JP4950252B2 - ポジ型レジスト組成物およびパターン形成方法 - Google Patents
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Description
また、微細パターンを形成するため、レジストを100nm以下の膜厚で使用する場合、エッチング耐性に優れた材料でなければならない。
(A)酸不安定基で保護された酸性官能基を有するアルカリ不溶性又は難溶性の樹脂であって、該酸不安定基が脱離したときにアルカリ可溶性となるベース樹脂、
(B)酸発生剤、
(C)塩基性成分として窒素を含有する化合物、
を含有するレジスト組成物であって、前記ベース樹脂は、下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーであるか、下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含有すると共に、下記一般式(2)及び(3)で表される繰り返し単位を少なくとも1種以上含有するポリマーであり、更に、前記ベース樹脂を構成する全繰り返し単位中、下記一般式(1)、(2)及び(3)で表される繰り返し単位を合計で70モル%以上含有するものであることを特徴とするポジ型レジスト組成物を提供する。
1枚のフォトマスクは、それを用いて製造した半導体全ての性能に係るため、高解像性が要求され、また、エッチング加工においてもスパッタリングにより成膜された遷移金属を含有するケイ素化合物膜や遷移金属化合物膜、特にクロム化合物膜のような比較的エッチング速度の遅い膜のエッチングに用いられるため、高いエッチング耐性を要求される。そこで、本発明のようなレジストパターンの形成方法が有利に使用される。
前述のように、ポジ型化学増幅型レジスト用ポリマーとして、主にヒドロキシスチレン単位とその水酸基が酸不安定基で保護されたスチレン単位を繰り返し単位として含むベース樹脂を用い、アルカリ現像液に対して不溶性又は難溶性であるが、該酸不安定基が酸と反応した際に脱離したときにアルカリ可溶性とする方法は、最先端の紫外線によるリソグラフィー方法がArFにシフトした後も、電子線露光用や極短紫外線露光用のレジストポリマーとして用いられてきており、例えば特許文献3のように、電子線によるパターン露光で240nmのレジスト膜厚で80nmといった良好な形状を持つ微細なパターン形成に成功している。
なお、上記作業仮説は、本発明に至る経過を単に説明するものであり、本発明の権利範囲を限定するものではない。
(A)酸不安定基で保護された酸性官能基を有するアルカリ不溶性又は難溶性の樹脂であって、該酸不安定基が脱離したときにアルカリ可溶性となるベース樹脂、
(B)酸発生剤、
(C)塩基性成分として窒素を含有する化合物、
を含有するレジスト組成物であって、
前記ベース樹脂は、下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーであるか、下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含有すると共に、下記一般式(2)及び(3)で表される繰り返し単位を少なくとも1種以上含有するポリマーであり、更に、前記ベース樹脂を構成する全繰り返し単位中、下記一般式(1)、(2)及び(3)で表される繰り返し単位を合計で70モル%以上含有するものであることを特徴とする。
さらに、上記一般式(1)〜(3)のように、アセナフチレン骨格を有するものであれば、モノマーの使用量と共重合組成比との間に大きな乖離が生じることもなく、重合により得られるポリマーの分子量分散度を下げることの困難さもない。
上記ベース樹脂は、酸不安定基で保護された酸性官能基を持つ繰り返し単位として、上記一般式(2)で表されるアセナフチレン誘導体を含ませることにより、全ての構成単位を上記一般式(1)〜(3)で示されるようなアセナフチレン誘導体としても良いが、酸不安定基で保護された酸性官能基を持つ繰り返し単位として、解像性やパターン形状を調整するため、樹脂の剛直性をわずかに下げたい場合や、その他の反応性の調整を行う場合に、下記一般式(4)、(5)及び(6)で表される繰り返し単位のうち少なくとも1種以上を含有する樹脂であってもよい。
特に、上記一般式(2)の酸不安定基であるXがアセタール基であるものと組み合わせると、高い解像性が得られる。
上記一般式(9)及び(6’)で表される繰り返し単位は、上述の通り、R2の選択により、基板への密着性や現像液への溶解性を調整することができる。
例えば、基板への密着性や現像液への溶解性を高めるためには、芳香族に置換した保護されていない水酸基を持つ繰り返し単位、即ち上記一般式(1)並びにR2が水酸基である上記一般式(9)及び(6’)で表される繰り返し単位を、レジストが露光された場合に現像液に対する溶解性を変化させるためには、酸不安定基で保護された酸性官能基を有する繰り返し単位、即ち上記一般式(2)、(4)、(5)、(5−1)及び(6)で表される繰り返し単位を、ベース樹脂を構成する繰り返し単位として含有させれば良い。
質量平均分子量が1、000以上であればポジ型レジスト組成物の耐熱性が十分なものとなり、50,000以下であれば、現像後レジストパターンの解像性の低下や、あるいは欠陥を生じるということもない。
ここで、酸発生剤添加量と後述する塩基性成分(C)の添加量を同時に増加させることで感度の確保と解像性の向上が期待できる。一般に(B)成分である酸発生剤の添加量が20質量部以下であれば、効率的に感度向上効果が得られ、不経済となるおそれがない。また、0.4質量部以上であれば、要求感度を満たすために塩基性物質量を低く抑える必要がないため、形成されるレジストパターンの解像性が低下するおそれがない。
特に放射線照射用や電子線照射用のレジスト膜とする場合には、酸発生剤の添加によるレジスト膜中での照射線のエネルギー減衰が問題にならない一方、高感度が得難いため、酸発生剤の添加量はエキシマレーザー光を使用する場合に比べて高濃度に添加され、2.0〜20質量部程度加えられることが好ましい。
ただ、酸発生剤はカチオン部の構造により溶解禁止効果が大きく変化することがわかっているので、ポリマーの溶解性にあわせて酸発生剤の構造を選択することが好ましい。例えば、ベンゼン核にアルキル基を導入するとレジスト膜のアルカリ現像液に対する溶解性が低下することがわかっているので、酸発生剤によりレジスト膜のアルカリ溶解性を制御することが出来る。ポリマーの溶解速度が低い場合にはアルキル基が導入されたトリフェニルスルホニウム系の酸発生剤が有効である。
このような裾引きを発生し易い基板としては、TiN、SiN、SiON等の窒素化材料基板等があるが、特に表面が金属クロムや窒素および/または酸素を含有するクロム化合物の場合には極めて発生し易く、その解消に強い効果を示す。
また、炭素数6〜20のアリーレン基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基、テトラヒドロナフチレン基等を例示できるが、これらに限定されない。また、炭素数1〜20のアルキレン基としては、メチレン基、メチルメチン基、エチルメチン基、プロピルメチン基、イソプロピルメチン基、ブチルメチン基、sec−ブチルメチン基、イソブチルメチン基、1,2−エチレン基、1,2−プロピレン基、1,3−プロピレン基、1,2−ブチレン基、1,4−ブチレン基、1,2−ペンテン基、1,2−ヘキセン基、1,6−ヘキセン基や、1,2−シクロヘキセン基、1,4−シクロへキシレン基等が例示できるが、これらに限定されない。
本反応は酸化剤(m−クロロ過安息香酸)を用いたアミンの酸化反応であり、酸化反応の常法となる他の酸化剤を用いて反応を行うこともできる。反応後は、反応混合物を必要に応じて蒸留、クロマトグラフフィー、再結晶などの常法により精製することができる。
そこで、上記カルボキシル基を有し、かつ塩基性中心である窒素原子に共有結合で結合する水素を含有しないアミン化合物又はアミンオキシド化合物を、揮発性、塩基性度、酸の捕捉速度、レジスト中での拡散速度などの物性に従い、用いる(A)レジストポリマー及び(B)酸発生剤の組み合わせに応じて適当に調節することで、より好ましいパターン形状を得ることができるポジ型レジスト組成物を調整することができる。
また、弱塩基である2−キノリンカルボン酸やニコチン酸のような塩基性中心が芳香環に含まれる窒素であるアミン化合物又はアミンオキシド化合物以外の、塩基性中心である窒素原子に共有結合で結合する水素を含まない塩基性成分であれば、カルボキシル基が基板側にうまく配列され、発生酸が基板へ拡散して失活することを防止することができる。
これらの界面活性剤は単独あるいは2種以上の組み合わせで用いることができる。
[合成例1]
3Lのフラスコに5−アセトキアセナフチレン361.2g、アセナフチレン37.7g、溶媒としてトルエンを675g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、−70℃まで冷却し、減圧脱気、窒素フローを3回繰り返した。室温まで昇温後、重合開始剤として2,2´−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬製V−65)を34.7g加え、55℃まで昇温後、40時間反応を行った。この反応溶液にメタノール970gと水180gの混合溶液を攪拌中滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮し、このポリマー層にメタノール0.45L、テトラヒドロフラン0.54Lに再度溶解し、トリエチルアミン160g、水30gを加え、60℃に加温して40時間脱保護反応を行った。この脱保護反応溶液を減圧濃縮し、濃縮液にメタノール548gとアセトン112gを加え溶液化した。ここに攪拌中ヘキサンを990g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)にテトラヒドロフラン300gを加え、ここに攪拌中ヘキサンを1030g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮した。本ポリマー溶液を酢酸82gを用いて中和し、反応溶液を濃縮後、アセトン0.3Lに溶解し、上記と同様に水10Lに沈殿させ、濾過、乾燥を行い、ポリヒドロキシアセナフチレン、アセナフチレンの共重合体248gを得た。
1Lのフラスコにポリヒドロキシアセナフチレン、アセナフチレン共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、下記アセタール化剤−A:14.9gを1時間かけて滴下注入し、室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体54.0gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:アセナフチレン:5−メトキシイソブトキシアセナフチレン=74.9:10.7:14.4
重量平均分子量(Mw)=4900
分子量分布(Mw/Mn)=1.62
これを(Polymer−1)とする。
合成例1において、アセナフチレン37.7gに代えて、インデン75.9gを用い合成例1と同じ方法でポリヒドロキシアセナフチレン、インデンの共重合体240gを得た。
1Lのフラスコにポリヒドロキシアセナフチレン、インデンの共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、アセタール化剤−A:14.9gを1時間かけて滴下注入し、室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体54.0gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:インデン:5−メトキシイソブトキシアセナフチレン=74.3:9.9:15.8
重量平均分子量(Mw)=4800
分子量分布(Mw/Mn)=1.76
これを(Polymer−2)とする。
合成例1において、アセタール化剤−Aにかえて、下記アセタール化剤−Bを等モル用いて同様の方法でポリヒドロキシアセナフチレン、アセナフチレン共重合体をアセタール化した。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:アセナフチレン:5−トリシクロデカンオキシイソブトキシアセナフチレン=75.4:10.8:13.8
重量平均分子量(Mw)=4400
分子量分布(Mw/Mn)=1.68
これを(Polymer−3)とする。
合成例2において、アセタール化剤−Aにかえて、アセタール化剤−Bを等モル用いて同様の方法でポリヒドロキシアセナフチレン、インデン共重合体をアセタール化した。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:インデン:5−トリシクロデカンオキシイソブトキシアセナフチレン=75.4:10.8:13.8
重量平均分子量(Mw)=4500
分子量分布(Mw/Mn)=1.72
これを(Polymer−4)とする。
3Lのフラスコに5−アセトキアセナフチレン361.2g、アセナフチレン25.1g、p−アミロキシスチレン40.2g、溶媒としてトルエンを675g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、−70℃まで冷却し、減圧脱気、窒素フローを3回繰り返した。室温まで昇温後、重合開始剤として2,2´−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬製V−65)を34.7g加え、55℃まで昇温後、40時間反応を行った。この反応溶液にメタノール970gと水180gの混合溶液を攪拌中滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮し、このポリマー層にメタノール0.45L、テトラヒドロフラン0.54Lに再度溶解し、トリエチルアミン160g、水30gを加え、60℃に加温して40時間脱保護反応を行った。この脱保護反応溶液を減圧濃縮し、濃縮液にメタノール548gとアセトン112gを加え溶液化した。ここに攪拌中ヘキサンを990g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)にテトラヒドロフラン300gを加え、ここに攪拌中ヘキサンを1030g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮した。本ポリマー溶液を酢酸82gを用いて中和し、反応溶液を濃縮後、アセトン0.3Lに溶解し、上記と同様に水10Lに沈殿させ、濾過、乾燥を行い、ポリヒドロキシアセナフチレン、アセナフチレン、アミロキシスチレンの共重合体240gを得た。
1Lのフラスコにポリヒドロキシアセナフチレン、アセナフチレン、アミロキシスチレン共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、下記アセタール化剤−A:8.2gを1時間かけて滴下注入し、室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体53.0gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:アセナフチレン:p−アミロキシスチレン:5−メトキシイソブトキシアセナフチレン=76.2:6.9:9.6:7.3
重量平均分子量(Mw)=4600
分子量分布(Mw/Mn)=1.66
これを(Polymer−5)とする。
合成例5におけるアセナフチレン25.1gをインデン50.5gに代えて同様の方法で合成した。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比)
5−ヒドロキシアセナフチレン:インデン:p−アミロキシスチレン:5−メトキシイソブトキシアセナフチレン=76.5:6.0:9.7:7.8
重量平均分子量(Mw)=4400
分子量分布(Mw/Mn)=1.68
これを(Polymer−6)とする。
3Lのフラスコに5−アセトキアセナフチレン361.2g、アセナフチレン25.1g、下記一般式(14)で表されるメタクリル酸エステル65.5g、溶媒としてトルエンを675g添加した。
1Lのフラスコにポリヒドロキシアセナフチレン、アセナフチレン、メタクリル酸エステル共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、下記アセタール化剤−A:8.2gを1時間かけて滴下注入し、室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体51.5gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:アセナフチレン:
重量平均分子量(Mw)=4400
分子量分布(Mw/Mn)=1.62
これを(Polymer−7)とする。
合成例7において一般式(14)のメタクリル酸エステル65.5gに代えて、下記一般式(15)のメタクリル酸エステル73.4gを用いて、同様の方法で合成した。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:アセナフチレン:
重量平均分子量(Mw)=4500
分子量分布(Mw/Mn)=1.58
これを(Polymer−8)とする。
3Lのフラスコに5−アセトキアセナフチレン361.2g、p−アミロキシスチレン42.2g、上記一般式(14)で表されるメタクリル酸エステル65.5g、インデン75.6g、溶媒としてトルエンを675g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、−70℃まで冷却し、減圧脱気、窒素フローを3回繰り返した。室温まで昇温後、重合開始剤として2,2´−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬製V−65)を34.7g加え、55℃まで昇温後、40時間反応を行った。この反応溶液にメタノール970gと水180gの混合溶液を攪拌中滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮し、このポリマー層にメタノール0.45L、テトラヒドロフラン0.54Lに再度溶解し、トリエチルアミン160g、水30gを加え、60℃に加温して40時間脱保護反応を行った。この脱保護反応溶液を減圧濃縮し、濃縮液にメタノール548gとアセトン112gを加え溶液化した。ここに攪拌中ヘキサンを990g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)にテトラヒドロフラン300gを加え、ここに攪拌中ヘキサンを1030g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮した。本ポリマー溶液を酢酸82gを用いて中和し、反応溶液を濃縮後、アセトン0.3Lに溶解し、上記と同様に水10Lに沈殿させ、濾過、乾燥を行い、ポリヒドロキシアセナフチレン、アミロキシスチレン、メタクリル酸エステル、インデンの共重合体243gを得た。
1Lのフラスコにポリヒドロキシアセナフチレン、アミロキシスチレン、メタクリル酸エステル、インデン共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、下記アセタール化剤−A:8.2gを1時間かけて滴下注入し、室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体54.1gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比
5−ヒドロキシアセナフチレン:5−メトキシイソブトキシアセナフチレン:p−アミロキシスチレン:
重量平均分子量(Mw)=4700
分子量分布(Mw/Mn)=1.65
これを(Polymer−9)とする。
3Lのフラスコに4−アセトキシスチレン279.0g、アセナフチレン37.7g、溶媒としてトルエンを675g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、−70℃まで冷却し、減圧脱気、窒素フローを3回繰り返した。室温まで昇温後、重合開始剤として2,2´−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬製V−65)を34.7g加え、55℃まで昇温後、40時間反応を行った。この反応溶液にメタノール970gと水180gの混合溶液を攪拌中滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮し、このポリマー層にメタノール0.45L、テトラヒドロフラン0.54Lに再度溶解し、トリエチルアミン160g、水30gを加え、60℃に加温して40時間脱保護反応を行った。この脱保護反応溶液を減圧濃縮し、濃縮液にメタノール548gとアセトン112gを加え溶液化した。ここに攪拌中ヘキサンを990g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)にテトラヒドロフラン300gを加え、ここに攪拌中ヘキサンを1030g滴下し、30分後に下層(ポリマー層)を減圧濃縮した。本ポリマー溶液を酢酸82gを用いて中和し、反応溶液を濃縮後、アセトン0.3Lに溶解し、上記と同様に水10Lに沈殿させ、濾過、乾燥を行い、ポリヒドロキシスチレン、アセナフチレンの共重合体243.5gを得た。
1Lのフラスコにポリヒドロキシスチレン、アセナフチレン共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、下記アセタール化剤−A:14.9gを1時間かけて滴下注入し、室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体52.0gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比)
4−ヒドロキシスチレン:アセナフチレン::4−メトキシイソブトキシスチレン=74.9:10.2:14.9
重量平均分子量(Mw)=4200
分子量分布(Mw/Mn)=1.78
これを(比較Polymer−1)とする。
3Lのフラスコに4−アセトキシスチレン140.0g、5−アセトキアセナフチレン220.8g、アセナフチレン37.7g、溶媒としてトルエンを675g添加した。
比較合成例1同様の方法で合成し、アセタール化した共重合体を得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比)
4−ヒドロキシスチレン:5−ヒドロキシアセナフチレン:アセナフチレン:4−メトキシイソブトキシスチレン:5−メトキシイソブトキシアセナフチレン=34.9:39.5:10.1:9.9:5.6
重量平均分子量(Mw)=4300
分子量分布(Mw/Mn)=1.62
これを(比較Polymer−2)とする。
3Lのフラスコに6−アセトキシインデン350g、インデン36.0g、溶媒としてトルエンを675g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、−70℃まで冷却し、減圧脱気、窒素フローを3回繰り返した。室温まで昇温後、重合開始剤として2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬製V−65)を40.5g加え、45℃まで昇温後20時間反応させ、次に55℃まで昇温後、更に20時間反応させた。この反応溶液を1/2まで濃縮し、メタノール15.0L溶液中に沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、ポリヒドロキシインデン、インデン共重合体154gを得た。アセナフチレンユニットをベースとした重合の収率62%と比較して収率が悪い(40%)。
1Lのフラスコにポリヒドロキシインデン、インデン共重合体50.0g、溶媒としてテトラヒドロフランを400g添加した。この反応容器を窒素雰囲気下、5℃まで冷却し、トリエチルアミン31.0gを添加後、下記アセタール化剤−A:14.9gを1時間かけて滴下注入した。室温まで昇温後4時間反応させた。この反応溶液を濃縮し、アセトン200gに溶解後、酢酸を用いて中和洗浄のため、水7.0Lの溶液中に晶出沈殿させ、得られた白色固体を濾過後、40℃で減圧乾燥し、白色重合体50.2gを得た。
得られた重合体を13C,1H−NMR、及び、GPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比)
6−ヒドロキシインデン:インデン:6−メトキシイソブトキシインデン=71.9:14.2:13.9
重量平均分子量(Mw)=4300
分子量分布(Mw/Mn)=1.78
これを(比較Polymer−3)とする。
また、例えば合成例2に示すように、インデンは共重合反応性が悪いため、アセナフチレンと比較してモル数で約3倍量の仕込みが必要であった。
実施例、実験例及び比較例で使用したレジスト組成物構成材料、溶剤等を以下に示す。
実施例及び実験例で使用したベース樹脂は上記合成例1〜9で得られたPolymer−1〜9である。比較例で使用したベース樹脂は上記比較合成例1〜3で得られた比較Polymer−1〜3である。
溶剤A:プロピレングリコールメチルエーテル(PGME)
溶剤B:乳酸エチル(EL)
溶剤C:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
である。
Quencher−1:p-ジエチルアミノベンゾイックアシッド
Quencher−2:p-ジブチルアミノベンゾイックアシッド
Quencher−3:p-ジブチルアミノベンゾイックアシッドの酸化物
Quencher−4:1-ピペリジンプロピオン酸
Quencher−5:トリス(2−(メトキシメトキシ)エチル)アミン
Quencher−6:トリス(2−(メトキシメトキシ)エチル)アミンの酸化物
Quencher−7:N-2-(アセトキシ)エチル-イミダゾール
膜厚の測定は光学式測定器ナノスペック(ナノメトリックス社製)を用いて行った。測定はブランク外周から10mm内側までの外縁部分を除くブランク基板の面内81ケ所で行い、膜厚平均値と膜厚範囲を算出した。
200nmのライン・アンド・スペースのトップとボトムを1:1で解像する露光量を最適露光量(感度:Eop)として、この露光量における分離しているライン・アンド・スペースの最小線幅を評価レジストの解像度とした。また、解像したレジストパターンの形状は、特に基板界面における裾引きの有無を走査型電子顕微鏡を用いてレジスト断面を観察した。
また、レジスト材料のドライエッチング耐性は、東京エレクトロン社製TE8500Sを用いて実際にエッチングを行い、その後のパターン形状を、走査型電子顕微鏡を用いてレジスト断面を観察し、比較例1のレジストのエッチング後の膜厚減少量を1.0とした時の、他のレジストは減少量の相対比率で示した。即ち、数値が小さいほどエッチング耐性に優れたレジストであることを示す。また、エッチングは以下に示した条件で行った。
Prees:250mJ,RF Power:800W,Gas:1)CHF3 20sccm 2)CF4 20sccm 3)Ar 400sccm,エッチング時間:2分30秒
さらに、実施例1〜9はアセナフチレン誘導体が全体に占める割合が70モル%以上であるため、比較例1のエッチング量の0.8倍より小さい値であった。
このことからスチレンユニットをアセナフチレンユニットに代えることでエッチング耐性が改善され、さらに、アセナフチレン誘導体の全体に占める割合を70モル%以上とすることで、より一層エッチング耐性を向上させることができることがわかる。
5−ヒドロキシアセナフチレン単位にアルカリ溶解性の機能を持たせたPolymer−1〜9(実施例1〜9)は、50nmのパターンが裾引きもブリッジもなく解像できた。それに対し、4−ヒドロキシスチレン単位にアルカリ溶解性の機能を持たせたレジスト(比較例1)、アセナフチレン誘導体の占める割合が70モル%未満のレジスト(比較例2)はカルボキシル基を有するアミン(Quencher1と4)の効果で裾引きは防止できているが、パターン間にブリッジが発生し50nmのパターンが解像できなかった。実施例1〜9では、アセナフチレンユニットを有する繰り返し単位を主要構成成分とし、かつ、その割合が全繰り返し単位中70モル%以上であるため、ベース樹脂は剛直となり、アルカリ現像の時、パターンの膨潤が抑制されると考えられる。
比較例3は50nmのパターンが解像でき、エッチング耐性に優れたインデンをベースにしたレジストなので、エッチング耐性も比較例1のエッチング量の0.8倍に抑えられてはいるが、アセナフチレンをベースにした実施例1よりはエッチング耐性は悪かった。
また、(0114)段落で述べたように、インデンユニットをベースとした場合、単量体の重合性が良好でないため分子量分散度がやや高めとなり、LERが劣化傾向となる。さらに、安定してポリマーを合成できない問題も残る。
本発明のポジ型レジスト組成物について、カルボキシル基を有し、かつ塩基性中心である窒素原子に共有結合で結合する水素を有しないアミン化合物およびカルボキシル基を含有しないアミン化合物を配合した下記表3に示すレジスト材料を調製し、実施例1〜9と同様にして、ポジ型パターンを形成した。その解像性及びパターン形状の評価を行った。その結果を表4に示す。
本発明のポジ型レジスト組成物について、カルボキシル基を有し、かつ塩基性中心である窒素原子に共有結合で結合する水素を有しないアミン化合物およびカルボキシル基を含有しないアミン化合物を配合した下記表5に示すレジスト材料を調製し、実施例1〜9と同様にして、ポジ型パターンを形成した。その解像性及びパターン形状の評価を行った。その結果を下記表6に示す。電子線感度は表5の最下行に示した。
本発明のポジ型レジスト組成物について、酸発生剤としてPAG−2に代えてPAG−1を使用した下記表7に示すレジスト材料を調製し、実施例1〜6、実験例7〜9と同様にして、ポジ型パターンを形成した。その解像性及びパターン形状の評価を行った結果を下記表8に示す。
Claims (9)
- 少なくとも、
(A)酸不安定基で保護された酸性官能基を有するアルカリ不溶性又は難溶性の樹脂であって、該酸不安定基が脱離したときにアルカリ可溶性となるベース樹脂、
(B)酸発生剤、
(C)塩基性成分として窒素を含有する化合物、
を含有するレジスト組成物であって、前記ベース樹脂は、下記一般式(1)、(2)、(3)、(4)、(6)、(6’)及び(9)から選ばれる繰り返し単位によって構成されるポリマーであると共に、下記一般式(1)と、下記一般式(2)、(4)及び(6)から選ばれる繰り返し単位1種以上とを必ず含み、下記一般式(2)で表される繰り返し単位が含まれない場合には下記一般式(3)で表される繰り返し単位を必ず含むポリマーであり、更に、前記ベース樹脂を構成する全繰り返し単位中、下記一般式(1)、(2)及び(3)で表される繰り返し単位を合計で70モル%以上含有するものであることを特徴とするポジ型レジスト組成物。
- 前記ベース樹脂が、上記一般式(9)及び(6’)で表される繰り返し単位のうち少なくとも1種以上を必ず含有するものであることを特徴とする請求項1に記載のポジ型レジスト組成物。
- 前記ベース樹脂は、酸不安定基で保護された酸性官能基を持つ繰り返し単位として、上記一般式(2)及び上記一般式(4)で表される繰り返し単位を含有し、更に前記酸不安定基Xがアセタール基、前記酸不安定基Yが炭素数4〜15の第三級アルキル基であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のポジ型レジスト組成物。
- 前記(B)成分である酸発生剤として下記一般式(10)で表される酸発生剤を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のポジ型レジスト組成物。
- 前記(C)成分である塩基性成分として、少なくとも、カルボキシル基を有し、かつ塩基性中心である窒素原子に共有結合で結合する水素を有しないアミン化合物及びアミンオキシド化合物のうち少なくとも1種以上を含むものであることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のポジ型レジスト組成物。
- 前記カルボキシル基を有し、かつ塩基性中心である窒素原子に共有結合で結合する水素を有しないアミン化合物及びアミンオキシド化合物として、下記一般式(11)〜(13)で表される化合物を少なくとも1種以上含有するものであることを特徴とする請求項5に記載のポジ型レジスト組成物。
- リソグラフィーによりレジストパターンを形成する方法であって、少なくとも、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のポジ型レジスト組成物を用いて被加工基板上にレジスト膜を形成し、該レジスト膜に高エネルギー線を露光し、その後アルカリ性現像液を用いて現像してレジストパターンを得ることを特徴とするレジストパターンの形成方法。
- 前記被加工基板として、フォトマスクブランクを用いることを特徴とする請求項7に記載のレジストパターンの形成方法。
- 前記フォトマスクブランクの最表層上に、クロム化合物膜が成膜されていることを特徴とする請求項8に記載のレジストパターンの形成方法。
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