JP2009533884A - 半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
(化1)
x(Ga2O3)・y(In2O3)・z(ZnO)・・・化学式1 (ただし式中、x、y、zは、0.75≦x/z≦3.15、0.55≦y/z≦1.70である。)
【選択図】 図1
Description
(化1)
x(Ga2O3)・y(In2O3)・z(ZnO))・・・化学式1
(ただし式中、x、y、zは、
0.75≦x/z≦3.15であり、0.55≦y/z≦1.70である。)
本発明の好適な実施形態によれば、前記化学式1で、x、y及びzは、1.15≦x/z≦2.05であり、1.15≦y/z≦1.70である。
本発明の好適な実施形態によれば、前記化学式1で、x、y及びzは、1.25≦x/z≦1.95であり、1.25≦y/z≦1.70である。
本発明の好適な実施形態によれば、前記化学式1で、x、y及びzは、1.25≦x/z≦1.45であり、1.45≦y/z≦1.65である。
(化2)
x(Ga2O3)・y(In2O3)・z(ZnO)・・・化学式1
(ただし式中、x、y、zは、
0.75≦x/z≦3.15であり、0.55≦y/z≦1.70である。)
あるいはまた、前記ゲート電極は、基板上に形成され、前記ゲート絶縁層は、前記ゲート電極上部に形成され、前記活性層は、前記ゲート絶縁層上部に形成され、前記ソース電極及びドレイン電極は、前記活性層に接続されるように形成される。
一構成要素(element)または層が、他の構成要素または層との関係において、「上部に形成された(on)」、「接続された(connected to)」または「カップリングされた(coupled to」)という場合は、他の構成要素または層の上部に直接的に形成、接続またはカップリングされているか、または媒介構成要素(intervening element)または層が存在しうる。これと対照的に、一構成要素が他の構成要素または層に「直接的に上部に形成された(directly on)」、「直接的に接続された(directly connected to)」、「直接的にカップリングされた(directly coupled)」ということは、媒介構成要素または層が存在しない。同じ番号は、明細書全体的にわたって同じ構成要素を示す。用語「及び/または」は、一つ以上の関連したリストされたアイテムのいかなる組み合わせ及びあらゆる組み合わせを含む。
空間的相対的な意味を有する用語(「spatially relative term」)は、図面で描写された配向性(orientation)と、使用または作動中の素子の異なる配向性とを包括するように使われる。例えば、もし図面の素子が逆さまであるならば、他の構成要素または特徴の「below」または「beneath」と記載された構成要素は、構成要素または特徴の「above」という状態となりうる。それにより、用語「below」は、「above」及び「below」の配向性をいずれも含むことができる。あるいは素子は、90°回転するか、または他の配向性を有することもあり、それに対応するように、空間で相対的に説明されるものである。
これと同様に、インプラントによって埋め込まれた領域(buried region)が形成されることによって、埋め込み領域とインプラントが起こる表面との間の領域に若干のインプラントが起こる。それにより、図示された領域は本来図式的であり、これらの形態が素子の領域の実際的な形態を示すと解釈されることがあってはならず、実施形態の範囲に限定されることがあってはならない。
図1は、本発明の一実施形態による半導体素子の積層断面を示す断面図である。
まず、図1を参照すると、基板10上に、非晶質亜鉛酸化物系複合半導体を含んだパターニングされた活性層11が形成され、活性層11の両側に、ソース電極12s及びドレイン電極12dが形成される。ソース電極12s及びドレイン電極12dは、活性層11の両端に所定の幅ほど重畳し、ゲート電極14から絶縁される。
(化3)
x(Ga2O3)・y(In2O3)・z(ZnO)・・・化学式1
(ただし式中、x、y、zは、
0.75≦x/z≦3.15、0.55≦y/z≦1.70である。)
前述の組成を有する非晶質亜鉛酸化物系複合半導体は、ガリウム酸化物、インジウム酸化物及び亜鉛酸化物の複合体ターゲットを利用し、従来公知のスパッタリング法によって形成され、それ以外にも、CVD(Chemical Vapor Deposition)、ALD(Atomic Layer Deposition)のような化学的蒸着法を利用することも可能である。
基板は、シリコン基板、ガラス基板、プラスチック基板のような基板が使用可能である。
図2を参照すると、基板20上に、ゲート電極21が形成されており、ゲート電極21上には、ゲート絶縁層22が形成されている。ゲート絶縁層22上に、非晶質亜鉛酸化物系複合半導体を含むパターニングされた活性層23が形成される。ZnO系の活性層23の両側上部には、ソース電極24sとドレイン電極24dとが設けられる。
図3〜図9は、図1に示した半導体素子の概略的製造工程を説明するための断面図である。
図10に示すように、基板20上にゲート電極物質を蒸着した後、これをパターニングしてゲート電極21を形成する。
定電流テスト時のTFTの温度は45℃であり、ソース/ドレインに印加された電流は3μAであり、印加時間は100時間ほどであった。図21から分かるように、ソース電極/ゲート電極間の変動電圧(DeltaV)を測定した結果、測定時間の間、0.3V以下を維持した。
図22は、定電流テスト前の結果を示すものであり、オン−カレントは10−4Aであり、オフ−カレントは10−12Aであり、従ってオン−カレント/オフ−カレント比(Ratio)は108となる。このときの活性層での移動度は40cm2/Vs、ゲートスイング電圧は約0.385V/decと計算された。
11、23 活性層
11’ 半導体物質層
12s、24s ソース電極
12d、24d ドレイン電極
13、22 ゲート絶縁層
14、21 ゲート電極
Claims (23)
- 基板と、
前記基板上に下記の化学式1で表示される複合体を含む活性層と、
前記活性層に電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極と、
前記活性層に形成されるゲート電極と、
前記ゲート電極と活性層との間に介在するゲート絶縁層とを有することを特徴とする半導体素子。
(化1)
x(Ga2O3)・y(In2O3)・z(ZnO)・・・化学式1
(ただし式中、x、y、zは、
0.75≦x/z≦3.15であり、0.55≦y/z≦1.70である。) - 前記化学式1で、x、y及びzは、0.85≦x/z≦3.05であり、0.65≦y/z≦1.70であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、1.15≦x/z≦2.05であり、1.15≦y/z≦1.70であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、1.25≦x/z≦1.95であり、1.25≦y/z≦1.70であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、1.25≦x/z≦1.45であり、1.45≦y/z≦1.65であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記ソース電極及びドレイン電極は、ITO(tin−doped indium oxide)、IZO(indium zinc oxide)、及びZAO(aluminum−doped zinc oxide)よりなる群より選択される金属酸化物より形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記ソース電極及びドレイン電極は、Ti、Pt、Cr、W、Al、Ni、Cu、Mo、Ta及びこれらの合金からなる群から選択される金属を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記ソース電極及びドレイン電極は、複数の金属層によって形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体素子。
- 前記ソース電極又はドレイン電極と前記活性層との間に、n+層が形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体素子。
- 前記ゲート絶縁層は、窒化物、酸化物、又は高誘電酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記ゲート電極は、Ti、Pt、Cr、W、Al、Ni、Cu、Mo、Ta及びこれらの合金からなる群から選択される金属を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記基板は、ガラス基板又はプラスチック基板であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 基板上に下記の化学式1で表示される複合体を含む活性層と、ソース電極及びドレイン電極と、ゲート絶縁層と、ゲート電極とを形成する段階とを有することを特徴とする半導体素子の製造方法。
(化2)
x(Ga2O3)・y(In2O3)・z(ZnO)・・・化学式1
(ただし式中、x、y、zは、
0.75≦x/z≦3.15であり、0.55≦y/z≦1.70である。) - 前記活性層は、基板上に形成され、ソース電極及びドレイン電極は、前記活性層と電気的に接続されるように形成され、前記ゲート絶縁層は、前記活性層上部に形成され、前記ゲート電極は、活性層上方に形成されることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ゲート電極は、基板上に形成され、前記ゲート絶縁層は、前記ゲート電極上部に形成され、前記活性層は、前記ゲート絶縁層上部に形成され、前記ソース電極及びドレイン電極は前記活性層に接続されるように形成されることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、0.85≦x/z≦3.05であり、0.65≦y/z≦1.70であることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、1.15≦x/z≦2.05であり、1.15≦y/z≦1.70であることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、1.25≦x/z≦1.95であり、1.25≦y/z≦1.70であることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記化学式1で、x、y及びzは、1.25≦x/z≦1.45であり、1.45≦y/z≦1.65であることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ソース電極及びドレイン電極は、金属酸化物によって形成されることを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記活性層と前記ソース電極及びドレイン電極との間に、n+層を形成する段階をさらに有することを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記活性層、ソース電極及びドレイン電極を形成した後、前記活性層、ソース電極及びドレイン電極をアニーリングする段階をさらに有することを特徴とする請求項13に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記アニーリングは、窒素雰囲気中で、400℃以下の温度で実施されることを特徴とする請求項22に記載の半導体素子の製造方法。
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