JP2008546027A5

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Publication number: JP2008546027A5
Application number: JP2008514897A
Authority: JP
Filing date: 2006-06-02
Publication date: 2009-07-02
Anticipated expiration: 2026-06-02

Claims

（ａ）少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー；
（ｂ）構造VI：
Ｖ¹−Ｙ−Ｖ² VI
［ここで、ＹはＳ、Ｏ、ＮＲ²、(ＨＯＣＨ)_p、及び

から成るグループから選択され；Ｒ¹は、それぞれ独立に、Ｈ、アルキル基、アルケニル
基、アルキニル基、アルコキシ基及びハロゲンから成るグループから選択され、Ｒ²は、
それぞれ独立にＨ、ＳＨ、ＣＨ₃、Ｃ₂Ｈ₅、及びチオール基を含有する直鎖状又は分枝鎖
状Ｃ₁−Ｃ₄アルキル基から成るグループから選択され；そしてＶ¹及びＶ²は、

（ここで、ｍは独立に０から４までの整数であり、但し、Ｙが

の場合はｍ＝０のみであり；ｎは１から５までの整数であり；ｐは１から４までの整数である）
から成るグループから独立に選択される］
を有する少なくとも１つの化合物；及び
（ｃ）少なくとも１つの有機溶媒；
を含む感光性樹脂組成物であって、該組成物中に存在する構造ＶＩの化合物の量は、感光性組成物が基板上に塗布され、塗布された基板が引き続き基板上に画像を形成するように処理された場合、残留物の形成を阻害するのに十分な量であり、但し、上記ポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーが、ポリマー中に光活性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーのみから成る場合は、
（ｄ）少なくとも１つの光活性化合物も、又、上記組成物中に存在する；
感光性樹脂組成物。
ポジ型感光性樹脂組成物を含む請求項１に記載の感光性組成物であって、ポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーが、構造Ｉ、II、III、III^*、IV又はIV^*、及びＶ：

［ここで、Ａｒ¹は、４価の芳香族基、４価の複素環基、及びそれらの混合体からなるグ
ループから選択され；Ａｒ²は、２価の芳香族基、２価の複素環基、２価の脂環式基、及
びシリコンを含有してもよい２価の脂肪族基からなるグループから選択され；Ａｒ³は、
２価の芳香族基、２価の脂肪族基、２価の複素環基、及びそれらの混合体からなるグループから選択され；Ａｒ⁴は、Ａｒ¹（ＯＨ）₂及びＡｒ²から成るグループから選択され、ｘ
は約１０から約１,０００であり；ｙは０から約９００であり；Ｄは、以下の部分：

（ここで、Ｒは、水素、ハロゲン、Ｃ₁−Ｃ₄アルキル基、Ｃ₁−Ｃ₄アルコキシ基、シクロペンチル及びシクロヘキシルから成るグループから選択される；ｋ¹は、約０.５までのいずれかの正の値であり、ｋ²は、約１.５から約２までのいずれかの正の値であり、但し、（ｋ¹＋ｋ²）＝２であり、Ｇは、カルボニル、カルボニルオキシ又はスルホニル基を有する１価の有機基であり；Ｇ^*は、少なくとも１つのカルボニル又はスルホニル基を有する
２価の有機基であり；Ａｒ⁷は、少なくとも２個の炭素原子を有する２価から８価までの
有機基を表し；Ａｒ⁸は、少なくとも２個の炭素原子を有する２価から６価までの有機基
を表し；そしてＲ⁴は、水素及び１個から１０個の炭素を有する有機基から成るグループ
から選択され；ｍ¹及びｍ³は０から４までの範囲の整数であるが、但し、ｍ¹及びｍ³は同時に０ではあり得ず、そしてｍ²は、０から２までの範囲の整数である）
の１つから成る基から選択される］
から成るグループから選択される構造を有する、少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーを含む上記感光性組成物。
構造VIを有する化合物が、以下の化合物：

から成るグループから選択される、請求項２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
構造VIの成分が以下の化合物：

から成るグループから選択される、請求項２に記載のポジ型フォトレジスト組成物。
接着促進剤を更に含む、請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
接着促進剤を更に含む、請求項２に記載のポジ型感光性組成物。
接着促進剤が構造XIV：

［ここで、Ｒ¹⁴は、それぞれ独立に、Ｃ₁−Ｃ₄アルキル基及びＣ₅−Ｃ₇シクロアルキル基からなるグループから選択され；Ｒ¹⁵は、それぞれ独立に、Ｃ₁−Ｃ₄アルキル基、Ｃ₁−Ｃ₄アルコキシ基、Ｃ₅−Ｃ₇シクロアルキル基及びＣ₅−Ｃ₇シクロアルコキシ基からなるグループから選択され；ｄは、０から３までの整数であり；そしてｑは、１から約６までの整数であり；Ｒ¹⁶は、以下の部分：

（ここで、Ｒ¹⁷及びＲ¹⁸は、それぞれ独立に、Ｃ₁−Ｃ₄アルキル基及びＣ₅−Ｃ₇シクロアルキル基から成るグループから選択され；そしてＲ¹⁹は、Ｃ₁−Ｃ₄アルキル基又はＣ₅−
Ｃ₇シクロアルキル基から成るグループから選択される）
の１つから成る基から選択される］
の化合物である、請求項６に記載のポジ型感光性組成物。
接着促進剤が、以下の化合物：

から成るグループから選択される、請求項７に記載のポジ型感光性組成物。
ポジ型感光性組成物を用いてレリーフパターンを形成する方法であって、
（ａ）基板上に、請求項１〜８のいずれか１項に記載のポジ型感光性組成物を塗布し；
（ｂ）塗布基板を予備焼成し；
（ｃ）予備焼成した塗布基板を化学線で露光し；
（ｄ）露光した塗布基板を水性の現像液で現像し、それによって塗布基板上に未硬化のレリーフ画像を形成し；そして
（ｅ）現像した塗布基板を高温で焼成し、それによってレリーフ画像を硬化する；
工程を含む方法。
工程（ａ）に先立って、基板が接着促進剤を含有する溶媒でプリコートされる、請求項９に記載の方法。
請求項９又は１０に記載の方法により形成される、基板上のレリーフ画像。