JP4107306B2 - 半導体素子製造装置 - Google Patents
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Description
請求項1にかかる発明は、割り型からなる型とこの型を駆動する型駆動装置とを有し、
前記型は、フレーム組立工程により組み立てられたフレーム組立物におけるリードの外側端末を当該型の割り面で支持することにより半導体チップとボンディングワイヤと前記リードの内側端末とを内部に懸架し得るキャビティと、
前記型の少なくとも一方の割り型に設けられ前記キャビティ内に出没自由とされ前記キャビティ内に突出したとき前記半導体チップを一時的に固定し得るチップ固定子と、
前記キャビティ内にパッケージ用の樹脂を充填する樹脂注入手段とを有し、
前記型駆動装置は、前記型の開閉を制御する機構と、前記チップ固定子を前記キャビティ内に出没させる機構と、前記樹脂の注入を制御する機構と、前記型の温度と駆動タイミングとを制御する機構とを有し、
前記チップ固定子は、連動する複数のピンから構成され、これらピンの先端が前記フレーム組立物のステージを支持するステージバーのステージ近傍に当接するものであり、ピンがステージバーに接したときに、その先端面がこのステージバーの傾斜に当接するようになっており、
開型された前記型に前記フレーム組立物がセットされた後に当該型を閉型し、前記チップ固定子を前記キャビティ内に突出させて前記半導体チップを一時的に固定し、前記樹脂を前記キャビティ内に注入し、前記樹脂の充填が完了する前に前記チップ固定子を前記型内に収納し、前記樹脂の充填が完了した後に前記キャビティ内で前記樹脂を固化させるようにしたことを特徴とする半導体素子製造装置である。
なお、以下の説明では、本発明の技術的範囲に含まれないものがある。
図1は本発明の製造装置により製造された半導体素子の一例を示す断面図である。図1においてこの半導体素子は、半導体チップ1上に形成されたパッド1pとリード2の内側端末2aとが金線からなるボンディングワイヤ3で接続され、前記リードの外側端末2bを外部に露出した状態で半導体チップ1とボンディングワイヤ3とリードの内側端末2aとがパッケージ4を形成する熱硬化性樹脂コンパウンドにより一体に封止されてなっている。この半導体チップ1はパッケージ4のほぼ中央部に配置され、一方の面(図の下面)はステージ6に接着され、他方の面(図の上面)には電気回路が形成されている。
図2にこの製造方法の工程図を示す。すなわちこの製造方法はフレーム組立工程、型セット工程、チップ固定工程、樹脂充填工程、及び樹脂固化工程を含んでいる。このうち、型セット工程〜樹脂固化工程は型と型駆動装置とからなる本発明の製造装置を用いて行われる。以下、工程順に詳しく説明する。
図3はフレーム組立工程によって組み立てられたフレーム組立物10を示す平面図である。このフレーム組立物9は半導体チップ1とボンディングワイヤ3とフレーム5とからなっている。フレーム5は、半導体チップ1を載置するステージ6と、このステージを懸架するステージバー7と、リード2の配列を支持するリードステー8とが一体に金属板の打ち抜きによって形成されている。
図4は型セット工程の最終段階を示す断面図である。この工程では本発明の型10とこの型を駆動する型駆動装置(図示せず)を有する半導体素子製造装置が用いられる。
型10は、割り型11a,11bからなる型本体11と、この型本体11に形成されたキャビティ12と、チップ固定子13と、前記キャビティ12内にパッケージ用の樹脂を供給するランナー14及びゲート15を有している。割り型11a,11bは、図示しない型駆動装置によって温度が制御されると共に、リードの外側端末2bとステージバー7の外側端末を気密に挟み込めるように、割り面にそれぞれを収納する溝が形成されている。キャビティ12はパッケージ4の外形を規定する形状に形成されている。
図5はチップ固定工程の最終段階を示す断面図である。型10にフレーム組立物9をセットし閉型した後、チップ固定子13をキャビティ内に突出させ、その先端部を半導体チップ1に当接させる。このとき、半導体チップ1の下面はステージ6に接着されていて、このステージ6はステージバー7を介して型10により支持されているので、結局半導体チップ1はステージ6とチップ固定子13との間に挟まれて一時的に固定される。
この樹脂充填工程では二つの操作、すなわち(A.樹脂注入)と(B.チップ固定子収納)とが行われる。先ず、前記により半導体チップ1が一時的に固定されたキャビティ12内に、ランナー14及びゲート15を通して未硬化の熱硬化性樹脂を注入する。そして、キャビティ12内が樹脂で完全に充填される前に、チップ固定子13を、その先端面がキャビティの内壁とほぼ面一となるまで割り型11a内に収納する。このチップ固定子の収納に伴ってキャビティ内は陰圧となるが直ちに樹脂で補完されるため、収納痕にボイドや穴が発生することはない。またこの段階で、半導体チップ1はすでに樹脂内に埋没していて周囲が均圧となっているので、チップ固定子による固定が解除されても樹脂の流動圧により移動することはない。樹脂の注入速度、注入圧力、チップ固定子13の収納開始タイミング、収納速度は、型温度と係わって最適となるように型駆動装置により制御される。
図7は樹脂固化工程の最終段階を示す断面図である。この工程ではキャビティ12内に充填された樹脂が型10の中で硬化される。この樹脂は熱硬化性であるから加熱の持続により不可逆的に固化し、パッケージ4を形成する。この際、ランナー14及びゲート15に残留した樹脂も硬化する。しかしランナー14,ゲート15はいずれも割り型11bの割り面に形成されているので、開型すればパッケージ4に伴って容易に除去できる。
本実施形態は、チップ固定子の構成が異なる以外、実施形態1と実質的に同様である。従ってここでは主として本実施形態におけるチップ固定子の構成と態様について説明する。
図8及び図9は本実施形態におけるチップ固定子の構成及び実施態様を示している。図8及び図9においてチップ固定子13は円柱状のピンからなり、先端部にはそれぞれ緩衝部材19が装着されている。この緩衝部材19は耐熱性のゴム又は合成樹脂からなっている。本実施形態では4本のチップ固定子13が用いられ、方形の台座18の4隅にそれぞれ立設されて4本が連動するようになっている。
本実施形態は、チップ固定子の構成と当接対象が異なる以外、実施形態2と実質的に同様である。従ってここでは主として本実施形態におけるチップ固定子の構成と態様について説明する。
図11は本実施形態におけるチップ固定子の構成及び実施態様を示している。図11においてチップ固定子13は円柱状のピンからなり、本実施形態では4本のチップ固定子13が用いられ、方形の台座18の4隅にそれぞれ立設されて4本が連動するようになっている。それぞれのチップ固定子13は割り型11aの所定の位置に形成された貫通孔16の壁面と摺動してキャビティ12内に出没自由とされ、型外部の台座18を押し下げると、それぞれのチップ固定子13の先端部がステージ6の各コーナーに当接し、これを押さえるように構成されている。
この実施形態では、チップ固定子13・・・がステージバー7のステージ6近傍に当接するように構成されており、ピンがステージバー7に接したときにその先端面がステージバー7の傾斜に当接するようになっている。
この場合も半導体チップ1を一時的に固定することができ、半導体チップの回路要素などに損傷を与えず、樹脂の高速充填を可能にするほか、チップ固定子13…が半導体チップ1から比較的遠くに離れているので、樹脂充填やチップ固定子の収納に際して特に半導体チップ1周辺の樹脂の流れが円滑になり、均一性の高いパッケージ4が形成される。
本実施形態は、割り型11aにボンディングワイヤ3を一時的に固定し得るワイヤ固定子を有する以外、実施形態2と実質的に同様である。従ってここでは主として本実施形態におけるワイヤ固定子の構成と態様について説明する。
図13は本実施形態における型の構成及び実施態様を示している。図13において型10は、ボンディングワイヤ3…を一時的に固定し得るワイヤ固定子20…を有している。
Claims (1)
- 割り型からなる型とこの型を駆動する型駆動装置とを有し、
前記型は、フレーム組立工程により組み立てられたフレーム組立物におけるリードの外側端末を当該型の割り面で支持することにより半導体チップとボンディングワイヤと前記リードの内側端末とを内部に懸架し得るキャビティと、
前記型の少なくとも一方の割り型に設けられ前記キャビティ内に出没自由とされ前記キャビティ内に突出したとき前記半導体チップを一時的に固定し得るチップ固定子と、
前記キャビティ内にパッケージ用の樹脂を充填する樹脂注入手段とを有し、
前記型駆動装置は、前記型の開閉を制御する機構と、前記チップ固定子を前記キャビティ内に出没させる機構と、前記樹脂の注入を制御する機構と、前記型の温度と駆動タイミングとを制御する機構とを有し、
前記チップ固定子は、連動する複数のピンから構成され、これらピンの先端が前記フレーム組立物のステージを支持するステージバーのステージ近傍に当接するものであり、ピンがステージバーに接したときに、その先端面がステージバーの傾斜に当接するようになっており、
開型された前記型に前記フレーム組立物がセットされた後に当該型を閉型し、前記チップ固定子を前記キャビティ内に突出させて前記半導体チップを一時的に固定し、前記樹脂を前記キャビティ内に注入し、前記樹脂の充填が完了する前に前記チップ固定子を前記型内に収納し、前記樹脂の充填が完了した後に前記キャビティ内で前記樹脂を固化させるようにしたことを特徴とする半導体素子製造装置。
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