JP2017219850A5 - - Google Patents

Claims (24)

1. 以下の成分：
   （Ａ）ポリイミド前駆体であるポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリアミド酸塩及びポリアミド酸アミドから成る群より選ばれる少なくとも１種の樹脂；
   （Ｂ）感光剤；並びに
   （Ｃ）多官能（メタ）アクリレート及び分子量１０００未満の低分子量イミド化合物から成る群より選ばれる少なくとも１種；
   を含む感光性樹脂組成物。
2. 前記（Ｃ）成分が、イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートから成る群から選択される少なくとも１つである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
3. 前記（Ａ）成分が、下記一般式（Ａ１）：
   

   

   ｛式中、Ｘ_１は、４価の有機基であり、Ｙ_１は、２価の有機基であり、ｌは、２〜１５０の整数であり、Ｒ_１及びＲ_２は、それぞれ独立に、水素原子、又はラジカル重合可能な１価の有機基である。但し、Ｒ_１及びＲ_２の両者が同時に水素原子であることはない。｝
   で表されるポリイミド前駆体である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
4. 前記（Ａ）成分が、下記一般式（Ａ２）：
   

   

   ｛式中、Ｘ_２は、４価の有機基であり、Ｙ^２は、２価の有機基であり、ｎは、２〜１５０の整数であり、Ｒ_６及びＲ_７は、それぞれ独立に、水素原子、下記一般式（Ａ３）：
   

   

   （式中、Ｒ_８、Ｒ_９及びＲ_１０は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜３の有機基であり、そしてｐは、２〜１０の整数である。）
   で表される１価の有機基、又は炭素数１〜４の飽和脂肪族基である。但し、Ｒ_６及びＲ_７の両者が同時に水素原子であることはない。｝
   で表されるポリイミド前駆体である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
5. 前記一般式（Ａ２）中のＸ _２ が、下記式：
   

   

   で表される４価の有機基のいずれかであり、かつＹ ^２ が、下記式：
   

   

   

   ｛式中、Ａは、メチル基（−ＣＨ _３ ）、エチル基（−Ｃ _２ Ｈ _５ ）、プロピル基（−Ｃ _３ Ｈ _７ ）又はブチル基（−Ｃ _４ Ｈ _９ ）を表す。｝
   で表される２価の有機基のいずれかである、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
6. 前記一般式（Ａ２）中のＸ _２ が、
   

   

   である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
7. 前記一般式（Ａ２）中のＹ ^２ が、
   

   

   である、請求項６に記載に記載の感光性樹脂組成物。
8. 前記一般式（Ａ２）中のＸ _２ が、
   

   

   である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
9. 前記一般式（Ａ２）中のＹ ^２ が、
   

   

   である、請求項８に記載の感光性樹脂組成物。
10. 前記一般式（Ａ２）中のＹ ^２ が、
    

    

    である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
11. 前記（Ｃ）成分が、イソシアヌル酸トリアクリレートである、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
12. 前記（Ｂ）成分が、オキシム系光重合開始剤である、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
13. 前記（Ｂ）成分が、下記（Ｂ１）及び（Ｂ２）：
    （Ｂ１）０．００１ｗｔ％溶液のｉ線吸光度が０．１５〜０．５であり、かつ０．００１ｗｔ％溶液のｇ線吸光度及びｈ線吸光度が０．２以下である、オキシムエステル化合物；及び
    （Ｂ２）０．００１ｗｔ％溶液のｉ線吸光度が０．１以下であり、かつ０．００１ｗｔ％溶液のｇ線吸光度又はｈ線吸光度が０．０５以上である、オキシムエステル化合物；
    のうちの少なくとも一方を含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
14. 前記（Ｂ１）成分の０．００１ｗｔ％溶液のｉ線吸光度が、０．１５〜０．３５である、請求項１３に記載の感光性樹脂組成物。
15. 前記（Ｂ１）成分が、下記一般式（Ｂ１１）及び（Ｂ１２）：
    

    

    ｛式中、Ｒ_１４はＣ_１〜Ｃ_１０のフッ素含有アルキル基であり、Ｒ_１５、Ｒ_１６、及びＲ_１７は、それぞれ独立に、Ｃ_１〜Ｃ_２０のアルキル基、Ｃ_３〜Ｃ_２０のシクロアルキル基、Ｃ_６〜Ｃ_２０のアリール基、又はＣ_１〜Ｃ_２０のアルコキシ基であり、かつｒは０〜５の整数である。｝
    

    

    ｛式中、Ｒ_１８はＣ_１〜Ｃ_３０の２価の有機基であり、Ｒ_１９〜Ｒ_２６は、それぞれ独立に、Ｃ_１〜Ｃ_２０のアルキル基、Ｃ_３〜Ｃ_２０のシクロアルキル基、Ｃ_６〜Ｃ_２０のアリール基、又はＣ_１〜Ｃ_２０のアルコキシ基であり、かつｓは０〜３の整数である。｝
    で表されるオキシムエステル化合物から成る群より選択される少なくとも１種を含む、請求項１３又は１４に記載の感光性樹脂組成物。
16. 上記（Ａ）〜（Ｃ）成分に加えて、
    下記一般式（Ｄ１）：
    

    

    ｛式中、Ｒ_２７及びＲ_２８はＣ_１〜Ｃ_４のアルキル基であり、Ｒ_２９はＣ_１〜Ｃ_６の２価の有機基であり、Ｒ_３０は、窒素、酸素、及びイオウから成る群より選ばれる原子によってカルボニル基と結合するＣ_１〜Ｃ_２０の有機基であり、ｔは１、２、及び３から選ばれる整数であり、ｕは０、１、及び２から選ばれる整数であり、かつｔ及びｕは、ｔ＋ｕ＝３の関係を満たす。｝
    で表されるシリコン含有化合物を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
17. 前記一般式（Ｄ１）で表されるシリコン含有化合物に加えて、下記一般式（Ｄ２）：
    

    

    ｛式中、Ｒ_３１及びＲ_３２はＣ_１〜Ｃ_４のアルキル基であり、Ｒ_３３はＣ_１〜Ｃ_６の２価の有機基であり、ｖは１、２、及び３から選ばれる整数であり、ｗは０、１、及び２から選ばれる整数であり、かつｖ及びｗは、ｖ＋ｗ＝３の関係を満たす。｝
    で表されるシリコン含有化合物を更に含む、請求項１６に記載の感光性樹脂組成物。
18. 上記（Ａ）〜（Ｃ）成分に加えて、
    （Ｅ）下記一般式（Ｅ１）：
    

    

    ｛式中、Ｒ_３４はＣ_１〜Ｃ_２０の有機基もしくはシリコン含有有機基であり、かつＲ_３５は、窒素、酸素、及びイオウから成る群より選ばれる原子によってチオカルボニル基と結合するＣ_１〜Ｃ_２０の有機基である。｝
    で表されるイオウ含有化合物を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
19. 前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
    前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；及び
    前記（Ｃ）成分１〜４０質量部；
    を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
20. 前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
    前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；及び
    前記（Ｃ）成分１０〜３５質量部；
    を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
21. 前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
    前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
    前記（Ｃ）成分１〜４０質量部；及び
    前記式（Ｄ１）で表されるシリコン含有化合物０．１〜２０質量部；
    を含む、請求項１６又は１７に記載の感光性樹脂組成物。
22. 前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
    前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
    前記（Ｃ）成分１０〜３５質量部；及び
    前記式（Ｄ１）で表されるシリコン含有化合物０．１〜２０質量部；
    を含む、請求項１６又は１７に記載の感光性樹脂組成物。
23. 前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
    前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
    前記（Ｃ）成分１〜４０質量部；及び
    前記（Ｅ）成分０．１〜２０質量部；
    を含む、請求項１８に記載の感光性樹脂組成物。
24. 前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
    前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
    前記（Ｃ）成分１０〜３５質量部；及び
    前記（Ｅ）成分０．１〜２０質量部；
    を含む、請求項１８に記載の感光性樹脂組成物。