JP2011164216A5

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Publication number: JP2011164216A5
Application number: JP2010024683A
Authority: JP
Filing date: 2010-02-05
Publication date: 2013-03-21
Anticipated expiration: 2030-02-05

Description

上記目的を達成する本発明は、
酸により重合可能な化合物と、第一の光酸発生剤と、第二の光酸発生剤と、を含むネガ型感光性樹脂組成物であって、
前記第一の光酸発生剤は塩構造を有し、そのアニオン部構造は下記化学式１で表され、前記第一の光酸発生剤のカチオン部構造は下記化学式４で表され、
前記第二の光酸発生剤は塩構造を有し、そのアニオン部構造に由来する酸の酸強度はヘキサフルオロアンチモン酸の酸強度以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

Ｒは、フッ素原子で置換されていても良い総炭素数１〜３０の炭化水素基を表す。Ｘは、炭素原子及びリン原子から選ばれる。Ｙは、−Ｓ（＝Ｏ）₂−、−Ｏ−ＣＦ₂−、−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＦ₂−、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＦ₂−、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−ＣＦ₂−及び単結合から選ばれる。ただし、Ｙが−Ｓ（＝Ｏ）₂−又は単結合の場合、Ｒは少なくとも１つのフッ素原子を有する。ｍとｎは、Ｘが炭素原子の場合、ｍ＋ｎ＝３、かつｎ＝０、１、２から選ばれる整数であり、Ｘがリン原子の場合、ｍ＋ｎ＝６、かつｎ＝０〜５から選ばれる整数である。また、ｍが２以上の場合は、ＲとＹはそれぞれ異なっていても良い。

（Ｒ _１、Ｒ _２及びＲ _３は、それぞれ独立して総炭素数６〜３０のアリール基、総炭素数４〜３０の複素環基、総炭素数１〜３０のアルキル基、総炭素数２〜３０のアルケニル基または総炭素数２〜３０のアルキニル基のいずれかを表す。また、Ｒ _１、Ｒ _２及びＲ _３を構成する全ての原子中に酸素原子が２つ以上含まれる。）

Claims

酸により重合可能な化合物と、第一の光酸発生剤と、第二の光酸発生剤と、を含むネガ型感光性樹脂組成物であって、
前記第一の光酸発生剤のアニオン部構造は下記化学式１で表され、前記第一の光酸発生剤のカチオン部構造は下記化学式４で表され、
前記第二の光酸発生剤のアニオン部構造に由来する酸の酸強度はヘキサフルオロアンチモン酸の酸強度以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

（Ｒは、フッ素原子で置換されていても良い総炭素数１〜３０の炭化水素基を表す。Ｘは、炭素原子及びリン原子から選ばれる。Ｙは、−Ｓ（＝Ｏ）₂−、−Ｏ−ＣＦ₂−、−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＦ₂−、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＦ₂−、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−ＣＦ₂−及び単結合から選ばれる。ただし、Ｙが−Ｓ（＝Ｏ）₂−又は単結合の場合、Ｒは少なくとも１つのフッ素原子を有する。ｍとｎは、Ｘが炭素原子の場合、ｍ＋ｎ＝３、かつｎ＝０、１、２から選ばれる整数であり、Ｘがリン原子の場合、ｍ＋ｎ＝６、かつｎ＝０〜５から選ばれる整数である。また、ｍが２以上の場合は、ＲとＹはそれぞれ異なっていても良い。）

（Ｒ _１、Ｒ _２及びＲ _３は、それぞれ独立して総炭素数６〜３０のアリール基、総炭素数４〜３０の複素環基、総炭素数１〜３０のアルキル基、総炭素数２〜３０のアルケニル基または総炭素数２〜３０のアルキニル基のいずれかを表す。また、Ｒ _１、Ｒ _２及びＲ _３を構成する全ての原子中に酸素原子が２つ以上含まれる。）
前記第二の光酸発生剤の含有量が前記第一の光酸発生剤の含有量の３当量以上である請求項１に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
硬化後の主鎖にエーテル結合を有する請求項１又は２に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
前記酸により重合可能な化合物がエポキシ基又はオキセタン基を有する化合物である請求項１乃至３のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。
前記酸により重合可能な化合物が多官能ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂及び多官能脂環型エポキシ樹脂から選択される少なくとも１種の化合物である請求項１乃至４のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。
請求項１乃至５のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程と、
前記基板の上に塗布したネガ型感光性樹脂組成物をパターン露光する工程と、
前記パターン露光した後に１６０℃以上で熱処理する工程と、
を有するネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜の形成方法。
請求項１乃至５のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物からなる硬化膜を用いて形成された流路形成層を有する液体吐出ヘッド。