JP2014215549A5

JP2014215549A5 -

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Publication number: JP2014215549A5
Application number: JP2013094564A
Authority: JP
Filing date: 2013-04-26
Publication date: 2015-12-10

Claims

少なくとも２種の光酸発生剤（Ａ）、及び、酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂（Ｂ）を含有し、
前記光酸発生剤が、一般式（Ａ−１）で表される光酸発生剤、及び、一般式（Ａ−２）で表される光酸発生剤を少なくとも含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

（一般式（Ａ−１）中のＡ¹及び一般式（Ａ−２）中のＡ²は、一般式（Ｂ−１）で表されるアニオン及び一般式（Ｂ−２）で表されるアニオンからなる群から選択され、Ａ¹及びＡ²の少なくとも一方は、前記一般式（Ｂ−１）で表されるアニオンを表す。
一般式（Ａ−１）中、Ｚ¹は一般式（Ｃ−１）〜（Ｃ−３）で表されるカチオンのうちいずれか一つであり、一般式（Ａ−２）中、Ｚ²は一般式（Ｃ−１）〜（Ｃ−３）で表されるカチオンのうちいずれか一つであり、かつ、前記Ｚ¹とは異なる。）

（一般式（Ｂ−１）中、Ｑ¹及びＱ²は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子又は有機基を表し、少なくとも一方はフッ素原子、又は、少なくとも１つのフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。ｐは、１〜３の整数を表す。ｑは、２〜８の整数を表す。Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、水素原子又は有機基を表す。Ｌ¹は、単結合、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、又はＯＣＯ−を表す。Ｌ²は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｙは、置換基を有してもよい炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
一般式（Ｂ−２）中、Ｑ^1’及びＱ^2’は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子又は有機基を表し、少なくとも一方はフッ素原子、又は、少なくとも１つのフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。ｐ’は、１以上の整数を表す。ｑ’は、０または１を表す。Ｒ^1’及びＲ^2’は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、アルキル基、又は、少なくとも１つのフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。Ｌ’は、単結合、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、又はＯＣＯ−を表す。Ｌ’’は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｙ’は、脂環式炭化水素基又は非芳香族ヘテロ環基を表す。

（一般式（Ｃ−１）中、Ｒ³〜Ｒ⁹は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子又は有機基を表す。なお、Ｒ³〜Ｒ⁹のうち少なくとも一つは水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子又は有機基を表す。Ｒ¹⁰及びＲ¹¹は、それぞれ独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基、２−オキソアルキル基、２−オキソシクロアルキル基、アルコキシカルボニルアルキル基、又は、アルコキシカルボニルシクロアルキル基を表す。また、Ｒ³〜Ｒ⁷のうち任意の２つは、互いに結合して環を形成してもよい。また、Ｒ⁸とＲ⁹、又は、Ｒ¹⁰とＲ¹¹は、それぞれ互いに結合して環を形成してもよい。）

（一般式（Ｃ−２）中、Ｒ¹²及びＲ¹³は、それぞれ独立に、アルキル基、シクロアルキル基又はナフチル基を表す。Ｒ¹⁴は、水素原子、フッ素原子、水酸基、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、単環もしくは多環のシクロアルキル骨格を有する基、又は、アルキレンオキシド鎖を表す。Ｒ¹⁵は、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子又は有機基を表す。ｒは、０〜２の整数を表す。ｍ１５は、０〜８の整数を表す。なお、Ｒ¹²とＲ¹³は、互いに結合して環を形成してもよい。）

（一般式（Ｃ−３）中、Ｒ¹⁶〜Ｒ¹⁸は、それぞれ独立に水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子又は有機基を表す。ｍ１６〜ｍ１８は、それぞれ独立に、０〜５の整数を表す。なお、Ｒ¹⁶〜Ｒ¹⁸のうち任意の２つは、互いに結合して環を形成してもよい。）