JP2006018249A5

JP2006018249A5 -

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Publication number: JP2006018249A5
Application number: JP2005162359A
Authority: JP
Filing date: 2005-06-02
Publication date: 2008-07-17
Anticipated expiration: 2025-06-02

Claims

（ａ）一般式（１）で表される１種以上のポリシロキサンと一般式（２）で表されるオルガノシランとを混合、反応させることによって得られるシロキサンポリマーと、（ｂ）光により酸または塩基を発生する化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

（Ｒ^１、Ｒ^６は、それぞれ同じでも異なっていても良く、水素、炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基、炭素数１〜６のアシル基、およびそれらが置換された有機基を表す。Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基およびそれらが置換された有機基を表す。ｍは１〜１０００の範囲である。）

（Ｒ^７は、同じでも異なっていてもよく、水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基およびそれらが置換された有機基を表す。Ｒ^８は、同じでも異なっていても良く、水素、炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基、炭素数１〜６のアシル基、およびそれらが置換された有機基を表す。ｎは０あるいは１である。）
一般式（１）で表されるポリシロキサンのシラン原子モル数１モルに対して、一般式（２）で表されるオルガノシランのシラン原子モル数が０．３〜５０モルであることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
シロキサンポリマー中のフェニル基含有率が５〜６０モル％であることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
（ｂ）がスルホンイミド化合物、イミノスルホネート化合物、スルホン化合物、スルホンベンゾトリアゾール化合物から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
さらに、（ｃ）光電子移動剤を含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
（ｃ）がアントラセン骨格を有する化合物であることを特徴とする請求項５記載の感光性樹脂組成物。
感光性樹脂組成物がネガ型であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか記載の感光性樹脂組成物。
感光性樹脂組成物がポジ型であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか記載の感光性樹脂組成物。
請求項７記載の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥、露光し、露光部分が光酸発生剤または光塩基発生剤により発生した酸または塩基により硬化反応を起こし、実質的に現像液に不溶となり、未露光部を現像液で溶解して得られるパターン。
請求項１〜８のいずれか記載の感光性樹脂組成物から得られる樹脂膜であって、該樹脂膜が２００℃以上の熱処理後の鉛筆硬度が２Ｈ以上であることを特徴とする樹脂膜。
請求項１〜８のいずれか記載の感光性樹脂組成物から得られる樹脂膜であって、該樹脂膜が２００℃以上の熱処理後の膜厚３μｍでの透過率が９０％以上であることを特徴とする樹脂膜。
請求項１〜６のいずれか記載の感光性樹脂組成物を保護膜として用いたＴＦＴ基板。