JP3072061B2 - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JP3072061B2
JP3072061B2 JP9002333A JP233397A JP3072061B2 JP 3072061 B2 JP3072061 B2 JP 3072061B2 JP 9002333 A JP9002333 A JP 9002333A JP 233397 A JP233397 A JP 233397A JP 3072061 B2 JP3072061 B2 JP 3072061B2
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善紀 林
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は光走査装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】デジタル複写機や各種光プリンタに関連
して広く知られた光走査装置において、光束の偏向を行
なう光偏向器としてはポリゴンミラーが一般的である
が、ポリゴンミラーは、その回転中心が偏向反射面と合
致していないため、光源側から入射する光束の、偏向反
射面による反射位置が、ポリゴンミラーの回転に伴い変
動する所謂「サグ」が発生する。
【0003】この「サグ」を考慮しないで光走査装置の
光学系を設計すると、実際の光走査装置では、サグの影
響により像面湾曲等の性能が劣化して、設計通りの性能
を実現することができない。
【0004】サグは、ポリゴンミラーにより偏向される
偏向光束の主光線が被走査面に直交になるときの主光線
の方向を基準線とすると、この基準線の両側の偏向光束
に対して「非対称」に発生する。そこで、偏向光束を被
走査面上に結像させる走査結像レンズの形状を、上記基
準線に対して非対称にして、サグの影響を補正すること
が提案されている(特開平6−230308号公報)
が、形状対称性を持たない走査結像レンズを製造するこ
とは加工上難しく、低コストでの実現は極めて難しい。
【0005】また、特開平4−110818号公報に
は、入射側面をトロイダル面、射出側面を球面としたレ
ンズの、トロイダル面と球面とに相対的なずれ(シフ
ト)を与えることにより、像面湾曲・歪曲収差の非対称
性を軽減させることが記載されている。
【0006】この方法は、像面湾曲や歪曲収差の非対称
性を軽減させるのには有効であるが、レンズ面がノーマ
ルトロイダル面と球面で構成されているため、像面湾曲
の補正の自由度が少ない。
【0007】また、光走査装置は高速光走査を目して、
光利用効率の高いものの実現が意図されている。光利用
効率が高くなり被走査面上に形成される光スポットの光
強度が大きくなることに伴い、一旦、光スポットとして
被走査面に照射された偏向光束が、被走査面により反射
されてポリゴンミラーに戻り、偏向反射面により再度反
射されて「ゴースト光」となって被走査面を照射するこ
とが問題となってきている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、加工が比
較的容易な、形状対称性を有する走査結像素子系を用
い、非対称的なサグの影響を有効に軽減させ、ゴースト
光の影響を除去した光走査装置の実現を課題とする。
【0009】この発明はまた、形状が非対称であるが、
加工が比較的容易な走査結像レンズを用い、非対称的な
サグの影響を有効に軽減させた光走査装置の実現を別の
課題とする。
【0010】この発明はさらに、上記加工が比較的容易
な形状非対称の走査結像レンズを用いて非対称的なサグ
の影響を有効に軽減させ、且つ、ゴースト光の影響を除
去した光走査装置の実現を他の課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明の光
走査装置は、光源と、第1光学系と、ポリゴンミラー
と、第2光学系とを有する。「光源」としては半導体レ
ーザや発光ダイオードを好適に利用できる。「第1光学
系」は、光源からの光束をカップリングするカップリン
グレンズを含む。カップリングレンズによるカップリン
グ作用は、光源からの光束を平行光束にするコリメート
機能でも良いし、光源からの光束を弱い発散性もしくは
弱い収束性の光束にするような機能でもよい。
【0012】「ポリゴンミラー」は、第1光学系からの
光束を等角速度的に偏向させる。
【0013】「第2光学系」は、ポリゴンミラーにより
偏向された偏向光束を被走査面に向けて集光させ、被走
査面を略等速的に走査する「走査結像素子系」を含む。
【0014】ポリゴンミラーの偏向反射面数をN、内接
円半径をR、ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束
の主光線が「被走査面と直交する方向」になるときの上
記主光線(以下、「基準偏向主光線」と呼ぶ)と第1光
学系の光軸とのなす角をα、被走査面上における「有効
書込み幅に対応する画角幅」をθ、ポリゴンミラーの回
転中心と第1光学系の光軸との距離をhとするとき、こ
れらN,R,α,θ,hは条件: (1) θ/2<α<(4π/N)−(θ/2) (2) R・sin(α/2)・1.03<h<R・s
in(α/2)・1.1 を満足する。
【0015】条件(1)の下限は、第1光学系の光軸
を、走査結像素子系に入射する偏向光束の有効偏向領域
外に位置させるための条件である。条件(1)の上限
は、前記ゴースト光が被走査面に戻るとき、その戻り位
置が有効書込み幅外となって、有効書込み幅内の光走査
に影響を与えないための条件である。
【0016】条件(2)は、光学系の配置が条件(1)
を満足するとき、サグを、前記「基準偏向主光線」の両
側の偏向光束に対して「対称に近い状態」にするための
条件である。この明細書において、「サグ」は、偏向光
束の主光線が基準偏向主光線となるときの偏向反射面の
態位において、第1光学系の「最も偏向反射面に近い
面」から「偏向反射面による偏向光束の主光線の反射
点」に至る距離をL0 とし、偏向光束の主光線が上記基
準偏向主光線と成す「画角:Θ(上記画角幅:θ内の角
として定義される)」が0でないときの上記距離をL
(Θ)とするとき、距離:L0とL(Θ)の差:L(Θ)−L0
をもって定量的に定義される。
【0017】条件(2)の範囲を外れると、基準偏向主
光線の両側の光束に対してサグの発生が著しく非対称的
となり、形状対称な走査結像素子系を用いた場合、像面
湾曲や等速特性等の補正が困難になる。
【0018】なお、一般的に、カップリングレンズから
ポリゴンミラーの偏向反射面に至る光路上には、光スポ
ットの形状を成形するために、周辺光束部分を遮光する
アパーチュアが配備される。
【0019】ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束
の主光線が、画角幅:θの一方の画角端部に位置すると
き、被走査面に直交する方向(基準偏向主光線に平行な
方向)となす角をθ1、画角幅:θの他方の画角端部に
位置するとき、被走査面に直交する方向となす角をθ2
とするとき(θ=θ1+θ2)、θ1=θ2とすることもで
きるが、請求項1記載の光走査装置では、θ1≠θ2とす
る。
【0020】請求項2記載の光走査装置は、光源と、第
1光学系と、ポリゴンミラーと、第2光学系とを有す
る。これらは、請求項1記載の光走査装置におけると同
様のものである。請求項2記載の光走査装置は、上述し
た請求項1記載の光走査装置と同様、上記N,R,α,
θ,hが、前記条件(1)、(2)を満足する。そし
て、走査結像素子系を構成する少なくとも1つの光学素
子に対して、主走査対応方向(光源から被走査面に至る
光路を光軸に沿って直線的に展開した仮想的な光路上で
主走査方向に平行的に対応する方向を言い、上記仮想的
な光路上で副走査方向と平行的に対応する方向を副走査
対応方向と言う)におけるシフト:Δおよび/または偏
向面内におけるチルト:βが与えられている。上記「偏
向面」は、ポリゴンミラーにより理想的に偏向された偏
向光束の主光線が掃引する平面を言う。
【0021】請求項3記載の光走査装置は、請求項1記
載の光走査装置におけると同様の、光源と、第1光学系
と、ポリゴンミラーと、第2光学系とを有し、上記N,
R,α,θ,hが、前記条件(1)、(2)を満足す
る。そして、走査結像素子系は「単玉の走査結像レン
ズ」として構成され、この単玉の走査結像レンズの少な
くとも一方の面を「偏向直交面内の曲率中心を連ねる線
が非直線である特殊トーリック面」とされている。「偏
向直交面」は、前記偏向面と被走査面とに直交する平面
を言う。このような、単玉の走査結像レンズは、プラス
チックを用いた成形加工により低コストで製造すること
もできる。
【0022】上記請求項1,2記載の光走査装置におけ
る「走査結像素子系」は、複数の光学素子、例えば、複
数枚のレンズやレンズとミラーの組合せとして構成して
も良いし、「結像作用を持つ凹面鏡」として実現しても
良い。また第2光学系は、走査結像素子系の他に、光路
屈曲用のミラーや、面倒れ補正用の長尺レンズや長尺ミ
ラー等を含むことができる。
【0023】上記請求項1または2または3記載の光走
査装置において、第1光学系はこれを「カップリングレ
ンズのみ」で構成することもできるが、第1光学系を
「カップリングレンズとシリンダレンズや凹シリンダミ
ラー等との組み合わせ」で構成し、第1光学系が「ポリ
ゴンミラーの偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線
像として結像させる機能」を持つようにし、第2光学系
が「偏向反射面位置と被走査面位置とを副走査対応方向
に関して略共役な関係とする機能」を持つようにして光
走査装置が「面倒れ補正機能」を有するようにしても良
い(請求項4)。
【0024】請求項5記載の発明の光走査装置は、光源
と、第1光学系と、ポリゴンミラーと、第2光学系とを
有する。これらのうち、光源および第1光学系と、ポリ
ゴンミラーとは請求項1記載の発明のものと同様のもの
である。「第2光学系」は、ポリゴンミラーにより偏向
された偏向光束を被走査面に向けて集光させ、被走査面
を略等速的に走査する走査結像レンズを含む。「走査結
像レンズ」は1枚以上のレンズで構成され、少なくとも
1面は偏向面内における形状が「非円弧形状」であり、
且つ、少なくとも1枚は、入射側の面と射出側の面との
間に「主走査対応方向におけるシフト:Δ’および/ま
たは偏向面内におけるチルト:β’」が与えられてい
る。請求項5記載の発明における走査結像レンズの少な
くとも1枚は、上記のように、その両面が、主走査方向
に互いにシフトしたり、あるいは偏向面内で一方が他方
に対してチルトしたりしているのである。このため、こ
のレンズは、レンズ自体としては形状対称にならない
が、シフトしたりチルトしたりしている面自体は形状対
称性を有するので、例えばプラスチック材料の成形によ
り形成するような場合、駒型の各面をシフトさせたりチ
ルトさせたりすればよいから、形状非対称にも拘らず加
工は容易である。
【0025】そして、ポリゴンミラーの偏向反射面数:
N、内接円半径:R、ポリゴンミラーにより偏向される
偏向光束の主光線が被走査面と直交する方向になるとき
の上記主光線と第1光学系の光軸とのなす角:α、被走
査面上における有効書込み幅に対応する画角幅:θ、ポ
リゴンミラーの回転中心と上記第1光学系の光軸との距
離:hが、請求項1記載の発明におけるのと同じ条件
(1),(2)を満足する。
【0026】請求項1記載の発明におけると同じく、条
件(1)は、第1光学系の光軸を走査結像素子系に入射
する偏向光束の有効偏向領域外に位置させ、ゴースト光
が有効書込み幅内の光走査に影響を与えないための条件
であり、条件(2)は、サグを「基準偏向主光線の両側
の偏向光束に対して対称に近い状態」にするための条件
である。
【0027】請求項5記載の光走査装置において、走査
結像レンズは、「単玉レンズ」として構成することがで
き、この単玉の記載の光走査装置において、走査結像レ
ンズの少なくとも1面を「偏向直交面内の曲率中心を連
ねる線が非直線である特殊トーリック面」とすることが
できる(請求項6)、これら請求項5または6に記載の
光走査装置においても、第1光学系が、ポリゴンミラー
の偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像として結
像させる機能を持ち、第2光学系は、偏向反射面位置と
被走査面位置とを副走査対応方向に関して略共役な関係
とする機能を有するようにできる(請求項7)。
【0028】もちろん、請求項5または6に記載の光走
査装置においても、カップリングレンズによるカップリ
ング作用は、光源からの光束を平行光束にするコリメー
ト機能でも良いし、光源からの光束を弱い発散性もしく
は弱い収束性の光束にするような機能でもよい。また、
第1光学系をカップリングレンズのみで構成することも
可能である。
【0029】
【発明の実施の形態】図1において、「光源」である半
導体レーザ1から放射された光束はカップリングレンズ
2によりカップリングされ、平行光束もしくは弱い発散
性もしくは弱い収束性の光束と成り、図示されないアパ
ーチュアにより周辺光束部分を除去されたのち、カップ
リングレンズ2とともに「第1光学系」をなすシリンダ
レンズ3を透過し、シリンダレンズ3の作用により副走
査対応方向(図面に直交する方向に集光され、ポリゴン
ミラー4の偏向反射面4’近傍の位置に「主走査対応方
向に長い線像」として結像する(請求項4)。
【0030】ポリゴンミラー4の偏向反射面4’による
反射光束は、ポリゴンミラー4の等速回転に伴い等角速
度的に偏向され、「第2光学系」をなす「走査結像素
子」としての単玉構成の走査結像レンズ5に入射し(請
求項3)、走査結像レンズ5の作用により被走査面6に
向けて集光し、被走査面6上に光スポットを形成し、被
走査面6を略等速的に走査する。即ち、走査結像レンズ
は、ポリゴンミラー6の偏向反射面位置と被走査面位置
とを副走査対応方向に関して略共役な関係とする機能を
持つ(請求項4)。従って、図1の光走査装置は「面倒
れ補正機能」を有する。なお、被走査面6の位置には
「周面を被走査面に合致された光導電性の感光体」が配
備されるので、光スポットは実体的には感光体を光走査
する。
【0031】ポリゴンミラー6は正多角柱形であって、
その偏向反射面数を「N」、偏向反射面に内接する内接
円半径を「R」、ポリゴンミラー4により偏向される偏
向光束の主光線が被走査面と直交する方向になるときの
主光線、即ち基準偏向主光線Aと第1光学系の光軸Bと
のなす角を「α」、被走査面6上における「有効書込み
幅」に対応する画角幅を「θ(=θ1+θ2)」、ポリゴ
ンミラー6の回転中心Pと第1光学系の光軸Bとの距離
を「h」とする。
【0032】これらN,R,α,θ,hは前述の条件:
(1),(2)を満足する。前述したように、条件
(1)の下限をこえると、第1光学系の光軸Bが前記
「有効書込み幅に対応する画角幅:θ」の範囲内に入り
込んでしまい、条件(1)の上限を越えると、被走査面
6で反射された光束が偏向反射面4’に戻って再反射さ
れたゴースト光が「有効書込み幅」内に再照射されてし
まう。
【0033】図1に示すように、ポリゴンミラー6によ
り偏向される偏向光束の主光線が、画角幅:θの一方の
画角端部に位置するとき、被走査面に直交する方向とな
す角をθ1、上記画角幅:θの他方の画角端部に位置す
るとき、上記被走査面に直交する方向となす角をθ2
するとき(θ=θ1+θ2)、角:θ1とθ2とは、θ1
θ2とすることもできるが、請求項1記載の光走査装置
では、θ1≠θ2とするのである。
【0034】走査結像レンズ5には、主走査対応方向に
おけるシフト:Δおよび/または偏向面内におけるチル
ト:βを与えることができる(請求項2)。「シフト」
は、走査結像レンズ5の光軸を基準偏向主光線Aに平行
にした状態において、基準偏向主光線Aに対して主走査
対応方向(図1において基準偏向主光線Aに直交する方
向)へずらすことであり、そのずれ量が「Δ(図1にお
いて上方へのシフトを正とする)」である。「チルト」
は、走査結像レンズ5の光軸を偏向面(図1にの図面に
平行な面)内において、基準偏向主光線Aに対して傾け
ることであり、その傾き角が「β(反時計回りの傾きを
正とする)」である。
【0035】第2光学系の走査結像素子を2以上の光学
素子、例えば2枚以上のレンズで構成する場合には、そ
れらの内の1以上に上記シフトおよび/またはチルトを
与えることができる。
【0036】走査結像レンズ5は、少なくとも一方の面
を「偏向直交面内の曲率中心を連ねる線が非直線である
特殊トーリック面」とすることができる(請求項3)。
図8(a)は請求項5〜7記載の発明の光走査装置の実
施の1形態を示している。煩雑を避けるために、混同の
虞れが無いと思われるものに就いては、図1におけると
同一の符号を付した。光走査装置としての構成は図1に
示す実施の形態と殆ど同じで、図8(a)の実施の形態
においても、条件(1),(2)が満足される(請求項
5)。
【0037】図8の実施の形態において特徴部分をな
す、第2光学系の走査結像レンズ50に就き図8(b)
を参照して説明する。走査結像レンズ50は、請求項5
記載の走査結像レンズを単玉レンズとして実現した場合
(請求項6)である。図8(b)において、xy面は
「偏向面」を示している。y方向は「主走査対応方向」
である。走査結像レンズ50は偏向面内の形状が、第1
面(入射側面:ポリゴンミラー4側の面)および第2面
(射出側面:被走査面6側の面)ともに「非円弧形状」
である。
【0038】図8(b)において、x軸は第1面の非円
弧形状の軸(対称軸)と合致している。第2面の非円弧
形状の軸(対称軸)が、図の如くx軸に対して角:β’
をなすとき「第1面と第2面は偏向面内において相互に
チルト:β’を有する」という。「入射側の面と射出側
の面との間に、偏向面内におけるチルト:β’が与えら
れる」とは、このような状況を意味する。レンズ面相互
のチルトも前述の「レンズ自体のチルト」の場合と同じ
く「反時計回りを正」とする。
【0039】また、第2面の非円弧形状の軸が第2面と
交わる位置:Qがx軸に対して距離:Δ’だけ「ずれ」
ているとき、第2面は「シフト:Δ’」を有するとい
う。レンズ面のシフトも、レンズ自体のシフトと同様、
図8(a)の上側へのずれを正とする。
【0040】
【実施例】以下、上に説明した光走査装置の光学径に関
する具体例と実施例とを挙げる。 具体例1 図1に示す構成において、N=6、R=18mm、α=
60度とし、画角幅:θ=80度で、図1におけるθ1
=θ2=40度とする(この点において、θ1≠θ2であ
る請求項1記載の光走査装置と異なる)このとき、条件
(1)は、40度(=θ/2)<60度(=α)<80
度(=4π/N−θ/2)となって満足されている。
【0041】パラメータ:kに対してh=R・sin
(α/2)・kとする。k=1.033,1067,
1,089に対し、hと、θ1=−40度,θ2=+40
度(光源に近い側を負とする)としたときのθ1,θ2
対するサグの大きさ「サグ(−40度)」、「サグ(+
40度)」を算出すると以下のようになる。
【0042】 k h サグ(−40度) サグ(+40度) 1.033 9.3 −1.22mm −1.50mm 1.067 9.6 −1.34mm −1.32mm 1.089 9.8 −1.42mm −1.20mm 。
【0043】これから分かるように、条件(1),
(2)が共に満足されるとき、サグの大きさは、有効書
込み幅の両端部に向けて偏向される偏向光束に対して大
略等しく、基準偏向主光線Aの両側の偏向光束に対して
「サグが対称に近い状態」になるので、第2光学系にお
ける走査結像素子系として「主走査対応方向への形状対
称性を持つ光学系」を用いても、像面湾曲や等速特性、
面倒れ等へのサグの影響が主走査対応方向において基準
偏向主光線に対して略対称的であるため(シフトやチル
トにより)補正が容易である。
【0044】なお、上記画角幅:θを88度としても条
件(1)を満足し、ゴースト光の影響を除去できる。
【0045】具体例2 図1に示す構成において、N=4、R=6mm、α=9
0度とし、画角幅:θ=80度で、図1におけるθ1
θ2=40度とする。このとき、条件(1)は、40度
(=θ/2)<90度(=α)<140度(=4π/N
−θ/2)となって満足されている。
【0046】パラメータ:kに対してh=R・sin
(α/2)・kとする。k=1.047,1071,
1,094に対し、hと、θ1=−40度,θ2=+40
度(光源に近い側を負とする)としたときのθ1,θ2
対するサグの大きさ「サグ(−40度)」、「サグ(+
40度)」を算出すると以下のようになる。
【0047】 k h サグ(−40度) サグ(+40度) 1.047 4.443 −0.51mm −0.63mm 1.071 4.543 −0.56mm −0.51mm 1.094 4.643 −0.61mm −0.40mm 。
【0048】これから分かるように、条件(1),
(2)が共に満足されるとき、サグの大きさは、有効書
込み幅の両端部に向けて偏向される偏向光束に対して大
略等しく、基準偏向主光線Aの両側の偏向光束に対して
サグが対称に近い状態になるので、第2光学系における
走査結像素子系として主走査対応方向への形状対称性を
持つ光学系を用いても、像面湾曲や等速特性、面倒れ等
へのサグの影響が主走査対応方向において基準偏向主光
線に対して略対称的であるため(シフトやチルトによ
り)補正が容易である。
【0049】なお、具体例1,2において、条件
(1)、(2)の効果は、走査結像素子系の副走査対応
方向の横倍率:Mが大きいほど大きく、M>1のときは
(2)の条件外では、像面湾曲および等速特性の劣化が
著しくなる。この場合、走査結像素子系として主走査方
向に非対称形状のものを用いれば、像面湾曲の補正は可
能であるが、サグが大きくなれば面倒れ補正効果は劣化
してしまう。
【0050】以下に挙げる実施例1〜4および比較例で
は、図1に示す構成において、カップリングレンズ2の
カップリング作用により、光源1からの光束が「弱い収
束性の光束」になるものとする。
【0051】シリンダレンズ3の中心肉厚、使用波長で
の屈折率、入射側面の副走査対応方向の曲率半径および
射出側面での曲率半径をそれぞれ、d1,n1,r1S,r
2、シリンダレンズ3から基準偏向主光線Aの偏向点ま
での距離をd2、上記偏向点から走査結像レンズ5の入
射側レンズ面までの距離をd3、走査結像レンズ5の中
心肉厚、使用波長での屈折率をそれぞれd4、n2、走査
結像レンズ5の射出側面から被走査面6に至る距離をd
5、偏向面から「偏向光束の主走査対応方向における自
然集光点(カップリングレンズ2のカップリング作用に
より弱い収束性の光束と成った光束が、走査結像レンズ
5が無いとした場合に、主走査方向において自然に集光
する位置)」までの距離をSとする。なお「距離の次
元」を持つものの単位は「mm」である。
【0052】走査結像レンズ5は、両面とも、偏向面内
における形状(主走査対応方向の形状)が「非円弧形
状」であり、近軸曲率半径:Rn、円錐定数:Kn、高
次の係数:An,Bn,Cn,Dn(入射側の面に就き
n=1、射出側の面に就きn=2)を用いて、光軸方向
の座標:Xと光軸直交方向(主走査対応方向)の座標:
Yが、 X=Y2/[Rn+Rn√{1−(1+Kn)Y2/Rn2}] +AnY4+BnY6+CnY8+DnY10+...(3) で表される形状において、Rn,Kn,An,Bn,C
n,Dnを与えて形状を特定する。
【0053】また、走査結像レンズ5の両面とも前述の
「特殊トーリック面」であり、主走査方向において、光
軸から距離:Yの位置における「偏向直交面」内での曲
率半径(副走査対応方向の曲率半径):Rsnは、多項
式: Rsn=Rs0n+anY2+bnY4+cnY6+dnY8+enY10 +fnY12+gnY14+... (4) (入射側の面に就きn=1、射出側の面に就きn=2)
において、Rs0n,an,bn,...を与えて形状
を特定する。
【0054】実施例3 d1=3.0,n1=1.51933,r1S=44.68(シリンダ面), r2=∞,d2=70.0,d3=48.1,d4=20.0, n2=1.51933,d5=106.9,S=311.1 。
【0055】偏向面内の形状 n Rn Kn An Bn Cn Dn 1 199.5 -35.1384 -1.9846E-7 2.1692E-11 1.9018E-15 -1.88E-19 2 -212.0 2.106 -3.709E-7 1.7132E-11 -5.93E-15 1.494E-18
【0056】偏向直交面内の形状 n Rs0n an bn cn dn en 1 -40.03 -1.19E-2 1.678E-5 -1.7646E-8 9.9902E-12 -2.8335E-15 2 -15.973 -8.58E-4 2.072E-7 1.505E-9 -1.77196E-12 9.1971E-16 n fn gn 1 3.154E-19 0.0 2 -2.28E-19 2.18171E-23 。
【0057】上記の数値においてEとそれに続く数値は
「10のべき乗」を表す。例えば、E−2は10-2を表
し、この数値がそれの前にある数値にかかるのである。
【0058】また、実施例1において、N=6、R=1
8、α=60度、θ1=44.2度、θ2=45.7度で
あり、従って画角幅:θ=θ1+θ2=89.9度であ
る。またh=9.6=R・sin(α/2)・1.067
となる。従って、条件(1),(2)は共に満足されて
いる。走査結像レンズ5には「シフトおよびチルト」が
与えられており、これらは、Δ=+0.7、β=−0.
64度である。
【0059】走査結像レンズ5は、主走査対応方向にお
いて光軸に関して対称な形状を有しているが、図2に示
すように、主・副走査方向の像面湾曲(破線が主走査方
向、実線が副走査方向)および(fθ特性の式により算
出した)等速特性およびリニアリティ(破線は等速特
性、実線がリニアリティ)は良好に補正される。
【0060】比較例として、上記実施例1において、画
角幅:θ=89.9度とし、θ1=θ2=44.95度と
すると、主・副走査方向の像面湾曲および等速特性およ
びリニアリティは、図3に示すようになる。図2の場合
と殆ど同様であるが、光走査の開始側(符号3−1で示
す部分)で、副走査方向の像面湾曲量が、2.17mm
(図2)から2.42mm(図3)に劣化する。このこ
とから、θ1≠θ2とすること(請求項1)の効果が理解
されるであろう。
【0061】図1において、画角:θ1,θ2の方向に向
かう偏向光束の主光線が走査結像レンズ5のレンズ面と
交わる高さ(基準偏向主光線Aからの主走査対応方向に
おける距離)は、θ1=44.2度,θ2=45.7度の
とき、入射側面に就き、(+)側で50.79mm、(−)
側で−50.65mm、射出側面に就き、(+)側で5
3.73mm、(−)側で−53.63mmであるが、θ
1=θ2=44.95度のとき、入射側面に就き、(+)側
で52.29mm、(−)側で−49.33mm、射出側
面に就き、(+)側で54.94mm、(−)側で−52.
55mmであり、このことから、走査結像レンズ5にシ
フト・チルトに応じて、θ1≠θ2とすることで「走査結
像レンズを小型化できる」ことが分かる。
【0062】実施例2 d1=3.0,n1=1.51933,r1S=13.81(シリンダ面), r2=∞,d2=25.0,d3=33.1,d4=13.5, n2=1.51933,d5=128.4,S=1372.8
【0063】偏向面内の形状 n Rn Kn An Bn Cn Dn 1 160.325 -58.38 -9.22923E-7 3.65515E-10 -8.34355E-14 1.113E-17 2 -139.26 4.83 -9.71348E-7 2.37E-10 -8.06014E-14 2.65E-17
【0064】偏向直交面内の形状 n Rs0n an bn cn dn en 1 -108.6 7.803E-2 -3.15051E-4 8.16834E-7 -1.10138E-9 7.352E-13 2 -15.2 -1.6873E-3 3.41942E-6 -4.2899E-9 5.634E-12 -4.189E-15 n fn 1 -1.8802E-16 2 1.2966E-18
【0065】この実施例2において、N=6、R=1
8、α=60度、θ1=43.6度、θ2=44.4度、
従って、画角幅:θ=θ1+θ2=88度である。またh
=9.35=R・sin(α/2)・1.039となる。
従って、条件(1),(2)は共に満足されている。走
査結像レンズ5には「シフトおよびチルト」が与えられ
ており、これらは、Δ=+0.80、β=0.14度で
ある。
【0066】走査結像レンズ5は、主走査対応方向にお
いて、光軸に関して対称な形状を有しているが、図2に
倣って描かれた図4に示すように、主・副走査方向の像
面湾曲および等速特性およびリニアリティは良好に補正
される。
【0067】ここで、ポリゴンミラー12に入射する第
1光学系側からの光束の主走査対応方向の幅を2mmと
し、ポリゴンミラー2における偏向反射面の「面だれ」
を0.2とすると、従来は、偏向光束がポリゴンミラー
でケラれないようにして、偏向角:θ1,θ2を対称に近
く、即ち、できるかぎりθ1≒θ2として、尚且つ画角
幅:θをできるだけ大きくするような配置が取られてお
り、このような光学配置にすると、h=10.35=R
・sin(α/2)・1.15となり、条件(2)の上限
が満足されず「サグが非対称的」になる。
【0068】このような場合の1例(比較例)として、
上記実施例2と同じ構成において、例えば、h=10.
2=R・sin(α/2)・1.13で、Δ=+1.3
9、β=0.14度とすると、主膜副走査方向の像面湾
曲および等速特性・リニアリティは、図5に示すように
なり主・副走査方向の像面湾曲が大きくなってしまう。
【0069】実施例3 上記実施例2において、走査結像レンズ5のシフトをΔ
=+0.80から、Δ=+0.74に変え、チルトをβ
=0.14度からβ=0(チルト無し)に変えた。この
とき、像面湾曲・等速特性・リニアリティは図2に倣っ
て図6に示すように、良好に補正される。
【0070】実施例4 上記実施例1において、走査結像レンズ5のシフトをΔ
=+0.7からΔ=0(シフト無し)に変え、チルトを
β=−0.64度から−0.2度に変えた。このとき、
像面湾曲・等速特性・リニアリティは図2に倣って図7
に示すように、良好に補正される。
【0071】以下にあげる実施例5は、請求項5,6,
7記載の発明の実施例である。上記実施例1〜4と同
様、図8(a)に示す構成において、カップリングレン
ズ2のカップリング作用により、光源1からの光束が
「弱い収束性の光束」になる。実施例1〜4と同様、d
1,n1,r1S,r2,d2,d3,d4(走査結像レンズ5
0の中心肉厚)、n2(走査結像レンズ50の使用波長
での屈折率)、d5,Sを定める。走査結像レンズ50
の第1面(入射側面)および第2面(射出側面)の「偏
向面内の形状」は前述の(3)式を用いて形状を特定
し、「副走査対応方向の形状」は前記(4)式を用いて
形状を特定する。
【0072】実施例5 d1=3.0,n1=1.51933,r1S=13.83(シリンダ面), r2=∞,d2=25.0,d3=32.4,d4=14.5, n2=1.49205,d5=128.1,S=1194.4
【0073】偏向面内の形状 n Rn Kn An Bn Cn Dn 1 160.521 -35.157 -1.14699E-6 3.96489E-10 -1.86559E-14 -9.15608E-18 2 -126.049 4.33282 -5.80254E-7 -8.70609E-11 4.85965E-14 2.13582E-17
【0074】偏向直交面内の形状 n Rs0n an bn cn dn en 1 -95 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 2 -14.41 -1.947E-3 4.707E-6 ー8.093E-9 1.0671E-11 -7.2296E-15 n fn 1 0.0 2 1.875E-18
【0075】これから分かるように、第1面(入射側
面)は、偏向面内において非円弧形状である「特殊トー
リック面」であり、第2面(射出側面)は、偏向面内に
おいて非円弧形状である「特殊トーリック面」である。
N=6、R=18、α=60度、θ1=θ2=44度であ
り、従って、画角幅:θ=θ1+θ2=88度である。ま
たh=9.55=R・sin(α/2)・1.061とな
り、条件(1),(2)は共に満足されている。
【0076】走査結像レンズ50の第1面の前記非円弧
形状の軸(図8(a)のx軸)は基準偏向主光線Aに合
致している。第2面には第1面に相対的なシフトおよび
チルトが与えられており、これらは、Δ’=+0.4、
β=+0.5度である。
【0077】図9に実施例5に関する像面湾曲(破線が
主走査方向、実線が副走査方向)および(fθ特性の式
により算出した)等速特性およびリニアリティ(破線は
等速特性、実線がリニアリティ)を示す。主走査方向の
像面湾曲幅は2.34mm、副走査方向の像面湾曲幅は
3.10mm、リニアリティ幅は0.93%であり、い
ずれも良好である。
【0078】なお、非円弧形状の特定に式(3)を用
い、特殊トーリック面の形状特定に式(4)を用いた
が、これらの形状の特定に使用できる解析表現は式
(3)(4)に限らないことを付記しておく。
【0079】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規な光走査装置を実現できる。この発明の光走査装
置は上記の如き構成となっているので、ゴースト光の影
響を除去しつつ、サグの発生を基準偏向主光線の両側の
光束に対して略対称に近くできるため、主走査対応方向
に対称的な形状の走査結像素子系を用いても、像面湾曲
や等速特性・リニアリティ、さらには面倒れを良好に補
正できる。
【0080】請求項1記載の発明のように、基準偏向主
光線の両側での画角θ1とθ2を異ならせたり、請求項2
記載の発明のように走査結像素子系にシフトやチルトを
与えることによりサグの影響をより一層良好に軽減させ
ることができる。
【0081】また、請求項3記載の発明のように走査結
像素子系を単玉の走査結像レンズとすることにより、光
走査装置の部品点数を減らして低コスト化を促進させる
ことができ、単玉の走査結像レンズに特殊トーリック面
を用いることにより、副走査方向の像面湾曲を良好に補
正することが可能である。
【0082】なお、第2光学系の走査結像光学系を主走
査対応方向において非対称形状とする場合にも、この発
明の請求項1〜4記載の発明を適用することは可能であ
り、サグ対策上の効果が大きい。
【0083】請求項5〜7記載の発明では、走査結像レ
ンズの1枚以上において、入射側と射出側の面の相互間
にチルトおよび/またはチルトを与えるので、このレン
ズはレンズ自体としては非対称形状となるけれども、各
面は、面自体としては対称形状であるので加工が比較的
容易であり、しかもサグの影響を有効に軽減して像面湾
曲や等速特性等を良好に補正できる。
【0084】また、レンズ自体にシフトやチルトが与え
られているので、レンズをハウジングに取り付ける際に
シフト・チルトの調整を行う必要がなく、走査結像レン
ズの組み付けが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1,2,3,4記載の発明の光走査装置
の実施の形態を説明するための図である。
【図2】実施例1に関する像面湾曲および等速特性・リ
ニアリティの図である。
【図3】実施例1の比較例に関する像面湾曲及び等速特
性・リニアリティの図である。
【図4】実施例2に関する像面湾曲および等速特性・リ
ニアリティの図である。
【図5】実施例2の比較例に関する像面湾曲及び等速特
性・リニアリティの図である。
【図6】実施例3に関する像面湾曲および等速特性・リ
ニアリティの図である。
【図7】実施例4に関する像面湾曲および等速特性・リ
ニアリティの図である。
【図8】請求項5,6,7記載の発明の光走査装置の実
施の形態を説明するための図である。
【図9】実施例5に関する像面湾曲および等速特性・リ
ニアリティの図である。
【符号の説明】
1 光源 2 カップリングレンズ 3 シリンダレンズ 4 ポリゴンミラー 5 走査結像素子系 6 被走査面 50 走査結像レンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−128607(JP,A) 特開 平6−186492(JP,A) 特開 平5−249400(JP,A) 特開 平5−11212(JP,A) 特開 平3−65917(JP,A) 特開 平2−129614(JP,A) 特開 平2−23313(JP,A) 特開 平4−149405(JP,A) 特開 平5−5848(JP,A) 特開 平5−181079(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 26/10 G02B 13/00 G02B 13/18

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源と、 光源からの光束をカップリングするカップリングレンズ
    を含む第1光学系と、 第1光学系からの光束を等角速度的に偏向させるポリゴ
    ンミラーと、 ポリゴンミラーにより偏向された偏向光束を被走査面に
    向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結
    像素子系を含む第2光学系とを有し、 上記ポリゴンミラーの偏向反射面数をN、内接円半径を
    R、上記ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束の主
    光線が被走査面と直交する方向になるときの上記主光線
    と第1光学系の光軸とのなす角をα、上記被走査面上に
    おける有効書込み幅に対応する画角幅をθ、上記ポリゴ
    ンミラーの回転中心と上記第1光学系の光軸との距離を
    hとするとき、これらN,R,α,θ,hが条件: (1) θ/2<α<(4π/N)−(θ/2) (2) R・sin(α/2)・1.03<h<R・s
    in(α/2)・1.1 を満足し、且つ、 ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束の主光線が、
    上記画角幅:θの一方の画角端部に位置するとき、被走
    査面に直交する方向となす角をθ1、上記画角幅:θの
    他方の画角端部に位置するとき、上記被走査面に直交す
    る方向となす角をθ2とするとき(θ=θ1+θ2)、θ1
    ≠θ2であることを特徴とする光走査装置。
  2. 【請求項2】光源と、 光源からの光束をカップリングするカップリングレンズ
    を含む第1光学系と、 第1光学系からの光束を等角速度的に偏向させるポリゴ
    ンミラーと、 ポリゴンミラーにより偏向された偏向光束を被走査面に
    向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結
    像素子系を含む第2光学系とを有し、 上記ポリゴンミラーの偏向反射面数をN、内接円半径を
    R、上記ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束の主
    光線が被走査面と直交する方向になるときの上記主光線
    と第1光学系の光軸とのなす角をα、上記被走査面上に
    おける有効書込み幅に対応する画角幅をθ、上記ポリゴ
    ンミラーの回転中心と上記第1光学系の光軸との距離を
    hとするとき、これらN,R,α,θ,hが条件: (1) θ/2<α<(4π/N)−(θ/2) (2) R・sin(α/2)・1.03<h<R・s
    in(α/2)・1.1 を満足し、且つ、 走査結像素子系を構成する少なくとも1つの光学素子に
    対して、主走査対応方向におけるシフト:Δおよび/ま
    たは偏向面内におけるチルト:βが与えられていること
    を特徴とする光走査装置。
  3. 【請求項3】光源と、 光源からの光束をカップリングするカップリングレンズ
    を含む第1光学系と、 第1光学系からの光束を等角速度的に偏向させるポリゴ
    ンミラーと、 ポリゴンミラーにより偏向された偏向光束を被走査面に
    向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結
    像素子系を含む第2光学系とを有し、 上記ポリゴンミラーの偏向反射面数をN、内接円半径を
    R、上記ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束の主
    光線が被走査面と直交する方向になるときの上記主光線
    と第1光学系の光軸とのなす角をα、上記被走査面上に
    おける有効書込み幅に対応する画角幅をθ、上記ポリゴ
    ンミラーの回転中心と上記第1光学系の光軸との距離を
    hとするとき、これらN,R,α,θ,hが条件: (1) θ/2<α<(4π/N)−(θ/2) (2) R・sin(α/2)・1.03<h<R・s
    in(α/2)・1.1 を満足し、且つ、 走査結像素子系が単玉の走査結像レンズであり、少なく
    とも一方の面が、偏向直交面内の曲率中心を連ねる線が
    非直線である特殊トーリック面であることを特徴とする
    光走査装置。
  4. 【請求項4】請求項1または2または3記載の光走査装
    置において、 第1光学系は、ポリゴンミラーの偏向反射面近傍に主走
    査対応方向に長い線像として結像させる機能を持ち、第
    2光学系は、偏向反射面位置と被走査面位置とを副走査
    対応方向に関して略共役な関係とする機能を有すること
    を特徴とする光走査装置。
  5. 【請求項5】光源と、 光源からの光束をカップリングするカップリングレンズ
    を含む第1光学系と、 第1光学系からの光束を等角速度的に偏向させるポリゴ
    ンミラーと、 ポリゴンミラーにより偏向された偏向光束を被走査面に
    向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結
    像レンズを含む第2光学系とを有し、 上記走査結像レンズは1枚以上のレンズで構成され、少
    なくとも1面は偏向面内における形状が非円弧形状であ
    り、 かつ、上記走査結像レンズの少なくとも1枚は、入射側
    の面と射出側の面との間に、主走査対応方向におけるシ
    フト:Δ’および/または偏向面内におけるチルト:
    β’が与えられており、 ポリゴンミラーの偏向反射面数をN、内接円半径をR、
    上記ポリゴンミラーにより偏向される偏向光束の主光線
    が被走査面と直交する方向になるときの上記主光線と第
    1光学系の光軸とのなす角をα、上記被走査面上におけ
    る有効書込み幅に対応する画角幅をθ、上記ポリゴンミ
    ラーの回転中心と上記第1光学系の光軸との距離をhと
    するとき、これらN,R,α,θ,hが条件: (1) θ/2<α<(4π/N)−(θ/2) (2) R・sin(α/2)・1.03<h<R・s
    in(α/2)・1.1 を満足することを特徴とする光走査装置。
  6. 【請求項6】請求項5記載の光走査装置において、 走査結像レンズが単玉レンズであり、少なくとも1面
    が、偏向直交面内の曲率中心を連ねる線が非直線である
    特殊トーリック面であることを特徴とする光走査装置。
  7. 【請求項7】請求項5または6記載の光走査装置におい
    て、 第1光学系は、ポリゴンミラーの偏向反射面近傍に主走
    査対応方向に長い線像として結像させる機能を持ち、第
    2光学系は、偏向反射面位置と被走査面位置とを副走査
    対応方向に関して略共役な関係とする機能を有すること
    を特徴とする光走査装置。
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