JP2011216694A - 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011216694A JP2011216694A JP2010083990A JP2010083990A JP2011216694A JP 2011216694 A JP2011216694 A JP 2011216694A JP 2010083990 A JP2010083990 A JP 2010083990A JP 2010083990 A JP2010083990 A JP 2010083990A JP 2011216694 A JP2011216694 A JP 2011216694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- active layer
- etching stopper
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 230000005669 field effect Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 259
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 124
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 363
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 66
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 43
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 36
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 27
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 26
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 19
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 81
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 28
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 27
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 25
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 24
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 11
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 9
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- ZDYUUBIMAGBMPY-UHFFFAOYSA-N oxalic acid;hydrate Chemical compound O.OC(=O)C(O)=O ZDYUUBIMAGBMPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 4
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 4
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 4
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 3
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- VLAPMBHFAWRUQP-UHFFFAOYSA-L molybdic acid Chemical compound O[Mo](O)(=O)=O VLAPMBHFAWRUQP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- NNWNNQTUZYVQRK-UHFFFAOYSA-N 5-bromo-1h-pyrrolo[2,3-c]pyridine-2-carboxylic acid Chemical compound BrC1=NC=C2NC(C(=O)O)=CC2=C1 NNWNNQTUZYVQRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002574 CR-39 Polymers 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100489577 Solanum lycopersicum TFT10 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- QDGONURINHVBEW-UHFFFAOYSA-N dichlorodifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(Cl)Cl QDGONURINHVBEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000001182 laser chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Inorganic materials [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002751 molybdenum Chemical class 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003050 poly-cycloolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegallium Chemical compound [Te]=[Ga] OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
- H01L29/78693—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate the semiconducting oxide being amorphous
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78606—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with supplementary region or layer in the thin film or in the insulated bulk substrate supporting it for controlling or increasing the safety of the device
Abstract
【解決手段】薄膜電界効果型トランジスタは、基板上に、少なくともゲート電極、絶縁膜、活性層、エッチングストッパ層、ソース電極、およびドレイン電極が形成されており、活性層上にエッチングストッパ層が形成され、エッチングストッパ層上にソース電極およびドレイン電極が形成されている。エッチングストッパ層はZn濃度が20%未満のIn、GaおよびZnを含むアモルファス酸化物で構成されている。活性層はIn、GaおよびZnを含むアモルファス酸化物半導体で構成されており、Zn濃度がエッチングストッパ層のZn濃度よりも高い。
【選択図】図1
Description
また、液晶表示装置(LCD)、エレクトロルミネッセンス表示装置(EL)、フィールドエミッションディスプレイ(FED)等の平面薄型画像表示装置(Flat Panel Display:FPD)のスイッチング素子として、電界効果型トランジスタのうち、薄膜電界効果型トランジスタ(以下、TFTともいう)が用いられている。FPDに用いられるTFTは、ガラス基板上に活性層として非晶質シリコン薄膜または多結晶シリコン薄膜が形成されている。
また、FPDについて、より一層の薄型化、軽量化、耐破損性が要求されており、ガラス基板の替わりに軽量で可撓性のある樹脂製の基板を用いることも検討されている。このため、低温での成膜が可能なアモルファス酸化物を用いたTFTの開発が活発に行われている。
アモルファス酸化物を用いたTFTにおいて、ソース電極およびドレイン電極は、導電膜をエッチングすることにより形成される。このため、活性層上に、これを保護するエッチングストッパ層を形成しない場合、ソース電極およびドレイン電極の形成時に活性層もエッチングされてしまうことがあり、TFTの特性不良および特性ムラが生じることがある。極端な場合、活性層が全てエッチングされてしまい、TFT特性を示さないこともある。このようなことから、活性層を保護するためのエッチングストッパ層等を設けたTFTが提案されている(例えば、特許文献1〜3参照)。
第2の絶縁膜は、エッチングストップ層として機能するものであり、チャネル領域の一部を覆うように、好ましくは、チャネル領域の全体を覆うように設けられている。
なお、第2の絶縁膜は、アモルファスSiOx、アモルファスシリコンオキシナイトライド、またはアモルファスアルミニウムオキサイドで構成される。
チャネル保護膜は、ソース電極、ドレイン電極を形成する際にチャネル部の半導体層のエッチングを防ぐものである。このチャネル保護膜は、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)などで構成される。
しかしながら、特許文献1、2のように、エッチングストッパ層をアモルファスSiOx、SiO2等で形成した場合、ドライエッチングで加工するか、またはウエットエッチングの場合にはバッファードフッ酸を用いて加工する必要があり、エッチングストッパ層の加工は困難である。
なお、高濃度の酸素雰囲気下で、エッチングストッパ層であるSiO2膜をスパッタ法で成膜する場合、成膜条件によっては、上述の活性層の低抵抗化を防ぐことができる。このように、低抵抗化を回避することができても、下地の活性層のバックチャネルが酸素イオンによりダメージを受ける。活性層が酸素イオンによるダメージを受けると、TFTの信頼性を評価すると閾値シフトが大きいものとなる。
なお、本発明において、エッチングストッパ層におけるZn濃度、In濃度およびGa濃度は、上述の活性層のZn濃度、In濃度およびGa濃度の定義と同じであり、上述の活性層のZn濃度、In濃度およびGa濃度の定義、計算方法において、「アモルファス酸化物半導体」を「アモルファス酸化物膜」に読み替えたものである。
また、前記ソース電極および前記ドレイン電極は、モリブデンまたはモリブデン合金により構成されることが好ましく、特に、モリブデンが好ましい。
また、前記薄膜電界効果型トランジスタは、トップコンタクト型ボトムゲート構造またはトップコンタクト型トップゲート構造のどちらでもよい。
また、前記活性層と前記エッチングストッパ層とは同一形状であることが好ましい。
また、前記混酸水溶液は、りん酸を70〜75質量%、酢酸を5〜10質量%、硝酸を1〜5質量%含有することが好ましい。
また、前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程の後に、前記エッチングストッパ層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように前記基板上に保護層を形成する工程を有することが好ましい。
さらに、前記活性層と前記エッチングストッパ層とは同一形状に形成されることが好ましい。また、前記各工程は、200℃以下の温度でなされることが好ましい。
また、エッチングストッパ層を上記組成とすることにより、ソース電極およびドレイン電極を形成するためのりん酸、酢酸、および硝酸を含む混酸水溶液に対して、ソース電極およびドレイン電極とエッチングストッパ層とのエッチングレート比を十分に大きくすることができる。このため、ソース電極およびドレイン電極の形成時に、活性層がエッチングストッパ層で保護されて活性層がダメージを受けることがない。これにより、TFT特性が良好であり、かつ信頼性も高い薄膜電界効果型トランジスタを得ることができる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタを示す模式的断面図である。
基板12に、有機材料を用いた場合、耐熱性、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、および低吸湿性等が優れていることが好ましい。
また、基板12に、ガラスを用いる場合、ガラスからの溶出イオンを少なくするため、無アルカリガラスを用いることが好ましい。なお、基板12に、ソーダライムガラスを用いる場合には、シリカ等のバリアコートを施したものを使用することが好ましい。
可撓性基板としては、透過率の高い有機プラスチックフィルムが好ましい。この有機プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンフタレート(PBT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、またはポリ(クロロトリフルオロエチレン)等のプラスチックフィルムが用いられる。
基板12にプラスチックフィルム等を用いた場合、電気絶縁性が不十分であれば、絶縁層を形成して用いられる。
透湿防止層(ガスバリア層)の材料としては、窒化珪素、酸化珪素等の無機物が好適に用いられる。透湿防止層(ガスバリア層)は、例えば、高周波スパッタ法等により形成することができる。
なお、熱可塑性基板を用いる場合には、更に必要に応じて、ハードコート層、アンダーコート層等を設けてもよい。
ゲート絶縁膜16の厚さは、10nm〜10μmが好ましい。ゲート絶縁膜16は、リーク電流を減らすため、電圧耐性を上げるために、ある程度膜厚を厚くする必要がある。しかしながら、ゲート絶縁膜16の膜厚を厚くすると、TFT10の駆動電圧の上昇を招く。このため、ゲート絶縁膜16の厚さは、無機絶縁体の場合、50nm〜1000nmであることがより好ましく、高分子絶縁体の場合、0.5μm〜5μmであることがより好ましい。
なお、HfO2のような高誘電率絶縁体をゲート絶縁膜16に用いた場合、膜厚を厚くしても、低電圧でのトランジスタの駆動が可能であるため、ゲート絶縁膜16には、高誘電率絶縁体を用いることが特に好ましい。
ソース電極20aおよびドレイン電極20bとしては、TFT特性の信頼性およびES層30とのエッチングレート比という観点から、MoまたはMo合金を用いることが好ましく、特にMoが好ましい。なお、ソース電極20aおよびドレイン電極20bの厚さは、例えば、10nm〜1000nmである。
なお、ソース電極20aおよびドレイン電極20bの構成する上述の膜の形成方法は特に限定されるものではない。上述の膜は、例えば、印刷方式、コ−ティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレ−ティング法等の物理的方式、CVD、プラズマCVD法等の化学的方式等を用いて形成される。
そして、フォトリソグラフィー法を用いて、Mo膜またはMo合金膜にレジストパターンを形成し、エッチング液により、Mo膜またはMo合金膜をエッチングしてソース電極20aおよびドレイン電極20bを形成する。
エッチング液として、りん酸、酢酸、および硝酸を含む混酸水溶液が用いられる。この混酸水溶液は、例えば、りん酸を70〜75質量%、酢酸を5〜10質量%、硝酸を1〜5質量%を含有し、残部が水である。
活性層18においては、酸素を除いた原子量全体を100%とした場合、Zn濃度(Zn/(Zn+In+Ga))が20〜50%であることが好ましい。
ES層30においては、酸素を除いた原子量全体を100%とした場合において、Zn濃度(Zn/(Zn+In+Ga))が20%未満である。このES層30においては、更にIn濃度(In/(Zn+In+Ga))が40%以上であり、Ga濃度(Ga/(Zn+In+Ga))が37%以上であることが好ましい。
活性層18およびES層30におけるZn濃度の計算方法としては、Zn濃度=[アモルファス酸化物半導体膜(アモルファス酸化物膜)中に含まれるZn原子量/(アモルファス酸化物半導体膜(アモルファス酸化物膜)中に含まれるIn原子量+アモルファス酸化物半導体膜(アモルファス酸化物膜)中に含まれるGa原子量+アモルファス酸化物半導体膜(アモルファス酸化物膜)中に含まれるZn原子量)]を用いることができる。活性層18およびES層30におけるIn濃度およびGa濃度についてもZn濃度と同様の定義であり、In濃度およびGa濃度もZn濃度と同様にして求められる。
なお、アモルファス酸化物半導体膜(アモルファス酸化物膜)中のZn原子量、In原子量およびGa原子量は、XRF(蛍光X線分析)によって求めた値が用いられる。
なお、ES層30のZn濃度に関しては、5%以上20%未満にすることが好ましい。Zn濃度が5%未満の場合、酸化物半導体膜のアモルファス性が悪くなり、結晶化しやすくなるためである。
また、ES層30のIn濃度に関しては、40%〜58%であることが好ましく、ES層30のGa濃度に関しては、37%〜55%であることが好ましい。
ES層30のGa濃度が37%以上であると、図3に示すように、りん酸、酢酸、および硝酸を含む混酸水溶液に対して、モリブデンとのエッチングレート比が10を超える。このため、ソース電極20aおよびドレイン電極20b形成時において、ES層30のエッチングが抑制される。
また、ES層30のIn濃度が40%以上であっても、図3に示すように、りん酸、酢酸、および硝酸を含む混酸水溶液に対して、モリブデンとのエッチングレート比が10を超える。このため、ソース電極20aおよびドレイン電極20b形成時において、ES層30のエッチングが抑制される。
なお、ES層30の組成について、Zn濃度を20%未満とし、さらにIn濃度を40%以上とし、Ga濃度を37%以上とすることにより、混酸水溶液に対するソース電極20aおよびドレイン電極20bとのエッチングレート比をより十分に高くすることができる。これにより、ES層30のエッチングをより確実に抑制することができる。
本実施形態の保護層22は、例えば、感光性アクリル樹脂が窒素雰囲気で加熱硬化処理されて形成されたものである。
まず、基板12として、例えば、ガラス基板を用意する。
次に、基板12の表面12aに、例えば、厚さが40nmのモリブデン膜(図示せず)を、DCスパッタ法を用いて成膜する。
次に、モリブデン膜上にレジスト膜(図示せず)を形成し、フォトリソグラフィー法を用い、レジストパターンを形成する。
次に、例えば、りん酸を70〜75質量%、酢酸を5〜10質量%、硝酸を1〜5質量%を含有し、残部が水で構成される混酸水溶液を用いて、モリブデン膜をエッチングする。その後、レジスト膜を剥離する。これにより、図4(a)に示すように、モリブデンからなるゲート電極14が基板12の表面12aに形成される。
次に、SiO2膜の表面に、活性層18となる第1のIGZO膜(図示せず)を、例えば、30nmの厚さにDCスパッタ法を用いて成膜する。
次に、第1のIGZO膜の表面に、ES層30となる第2のIGZO膜(図示せず)を、例えば、20nmの厚さにDCスパッタ法を用いて圧力0.37Paの条件で成膜する。このように、SiO2膜、第1のIGZO膜および第2のIGZO膜を、その順で基板12上に連続して形成する。
次に、第2のIGZO膜上にレジスト膜(図示せず)を形成する。そして、フォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成する。そして、例えば、5%シュウ酸水を用いて、第2のIGZO膜のみをエッチングする。その後、レジスト膜を剥離する。これにより、ES層30が形成される。
ES層30を構成する第2のIGZO膜は、In、GaおよびZnを含みZn濃度が20%未満であり、好ましくは、In濃度が40%以上であり、Ga濃度が37%以上である。
また、第1のIGZO膜、第2のIGZO膜をDCスパッタ法で形成する場合、上述の第1のIGZO膜、第2のIGZO膜の各組成となるように予め組成が調整されたターゲットが用いられる。
次に、モリブデン膜上にレジスト膜(図示せず)を形成し、ゲート電極14と同様にフォトリソグラフィー法を用いて、レジストパターンを形成する。その後、例えば、りん酸を70〜75質量%、酢酸を5〜10質量%、硝酸を1〜5質量%を含有し、残部が水で構成される混酸水溶液を用いてモリブデン膜をエッチングする。なお、エッチングは、エッチング時の混酸水溶液の液温が35℃以下で行うことが好ましく、更には液温が15℃〜25℃で行うことがより好ましい。エッチング後、レジスト膜を剥離する。これにより、図4(c)に示すように、ES層30の表面30aの一部および活性層18の表面18aの一部を覆うようにして形成されたソース電極20aおよびドレイン電極20bが得られる。
次に、窒素雰囲気下で、180℃の温度で、ポストアニ−ルを1時間行う。以上のようにして、図1に示すTFT10を形成することができる。
また、エッチング液に対するソース電極20aおよびドレイン電極20bとES層30とのエッチングレート比を10以上と高くし、ES層30のエッチング耐性を高めている。これにより、ソース電極20aおよびドレイン電極20bを形成する際のエッチング時に下地のES層30のエッチングを低減し、下地の活性層18に何のダメージも与えることがない。このため、良好なTFT特性を示し、かつ信頼性も高いTFT10を面内に均一に形成することができる。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタを示す模式的断面図である。
なお、本実施形態においては、図1に示す第1の実施形態のTFT10と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図6(a)〜(c)は、本発明の第2の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
なお、TFT10aの製造方法において、図4(a)〜(c)に示す第1の実施形態のTFT10の製造方法と同じ工程については、その詳細な説明は省略する。
次に、第1の実施形態と同様にして、ゲート絶縁膜16となるSiO2膜、活性層18となる第1のIGZO膜(図示せず)およびES層32となる第2のIGZO膜(図示せず)の順で、基板12上に連続して形成する。
再度、第2のIGZO膜上にレジスト膜(図示せず)を形成し、フォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成する。そして、SiO2膜をエッチングする。その後、レジスト膜を剥離する。これにより、図6(b)に示すように、ゲート絶縁膜16の表面16aにES層32および活性層18がパターン形成される。この場合、活性層18の表面18aに形成されたES層32は、活性層18と同じ形状に形成される。
また、ES層32を構成する第2のIGZO膜は、第1の実施形態のES層30を構成する第2のIGZO膜と同じ組成である。
第1のIGZO膜および第2のIGZO膜は、第1の実施形態と同様に、DCスパッタ法で形成する場合、予め組成が調整されたターゲットが用いられる。
なお、ES層32および活性層18を1度にまとめて形成したが、これに限定されるものではない。ES層32および活性層18を、それぞれフォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成してエッチングすることにより形成してもよい。
また、ES層32を活性層18と同一形状とすることにより、同じマスクで形成されたレジストパターンを用いて、ES層32と活性層18とを形成することができる。これにより、レジストパターンを形成するに必要なマスクの数を減らすことができ、コストを低減することができるとともに、製造工程を簡略化することができる。これにより、生産効率も向上させることができる。
さらに、従来に比して、ES層32を容易形成することができ、しかも、加工も容易にすることができる。
また、TFT10aの製造工程においても、レジスト膜の形成、レジストパターン形成、各種膜の形成、保護層22の形成は、いずれも温度が200℃以下でなされる。このように、各工程が温度200℃以下でなされるため、PET、PEN等の耐熱性が低い基板12を用いることができる。これにより、可撓性を有するトランジスタを得ることができる。
図7は、本発明の第3の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタを示す模式的断面図である。
なお、本実施形態においては、図1に示す第1の実施形態のTFT10と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
なお、絶縁膜24は、ES層30および活性層18ならびにソース電極20aおよびドレイン電極20bとゲート電極14とを絶縁するためのものである。絶縁膜24は、図1に示すTFT10のゲート絶縁層16と同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
図8(a)〜(d)は、本発明の第3の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
なお、TFT10bの製造方法において、図4(a)〜(c)に示す第1の実施形態のTFT10の製造方法と同じ工程については、その詳細な説明は省略する。
次に、基板12の表面12aに、活性層18となる第1のIGZO膜(図示せず)を、例えば、30nmの厚さにDCスパッタ法を用いて成膜する。
次に、第1のIGZO膜の表面に、ES層30となる第2のIGZO膜(図示せず)を、例えば、20nmの厚さにDCスパッタ法を用いて圧力0.37Paの条件で成膜する。このように、第1のIGZO膜および第2のIGZO膜を連続して形成する。
再度、第2のIGZO膜上にレジスト膜(図示せず)を形成し、フォトリソグラフィー法を用いて、レジストパターンを形成する。そして、第2のIGZO膜のみを、例えば、5%シュウ酸水を用いてエッチングする。その後、レジスト膜を剥離する。これにより、図8(a)に示すように、基板12の表面12aに、活性層18が形成され、その表面18aにES層30が形成される。
次に、モリブデン膜上にレジスト膜(図示せず)を形成し、フォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成する。そして、第1の実施形態と成分が同じ混酸水溶液を用いてモリブデン膜をエッチングする。エッチング後、レジスト膜を剥離する。これにより、図8(b)に示すように、ES層30の表面30aおよび活性層18の表面18aの一部を覆うようにして形成されたソース電極20aおよびドレイン電極20bが得られる。
次に、絶縁膜24の表面24aに、例えば、厚さが40nmのゲート電極14となるモリブデン膜(図示せず)を、DCスパッタ法を用いて成膜する。
次に、モリブデン膜上にレジスト膜(図示せず)を形成し、フォトリソグラフィー法を用い、レジストパターンを形成する。
次に、第1の実施形態と成分が同じ混酸水溶液を用いて、モリブデン膜をエッチングする。その後、レジスト膜を剥離する。これにより、図8(d)に示すように、モリブデンからなるゲート電極14が絶縁膜24の表面24aに形成される。
次に、窒素雰囲気下で、180℃の温度で、ポストアニ−ルを1時間行う。以上のようにして、図7に示すTFT10bを形成することができる。
さらに、従来に比して、ES層32を容易形成することができ、しかも、加工も容易にすることができる。
また、本実施形態のTFT10bの製造工程においても、レジスト膜の形成、レジストパターン形成、各種膜の形成、保護層22の形成は、いずれも温度が200℃以下でなされる。このように、各工程が温度200℃以下でなされるため、PET、PEN等の耐熱性が低い基板12を用いることができる。これにより、可撓性を有するTFTを得ることができる。
図9は、本発明の第4の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタを示す模式的断面図である。
なお、本実施形態においては、図7に示す第3の実施形態のTFT10bと同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図10(a)〜(d)は、本発明の第4の実施形態に係る薄膜電界効果型トランジスタの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
なお、TFT10cの製造方法において、図8(a)〜(d)に示す第3の実施形態のTFT10bの製造方法と同じ工程については、その詳細な説明は省略する。
次に、第2のIGZO膜上にレジスト膜(図示せず)を形成する。そして、フォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成する。そして、第2のIGZO膜および第1のIGZO膜を、例えば、5%シュウ酸水を用いてエッチングする。その後、レジスト膜を剥離する。これにより、図10(a)に示すように、ES層32および活性層18がパターン形成される。この場合、活性層18の表面18aに形成されたES層32は、活性層18と同じ形状に形成される。
第1のIGZO膜および第2のIGZO膜は、第3の実施形態と同様に、DCスパッタ法で形成する場合、予め組成が調整されたターゲットが用いられる。
次に、第3の実施形態と同様にして、図10(d)に示すように、絶縁膜24の表面24aにモリブデンからなるゲート電極14を形成し、そして、ゲート電極14を覆うようにして絶縁膜24の表面24aに保護層22を形成する。その後、窒素雰囲気下で180℃の温度で、1時間、ポストアニ−ルを行うことにより、TFT10cを形成することができる。
なお、ES層32および活性層18を1度にまとめて形成したが、これに限定されるものではない。ES層32および活性層18を、それぞれフォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成してエッチングすることにより形成してもよい。
また、ES層32を活性層18と同一形状とすることにより、同じマスクで形成されたレジストパターンを用いて、ES層32と活性層18とを形成することができる。これにより、レジストパターンを形成するに必要なマスクの数を減らすことができ、コストを低減することができるとともに、製造工程を簡略化することができる。これにより、生産効率も向上させることができる。
さらに、従来に比して、ES層32を容易形成することができ、しかも、加工も容易にすることができる。
また、TFT10cの製造工程においても、レジスト膜の形成、レジストパターン形成、各種膜の形成、保護層22の形成は、いずれも温度が200℃以下でなされる。このように、各工程が温度200℃以下でなされるため、PET、PEN等の耐熱性が低い基板12を用いることができる。これにより、可撓性を有するTFTを得ることができる。
本実施例においては、以下の実施例1、実施例2および比較例1〜比較例3に示すTFTを作製し、各実施例1、実施例2および比較例1〜比較例3のTFTについて評価した。なお、実施例1、実施例2および比較例1〜比較例3のTFTは、図1に示す構成のTFT10を用いた。
実施例1、実施例2、比較例1および比較例2の各TFTにおいて、ゲート電極14については、DCスパッタ法により厚さが40nmのモリブデン膜を形成し、このモリブデン膜にフォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成し、りん酸を73質量%、酢酸を7質量%、硝酸を3質量%含有し、残部が水である混酸水溶液(液温35℃)を用いてエッチングして形成した。
ゲート絶縁膜16については、SiO2膜/第1のIGZO膜/第2のIGZO膜上にフォトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成し、バッファードフッ酸を用いてSiO2膜をエッチングして形成した。
実施例1において、上述のエッチング液(りん酸73質量%、酢酸7質量%および硝酸3質量%の混酸水溶液(液温25℃))による、ソース電極、ドレイン電極を構成するモリブデンとのエッチングレート比(IGZO:Mo)は1:13.8である。実施例1は、図2に示す符号Aに相当するものである。
実施例2において、上述のエッチング液(りん酸73質量%、酢酸7質量%および硝酸3質量%の混酸水溶液(液温25℃))による、ソース電極、ドレイン電極を構成するモリブデンとのエッチングレート比(IGZO:Mo)は1:10.6である。実施例2は、図2に示す符号Bに相当するものである。
比較例1においては、第1のIGZO膜を形成した後、活性層18をパターン形成した。その後、活性層18を覆うようにしてゲート絶縁膜16の表面16aに、RFスパッタ法を用いて、厚さが20nmのSiO2膜を形成した。次に、SiO2膜上にレジストパターンを形成し、バッファードフッ酸を用いてSiO2膜をエッチングしてES層を形成した。
比較例2において、上述のエッチング液(りん酸73質量%、酢酸7質量%および硝酸3質量%の混酸水溶液(液温25℃))による、ソース電極、ドレイン電極を構成するモリブデンとのエッチングレート比(IGZO:Mo)は1:3.1である。比較例2は、図2に示す符号Cに相当するものである。
比較例3において、上述のエッチング液(りん酸73質量%、酢酸7質量%および硝酸3質量%の混酸水溶液(液温25℃))による、ソース電極、ドレイン電極を構成するモリブデンとのエッチングレート比(IGZO:Mo)は1:9.0である。比較例3は、図2に示す符号Dに相当するものである。
一方、比較例1は、ES層を形成する際のエッチングにより、下地の活性層もエッチングされてしまい、ソース電極、ドレイン電極とのコンタクトが不充分となり、オン電流が悪化し、信頼性試験でも実施例1、2よりも劣る結果となった。
また、比較例2はES層が機能せず、ソース電極、ドレイン電極の形成時のエッチングにより活性層が消滅し、TFTを形成することができず、TFT動作はしなかった。比較例3は、ES層機能が不充分であり、TFT動作はしたもののTFT特性の面内均一性が悪かった。
本実施例においては、第1の実施例に比して、ES層と活性層とを同一形状とした以外は、第1の実施例と同様であるため、その詳細な説明は省略する。
なお、実施例3は、ES層と活性層を同一のマスクで形成できるため、マスク数を低減でき、コスト低減が可能となる。
12 基板
14 ゲート電極
16 ゲート絶縁膜
18 活性層
20a ソース電極
20bドレイン電極
22 保護層
24 絶縁膜
30、32 エッチングストッパ層(ES層)
Claims (13)
- 基板上に、少なくともゲート電極、絶縁膜、活性層、エッチングストッパ層、ソース電極、およびドレイン電極が形成され、前記活性層上に前記エッチングストッパ層が形成され、前記エッチングストッパ層上に前記ソース電極および前記ドレイン電極が形成された薄膜電界効果型トランジスタであって、
前記エッチングストッパ層は、Zn濃度が20%未満のIn、GaおよびZnを含むアモルファス酸化物で構成されており、
前記活性層は、In、GaおよびZnを含むアモルファス酸化物半導体で構成されるものであり、Zn濃度が前記エッチングストッパ層のZn濃度よりも高いことを特徴とする薄膜電界効果型トランジスタ。 - 前記エッチングストッパ層は、In濃度が40%以上であり、Ga濃度が37%以上である請求項1に記載の薄膜電界効果型トランジスタ。
- 前記ソース電極および前記ドレイン電極は、モリブデンまたはモリブデン合金により構成される請求項1または2に記載の薄膜電界効果型トランジスタ。
- 前記薄膜電界効果型トランジスタは、トップコンタクト型ボトムゲート構造である請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜電界効果型トランジスタ。
- 前記薄膜電界効果型トランジスタは、トップコンタクト型トップゲート構造である請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜電界効果型トランジスタ。
- 前記活性層と前記エッチングストッパ層とは同一形状である請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜電界効果型トランジスタ。
- 基板上に、少なくともゲート電極、絶縁膜、活性層、エッチングストッパ層、ソース電極、およびドレイン電極が形成され、前記活性層上に前記エッチングストッパ層が形成され、前記エッチングストッパ層上に前記ソース電極および前記ドレイン電極が形成された薄膜電界効果型トランジスタの製造方法であって、
エッチング液として、りん酸、酢酸、および硝酸を含む混酸水溶液を用いて、前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程を有し、
前記エッチングストッパ層は、Zn濃度が20%未満のIn、GaおよびZnを含むアモルファス酸化物で構成されており、
前記活性層は、In、GaおよびZnを含むアモルファス酸化物半導体で構成されるものであり、Zn濃度が前記エッチングストッパ層のZn濃度よりも高いことを特徴とする薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記エッチングストッパ層は、In濃度が40%以上であり、Ga濃度が37%以上である請求項7に記載の薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記混酸水溶液は、りん酸を70〜75質量%、酢酸を5〜10質量%、硝酸を1〜5質量%含有する請求項7または8に記載の薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程の前に、前記基板上に前記ゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極を覆うように前記基板上に前記絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に前記活性層を形成する工程と、前記活性層上に前記エッチングストッパ層を形成する工程を有し、
前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程において、前記ソース電極および前記ドレイン電極を、前記エッチングストッパ層の一部を覆うように前記基板上に形成する請求項7〜9のいずれか1項に記載の薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程の後に、前記エッチングストッパ層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように前記基板上に保護層を形成する工程を有する請求項10に記載の薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程の前に、前記基板上に前記活性層を形成する工程と、前記活性層上に前記エッチングストッパ層とを形成する工程とを有し、
前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程において、前記ソース電極および前記ドレイン電極を、前記エッチングストッパ層の一部を覆うように前記基板上に形成し、
さらに前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成する工程の後に、前記エッチングストッパ層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように前記基板上に前記絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に前記ゲート電極を形成する工程とを有する請求項7〜9のいずれか1項に記載の薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記活性層と前記エッチングストッパ層とは同一形状に形成されるものである請求項7〜12のいずれか1項に記載の薄膜電界効果型トランジスタの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010083990A JP5496745B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 |
TW100108322A TWI515909B (zh) | 2010-03-31 | 2011-03-11 | 薄膜場效電晶體及其製造方法 |
KR1020110028906A KR101811257B1 (ko) | 2010-03-31 | 2011-03-30 | 박막 전계 효과형 트랜지스터 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010083990A JP5496745B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011216694A true JP2011216694A (ja) | 2011-10-27 |
JP2011216694A5 JP2011216694A5 (ja) | 2012-09-06 |
JP5496745B2 JP5496745B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=44946134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010083990A Active JP5496745B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5496745B2 (ja) |
KR (1) | KR101811257B1 (ja) |
TW (1) | TWI515909B (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0251344A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Tokyo Electric Co Ltd | ワイヤ駆動装置 |
JP2013123045A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-06-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2014116588A (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2014131022A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
US9059046B2 (en) | 2012-04-18 | 2015-06-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film transistor, thin film transistor array panel, and method of manufacturing a thin film transistor array panel |
KR20150113665A (ko) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | 동우 화인켐 주식회사 | 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법 |
US9257563B2 (en) | 2012-09-21 | 2016-02-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film transistor array panel and method of manufacturing the same |
JP2017224863A (ja) * | 2012-11-16 | 2017-12-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
WO2018016456A1 (en) | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Ricoh Company, Ltd. | Field-effect transistor, method for producing the same, display element, image display device, and system |
KR20190027913A (ko) | 2016-07-20 | 2019-03-15 | 가부시키가이샤 리코 | 전계 효과 트랜지스터, 이의 제조 방법, 디스플레이 소자, 이미지 디스플레이 디바이스, 및 시스템 |
US10235930B2 (en) | 2015-12-08 | 2019-03-19 | Ricoh Company, Ltd. | Field-effect transistor including first and second gate insulating layers, display element, image display device and system including field-effect transistor |
CN111725238A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | 群创光电股份有限公司 | 工作模块 |
CN112234072A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-15 | 福建华佳彩有限公司 | 一种新型柔性tft阵列基板结构及其制作方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI483344B (zh) * | 2011-11-28 | 2015-05-01 | Au Optronics Corp | 陣列基板及其製作方法 |
CN107104138B (zh) | 2016-02-19 | 2021-04-27 | 硅显示技术有限公司 | 氧化物半导体晶体管 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130209A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Fujifilm Corp | 放射線撮像素子 |
JP2009533884A (ja) * | 2006-04-17 | 2009-09-17 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 半導体素子及びその製造方法 |
JP2010021333A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Fujifilm Corp | 金属酸化物膜とその製造方法、及び半導体装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009034953A1 (ja) | 2007-09-10 | 2009-03-19 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 薄膜トランジスタ |
JP5489446B2 (ja) | 2007-11-15 | 2014-05-14 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタおよびそれを用いた表示装置 |
JP5345456B2 (ja) | 2008-08-14 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタ |
-
2010
- 2010-03-31 JP JP2010083990A patent/JP5496745B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-11 TW TW100108322A patent/TWI515909B/zh active
- 2011-03-30 KR KR1020110028906A patent/KR101811257B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009533884A (ja) * | 2006-04-17 | 2009-09-17 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 半導体素子及びその製造方法 |
JP2009130209A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Fujifilm Corp | 放射線撮像素子 |
JP2010021333A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Fujifilm Corp | 金属酸化物膜とその製造方法、及び半導体装置 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0251344A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Tokyo Electric Co Ltd | ワイヤ駆動装置 |
JP2013123045A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-06-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
US9059046B2 (en) | 2012-04-18 | 2015-06-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film transistor, thin film transistor array panel, and method of manufacturing a thin film transistor array panel |
US9257563B2 (en) | 2012-09-21 | 2016-02-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film transistor array panel and method of manufacturing the same |
US9449819B2 (en) | 2012-11-16 | 2016-09-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US10886413B2 (en) | 2012-11-16 | 2021-01-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2020014011A (ja) * | 2012-11-16 | 2020-01-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US10361318B2 (en) | 2012-11-16 | 2019-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2014116588A (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
US9812583B2 (en) | 2012-11-16 | 2017-11-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2017224863A (ja) * | 2012-11-16 | 2017-12-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015122509A (ja) * | 2012-11-16 | 2015-07-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US11710794B2 (en) | 2012-11-16 | 2023-07-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2018026598A (ja) * | 2012-11-16 | 2018-02-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタ |
US9865746B2 (en) | 2012-11-30 | 2018-01-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2014131022A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
KR102169571B1 (ko) * | 2014-03-31 | 2020-10-23 | 동우 화인켐 주식회사 | 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법 |
KR20150113665A (ko) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | 동우 화인켐 주식회사 | 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법 |
US10699632B2 (en) | 2015-12-08 | 2020-06-30 | Ricoh Company, Ltd. | Field-effect transistor having dual gate oxide insulating layers, display element, image display device, and system |
US10235930B2 (en) | 2015-12-08 | 2019-03-19 | Ricoh Company, Ltd. | Field-effect transistor including first and second gate insulating layers, display element, image display device and system including field-effect transistor |
KR20190027913A (ko) | 2016-07-20 | 2019-03-15 | 가부시키가이샤 리코 | 전계 효과 트랜지스터, 이의 제조 방법, 디스플레이 소자, 이미지 디스플레이 디바이스, 및 시스템 |
US11018262B2 (en) | 2016-07-20 | 2021-05-25 | Ricoh Company, Ltd. | Field-effect transistor, method for producing the same, display element, image display device, and system |
WO2018016456A1 (en) | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Ricoh Company, Ltd. | Field-effect transistor, method for producing the same, display element, image display device, and system |
CN111725238A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | 群创光电股份有限公司 | 工作模块 |
CN111725238B (zh) * | 2019-03-19 | 2023-08-15 | 群创光电股份有限公司 | 具有晶体管元件的工作模块 |
CN112234072A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-15 | 福建华佳彩有限公司 | 一种新型柔性tft阵列基板结构及其制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201140850A (en) | 2011-11-16 |
JP5496745B2 (ja) | 2014-05-21 |
TWI515909B (zh) | 2016-01-01 |
KR20110110021A (ko) | 2011-10-06 |
KR101811257B1 (ko) | 2017-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5496745B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 | |
JP5345456B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ | |
JP5258475B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ | |
JP5467728B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 | |
US8513661B2 (en) | Thin film transistor having specified transmittance to light | |
US7943985B2 (en) | Oxide semiconductor thin film transistors and fabrication methods thereof | |
KR101792258B1 (ko) | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
US20090278120A1 (en) | Thin Film Transistor | |
JP5371467B2 (ja) | 電界効果型トランジスタ及び電界効果型トランジスタの製造方法 | |
US20100065844A1 (en) | Thin film transistor and method of manufacturing thin film transistor | |
JP5339792B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ、その製造方法、およびそれを用いた表示装置 | |
JP5647860B2 (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
US20180138037A1 (en) | Thin film transistor and method for manufacturing the same, array substrate and method for manufacturing the same, display panel and display device | |
JP5512144B2 (ja) | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5274165B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ及びその製造方法 | |
US20220140114A1 (en) | Method for manufacturing oxide semiconductor thin film transistor | |
JP5548500B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタの製造方法 | |
JP5523896B2 (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
JP2010045159A (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5523897B2 (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
JP5489435B2 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ | |
WO2014103323A1 (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ | |
JP2010073880A (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ及びその製造方法 | |
KR20210043553A (ko) | 산화물 반도체 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
JP2010045243A (ja) | 薄膜電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120725 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5496745 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |