JP2011508454A - 位置およびオフセットを決定するための構成および方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
Claims (20)
- 少なくともチャックと上側電極とを備えるプラズマ処理システム内で位置およびオフセットを決定するための方法であって、
光線を供給する光源を少なくとも備えるトラバース装置を第1の複数の経路に沿って移動させて、第1の複数のデータセットを生成する工程であって、前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記チャックを横断し、前記第1の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られる、工程と、
前記第1の複数のデータセットを受信する工程と、
前記第1の複数のデータセットを分析して、前記光線が前記チャックのエッジに至った時に生成された3以上の反射光信号に関連する第1のセットの少なくとも3つの不連続を特定する工程と、
前記第1のセットの少なくとも3つの不連続に関連する座標データを用いて、前記チャックの中心を決定する工程と、
を備える、方法。 - 請求項1記載の方法であって、さらに、
前記第1のセットの少なくとも3つの不連続に基づいて、第1のセットの3以上の座標データ点を決定する工程と、
前記第1のセットの3以上の座標データ点に基づいて、前記チャックの前記中心と前記チャックの絶対位置とを決定する工程と、
を備える、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、さらに、
前記チャックの前記絶対位置と前記チャックの期待位置とを用いて、前記チャックの前記絶対位置と前記チャックの前記期待位置との間のオフセットを決定する工程を備える、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、さらに、
前記チャックの前記絶対位置と前記上側電極の絶対位置とを用いて、前記上側電極と前記チャックとの間の相対オフセットを算出する工程を備える、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
前記トラバース装置を第2の複数の経路に沿って移動させて、第2の複数のデータセットを生成する工程であって、前記トラバース装置を前記第2の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線および第2の光線の少なくとも一方が前記上側電極を横断し、前記第2の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られる、工程と、
前記第2の複数のデータセットを受信する工程と、
前記第2の複数のデータセットを分析して、前記上側電極のエッジ上の3以上の点を表す第2のセットの少なくとも3つの不連続を特定する工程と、
前記第2のセットの少なくとも3つの不連続に関連する座標データを用いて、前記上側電極の中心を決定する工程と、
を備える、方法。 - 請求項5に記載の方法であって、さらに、
前記第2のセットの少なくとも3つの不連続に基づいて、第2のセットの3以上の座標データ点を決定する工程と、
前記第2のセットの3以上の座標データ点に基づいて、前記上側電極の前記中心と前記上側電極の絶対位置とを決定する工程と、
を備える、方法。 - 請求項6に記載の方法であって、さらに、
前記上側電極の前記絶対位置と前記上側電極の期待位置とを用いて、前記上側電極の前記絶対位置と前記上側電極の前記期待位置との間のオフセットを決定する工程を備える、方法。 - 請求項5に記載の方法であって、さらに、
光学較正フィクスチャを所定の位置に配置する工程を備え、
前記第1の複数の経路は、前記所定の位置を横断するよう構成され、
前記光学較正フィクスチャは、複数の較正領域を有し、
前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記光学較正フィクスチャを横断し、第3の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られ、
前記第3の複数のデータセットは、前記複数の較正領域の内の各較正領域の測定反射率の変化を表す、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
光学較正フィクスチャを所定の位置に配置する工程を備え、
前記第1の複数の経路は、前記所定の位置を横断するよう構成され、
前記光学較正フィクスチャは、複数の較正領域を有し、
前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記光学較正フィクスチャを横断し、第3の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られ、
前記第3の複数のデータセットは、前記複数の較正領域の内の各較正領域の測定反射率の変化を表す、方法。 - プラズマを生成して、少なくとも基板を処理するためのプラズマ処理システムであって、
前記基板を支持するためのチャックと、
光線を供給する光源を少なくとも備えるトラバース装置と、
前記トラバース装置を第1の複数の経路に沿って移動させて、第1の複数のデータセットを生成するための移動機構であって、前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記チャックを横断し、前記第1の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られる、移動機構と、
前記第1の複数のデータセットを受信するためのセンサと、
前記第1の複数のデータセットを分析して、前記光線が前記チャックのエッジに至った時に生成された3以上の反射光信号に関連する第1のセットの少なくとも3つの不連続を特定する工程、および、前記第1のセットの少なくとも3つの不連続に関連する座標データを用いて、前記チャックの中心を決定する工程の内の少なくとも一方を実行するための処理部と、
を備える、システム。 - 請求項10に記載のシステムであって、
前記処理部は、さらに、
前記第1のセットの少なくとも3つの不連続に基づいて、第1のセットの3以上の座標データ点を決定する工程と、
前記第1のセットの3以上の座標データ点に基づいて、前記チャックの前記中心と前記チャックの絶対位置とを決定する工程と、の内の少なくとも一方を実行するよう構成されている、システム。 - 請求項11に記載のシステムであって、
前記処理部は、さらに、前記チャックの前記絶対位置と前記チャックの期待位置とを用いて、前記チャックの前記絶対位置と前記チャックの前記期待位置との間のオフセットを決定するよう構成されている、システム。 - 請求項11に記載のシステムであって、
前記処理部は、さらに、前記チャックの前記絶対位置と上側電極の絶対位置とを用いて、前記上側電極と前記チャックとの間の相対オフセットを算出するよう構成されている、システム。 - 請求項11に記載のシステムであって、さらに、
前記プラズマを生成するための上側電極を少なくとも備え、
前記移動機構は、さらに、前記トラバース装置を第2の複数の経路に沿って移動させて、第2の複数のデータセットを生成するよう構成されており、前記トラバース装置を前記第2の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線および第2の光線の少なくとも一方が前記上側電極を横断し、前記第2の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られ、
前記センサは、さらに、前記第2の複数のデータセットを受信するよう構成されており、
前記処理部は、さらに、
前記第2の複数のデータセットを分析して、前記上側電極のエッジ上の3以上の点を表す第2のセットの少なくとも3つの不連続を特定する工程と、
前記第2のセットの少なくとも3つの不連続に関連する座標データを用いて、前記上側電極の中心を決定する工程と、の内の少なくとも一方を実行するよう構成されている、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、
前記処理部は、さらに、
前記第2のセットの少なくとも3つの不連続に基づいて、第2のセットの3以上の座標データ点を決定する工程と、
前記第2のセットの3以上の座標データ点に基づいて、前記上側電極の前記中心と前記上側電極の絶対位置とを決定する工程と、の内の少なくとも一方を実行するよう構成されている、システム。 - 請求項15に記載のシステムであって、
前記処理部は、さらに、前記上側電極の前記絶対位置と前記上側電極の期待位置とを用いて、前記上側電極の前記絶対位置と前記上側電極の前記期待位置との間のオフセットを決定するよう構成されている、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、さらに、
所定の位置に配置された光学較正フィクスチャを備え、
前記第1の複数の経路は、前記所定の位置を横断するよう構成され、
前記光学較正フィクスチャは、複数の較正領域を有し、
前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記光学較正フィクスチャを横断し、第3の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られ、
前記第3の複数のデータセットは、前記複数の較正領域の内の各較正領域の測定反射率の変化を表す、システム。 - 請求項11に記載のシステムであって、さらに、
所定の位置に配置された光学較正フィクスチャを備え、
前記第1の複数の経路は、前記所定の位置を横断するよう構成され、
前記光学較正フィクスチャは、複数の較正領域を有し、
前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記光学較正フィクスチャを横断し、第3の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られ、
前記第3の複数のデータセットは、前記複数の較正領域の内の各較正領域の測定反射率の変化を表す、システム。 - プラズマを生成して、少なくとも基板を処理するためのアライメントシステムであって、
前記基板を支持するためのチャックと、
光線を供給する光源を少なくとも備えるトラバース装置と、
前記トラバース装置を第1の複数の経路に沿って移動させて、第1の複数のデータセットを生成するための移動機構であって、前記トラバース装置を前記第1の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線が前記チャックを横断し、前記第1の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られる、移動機構と、
前記第1の複数のデータセットを受信するためのセンサと、
前記第1の複数のデータセットを分析して、前記光線が前記チャックのエッジに至った時に生成された3以上の反射光信号に関連する第1のセットの少なくとも3つの不連続を特定する工程、および、前記第1のセットの少なくとも3つの不連続に関連する座標データを用いて、前記チャックの中心を決定する工程の内の少なくとも一方を実行するための処理部と、
を備える、アライメントシステム。 - 請求項19に記載のアライメントシステムであって、さらに、
前記プラズマを生成するための上側電極を少なくとも備え、
前記移動機構は、さらに、前記トラバース装置を第2の複数の経路に沿って移動させて、第2の複数のデータセットを生成するよう構成されており、
前記トラバース装置を前記第2の複数の経路の内の各経路に沿って移動させることにより、前記光線および第2の光線の少なくとも一方が前記上側電極を横断し、前記第2の複数のデータセットの内の1または複数のデータセットが得られ、
前記センサは、さらに、前記第2の複数のデータセットを受信するよう構成されており、
前記処理部は、さらに、
前記第2の複数のデータセットを分析して、前記上側電極のエッジ上の3以上の点を表す第2のセットの少なくとも3つの不連続を特定する工程と、
前記第2のセットの少なくとも3つの不連続に関連する座標データを用いて、前記上側電極の中心を決定する工程と、の内の少なくとも一方を実行するよう構成されている、アライメントシステム。
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