン43が設けられてい
るものとした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームと
配線接続されたICチップを封止するためのIC用パッ
ケージを成形するIC用パッケージのモールド装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】集積回路(以下、ICという。)のパッ
ケージとして、例えばプラスチックパッケージがある
が、このプラスチックパッケージは、ウェハを個々のチ
ップに分割し、リードフレームとの電気的接合の後、樹
脂で封止することによって組み立てられる。上記の樹脂
を封止は、例えば、モールド装置によって行われる。モ
ールド装置では、上下の金型の間にリードフレームを挿
入して、金型内に例えば熱硬化性の樹脂を油圧プランジ
ャにより注入する。そして、上下の金型にそれぞれ形成
されたキャビティに樹脂が充填され、樹脂が硬化すると
プラスチックパッケージの成形が完了する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなモールド
装置では、プラスチックパッケージとリードフレームと
の位置関係を適切にするために、上下の金型の間にリー
ドフレームを挿入する際に上下の金型に対して位置決め
を行う必要がある。従来においては、例えば図7に示す
ように、下金型101に位置決めピン102を設けてお
き、この位置決めピン102を挿入するための挿入用孔
103aをリードフレーム103に形成することにより
両者の位置決めを行っていた。
【0004】しかしながら、上記のような位置決め方法
では、位置決めピン102に挿入用孔103aが確実に
挿入されるように、挿入用孔103aおよび位置決めピ
ン102の加工の際に、挿入用孔103aの径は所定の
寸法より大きく、位置決めピン102の径は所定の寸法
より小さくなるように寸法公差を設定している。このた
め、挿入用孔103aと位置決めピン102との間に存
在するクリアランスの範囲で下金型に対するリードフレ
ームの位置ずれが発生する場合があり、組み立て品が所
定の寸法形状を満たしていない場合があるという不利益
があった。
【0005】本発明は、かかる従来の不利益を解消すべ
くなされたものであって、金型にリードフレームを精度
良く位置決め可能なIC用パッケージのモールド装置を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係るIC用パッ
ケージのモールド装置は、ICチップが配線接続され所
定の位置に位置決め用孔が形成されたリードフレームを
上金型と下金型との間に挿入し、これらの金型内にモー
ルド樹脂を充填しこれを硬化させてICチップのパッケ
ージを成形するIC用パッケージのモールド装置であっ
て、前記上金型および下金型のうちいずれか一方の金型
には、前記位置決め用孔の内周と当接可能な先細りテー
パ部が形成され、かつ弾性手段によって移動可能に金型
に保持された位置決めピンが設けられている。
【0007】本発明に係るIC用パッケージのモールド
装置では、いずれか一方の金型に設けられた位置決めピ
ンに先細りテーパ部が形成されているとともに、この位
置決めピンが移動可能に弾性手段によって保持されてい
る。このため、位置決めピンにリードフレームに形成さ
れた位置決め用孔を挿入すると、位置決めピンの先細り
テーパ部が位置決め用孔の内周に当接した状態となる。
この状態で上下の金型でリードフレーム挟むと、上記の
当接状態が保持されたままで位置決めピンが所定の位置
まで移動する。すなわち、位置決め用孔と位置決めピン
との間にクリアランスが存在しないため、リードフレー
ムと当該金型との間の正確な位置決めが行われることに
なる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るIC用パッケ
ージのモールド装置の実施の形態について図面を参照し
て詳細に説明する。図1は、本発明に係るIC用パッケ
ージのモールド装置における位置決めピンの構造の一例
を示す断面図である。図1の位置決めピンの構造を説明
する前に、図3に本発明が適用されるモールド装置の一
例を示す。図3において、支持台2に固定されたガイド
4によって可動部材12は上下方向に移動可能になって
おり、図示しない駆動装置によって駆動される。また、
可動部材12に固定された上金型31にはヒータ32が
内蔵されており、これにより上金型31を加熱可能にな
っている。プランジャ10は固定部材8に固定された油
圧シリンダ6により駆動され、上金型31のポット31
aから樹脂を注入するのに用いられる。また、上金型3
1に対向するように設けられた下金型41は、同様にヒ
ータ42によって加熱可能になっている。なお、上記の
上金型31と下金型41とは所定の力でクランプ可能と
なっているとともに、上金型31と下金型41とはガイ
ド13によって位置決めがされている。
【0009】ここで、図4(a)は、上記のモールド装
置に用いられる上金型31の例を示す斜視図であり、図
4(b)は、上記のモールド装置に用いられる下金型4
1の例を示す斜視図である。図4(a)に示す上金型3
1には、IC用パッケージの上側半分の外形を形どる穴
である複数のキャビティ38が2列に形成されており、
これらの各々に注入される樹脂の流れ溝であるランナー
36が連なって形成されている。複数のキャビティ38
が形成されていることにより、一度に複数のIC用パッ
ケージが成形可能となっている。上金型31の中央部に
は、樹脂を金型内に注入する際の入り口である複数のポ
ット39が一列に形成されている。また、後述する可動
位置決めピン47の先端部が収容される挿入用穴33お
よび後述する固定位置決めピン47の先端部が収容され
る挿入用穴37が形成されている。
【0010】一方、図4(b)に示す下金型41には、
IC用パッケージの下側半分の外形を形どる穴である複
数のキャビティ48が2列に形成されている。この2列
のキャビティ48の間に形成された円形の凹状の型部4
9は、図3に示したプランジャ10が樹脂タブレットを
金型内に注入するとプランジャ10と下金型41との間
に円板状の不要な樹脂であるカルを形成するものであ
る。また、複数の型部49と2列のキャビティ48との
間にはそれぞれ上記した可動位置決めピン43および固
定位置決めピン47が設けられている。
【0011】ここで、図1に示すように、可動位置決め
ピン43は、尖った先端部43dと、先端部43aの後
方に形成された先細りテーパ部43aと、嵌合穴41a
に嵌合挿入される軸部43bと、下金型41からの抜け
止め用に形成されたフランジ部43cとからなってい
る。可動位置決めピン43の軸部43bは、下金型41
に形成された嵌合穴41aに移動可能に案内されてお
り、また、フランジ部43cは下金型41に形成された
収容部41b内に収容されている。このフランジ部43
cは、下金型41の軸部43bと収容部41bとの間の
段付き部41cに当接するようになっており、これによ
り、可動位置決めピン43が下金型41から抜け出ない
ようになっている。
【0012】可動位置決めピン43は、フランジ部43
cの端面と固定部材45との間に設けられたスプリング
44によって、下金型41から突出する方向にばね付勢
されている。これにより、可動位置決めピン43に負荷
がかかってない場合には、上記した先端部43dと先細
りテーパ部43aとが下金型41の型面41dから突出
した状態になっている。なお、固定位置決めピン47
は、下金型41に固定されかつ常に下金型41の型面4
1dから突出した状態になっている。
【0013】ここで、図5は、上記の可動位置決めピン
43および固定位置決めピン47によって下金型41に
対して位置決めされるリードフレームの一例を示す説明
図である。図5(a)には、可動位置決めピン43が挿
入される位置決め用孔21aが形成された部分のリード
フレームを示し、図5(b)には、固定位置決めピン4
7が挿入される位置決め用孔21bが形成された部分の
リードフレームを示している。
【0014】リードフレーム21のインナーリード21
cには、複数のICチップ22が上下の金型31、41
のキャビティ38、48に対応する位置においてワイヤ
23によって接続されている。図5(a)に示すよう
に、リードフレーム21には上記した可動位置決めピン
43が挿入される位置決め用孔21aが形成されている
が、この位置決め用孔21aは可動位置決めピン43に
対応して一つのリードフレーム21につき1か所のみ形
成されている。また、図5(b)に示すように、上記し
た固定位置決めピン47が挿入される位置決め用孔21
bが形成されているが、この位置決め用孔21bは、固
定位置決めピン47に対応して一つのリードフレーム2
1につき2か所に形成されている。
【0015】上記の位置決め用孔21aは円形孔である
が、位置決め用孔21bは平行な案内部を有する楕円状
の孔となっている。したがって、図5(a)に示す矢印
A1 およびA2 方向の位置決めを位置決め用孔21aに
より行い、図5(b)に示す矢印B1 およびB2 方向の
位置決めを2か所に形成された位置決め用孔21bによ
って行うようになっている。案内部を有する位置決め用
孔21bは、リードフレーム21が加熱されて熱膨張し
た際に、2か所に形成された位置決め用孔21bの位置
関係が変動してもこれを吸収する。
【0016】次に、上記のように構成されるモールド装
置の動作について説明する。まず、上金型31および下
金型41をそれぞれのヒータ32、42で所定の温度、
例えば170〜180℃に加熱しておく。次いで、図6
(a)に示すように、上金型31を可動部材12を駆動
して上昇させ、2つのリードフレーム21を下金型41
の所定の位置にそれぞれ設置する。
【0017】このとき、可動位置決めピン43はリード
フレーム21の位置決め用孔21aに挿入され、固定位
置決めピン47は位置決め用孔21bに挿入されるが、
このときの可動位置決めピン43の状態を図2に示す。
図2に示すように、可動位置決めピン43の先細りテー
パ部43aの作用によってリードフレーム21は適切な
位置に移動して、先細りテーパ部43aが位置決め用孔
21aの内周に当接した状態となる。また、リードフレ
ーム21の重さによって可動位置決めピン43が下金型
41内に移動して、リードフレーム21の表面が下金型
41の型面41dに接触した状態となる。これによっ
て、可動位置決めピン43の軸心と位置決め用孔21a
とが正確に一致するため、リードフレーム21の図5
(a)において示した矢印A1 およびA2 方向の正確な
位置決めが可能になる。
【0018】そして、リードフレーム21の下金型41
への位置決めが完了すると、図6(b)に示すように、
上金型31を下降させ、上金型31と下金型41とを、
例えば約20〜50tonの力でクランプする。同時
に、ポット39から樹脂60を供給する。なお、上金型
31と下金型41との位置決めは、図3に示すガイド1
3によって正確になされる。
【0019】次いで、図6(c)に示すように、プラン
ジャ10を下降させて、樹脂60をポット39から上記
したランナー36を通じてキャビティ38,48内に注
入する。このときのプランジャ10による注入は、例え
ば、100kg/cm2 程度の圧力で約10秒間行う。
例えば、170〜180℃に加熱された状態で約30〜
50秒保持し、樹脂60を硬化させる。
【0020】樹脂60の硬化が完了すると、図6(d)
に示すように、上金型31を上昇させて成形品を取り出
す。この成形品の不要部分であるランナー36内の樹脂
およびカル60aを除去することにより、所望の組み立
て品が得られる。
【0021】以上説明したように、本実施形態に係るモ
ールド装置によれば、下金型41に可動位置決めピン4
3を設けたことにより、リードフレーム21を下金型4
1に正確に位置決めすることが可能となる。この結果、
組み立て品におけるリードフレーム21とIC用パッケ
ージとの位置関係が所定の寸法形状を満たすものとな
る。
【0022】なお、本実施形態では、可動位置決めピン
43を下金型42に設けたが、上金型31に設けること
も可能であり、この場合にも上記と同様の作用効果が得
られる。また、本発明は、IC用パッケージを成形する
場合以外にも、例えば、トランジスタ単体のようなディ
スクリートデバイスのパッケージを成形する場合にも適
用可能である。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るIC
用パッケージのモールド装置によれば、金型に対するリ
ードフレームの位置決めを正確にかつ容易に行うことが
可能であるため、モールド装置によって得られる組み立
て品が所定の寸法形状を満たすものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るIC用パッケージのモールド装置
における位置決めピンの構造の一例を示す断面図であ
る。
【図2】図1に示す位置決めピンによってリードフレー
ムの位置決めを行った状態を示す断面図である。
【図3】本発明が適用されるモールド装置の一例を示す
説明図である。
【図4】図4(a)は、モールド装置に用いられる上金
型の一例を示す斜視図であり、図4(b)は、モールド
装置に用いられる下金型の一例を示す斜視図である。
【図5】リードフレームの一例を示す説明図である。
【図6】モールド装置の動作例を説明するための図であ
る。
【図7】従来の金型に対するリードフレームの位置決め
方法を説明する説明図である。
【符号の説明】
21…リードフレーム、21a,21b…位置決め用
孔、41…下金型、41a…嵌合穴、41b…収容部、
42…ヒータ、43…可動位置決めピン、43a…先細
りテーパ部、43b…軸部、43c…フランジ部、43
d…先端部、44…スプリング、45…固定部材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI B29L 31:34

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ICチップが配線接続され所定の位置に位
    置決め用孔が形成されたリードフレームを上金型と下金
    型との間に挿入し、これらの金型内にモールド樹脂を充
    填しこれを硬化させてICチップのパッケージを成形す
    るIC用パッケージのモールド装置であって、 前記上金型および下金型のうちいずれか一方の金型に
    は、前記位置決め用孔の内周と当接可能な先細りテーパ
    部が形成され、かつ弾性手段によって移動可能に金型に
    保持された位置決めピンが設けられているIC用パッケ
    ージのモールド装置。
  2. 【請求項2】前記位置決めピンが移動可能に設けられた
    金型には、前記位置決めピンに加えて、前記位置決めピ
    ンによる位置決め方向と直交する方向の位置決めを行う
    ための少なくとも一の位置決めピンが固定されており、 前記リードフレームには、前記移動可能に設けられた位
    置決めピンによる位置決め方向に平行な案内部を有しか
    つ前記固定された位置決めピンが挿入される位置決め用
    孔が形成されている請求項1に記載のIC用パッケージ
    のモールド装置。
  3. 【請求項3】前記各々の位置決めピンが設けられた金型
    に対向する他方の金型には、前記各々の位置決めピンが
    挿入される挿入用穴が形成されている請求項2に記載の
    IC用パッケージのモールド装置。
  4. 【請求項4】前記弾性手段はバネからなり、前記移動可
    能に設けられた位置決めピンはこのバネによって型面か
    ら突出する方向に付勢されかつ金型からの抜け止めがさ
    れている請求項1に記載のIC用パッケージのモールド
    装置。
JP24631796A 1996-09-18 1996-09-18 Ic用パッケージのモールド装置 Pending JPH1086188A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24631796A JPH1086188A (ja) 1996-09-18 1996-09-18 Ic用パッケージのモールド装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24631796A JPH1086188A (ja) 1996-09-18 1996-09-18 Ic用パッケージのモールド装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1086188A true JPH1086188A (ja) 1998-04-07

Family

ID=17146763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24631796A Pending JPH1086188A (ja) 1996-09-18 1996-09-18 Ic用パッケージのモールド装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1086188A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1315198A1 (en) * 2001-11-21 2003-05-28 RIGHT MFG. Co. Ltd. Pod cover removing-installing apparatus
KR200470091Y1 (ko) * 2011-11-09 2013-11-29 김성기 반도체칩 방열판의 마킹층 형성장치용 방열판스트립의 지지대
WO2015198722A1 (ja) * 2014-06-24 2015-12-30 Nok株式会社 インサート成形用金型構造
EP3229266A4 (en) * 2014-12-24 2018-08-22 Towa Corporation Resin molding device and resin molding method
JP2018183931A (ja) * 2017-04-26 2018-11-22 Towa株式会社 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
JP2019055519A (ja) * 2017-09-21 2019-04-11 株式会社日本製鋼所 繊維強化熱可塑性樹脂からなる成形品の成形方法および成形装置
CN110576560A (zh) * 2018-06-08 2019-12-17 汉达精密电子(昆山)有限公司 多孔定位结构
CN114400189A (zh) * 2022-03-25 2022-04-26 深圳市铨天科技有限公司 一种存储芯片的固化封装设备

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1315198A1 (en) * 2001-11-21 2003-05-28 RIGHT MFG. Co. Ltd. Pod cover removing-installing apparatus
KR200470091Y1 (ko) * 2011-11-09 2013-11-29 김성기 반도체칩 방열판의 마킹층 형성장치용 방열판스트립의 지지대
WO2015198722A1 (ja) * 2014-06-24 2015-12-30 Nok株式会社 インサート成形用金型構造
JP2016007755A (ja) * 2014-06-24 2016-01-18 Nok株式会社 インサート成形用金型構造
KR20170026514A (ko) * 2014-06-24 2017-03-08 엔오케이 가부시키가이샤 인서트 성형용 금형 구조
US10780610B2 (en) 2014-06-24 2020-09-22 Nok Corporation Insert molding die structure
EP3229266A4 (en) * 2014-12-24 2018-08-22 Towa Corporation Resin molding device and resin molding method
JP2018183931A (ja) * 2017-04-26 2018-11-22 Towa株式会社 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
JP2019055519A (ja) * 2017-09-21 2019-04-11 株式会社日本製鋼所 繊維強化熱可塑性樹脂からなる成形品の成形方法および成形装置
US11472082B2 (en) 2017-09-21 2022-10-18 The Japan Steel Works, Ltd. Molding method and molding apparatus of molded article comprising fiber-reinforced thermoplastic resin
CN110576560A (zh) * 2018-06-08 2019-12-17 汉达精密电子(昆山)有限公司 多孔定位结构
CN114400189A (zh) * 2022-03-25 2022-04-26 深圳市铨天科技有限公司 一种存储芯片的固化封装设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6137224A (en) Electronic device encapsulated directly on a substrate
KR100309406B1 (ko) 옵토컴포넌트상의캡슐화재료의사출방법및장치
KR960700875A (ko) 반도체 장치의 수지봉지 방법
JPH1086188A (ja) Ic用パッケージのモールド装置
US5254501A (en) Same-side gated process for encapsulating semiconductor devices
EP1978552A1 (en) Method of encapsulating electronic part with resin and die assembly and lead frame both for use in the same
CN112677422B (zh) 树脂成形品的制造方法及树脂成形装置
JPH1158435A (ja) 樹脂モールド装置
KR100848746B1 (ko) 전자 부품의 수지 밀봉 성형 장치
US6682952B2 (en) Method of forming the resin sealed semiconductor device using the lead frame
JP2019111692A (ja) 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
JP6397808B2 (ja) 樹脂成形金型および樹脂成形方法
JPH0825860A (ja) 回路基板の一体成形方法
JP2004311855A (ja) 電子部品の樹脂封止成形用金型
JP2772489B2 (ja) 電子部品の樹脂封止成形装置及びエジェクターピンの押込用治具
JP2969610B2 (ja) 電子部品の樹脂封止部成形用金型装置
JP4107306B2 (ja) 半導体素子製造装置
JP2003174053A (ja) 半導体素子の製造方法及び製造装置
JP3543742B2 (ja) 樹脂封止成形装置
JPH04246516A (ja) 電子部品の樹脂モールド装置
JP3511768B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP3003735B2 (ja) 電子部品の樹脂封止部成形用金型装置
JPH038930B2 (ja)
JPH0233509B2 (ja) Jushifushigatahandotaisochomoorudokanagata
US7723165B2 (en) Method of forming component package