JP2006293337A5 - - Google Patents

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  1. （ａ）ポリシロキサン、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）溶剤、（ｄ）熱架橋性化合物を含有する感光性シロキサン組成物であって、（ａ）ポリシロキサン中のフェニル基の含有率がＳｉ原子に対して５〜６０モル％であることを特徴とする感光性シロキサン組成物。
  2. （ｄ）熱架橋性化合物が、一般式（１）で表される基を２個以上有する化合物、一般式（２）で表される化合物、オキセタン基を２個以上有する化合物の群から選ばれる少なくとも１種である請求項１記載の感光性シロキサン組成物。
    Figure 2006293337
     （式中、Ｒ１は水素、炭素数１〜１０のアルキル基のいずれかを表す。なお、化合物中の複数のＲ１はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。）
    Figure 2006293337
     （式中、Ｒ２は水素、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数２〜１０のアルケニル基、炭素数６〜１５のアリール基のいずれかを表し、複数のＲ２はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。Ｒ３は水素、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数６〜１５のアリール基のいずれかを表し、複数のＲ３はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。ｎは０から２の整数を表す。）
  3. さらに、（ｅ）熱架橋促進剤を含有する請求項１または２記載の感光性シロキサン組成物。
  4. さらに、（ｆ）増感剤を含有する請求項１〜３のいずれか記載の感光性シロキサン組成物。
  5. 請求項１〜４のいずれか記載の感光性シロキサン組成物から形成された硬化膜。
  6. 請求項５記載の硬化膜を具備する素子。
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