JP2015062072A5

JP2015062072A5 -

Info

Publication number: JP2015062072A5
Application number: JP2014220794A
Authority: JP
Filing date: 2014-10-29
Publication date: 2015-05-14

Claims

（Ａ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する樹脂と、
（Ｄ）酸発生剤と、
（Ｅ）下記一般式（８）で表される光崩壊性塩基と、を含有する感放射線性樹脂組成物。

（前記一般式（１）中、Ｒ^１は、水素又はメチル基を示し、複数のＲ^２は、相互に独立して、炭素数４〜２０の１価の脂環式炭化水素基若しくはその誘導体、又は炭素数１〜４の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基を示す。また、（ｉ）Ｒ^２の少なくとも１つが、炭素数４〜２０の１価の脂環式炭化水素基若しくはその誘導体であるか、或いは（ｉｉ）いずれか２つのＲ^２が、相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子を含む炭素数４〜２０の２価の脂環式炭化水素基若しくはその誘導体を形成するとともに、残りのＲ^２が、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、又は炭素数４〜２０の１価の脂環式炭化水素基若しくはその誘導体である。）

（前記一般式（８）中、Ｒ^１８〜Ｒ^２０は、相互に独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシル基、ヒドロキシル基、又はハロゲン原子を示す。また、Ｚ⁻は、１０−カンファースルホネートアニオンを示す。）
前記（Ｅ）光崩壊性塩基が、トリフェニルスルホニウム１０−カンファースルホネートである請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物。
前記（Ｄ）酸発生剤が、下記一般式（６）で表される構造を有する請求項１又は２に記載の感放射線性樹脂組成物。

（前記一般式（６）中、Ｒ^１５は、水素原子、フッ素原子、水酸基、炭素原子数１〜１０の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、炭素原子数１〜１０の直鎖状若しくは分岐状のアルコキシル基、又は炭素原子数２〜１１の直鎖状若しくは分岐状のアルコキシカルボニル基を示す。また、Ｒ^１３は、炭素原子数１〜１０の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基又はアルコキシル基、或いは炭素原子数１〜１０の直鎖状、分岐状、又は環状のアルカンスルホニル基を示す。Ｒ^１４は、相互に独立して、炭素原子数１〜１０の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、置換されていてもよいフェニル基、又は置換されていてもよいナフチル基であるか、或いは二つのＲ^１４が互いに結合して炭素原子数２〜１０の２価の基を形成していてもよい。なお、形成される２価の基は置換されていてもよい。ｋは０〜２の整数であり、Ｘ⁻は、一般式：Ｒ^１６Ｃ_ｎＦ_２ｎＳＯ_３ ⁻（式中、Ｒ^１６は、フッ素原子又は置換されていてもよい炭素原子数１〜１２の炭化水素基を示し、ｎは１〜１０の整数である）で表されるアニオンを示し、ｑは０〜１０の整数である。）
（Ｆ）溶剤を更に含有し、
前記（Ｆ）溶剤は、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２−ヘプタノン、及びシクロヘキサノンからなる群より選択される少なくとも一種である溶剤（１）と、
直鎖状又は分岐状のケトン類、環状のケトン類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、２−ヒドロキシプロピオン酸アルキル類、３−アルコキシプロピオン酸アルキル類、γ−ブチロラクトンからなる群より選択される少なくとも一種である、前記溶剤（１）以外の溶剤と、
を含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の感放射線性樹脂組成物。