JP2006276598A5 - - Google Patents
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- 125000005373 siloxane group Chemical group [SiH2](O*)* 0.000 claims 14
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 6
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- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium group Chemical group [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims 1
Claims (9)
- （ａ）シロキサンポリマー、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）シロキサンポリマーの架橋促進剤、（ｄ）溶剤を含有し、（ａ）シロキサンポリマー中のフェニル基の含有率がＳｉ原子に対して５〜６０モル％であることを特徴とする感光性シロキサン組成物。
- （ｃ）シロキサンポリマーの架橋促進剤が熱または光により酸を発生する化合物であることを特徴とする請求項１記載の感光性シロキサン組成物。
- （ｃ）シロキサンポリマーの架橋促進剤が熱または光により塩基を発生する化合物であることを特徴とする請求項１記載の感光性シロキサン組成物。
- （ｃ）シロキサンポリマーの架橋促進剤がスルホニウム塩、スルホンイミド化合物であることを特徴とする請求項１記載の感光性シロキサン組成物。
- さらに増感剤を含有することを特徴とする請求項１記載のポジ型感光性シロキサン組成物。
- 増感剤が熱処理により気化する、および／または光照射によって退色することを特徴とする請求項５記載の感光性シロキサン組成物。
- 増感剤がアントラセン系化合物であることを特徴とする請求項５記載の感光性シロキサン組成物。
- 請求項１〜７のいずれか記載の感光性シロキサン組成物から形成された硬化膜。
- 請求項８記載の硬化膜を具備する素子。
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