JP2014178672A5

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Info

Publication number: JP2014178672A5
Application number: JP2014005668A
Authority: JP
Filing date: 2014-01-16
Publication date: 2016-10-20
Anticipated expiration: 2034-01-16

Description

すなわち本発明は、（ａ）エポキシ構造及び／又はオキセタン構造を有するポリシロキサン、（ｂ）ナフトキノンジアジド化合物、（ｃ）溶剤、及び、（ｄ）一般式（２）で表されるヒドロキシイミド化合物、を含有する感光性シロキサン組成物であり、上記（ａ）エポキシ構造及び／又はオキセタン構造を有するポリシロキサンは、一般式（１）で表されるオルガノシランを含むモノマーの反応物である、感光性シロキサン組成物を提供する。

Claims

（ａ）エポキシ構造及び／又はオキセタン構造を有するポリシロキサン、
（ｂ）ナフトキノンジアジド化合物、
（ｃ）溶剤、及び、
（ｄ）一般式（２）で表されるヒドロキシイミド化合物、を含有する感光性シロキサン組成物であり、
前記（ａ）エポキシ構造及び／又はオキセタン構造を有するポリシロキサンは、一般式（１）で表されるオルガノシランを含むモノマーの反応物である、感光性シロキサン組成物。

（式中、Ｒ^１はそれぞれ独立して、エポキシ構造又はオキセタン構造を有する炭素数１〜１５の有機基を表し、Ｒ^２はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数２〜１０のアルケニル基又は炭素数６〜１５のアリール基を表し、Ｒ^３はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数２〜６のアシル基又は炭素数６〜１５のアリール基を表し、ｎは１〜３の整数を表し、ｍは０〜２の整数を表す（ただし、ｎ＋ｍは１〜３の整数となる。））

（式中、Ｒ^４及びＲ^５はそれぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アリール基又はアルケニル基を表す。またＲ^４及びＲ^５は、互いに縮合して環構造を形成しても構わない。）
前記（ａ）エポキシ構造及び／又はオキセタン構造を有するポリシロキサン中のエポキシ構造及びオキセタン構造の割合が、Ｓｉ原子に対して５モル％以上である、請求項１記載の感光性シロキサン組成物。
さらにエポキシ化合物及び／又はオキセタン化合物を含有する、請求項１又は２記載の感光性シロキサン組成物。
請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性シロキサン組成物から形成された、硬化膜。
請求項４記載の硬化膜を有する、素子。