JP2008166706A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 上方部分及び下方部分を含む内部空間を有するチャンバと、
   上記上方部分に連通された冷却材源と上記内部空間の上記下方部分に配設された加熱源と、
   上記上方部分と上記下方部分との間で基板を支持および移動させるように構成された浮揚基板支持体と、
   上記加熱源と上記基板との間に配設され、紫外光を透過するウインドウと、
   を備える基板処理装置。
2. 上記冷却材源は、冷却プレートを備える、請求項１に記載の装置。
3. 上記冷却プレートは、黒色材料を備える、請求項２に記載の装置。
4. 上記冷却プレートは、０．７０〜０．９５の放射率を有する、請求項２に記載の装置。
5. 上記冷却材源は、上記内部空間の上記上方部分にガスを導くガスポートを含む、請求項１に記載の装置。
6. 上記冷却材源は、内部に冷却材を流す為に少なくとも一つの流体チャネルを備える、請求項１に記載の装置。
7. 上記冷却材源は、内部に冷却材を流す為に少なくとも一つのチャネルを有する冷却プレートと、上記内部空間の上記上方部分にガスを導くガスポートとを備える、請求項１に記載の装置。
8. 上記ウインドウは、その上方表面から延びる複数のリフトピンを含む、請求項１に記載の装置。
9. 上方部分及び下方部分を含む内部空間を有するチャンバと、
   上記下方部分に配設された加熱源と、
   上記上方部分に配設された冷却プレートと、
   上記内部空間に少なくとも一部が配設された磁気的に駆動される基板支持体であって、環状本体を備え、上記環状本体は、その上方表面に上記基板を支持するように構成されている、上記基板支持体と、
   上記加熱源と上記基板との間に配設され、紫外光を透過するウインドウと、
   を備える基板処理装置。
10. 上記冷却プレートは、黒色材料を含む、請求項９に記載の装置。
11. 上記冷却プレートは、冷却材を流すための少なくとも１つの流体チャネルを備える、請求項９に記載の装置。
12. 上記内部空間の上記上方部分にガスを導くガスポートを更に備える、請求項９に記載の装置。
13. 上記ウインドウは、その上方表面から延びる複数のリフトピンを含む、請求項９に記載の装置。
14. 内部空間に冷却プレートと加熱源とが配設されたチャンバと、
    上記チャンバ内に配設され、環状本体を備える磁気浮揚基板支持体であって、その上方表面に上記基板を支持し、上記基板を上記加熱源と上記冷却プレート付近に移動させる、上記基板支持体と、
    を備える、基板処理装置。
15. 上記加熱源は、上記冷却プレートに対向した関係で配設される、請求項１４に記載の装置。
16. 上記加熱源は、上記内部空間の下方部分に配設される、請求項１４に記載の装置。
17. 上記加熱源と上記冷却プレートとの間に配設されたウインドウを更に備え、上記ウインドウは、紫外光を透過し、その上方表面から延びる複数のリフトピンを有する、請求項１４に記載の装置。