JP2007122029A5

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Publication number: JP2007122029A5
Application number: JP2006260155A
Authority: JP
Filing date: 2006-09-26
Publication date: 2009-11-12
Anticipated expiration: 2026-09-26

Claims

（ａ）アルコール性水酸基を含有するポリシロキサン、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）溶剤、（ｄ）架橋性化合物を含有し、（ｄ）架橋性化合物がポリシロキサン中のアルコール性水酸基と反応することで、ポリシロキサンが架橋する化合物である感光性シロキサン組成物。
（ａ）アルコール性水酸基を含有するポリシロキサンが、一般式（１）で表されるオルガノシランの１種以上を少なくとも含むモノマーを反応させることによって合成されるポリシロキサンである請求項１記載の感光性シロキサン組成物。

（式中、Ｒ^１はアルコール性水酸基、エポキシ構造、またはオキセタン構造を有する炭素数１〜１５の有機基を表し、複数のＲ^１はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。Ｒ^２は水素、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数２〜１０のアルケニル基、炭素数６〜１５のアリール基のいずれかを表し、複数のＲ^２はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。Ｒ^３は水素、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数６〜１５のアリール基のいずれかを表し、複数のＲ^３はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。ｎは１から３の整数、ｍは０から２の整数を表す。ただし、ｎ＋ｍは１から３の整数である。）
（ｄ）架橋性化合物が、カルボキシル基、酸無水物構造、エポキシ構造、オキセタン構造の群から選択される構造を２個以上有する化合物である請求項１または２記載の感光性シロキサン組成物。
（ｄ）架橋性化合物が、カルボキシル基を有する（メタ）アクリルモノマーであり、さらに熱ラジカル発生剤を含む請求項１または２記載の感光性シロキサン組成物。
請求項１〜４のいずれか記載の感光性シロキサン組成物から形成された硬化膜。
請求項５記載の硬化膜を具備する素子。