JP2018197343A5 - - Google Patents

Description

表３の結果からわかるように、それぞれオキシムエステル化合物またはα―ケトオキシムエステル化合物を含有する本発明の感光性組成物は、密着性と耐アルカリ性に優れており、膜形成時に白化を起こさなかった。特に、それぞれα―ケトオキシムエステル開始剤を使用した実施例３〜５の感光性樹脂組成物は、３０〜５５ｍＪ／ｃｍ2という低い露光量で光を照射したときにパターン化でき、非常に高い感度を示した。加えて、それぞれオキシムエステル化合物またはα―ケトオキシムエステル化合物を使用した高感度の感光性組成物は、硬化度が高く、基板への良好な密着性が確保され、塩基性水溶液への耐性が良好であった。さらに、本発明の感光性組成物で用いられるエチレン性不飽和結合を有する多官能性モノマーと結合剤との相溶性が高く、本発明による感光性組成物は有機溶剤に対する溶解性が高いことから、非常に均一な表面を有する膜が形成できた。
＜付記＞
＜項１＞下記式で表される光開始剤であって、

式中、
Ｒ ₂ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₆ アルキル基；Ｃ ₁ ―Ｃ ₃ アルキル基が任意で置換されるＣ ₆ ―Ｃ ₂₀ アリール基；または２―メチルベンジル基；


であり、
Ｒ ₃ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₁₀ 直鎖、分岐、または環状のアルキル基、Ｃ ₆ ―Ｃ ₂₀ アリール基、またはＣ ₄ ―Ｃ ₂₀ ヘテロアリール基であり、
Ｒ ₄ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₁₀ 直鎖、分岐、または環状のアルキル基、またはフェニル基であり、
Ｚが、―Ｈ、―Ｒ ₅ 、―ＯＲ ₅ 、―ＯＣ（Ｏ）Ｒ ₅ 、―Ｃ（Ｏ）ＯＲ ₅ 、または―ＯＣ（Ｏ）ＯＲ ₅ であり、
Ｒ ₅ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₆ 直鎖、分岐、または環状のアルキル、
であることを特徴とする光開始剤。
＜項２＞Ｒ ₃ が、チエニル、ナフチル、トリル、またはＣ ₆ ―Ｃ ₂₀ アリール基であり、Ｃ ₆ ―Ｃ ₂₀ アリール基において、アリール基が任意選択で、フルオロ基、フッ素化アルキル基、またはフッ素化アルコキシ基で置換される ＜項１＞に記載の光開始剤。
＜項３＞Ｒ ₃ が、チエニル、ナフチル、トリル、

である＜項１＞に記載の光開始剤。
＜項４＞ Ｒ ₂ が、メチル、トリル、２―メチルベンジル、または

であり、
Ｒ ₄ が、メチルまたはフェニルであり、Ｚが、―ＯＲ ₅ または―ＯＣ（Ｏ）Ｒ ₅ である
＜項１＞に記載の光開始剤。
＜項５＞ ＜項１＞ないし＜項４＞のいずれかに記載の光開始剤を含む
ことを特徴とする感光性樹脂組成物。
＜項６＞ 下記式で表される光開始剤であって、

式中、
Ｒ ₂ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₆ アルキル基；Ｃ ₁ ―Ｃ ₃ アルキル基が任意で置換されるＣ ₆ ―Ｃ ₂₀ アリール基；または２―メチルベンジル基；

であり、
Ｒ ₃ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₁₀ 直鎖、分岐、または環状のアルキル基、Ｃ ₆ ―Ｃ ₂₀ アリール基、またはＣ ₄ ―Ｃ ₂₀ ヘテロアリール基であり、
Ｒ ₄ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₁₀ 直鎖、分岐、または環状のアルキル基、またはフェニル基であり、
Ｚが、―Ｈ、―Ｒ ₅ 、―ＯＲ ₅ 、―ＯＣ（Ｏ）Ｒ ₅ 、―Ｃ（Ｏ）ＯＲ ₅ 、または―ＯＣ（Ｏ）ＯＲ ₅ であり、
Ｒ ₅ が、Ｃ ₁ ―Ｃ ₆ 直鎖、分岐、または環状のアルキル、

である ことを特徴とする光開始剤。
＜項７＞ Ｒ ₂ が、メチル、２―メチルベンジル、または

であり、 Ｒ ₃ が、ナフチル、

である＜項６＞に記載の光開始剤。
＜項８＞ ＜項６＞または＜項７＞に記載の光開始剤を含む ことを特徴とする感光性樹脂組成物。

Claims (3)

1. 下記式で表される光開始剤であって、
   
   式中、
   Ｒ₂が、Ｃ₁―Ｃ₆アルキル基；Ｃ₁―Ｃ₃アルキル基が任意で置換されるＣ₆―Ｃ₂₀アリール基；または２―メチルベンジル基；
   
   であり、
   Ｒ₃が、Ｃ₁―Ｃ₁₀直鎖、分岐、または環状のアルキル基、Ｃ₆―Ｃ₂₀アリール基、またはＣ₄―Ｃ₂₀ヘテロアリール基であり、
   Ｒ₄が、Ｃ₁―Ｃ₁₀直鎖、分岐、または環状のアルキル基、またはフェニル基であり、
   Ｚが、―Ｈ、―Ｒ₅、―ＯＲ₅、―ＯＣ（Ｏ）Ｒ₅、―Ｃ（Ｏ）ＯＲ₅、または―ＯＣ（Ｏ）ＯＲ₅であり、
   Ｒ₅が、Ｃ₁―Ｃ₆直鎖、分岐、または環状のアルキル、
   
   である ことを特徴とする光開始剤。
2. Ｒ₂が、メチル、２―メチルベンジル、または
   
   であり、
   Ｒ₃が、ナフチル、
   
   である
   請求項１に記載の光開始剤。
3. 請求項１または２に記載の光開始剤を含む
   ことを特徴とする感光性樹脂組成物。