JP5195830B2 - 走査光学装置 - Google Patents

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Description

本発明は、電子写真方式の画像形成装置などに用いられる走査光学装置に関する。
光源から出射された光束をポリゴンミラーにより偏向して被走査面上に走査する走査光学装置においては、光束がポリゴンミラーの反射面に当たる位置が偏向方向によって異なる、いわゆるサグが発生し、このサグが被走査面上における像面湾曲などの画像の劣化の原因となることが知られている。
特許文献1においては、このサグによる影響を小さくするため、光源からの光束がポリゴンミラーに入射する位置(ポリゴンミラーの回転中心と第1光学系との光軸との距離h)を所定値以内にすることで、サグを、基準偏向主光線に対して対称に近い状態にしている(0016参照)。
特許第3072061号公報
しかしながら、本願の発明者等の検討によれば、サグを基準偏向主光線に対して対称に近い状態にせず、一方に偏らせても、像面湾曲などの光学的特性を良好にしうることが見出された。
そこで、本発明は、像面湾曲を小さくして良好な画像を露光することが可能な走査光学装置を提供することを目的とする。
前記した目的を達成するため、本発明の走査光学装置は、光源と、前記光源から出射した光を光束に変換する第1の光学素子と、前記第1の光学素子を通過した光束を主走査方向に長手の線状に結像させる第2の光学素子と、前記第2の光学素子を通過した光束を主走査方向に偏向するポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーで偏向された光束を被走査面上にスポット状に結像させる第3の光学素子とを備える走査光学装置であって、前記第3の光学素子は対向する一対のレンズ面を有する単レンズよりなり、それぞれ、主走査方向に非球面形状で、副走査方向の曲率が、光軸の軸上から主走査方向の外側に向かって連続的かつ対称に変化し、レンズ面形状が、主走査方向について光軸を含む副走査面に関し対称であり、前記第3の光学素子の光軸を挟んで前記光源とは反対側に走査開始位置の同期を取るための検出素子に光束を導くための同期検出光路を有し、前記ポリゴンミラーの内接円の半径をR、前記ポリゴンミラーのミラー面数をN、前記ポリゴンミラーにより偏向された光束が前記被走査面と直交するときに前記ポリゴンミラーから出射する方向である基準出射線と前記ポリゴンミラーへ入射する光束とがなす角をα[rad]、光束が前記ポリゴンミラーにより偏向されて前記同期検出光路へ向かう方向と前記基準出射線とがなす角をθbd[rad]、走査終了端における前記ポリゴンミラーで偏向された光束と前記基準出射線とがなす角をθeos[rad]、前記ポリゴンミラーの回転中心と前記ポリゴンミラーに入射する光束の中心との距離をh、前記ポリゴンミラーのミラー面上での主走査方向の光束幅を走査終了端と同期検出光路へ向かうときとでそれぞれbeos,bbdとするとき、hは、
R(sin((α-θbd)/2)-cos((α-θbd)/2)×tan(π/N))+(bbd/2)×cos((α-θbd)/2)<h
および
h<R(sin((α-θeos)/2)+cos((α-θeos)/2)×tan(π/N))-(beos/2)×cos((α-θeos)/2)
・・・(1)
を満足し、前記第3の光学素子は、入射側のレンズ面の第1光軸と出射側のレンズ面の第2光軸が主走査面内でなす角をβ2[deg]、前記第1光軸が前記基準出射線に対して主走査面内でなす角をβ1[deg]、前記第2光軸と前記出射側のレンズ面の交点が前記第1光軸に対して主走査面内でシフトするシフト量をD2[mm]として、
−0.6<β2≦−0.1 ・・・(2)
を満足するとともに、
−0.5<β1<0 ・・・(3)
および
−0.1<D2<0.2 ・・・(4)
の少なくとも一方を満足することを特徴とする。
このように、本発明の走査光学装置によれば、入射側のレンズ面の第1光軸と出射側のレンズ面の第2光軸とが主走査面内でなす角(チルト量)β2が(2)の範囲であるとともに、第1光軸が基準出射線に対して主走査面内でなす角(レンズチルト量)β1および第2光軸と出射側のレンズ面の交点が第1光軸に対して主走査面内でシフトするシフト量D2が(3)または(4)の範囲であることで、ポリゴンミラーのサグが基準出射線に対して対称に近くなく、一方に偏っていたとしても、(2)〜(4)の範囲で入射側のレンズ面と出射側のレンズ面に主走査方向の偏りを持たせることで、サグによる偏りを補正し、良好な光学的特性を実現することができる。また、(1)式を満足することで、第3の光学素子の光軸を挟んで光源とは反対側に同期検出光路を設けても、主走査方向の全走査範囲でケラレが生じることなく、走査を行うことが可能である。
本発明の走査光学装置によれば、像面湾曲を小さくして良好な画像を露光することができる。
一実施形態に係る走査光学装置の主走査断面図である。 レンズ面に対する主走査方向と副走査方向を説明する斜視図である。 ポリゴンミラーの拡大図である。 実施例1に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例2に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例3に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例4に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例5に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例6に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例7に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 比較例1に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 比較例2に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 比較例3に係る光学系の諸特性およびレンズの定数を示す表である。 実施例1の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 実施例2の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 実施例3の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 実施例4の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 実施例5の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 実施例6の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 実施例7の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 比較例1の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 比較例2の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 比較例3の主像面湾曲および副像面湾曲を示すグラフ(a)と、fθ特性およびリニアリティ特性を示すグラフ(b)である。 各実施例および比較例のD1,D2,β1,β2と光学性能を一覧にした表である。
次に、本発明の一実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図1に示すように、一実施形態に係る走査光学装置10は、入射光学系14、ポリゴンミラー5、第3の光学素子の一例としてのfθレンズ6を有し、これらにより、入射光学系14から出射されたレーザ光を感光体ドラム9の被走査面9Aにスポット状に集光し、走査するように構成されている。
入射光学系14は、半導体レーザ1、第1の光学素子の一例としてのコリメートレンズ2、開口絞り3、第2の光学素子の一例としてのシリンドリカルレンズ4を備えて構成されている。
半導体レーザ1は、一または複数の光源を有し、複数の光源を有する場合には、副走査方向(主走査方向に直交する方向。図1では紙面奥行き方向。図2も参照。)に複数の発光素子が並んで配置されている(図示せず)。なお、副走査方向にずれて配置される複数の発光素子は、必要に応じ、主走査方向にも多少ずらして配置することができる。
コリメートレンズ2は、半導体レーザ1から出射したレーザ光を光束に変換するレンズである。この光束は、平行光、収束光および僅かに広がる光のいずれでもよい。
開口絞り3は、コリメートレンズ2で作られた光束の径を規定する開口を有する部材である。
シリンドリカルレンズ4は、コリメートレンズ2および開口絞り3を通過した光束をポリゴンミラー5のミラー面5A上において、主走査方向に長手の線状に結像させるレンズである。
ポリゴンミラー5は、複数のミラー面5Aが、回転軸5Bから等距離に配置された部材であり、図1では、6つミラー面5Aを有するものを例示している。ポリゴンミラー5は、回転軸5Bを中心に一定速度で回転され、シリンドリカルレンズ4を通過した光束を主走査方向に偏向する。なお、この光束が偏向される方向が主走査方向である。
fθレンズ6は、走査光学装置10に1つのみ設けられている。fθレンズ6は、ポリゴンミラー5で反射されることで偏向された光束を被走査面9A上にスポット状に結像させ、かつ、ポリゴンミラー5のミラー面5Aの面倒れを補正している。fθレンズ6は、ポリゴンミラー5により等角速度で偏向された光束を、被走査面9A上に等速で走査するようなfθ特性を有している。fθレンズ6は、対向する一対の入射側(ポリゴンミラー5側)のレンズ面L1と出射側(被走査面9A側)のレンズ面L2を有している。これらのレンズ面L1,L2は、主走査面内において非球面形状で、共にトーリック面である。そして、レンズ面L1,L2の副走査面(主走査方向に直交する断面)内の曲率は、有効部内において第1光軸A1、第2光軸A2の軸上から主走査方向の外側に向って連続的かつ対称に変化している。
本実施形態において、レンズ面L1,L2の表現形式は特に問わない。例えば、主走査方向(y)および副走査方向(x)について2変数多項式で表し、
Figure 0005195830
により表すことができる。
レンズ面L1は、光軸(第1光軸A1)を含む副走査面PL1(図2参照)に関し、対称な形状をしている。また、レンズ面L2は、光軸(第2光軸A2)を含む副走査面PL2(図2参照)に関し、対称な形状をしている。これにより、レンズ面L1,L2を、容易に製造することができる。レンズ面L1,L2は、例えば、これらの表面形状を反転させた金型を用い、プラスチック射出成形やガラスモールドにより製造できるが、レンズ面L1,L2が第1光軸A1、第2光軸A2を含む副走査面PL1,PL2に関し対称であることで、この金型製作の際に行う補正や、金型および製品の形状検査が容易になる。
fθレンズ6の光軸(第1光軸A1および第2光軸A2)を挟んで半導体レーザ1と反対側には、ミラー7が配置され、fθレンズ6の光軸を基準に半導体レーザ1と同じ側には、走査開始位置の同期を取るための検出素子8が配置されている。一実施形態に係る走査光学装置10において、ポリゴンミラー5は、図1における時計回りに回転し、図1の上から下に向けて光束を走査する。ポリゴンミラー5で偏向される光束の主走査方向の走査端のうち、開始端(図において、θsosで示した方向)のさらに外側には、ポリゴンミラー5で反射された光束がミラー7へ向かう同期検出光路Pbdが設けられている。検出素子8は、同期検出光路Pbdを通ってミラー7に入射した光束が入射できるように配置されている。
そして、ポリゴンミラー5のミラー面5Aに主走査方向に長手の線状に入射した光束はポリゴンミラー5で偏向された後、fθレンズ6により集光されて、被走査面9A上で、スポット状の像を形成する。
ポリゴンミラー5で光束を偏向する光学系のレイアウトを決定する際には、偏向光の主走査方向における開始端、終了端(図1にθeosで示した方向)および同期検出光路Pbdの方向のいずれにも入射光学系14からの光をポリゴンミラー5で反射できる条件を満たさなければならない。
本実施形態のように、同期検出光路Pbdがfθレンズ6の光軸を挟んで半導体レーザ1と反対側にある場合、入射光学系14からの光束がポリゴンミラー5の回転軸5Bとあまり近い位置で入射する関係にあると、同期検出光路Pbdの方向に光束を反射できず、光束がミラー面5Aから外れてしまうおそれがある。そのため、ポリゴンミラー5の回転軸(回転中心)5Bとポリゴンミラー5に入射する光束の中心との距離hは、適切な範囲に設定する必要がある。そこで、図1および図3に示すように、本実施形態では、ポリゴンミラー5の内接円の半径をR、ポリゴンミラー5のミラー面数をN、ポリゴンミラー5により偏向された光束が被走査面9Aと直交するときにポリゴンミラー5から出射する方向である基準出射線DLとポリゴンミラー5へ入射する光束とがなす角をα[rad]、光束がポリゴンミラー5により偏向されて同期検出光路Pbdへ向かう方向と基準出射線DLとがなす角をθbd[rad]、走査終了端におけるポリゴンミラー5で偏向された光束と基準出射線DLとがなす角をθeos[rad]、ポリゴンミラー5のミラー面5A上での主走査方向の光束幅を走査終了端と同期検出光路Pbdへ向かうときとでそれぞれbeos,bbdとするとき、hは、
R(sin((α-θbd)/2)-cos((α-θbd)/2)×tan(π/N))+(bbd/2)×cos((α-θbd)/2)<h
および
h<R(sin((α-θeos)/2)+cos((α-θeos)/2)×tan(π/N))-(beos/2)×cos((α-θeos)/2)
・・・(1)
を満足するように設定されている。なお、hがこの(1)式を満たす場合、ポリゴンミラー5の反射位置のサグの基準出射線DLに関する対称性が、比較的低くなる。
ところで、図1に示すように、ミラー面5Aでの反射点からレンズ面L1までの距離や、レンズ面L2から被走査面9Aまでの距離は、被走査面9A上の像高yによって変化する。また、入射光学系14からの光束がポリゴンミラー5のミラー面5Aに当たる位置は偏向方向によって異なるため、被走査面9A上では、像面湾曲などの画像の歪みが発生する。
この画像の歪みを良好に補正するため、本実施形態の走査光学装置10においては、fθレンズ6が、入射側のレンズ面L1の第1光軸A1と出射側のレンズ面L2の第2光軸A2が主走査面内でなす角をβ2[deg]、第1光軸A1が基準出射線DLに対して主走査面内でなす角をβ1[deg]、第2光軸A2と出射側のレンズ面L2の交点O2が第1光軸A1に対して主走査面内でシフトするシフト量をD2[mm]として、
−0.6<β2≦−0.1 ・・・(2)
を満足するとともに、
−0.5<β1<0 ・・・(3)
および
−0.1<D2<0.2 ・・・(4)
の少なくとも一方を満足している。なお、β1、β2のプラスの方向は、図1における時計回りの方向(基準出射線DLから半導体レーザ1に向かって回る方向)であり、D1,D2のプラスの方向は、図1における上方向(基準出射線DLに直交し、半導体レーザ1がある側とは反対の方向)である。
そして、より良好な画像を露光するためには、前記(3)式と(4)式の両方を満足しているのが望ましい。
また、さらに良好な画像を露光するためには、第1光軸A1と入射側のレンズ面L1の交点O1が基準出射線DLに対して主走査面内でシフトするシフト量をD1[mm]として、
−0.7<D1<0 ・・・(6)
を満足することが望ましい。
そして、走査開始端におけるポリゴンミラー5で偏向された光束と基準出射線DLとがなす角をθsosとしたとき、走査開始端において光束がレンズ面L2から出射する点と、走査終了端において光束がレンズ面L2から出射する点との距離は、θsosとθeosの取り方によって変化する。そのため、θsosとθeosの大きさを異ならせ、
|θsos|>|θeos| ・・・(7)
を満たすようにすることによって、fθレンズ6の主走査方向の大きさを小さくでき、コンパクト化を図ることができる。
また、fθレンズ6のレンズ面L1,L2の主走査面内の近軸曲率半径を、ポリゴンミラー5の側から順にR1,R2としたとき、R1およびR2が、0<R1,0<R2を満足している。言い換えると、レンズ面L1が交点O1で主走査面内においてポリゴンミラー5側に凸であり、レンズ面L2が交点O2でポリゴンミラー5側に主走査面内において凸(レンズ表面の形状としては凹)となっている。
このような条件を満たすことによって、fθレンズ6の主走査方向の端部の厚み(レンズ面L1とレンズ面L2の距離)を大きくすることができ、fθレンズ6の製造が容易になる。
次に、本発明において、像面湾曲が小さく良好な画像を露光するためのシフト量D1,D2、チルト量β1,β2の範囲を確認した実施例について説明する。
実施例においては、fθレンズ6の一対のレンズ面L1,L2を共にトーリック面とした。実施例に係る走査光学装置10のfθレンズ6の主走査方向のレンズ面形状を表す多項式は、fθレンズ6のレンズ面L1,L2と光軸A1,A2との交点を原点とし、光軸方向をz軸、主走査面内において光軸と直交する軸をy軸としたとき、主走査方向と対応する母線方向が、
Figure 0005195830
なる式で表わされる。ここで、cy,cc,A4、・・・、A12は定数である。
また、fθレンズ6のレンズ面L1(入射面)およびレンズ面L2(出射面)は、副走査方向と対応する子線方向が、
Figure 0005195830
なる式で表わされるものである。
ここで、レンズ面L1,L2の座標yにおける副走査方向の曲率半径r′は、光軸上の副走査方向の曲率半径の逆数をcxとして
r′=1/cx(1+B22+B44+B66+B88+B1010+B1212
・・・(10)
なる式で表わされる。ここで、cx,B2、・・・、B12は定数である。
上記の(8)〜(10)式で表されるレンズにおいて、実施例1〜7、比較例1〜3の光学系の諸特性およびレンズの各定数は、図4〜13に示す通りである。
実施例2〜4,6,7、比較例1,3においては、レンズシフト量D1、レンズチルト量β1、レンズ面L2のシフト量D2、レンズ面L2のチルト量β2の一部の値を0に拘束するか否かを設定した上で、ORA社CODE VやZEMAX社ZEMAXにより、主方向、副方向の像面湾曲、fθ特性、リニアリティ特性が良好となるように設計したものである。また、実施例1においては、レンズシフト量D1、レンズチルト量β1、レンズ面L2のシフト量D2、レンズ面L2のチルト量β2のすべてを自由にして、設計をした。
また、実施例5においては、レンズ面L2のチルト量β2を−0.100に拘束した上で同様の設計を行い、比較例2においては、レンズ面L2のチルト量β2を−0.050に拘束した上で同様の設計を行ったものである。
なお、何れの実施例、比較例においても、ポリゴンミラー5の内接円の半径R=12.99mm、ミラーの面数N=6とした。また、h=9.8mm、θbd=−0.78125rad、θeos=0.68750radとした。
このとき、bbd=5.625mm、beos=2.788mmであり、(1)式は

R(sin((α-θbd)/2)-cos((α-θbd)/2)×tan(π/N))+(bbd/2)×cos((α-θbd)/2)
=9.337<h

R(sin((α-θeos)/2)+cos((α-θeos)/2)×tan(π/N))-(beos/2)×cos((α-θeos)/2)
=10.234>h

となり、hは(1)式を満たす。
上記の設計の結果、得られた光学系の像面湾曲、fθ特性およびリニアリティ特性を図示したグラフが、図14〜図23であり、これらの特性のPV値(Peak to Valley:山と谷の値の差)と、各実施例および比較例のレンズシフト量D1、レンズチルト量β1、レンズ面L2のシフト量D2、レンズ面L2のチルト量β2の値をまとめたのが図24である。
図24に示すように、実施例1〜7においては、前記した(1)式を満たすhにより、サグが基準出射線DLに対して比較的非対称になるが、D1,D2,β1,β2を適切に与えることにより、この非対称性によって発生する像面湾曲、fθ特性、リニアリティ特性の光学特性を補正することができ、主像面湾曲および副像面湾曲のPV値がいずれも3mm以内に収めることができた。ちなみに、特許文献1における実施例1〜4(同文献の図2〜図7を参照)では、いずれも像面湾曲のPV値が3mmを大きく超えていることからも、本実施例の光学性能が優れていることが理解されるはずである。
比較例1のように、β2を0に拘束した場合には、設計を行っても像面湾曲PVが3mmを超えてしまい、良好な性能が得られないことから、β2は、実施例1〜7で確認したように、−0.6<β2<0の範囲でチルトを与えることが良いことが分かった。
そして、比較例3のようにβ1とD2を同時に0に拘束した場合には、主像面湾曲PVが3mmを超えてしまい、良好な性能が得られないことから、β1とD2に関しては、少なくとも一方に自由度を与えて、−0.5<β1<0、―0.1<D2<0.2の範囲でチルトまたはシフトを与えることが良いことが分かった。
また、シフト量D1を与えるか否かは任意であるが、実施例1のようにD1にも自由度を与えて設計を行えば、最も良好な性能が得られることから、−0.7<D1<0の範囲でシフトを与えた方が望ましいことが分かった。
以上に本発明の実施形態について説明したが、本発明は、本発明の趣旨に反しない限り前記した実施形態には限定されないことは当然である。例えば、ポリゴンミラーの面数は6面である場合に限られず、4面であっても構わない。4面の場合の方が、hの値が6面と同じである場合に反射面が広いのでケラレが発生しにくく(1)式を満たすのは容易であり、反射面とポリゴンミラーの回転中心との関係(反射面が回転中心回りに回ること)自体は、6面の場合と同様であるので、D1,D2,β1,β2の値に影響は無いといえる。したがって、4面のポリゴンミラーにおいても同様の結果を得ることができる。
1 半導体レーザ
2 コリメートレンズ
4 シリンドリカルレンズ
5 ポリゴンミラー
5A ミラー面
5B 回転軸
6 fθレンズ
7 ミラー
8 検出素子
9 感光体ドラム
9A 被走査面
10 走査光学装置
14 入射光学系
A1 第1光軸
A2 第2光軸
DL 基準出射線
L1 レンズ面
L2 レンズ面
bd 同期検出光路

Claims (5)

  1. 光源と、前記光源から出射した光を光束に変換する第1の光学素子と、前記第1の光学素子を通過した光束を主走査方向に長手の線状に結像させる第2の光学素子と、前記第2の光学素子を通過した光束を主走査方向に偏向するポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーで偏向された光束を被走査面上にスポット状に結像させる第3の光学素子とを備える走査光学装置であって、
    前記第3の光学素子は対向する一対のレンズ面を有する単レンズよりなり、それぞれ、主走査方向に非球面形状で、副走査方向の曲率が、光軸の軸上から主走査方向の外側に向かって連続的かつ対称に変化し、レンズ面形状が、主走査方向について光軸を含む副走査面に関し対称であり、
    前記第3の光学素子の光軸を挟んで前記光源とは反対側に走査開始位置の同期を取るための検出素子に光束を導くための同期検出光路を有し、
    前記ポリゴンミラーの内接円の半径をR、前記ポリゴンミラーのミラー面数をN、前記ポリゴンミラーにより偏向された光束が前記被走査面と直交するときに前記ポリゴンミラーから出射する方向である基準出射線と前記ポリゴンミラーへ入射する光束とがなす角をα[rad]、光束が前記ポリゴンミラーにより偏向されて前記同期検出光路へ向かう方向と前記基準出射線とがなす角をθbd[rad]、走査終了端における前記ポリゴンミラーで偏向された光束と前記基準出射線とがなす角をθeos[rad]、前記ポリゴンミラーの回転中心と前記ポリゴンミラーに入射する光束の中心との距離をh、前記ポリゴンミラーのミラー面上での主走査方向の光束幅を走査終了端と同期検出光路へ向かうときとでそれぞれbeos,bbdとするとき、hは、
    R(sin((α-θbd)/2)-cos((α-θbd)/2)×tan(π/N))+(bbd/2)×cos((α-θbd)/2)<h
    および
    h<R(sin((α-θeos)/2)+cos((α-θeos)/2)×tan(π/N))-(beos/2)×cos((α-θeos)/2)
    を満足し、
    前記第3の光学素子は、入射側のレンズ面の第1光軸と出射側のレンズ面の第2光軸が主走査面内でなす角をβ2[deg]、前記第1光軸が前記基準出射線に対して主走査面内でなす角をβ1[deg]、前記第2光軸と前記出射側のレンズ面の交点が前記第1光軸に対して主走査面内でシフトするシフト量をD2[mm]として、
    −0.6<β2≦−0.1
    を満足するとともに、
    −0.5<β1<0
    および
    −0.1<D2<0.2
    の少なくとも一方を満足することを特徴とする走査光学装置。
  2. β1が、
    −0.5<β1<0
    を満足するとともに、D2が
    −0.1<D2<0.2
    を満足することを特徴とする請求項1に記載の走査光学装置。
  3. 前記第1光軸と前記入射側のレンズ面の交点が前記基準出射線に対して主走査面内でシフトするシフト量をD1[mm]として、
    −0.7<D1<0
    を満足することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の走査光学装置。
  4. 走査開始端における前記ポリゴンミラーで偏向された光束と前記基準出射線とがなす角をθsosとして、
    |θsos|>|θeos
    を満足することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の走査光学装置。
  5. 前記第3の光学素子の前記レンズ面の主走査面内の近軸曲率半径を、前記ポリゴンミラーの側から順にR1,R2としたとき、R1およびR2が、
    0<R1,0<R2 を満足することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の走査光学装置。
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