JP2008107529A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- (a)下記一般式(1)で表される化合物を加水分解、縮合させることによって得られる共重合体であるポリシロキサン、(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤を含有する感光性シロキサン組成物。
- (a)ポリシロキサンが共重合体であり、該ポリシロキサンの少なくとも一部に化学的に結合したシリカ粒子を含んでいる請求項1または2記載の感光性シロキサン組成物。
- 請求項1〜3のいずれか記載の感光性シロキサン組成物から形成された硬化膜。
- 請求項4記載の硬化膜を具備する素子。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の感光性シロキサン組成物を基板上に塗布後、プリベークを行い、プリベーク後の膜にパターニング露光を行い、次いで0.4%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液または0.04%水酸化カリウム水溶液で現像を行うパターン形成方法。
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