JP2010285403A5 -

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ビニルオキシ基を少なくとも２つ有するアントラセン化合物及び／又はナフタレン化合物を含有し、
前記アントラセン化合物及び／又はナフタレン化合物は下記式（１）：

［式中、Ａは少なくとも１つの水素原子がフェニル基で置換されていてもよいアントラセン環又はナフタレン環を表し、Ｘは炭素原子数１乃至４のアルキレン基、炭素原子数１乃至４のオキシアルキレン基、カルボニル基又は−ＣＯＯ−（ＣＨ _２） _ｍ −基（ｍは１乃至４の整数）を表し、ｎは２乃至６の整数を表す。］
で表される架橋剤。
請求項１に記載の架橋剤、ポリマー及び有機溶剤を含むリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。
請求項１に記載の架橋剤、主鎖又は側鎖にアントラセン環、ナフタレン環のいずれも有しないポリマー、及び有機溶剤を含むリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。
さらに光酸発生剤を含む請求項２又は請求項３に記載のリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。
さらにアミンを含む請求項４に記載のリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。