JP2014160199A5 - - Google Patents
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Description
このようなポリシロキサン混合物は、例えば
（Ｉａ）プリベーク後の膜が、５重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に可溶であり、その溶解速度が３，０００Å／秒以下である第一のポリシロキサンと
（Ｉｂ）プリベーク後の膜の、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が１５０Å／秒以上であるポリシロキサンと
を含むものである。これらのポリシロキサンについて説明する。
（Ｉａ）プリベーク後の膜が、５重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に可溶であり、その溶解速度が３，０００Å／秒以下である第一のポリシロキサンと
（Ｉｂ）プリベーク後の膜の、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が１５０Å／秒以上であるポリシロキサンと
を含むものである。これらのポリシロキサンについて説明する。
Claims (9)
- ポリシロキサン、
放射線を照射することで酸を放出する芳香族イミド化合物、
および
溶剤
を含んでなることを特徴とする、ネガ型感光性シロキサン組成物。 - 前記ポリシロキサンが
（Ｉａ）プリベーク後の膜が、５重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に可溶であり、その溶解速度が３，０００Å／秒以下である第一のポリシロキサンと
（Ｉｂ）プリベーク後の膜の、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が１５０Å／秒以上であるポリシロキサンと
を含むものである、請求項１に記載のネガ型感光性シロキサン組成物。 - 前記芳香族イミド化合物が下記式（Ａ）で表される、請求項１または２に記載のネガ型感光性シロキサン化合物。
Ｒ１２はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１〜１０の脂肪族基、炭素数６〜１８の芳香族基であって、前記脂肪族基および芳香族基は、置換されていても非置換であってもよく、またヘテロ原子を含有していてもよく、
ｐはそれぞれ独立に０〜３の数を表し、ｐの総計は１以上であり、
ｐが２以上である時には、二つ以上のＲ１２が相互に連結して環状構造を形成してもよい。） - 前記芳香族イミド化合物が、４００〜４４０ｎｍのいずれかの波長における吸光係数が３６５ｎｍにおける吸光係数よりも高いものである、請求項１〜３に記載のいずれか１項に記載のネガ型感光性シロキサン化合物。
- ポリシロキサン１００重量部に対して０．００１〜１０重量部の前記芳香族イミド化合物を含んでなる、請求項１〜４のいずれか１項に記載のネガ型感光性シロキサン組成物。
- 密着増強剤、重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤、シランカップリング剤、安定剤、および光増感剤からなる群から選択される添加剤をさらに含んでなる、請求項１〜５のいずれか１項に記載のネガ型感光性シロキサン組成物。
- 請求項１〜６のいずれか１項に記載のネガ型感光性シロキサン組成物を基板に塗布して塗膜を形成させ、塗膜を露光し、現像することを含んでなる、硬化膜の製造方法。
- 現像前に、露光後加熱工程を含まない、請求項７に記載の硬化膜の製造方法。
- 請求項１〜６のいずれか１項に記載のネガ型感光性シロキサン組成物を基板に塗布して塗膜を形成させ、塗膜を露光し、現像し、硬化させることを含んでなる、素子の製造方法。
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