JP2010164933A5 - 化学増幅型レジスト組成物 - Google Patents

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  1. 少なくとも、下記一般式（１）で示されるカルボキシル基を有するアミン化合物の１種又は２種以上を含有するものであることを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。
    Figure 2010164933
     （式中、Ｒ １ 、Ｒ ２ はそれぞれ炭素数２〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜２０のアラルキル基、炭素数２〜１０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜１０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜１０のアシルオキシアルキル基、炭素数１〜１０のアルキルチオアルキル基のいずれかである。またＲ １ とＲ ２ が結合して環構造を形成してもよい。Ｒ ３ は、水素、炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜２０のアラルキル基、炭素数２〜１０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜１０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜１０のアシルオキシアルキル基、炭素数１〜１０のアルキルチオアルキル基、ハロゲン基のいずれかである。Ｒ ４ は炭素数０〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキレン基、炭素数６〜２０のアリーレン基である。）
  2. 更に、下記一般式（４）で示されるアミン化合物の１種又は２種以上を含有するものであることを特徴とする請求項１に記載の化学増幅型レジスト組成物。
    Figure 2010164933
     （式中、Ｒ ７ 、Ｒ ８ 、Ｒ ９ は、それぞれ水素原子、炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜２０のアラルキル基、炭素数２〜１０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜１０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜１０のアシルオキシアルキル基、炭素数１〜１０のアルキルチオアルキル基のいずれかである。またＲ ７、 Ｒ ８、 Ｒ ９ の２個が結合して環構造もしくは芳香族環を形成してもよい。）
  3. 更に、下記一般式（５）で示されるアミンオキシド化合物の１種又は２種以上を含有するものであることを特徴とする請求項１に記載の化学増幅型レジスト組成物。
    Figure 2010164933
     （式中、Ｒ ７ 、Ｒ ８ 、Ｒ ９ は、それぞれ水素原子、炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜２０のアラルキル基、炭素数２〜１０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜１０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜１０のアシルオキシアルキル基、炭素数１〜１０のアルキルチオアルキル基のいずれかである。またＲ ７、 Ｒ ８、 Ｒ ９ の２個が結合して環構造もしくは芳香族環を形成してもよい。）
  4. 更に、主要成分として、
    （Ａ１）酸不安定基で保護された酸性官能基を有するアルカリ不溶性又は難溶性の樹脂であって、該酸不安定基が脱離したときにアルカリ可溶性となるベース樹脂
    （Ｂ）酸発生剤
    を含有するものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の化学増幅型レジスト組成物。
  5. 更に、主要成分として、
    （Ａ２）アルカリ可溶性であり、酸触媒によりアルカリ不溶性となるベース樹脂、及び／または、アルカリ可溶性であり、酸触媒により架橋剤と反応してアルカリ不溶性になるベース樹脂と架橋剤の組み合わせ
    （Ｂ）酸発生剤
    を含有するものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の化学増幅型レジスト組成物。
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