JP7234345B2 - ステージ装置および物体搭載プロセスの較正方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2018年8月23日に出願された欧州出願18190476.4の優先権を主張し、その全体が参照により本書に組み込まれる。
本発明は、物体テーブルを備えるステージ装置に関し、特に、前記物体テーブル上に物体を配置することに関する。
本文で使用される「レチクル」、「マスク」または「パターニングデバイス」の用語は、基板のターゲット部分に生成されるパターンに対応するパターン化された断面を入射する放射ビームに与えるために使用できる一般的なパターニングデバイスを指すものと広く解釈されうる。「ライトバルブ」の用語は、この文脈でも使用できる。古典的なマスク(透過型または反射型、バイナリ型、位相シフト型、ハイブリッド型など)に加えて、このようなパターニングデバイスの他の例は、プログラマブルミラーアレイおよびプログラマブルLCDアレイを含む。
本発明の他の態様は、以下に付番された項によって説明される。
(項1)
i.第1平面内に外半径を有するリング状突起を備え、ii.前記リング状突起の前記外半径よりも大きな半径を前記第1平面内に有する物体を支持するよう構成される物体サポートと、
i.前記物体サポートを検出し、ii.前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記物体を検出するよう構成されるセンサモジュールと、
i.前記センサモジュールから一以上の信号を受信し、ii.前記一以上の信号に基づいて、前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定し、iii.前記物体の前記位置に基づいて、前記リング状突起に対する前記物体の位置を表すオフセット値を決定するよう構成される処理部と、を備えるステージ装置。
(項2)
前記センサモジュールは、前記物体サポート上に物体が配置されていないときに前記物体サポートを検出するよう構成される、項1に記載のステージ装置。
(項3)
前記センサモジュールは、前記リング状突起を検出することにより前記物体サポートを検出するよう構成される、項1または2に記載のステージ装置。
(項4)
前記処理部は、物体搬送装置の制御部および/または物体サポート位置決め装置の制御部に前記オフセット値を出力するよう構成される出力端子をさらに備える、項1から3のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項5)
物体搬送装置をさらに備え、前記物体搬送装置は、
後続物体を前記物体サポートに与えるよう構成されるロボットアームと、
前記オフセット値に基づいて、i.前記ロボットアームが前記後続物体を受け取るときに前記ロボットアームに対する前記後続物体の位置、および/または、ii.前記ロボットアームが前記物体サポートに対して前記後続物体を配置するときに前記物体サポートに対する前記ロボットアームの位置を制御するよう構成される制御部と、を備える、項1から4のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項6)
前記物体搬送装置は、プリアライナをさらに備え、前記ロボットアームは、前記プリアライナから前記後続物体を受け取り、
前記制御部は、前記プリアライナの位置および/または前記プリアライナ上の前記物体の位置を制御することにより、前記ロボットアームが前記後続物体を受け取るときに前記ロボットアームに対する前記後続物体の位置を制御するよう構成される、項5に記載のステージ装置。
(項7)
前記処理部は、前記リング状突起の二つの場所および/または前記物体の二つの場所を決定することにより、前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定するよう構成される、項1から6のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項8)
前記センサモジュールは、レベルセンサを備える、項1から7のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項9)
前記センサモジュールは、光学センサを備える、項1から8のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項10)
前記第1平面に直交する方向において前記物体サポートを位置決めし、前記センサに前記物体サポートを検出させるために、前記センサモジュールの前記方向における焦点範囲内に前記物体サポートを位置決めするよう構成される垂直物体サポート位置決め装置をさらに備える、項1から9のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項11)
前記第1平面に平行な平面内において前記物体サポートを位置決めし、前記オフセット値に基づいて、前記物体サポートが後続物体を受け取るよう構成される前に、前記平面内において前記物体サポートを位置決めするよう構成される水平物体サポート位置決め装置をさらに備える、項1から10のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項12)
前記水平物体サポート位置決め装置および前記垂直物体サポート位置決め装置を備える物体サポート位置決め装置を備える、項10および11に記載のステージ装置。
(項13)
前記物体サポートおよび/または物体テーブルは、前記センサモジュールにより検出可能となるよう構成される一以上のマーカをさらに備える、項1から12のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項14)
前記処理部は、単一のマーカに基づいて前記物体サポートの位置を決定するよう構成される、項13に記載のステージ装置。
(項15)
前記リング状突起は、エアシールを備える、項1から14のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項16)
前記物体は、テスト物体であり、前記ステージ装置は、前記テスト物体を備え、前記テスト物体は、
前記物体サポート上に配置されるべき物体と実質的に同じ半径を前記第1平面内において備え、
前記センサモジュールにとって半透明であることにより、前記物体サポート上に前記テスト物体が配置されるときに前記物体サポートおよび前記テスト物体を前記センサモジュールが同時に検出することを可能にする、項1から15のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項17)
前記物体および/または前記後続物体は、基板である、項1から16のいずれか一項に記載のステージ装置。
(項18)
基板上にパターンを投影するための投影システムと、
項1から17のいずれか一項に記載のステージ装置と、を備えるリソグラフィ装置。
(項19)
物体搭載プロセスを較正する方法であって、
第1平面内において内半径と外半径の間を延びるリング状突起を備える物体サポートを検出するステップと、
前記リング状突起の前記外半径よりも大きな半径を有する物体を前記物体サポート上に配置し、前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記物体を検出するステップと、
前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定するステップと、
前記物体の前記位置に基づいて、前記リング状突起に対する前記物体の位置を表すオフセット値を決定するステップと、を備える方法。
(項20)
前記物体を前記物体サポート上に配置するステップは、ロボットアームを用いてなされ、
前記方法は、前記オフセット値に基づいて、i.前記ロボットアームが後続物体を受け取るときに、前記ロボットアームに対する前記後続物体の位置、および/または、ii.前記ロボットアームが前記後続物体を前記物体サポートに対して配置するときに、前記物体サポートに対する前記ロボットアームの位置を制御するステップをさらに備える、項19に記載の方法。
(項21)
前記リング状突起の二つの場所、および/または、前記物体の二つの場所を決定するステップをさらに備え、前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定するステップは、前記場所に基づいてなされる、項19または20に記載の方法。
(項22)
前記リング状突起および/または前記物体の前記場所は、それぞれ、前記リング状突起および/または前記物体の境界を表す高低差を検出することにより決定される、項21に記載の方法。
(項23)
物体テーブルまたは前記物体サポート上のマーカ、および/または、前記物体上のマーカの位置を決定するステップをさらに備え、前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定するステップは、前記マーカに基づいてなされる、項19から22のいずれか一項に記載の方法。
(項24)
物体を支持するよう構成される複数のバールを備える物体サポートと、
i.前記複数のバールのうち少なくとも一つのバールを検出し、ii.前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記物体を検出するよう構成されるレベルセンサを備えるセンサモジュールと、
i.前記センサモジュールから一以上の信号を受信し、ii.前記一以上の信号に基づいて、前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記物体サポートに対する前記物体の位置を決定し、iii.前記物体の前記位置に基づいて、前記物体サポートに対する前記物体の位置を表すオフセット値を決定するよう構成される処理部と、を備えるステージ装置。
(項25)
物体搭載プロセスを較正する方法であって、
レベルセンサを用いて、物体を支持するよう構成される複数のバールを備える物体サポートを検出するステップと、
前記物体サポートの前記バール上に物体を配置し、前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに、レベルセンサを用いて、前記物体を検出するステップと、
前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに、前記物体サポートに対する前記物体の位置を決定するステップと、
前記物体の前記位置に基づいて、前記物体サポートに対する前記物体の位置を表すオフセット値を決定するステップと、を備える方法。
Claims (13)
- i.第1平面内に外半径および内半径を有するリング状突起を備え、ii.前記リング状突起の前記外半径よりも大きな半径を前記第1平面内に有する物体を支持するよう構成される物体サポートと、
i.前記リング状突起を検出することにより前記物体サポートを検出し、ii.前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記物体を検出するよう構成されるセンサモジュールと、
i.前記センサモジュールから一以上の信号を受信し、ii.前記一以上の信号に基づいて、前記リング状突起の前記外半径における第1の場所および前記内半径における第2の場所を検出し、iii.前記検出される第1および第2の場所と、既知である前記リング状突起の前記外半径および前記内半径の値とを用いて前記リング状突起の位置を決定し、iv.前記一以上の信号に基づいて、前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定し、v.前記物体の前記位置に基づいて、前記リング状突起に対する前記物体の位置を表すオフセット値を決定するよう構成される処理部と、を備えるステージ装置。 - 前記センサモジュールは、前記物体サポート上に物体が配置されていないときに前記物体サポートを検出するよう構成される、請求項1に記載のステージ装置。
- 物体搬送装置をさらに備え、前記物体搬送装置は、
後続物体を前記物体サポートに与えるよう構成されるロボットアームと、
前記オフセット値に基づいて、i.前記ロボットアームが前記後続物体を受け取るときに前記ロボットアームに対する前記後続物体の位置、および/または、ii.前記ロボットアームが前記物体サポートに対して前記後続物体を配置するときに前記物体サポートに対する前記ロボットアームの位置を制御するよう構成される制御部と、を備える、請求項1または2に記載のステージ装置。 - 前記物体搬送装置は、プリアライナをさらに備え、前記ロボットアームは、前記プリアライナから前記後続物体を受け取り、
前記制御部は、前記プリアライナの位置および/または前記プリアライナ上の前記物体の位置を制御することにより、前記ロボットアームが前記後続物体を受け取るときに前記ロボットアームに対する前記後続物体の位置を制御するよう構成される、請求項3に記載のステージ装置。 - 前記センサモジュールは、レベルセンサを備える、請求項1から4のいずれか一項に記載のステージ装置。
- 前記センサモジュールは、光学センサを備える、請求項1から5のいずれか一項に記載のステージ装置。
- 前記第1平面に直交する方向において前記物体サポートを位置決めし、前記センサモジュールに前記物体サポートを検出させるために、前記センサモジュールの前記方向における焦点範囲内に前記物体サポートを位置決めするよう構成される垂直物体サポート位置決め装置をさらに備える、請求項1から6のいずれか一項に記載のステージ装置。
- 前記第1平面に平行な平面内において前記物体サポートを位置決めし、前記オフセット値に基づいて、前記物体サポートが後続物体を受け取るよう構成される前に、前記平面内において前記物体サポートを位置決めするよう構成される水平物体サポート位置決め装置をさらに備える、請求項1から7のいずれか一項に記載のステージ装置。
- 前記第1平面に平行な平面内において前記物体サポートを位置決めする水平物体サポート位置決め装置をさらに備え、
前記検出される二つの場所は、前記水平物体サポート位置決め装置によって前記物体サポートを前記第1平面に平行な一方向に移動させるときに前記センサモジュールによって検出される、請求項1から7のいずれか一項に記載のステージ装置。 - 前記水平物体サポート位置決め装置および前記垂直物体サポート位置決め装置を備える物体サポート位置決め装置を備える、請求項7を引用する請求項8または請求項7を引用する請求項9に記載のステージ装置。
- 前記物体は、テスト物体であり、前記ステージ装置は、前記テスト物体を備え、前記テスト物体は、
前記物体サポート上に配置されるべき物体と実質的に同じ半径を前記第1平面内において備え、
前記センサモジュールの測定ビームにとって半透明であることにより、前記物体サポート上に前記テスト物体が配置されるときに前記物体サポートおよび前記テスト物体を前記センサモジュールが同時に検出することを可能にする、請求項1から10のいずれか一項に記載のステージ装置。 - 基板上にパターンを投影するための投影システムと、
請求項1から11のいずれか一項に記載のステージ装置と、を備えるリソグラフィ装置。 - 物体搭載プロセスを較正する方法であって、
第1平面内において内半径と外半径の間を延びるリング状突起を備える物体サポートを検出するステップと、
前記リング状突起の前記外半径よりも大きな半径を有する物体を前記物体サポート上に配置し、前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記物体を検出するステップと、
前記物体が前記物体サポート上に配置されるときに前記リング状突起に対する前記物体の位置を決定するステップと、
前記物体の前記位置に基づいて、前記リング状突起に対する前記物体の位置を表すオフセット値を決定するステップと、を備え、
前記物体サポートを検出するステップは、i.前記リング状突起の前記外半径における第1の場所および前記内半径における第2の場所を検出するステップと、ii.前記検出される第1および第2の場所と、既知である前記リング状突起の前記外半径および前記内半径の値とを用いて前記リング状突起の位置を決定するステップとを備え、
前記物体を前記物体サポート上に配置するステップは、ロボットアームを用いてなされ、
前記方法は、前記オフセット値に基づいて、i.前記ロボットアームが後続物体を受け取るときに、前記ロボットアームに対する前記後続物体の位置、および/または、ii.前記ロボットアームが前記後続物体を前記物体サポートに対して配置するときに、前記物体サポートに対する前記ロボットアームの位置を制御するステップをさらに備える、方法。
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
US11854911B2 (en) * | 2021-02-25 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for conducting chucking operations using an adjusted chucking voltage if a process shift occurs |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006173607A (ja) | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Asml Netherlands Bv | 液浸リソグラフィにおける基板の配置 |
JP2009170874A (ja) | 2007-10-10 | 2009-07-30 | Asml Netherlands Bv | 基板を配置する方法、基板を搬送する方法、支持システムおよびリソグラフィ投影装置 |
JP2011508454A (ja) | 2007-12-27 | 2011-03-10 | ラム リサーチ コーポレーション | 位置およびオフセットを決定するための構成および方法 |
JP2011181755A (ja) | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Nikon Corp | 重ね合わせ装置、基板ホルダ、位置検出方法およびデバイスの製造方法 |
JP2011222733A (ja) | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | ウェーハハンドリング方法およびイオン注入装置 |
JP2013055277A (ja) | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2014003259A (ja) | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Nikon Corp | ロード方法、基板保持装置及び露光装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3131750B2 (ja) | 1992-10-20 | 2001-02-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体検出装置及び方法 |
US5844683A (en) | 1996-05-22 | 1998-12-01 | Applied Materials, Inc. | Position sensor system for substrate holders |
JPH1140648A (ja) | 1997-07-22 | 1999-02-12 | Omron Corp | 多連式センサおよびウエハセンサ |
US6020964A (en) | 1997-12-02 | 2000-02-01 | Asm Lithography B.V. | Interferometer system and lithograph apparatus including an interferometer system |
JP2000012657A (ja) | 1998-06-17 | 2000-01-14 | Olympus Optical Co Ltd | 半導体ウェハの位置決め装置 |
EP1077393A2 (en) * | 1999-08-19 | 2001-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate attracting and holding system for use in exposure apparatus |
TW594431B (en) * | 2002-03-01 | 2004-06-21 | Asml Netherlands Bv | Calibration methods, calibration substrates, lithographic apparatus and device manufacturing methods |
TWI307526B (en) * | 2002-08-06 | 2009-03-11 | Nikon Corp | Supporting device and the mamufacturing method thereof, stage device and exposure device |
JP3977324B2 (ja) | 2002-11-12 | 2007-09-19 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
DE102005043569A1 (de) | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
KR20080048642A (ko) * | 2006-11-29 | 2008-06-03 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 로딩용 척 |
CN102540767B (zh) * | 2007-12-28 | 2015-05-20 | 株式会社尼康 | 曝光装置、移动体驱动系统、图案形成装置、以及曝光方法 |
US8514395B2 (en) * | 2009-08-25 | 2013-08-20 | Nikon Corporation | Exposure method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP5524668B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-06-18 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | ウエハ保持装置及び方法 |
TWI580814B (zh) | 2010-10-21 | 2017-05-01 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置,以及鍍覆裝置及鍍覆方法 |
JP5750327B2 (ja) * | 2010-10-21 | 2015-07-22 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置、めっき処理方法及びめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法 |
NL2008630A (en) * | 2011-04-27 | 2012-10-30 | Asml Netherlands Bv | Substrate holder, lithographic apparatus, device manufacturing method, and method of manufacturing a substrate holder. |
KR102111183B1 (ko) * | 2012-08-31 | 2020-05-14 | 세미컨덕터 테크놀로지스 앤드 인스트루먼츠 피티이 엘티디 | 다기능 웨이퍼 및 필름 프레임 조작 시스템 |
EP3049869B1 (en) * | 2013-09-27 | 2017-11-08 | ASML Netherlands B.V. | Support table for a lithographic apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2019
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006173607A (ja) | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Asml Netherlands Bv | 液浸リソグラフィにおける基板の配置 |
JP2009170874A (ja) | 2007-10-10 | 2009-07-30 | Asml Netherlands Bv | 基板を配置する方法、基板を搬送する方法、支持システムおよびリソグラフィ投影装置 |
JP2011508454A (ja) | 2007-12-27 | 2011-03-10 | ラム リサーチ コーポレーション | 位置およびオフセットを決定するための構成および方法 |
JP2011181755A (ja) | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Nikon Corp | 重ね合わせ装置、基板ホルダ、位置検出方法およびデバイスの製造方法 |
JP2011222733A (ja) | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | ウェーハハンドリング方法およびイオン注入装置 |
JP2013055277A (ja) | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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