CH706662A1 - Transport- und Übergabevorrichtung für scheibenförmige Substrate, Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zur Herstellung behandelter Substrate. - Google Patents

Transport- und Übergabevorrichtung für scheibenförmige Substrate, Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zur Herstellung behandelter Substrate. Download PDF

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CH706662A1 CH00832/12A CH8322012A CH706662A1 CH 706662 A1 CH706662 A1 CH 706662A1 CH 00832/12 A CH00832/12 A CH 00832/12A CH 8322012 A CH8322012 A CH 8322012A CH 706662 A1 CH706662 A1 CH 706662A1
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Transport- und Übergabevorrichtung für scheibenförmige Substrate, umfassend einen Träger (3) und eine Übernahmeanordnung (15). Beide sind relativ zueinander beweglich. Ein relativ schwerer Substratträger (7) aus magnetisierbarem Material wird durch Abstands-Steuerung vom Permanent-Magneten (17) an der Übernahme-Anordnung (15) von Letzterer übernommen, bzw. von Letzterer an einen Träger (3) rückübergeben. Der gesteuerte Antrieb der Permanent-Magnete (17) in der Übernahme-Anordnung (15) erfolgt mittels pneumatischer Kolben-/Zylinder-Anordnungen (19).

Description

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transport- und Übergabevorrichtung für scheibenförmige Substrate.
[0002] Aus der EP 0 931 175 ist eine Transport- und Übergabevorrichtung bekannt, bei der an den Substraten Ankerteile aus magnetisierbarem Material lösbar befestigt sind. Das Substrat mit dem Ankerteil wird an einem ersten Anlageteil, der als Träger bezeichnet werden kann, mittels einem an diesem befestigten Permanent-Magnet, durch Magnetkraft, gehalten. Soll das Substrat mit daran befestigtem Ankerteil an einen zweiten Anlageteil übergeben werden, der als Übernahme-Anordnung bezeichnet werden kann, so werden Übernahme-Anordnung und Träger in eine Übernahmeposition gefahren. Dort werden in der Übernahme-Anordnung installierte Permanent-Magnete aus einer rückgeholten Position gegen die Träger-Anordnung bewegt. Dadurch reichen die Magnetkräfte der Permanent-Magnete in der Übernahme-Anordnung aus, die Magnetkräfte vom Anker hin zum Träger zu überwinden. Es werden Ankerteil zusammen mit dem Substrat an die Übernahme-Anordnung übergeben..
[0003] Nachteilig an diesem Vorgehen ist, dass an den Substraten, quasi als Mitnehmer, Ankerteile befestigt werden müssen, welche im Zuge einer Substratbehandlung diese gegebenenfalls massiv stören. Dies führt dazu, dass die erwähnten Ankerteile jedenfalls auch von den Substraten wieder entfernt werden müssen.
[0004] Im Weiteren müssen beim erwähnten Vorgehen sowohl Träger-seitig wie auch Übernahme-Anordnungs-seitig Magnete vorgesehen sein jeweils in Funktion des Träger/ Übernahme-Anordnungs-Abstandes aufeinander abgestimmt. Im Weiteren ist zu beachten, dass es gemäss der vorbekannten Technik die Substrate sind, die die Ankerteile tragen. Dünne forminstabile Substrate können nach der vorbekannten Art und Weise nicht gehandhabt werden, die insbesondere auch darauf abstützt, dass die Substrate ein mittiges Loch aufweisen, woran ein jeweiliges Ankerteil befestigt ist.
[0005] Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Transport-und Übergabevorrichtung für scheibenförmige Substrate vorzuschlagen, welche es ermöglicht, die Substratübergabe einfach, schnell und störungsfrei zu bewerkstelligen, in weitesten Grenzen unabhängig vom Substrat-Typ.
[0006] Hierzu wird an der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung ein Träger mit einer Träger-Oberfläche vorgesehen. An der Träger-Oberfläche sind tablettförmige Substratträger vorgesehen, welche durch ihr Gewicht an der Träger-Oberfläche gehalten sind. Die Substrate weisen dabei je mindestens eine flächige Aufnahme für ein Substrat auf.
[0007] Mindestens ein Teil an den Substrat-Trägern besteht aus magnetisierbarem Material.
[0008] Durch die tablettförmige Ausbildung der Substrat-Träger mit den flächigen Aufnahmen ist sichergestellt, dass, völlig unabhängig von der Form, Dicke und Formstabilität der jeweiligen Substrate, letztere an den Substratträgern liegen.
[0009] Im Weiteren ist an der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung eine der Träger-Oberfläche mit einer Übernahme-Oberfläche beabstandet gegenüberliegende Übernahme-Anordnung vorgesehen.
[0010] Es sind Träger- und Übernahme-Anordnung relativ und parallel zueinander gesteuert beweglich, so dass dabei sequenziell jeweils mindestens einer der Substratträger in Ausrichtung mit der Übernahme-Oberfläche gebracht werden kann. Somit kommt ein Substratträger nach dem anderen, an der Träger-Oberfläche, mit der Übernahme-Oberfläche der Übernahme-Anordnung in Ausrichtung, so dass dort eine Übernahme möglich wird.
[0011] Weiter ist an der Übernahme-Anordnung mindestens ein Permanentmagnet vorgesehen. Der Abstand zwischen dem mindestens einen Permanentmagneten und dem mindestens einen Teil aus magnetisierbarem Material am Substratträger ist gesteuert in zwei vorgegebene Abstandspositionen verstellbar, derart, dass in einer ersten die auf dem Substratträger wirkende Magnetkraft grösser als das Gewicht des Substratträgers ist, in der zweiten kleiner.
[0012] Durch Annäherung von Permanentmagnet und Substratträger in die erste Abstandsposition wird mithin der Substratträger gegen seine Gewichtskraft von der Übernahme-Anordnung übernommen, wird die Abstandsposition in die zweit erwähnte vergrössert wird, der Substratträger entweder auf der Träger-Oberfläche belassen oder an letztere rückübergeben.
[0013] Damit werden durch die tablettförmige Ausbildung der Substratträger, Substratträger relativ hohen Gewichtes eingesetzt. Dieses Gewicht vereinfacht jedoch die Gesamtkonzeption wesentlich, da für die Übergabe, magnetisch, nur mehr die Gewichtkraft überwunden werden muss und keine Permanentmagnete am Träger vorzusehen sind um die Substratträger dort zu halten.
[0014] Selbstverständlich können die Substratträger mehrere flächige Aufnahmen für ein oder mehrere Substrate aufweisen.
[0015] Eine gute Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung gemäss vorliegender Erfindung, welche mit allen noch zu beschreibenden kombinierbar ist, sofern nicht widersprüchlich, besteht darin dass die Übernahme-Anordnung, in einem Pneumatik-Zylinder, mindestens einen gesteuerten gegen die Träger-Oberfläche hin und von dieser rückholbaren Kolben umfasst, der mit dem mindestens einen Permanentmagneten gekoppelt ist.
[0016] Durch den erwähnten Pneumatik-Zylinder/Kolben-Antrieb des mindestens einen Permanentmagneten wird ein äusserst robustes Antriebssystem für die erwähnte Abstandssteuerung realisiert. Sind an der Übernahme-Anordnung zwei und mehr Permanentmagnete vorgesehen, ist es durchaus möglich zwei oder gar mehr der Permanentmagnete mittels einer gemeinsamen Pneumatik-Zylinder/Kolben-Anordnung zu treiben. Berücksichtigt man aber, dass die Abstandseinstellung zwischen Permanentmagneten und dem einen oder den mehreren Teilen aus magnetisierbarem Material am Substratträger relativ unkritisch ist, so ist es baulich vorteilhaft, mehrere entlang der Übernahme-Oberfläche verteilte Permanentmagnete je mittels einer kleinen Pneumatik-Zylinder/Kolben-Anordnung zu treiben.
[0017] In einer weiteren guten Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung nach der Erfindung, ist der mindestens eine Permanentmagnet zusammen mit dem Kolben im erwähnten Pneumatik-Zylinder gekapselt. Am erwähnten Kolben können je nach seiner Ausbildung ein oder mehrere Permanentmagnete üblicherweise aus seltenen Erden angebracht sein. Gegebenenfalls kann der Permanentmagnet, mit entsprechenden Kolbenringen versehen, gar dicht den Kolben bilden. Dadurch wird jegliche Verschmutzungsgefahr der Permanentmagnete behoben, da sie Druckluft umspült im Pneumatik-Zylinder von der übrigen Umwelt abgekapselt sind.
[0018] Eine weitere gute Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung nach vorliegender Erfindung besteht darin, dass die Übernahme-Anordnung selber mittels eines Antriebes gesteuert gegen die Träger-Oberfläche hin bewegbar und von dieser rückholbar ist. Geht man nämlich von einem fixen Abstand zwischen Übernahme-Oberfläche und Träger-Oberfläche aus, so ist ersichtlich, dass auf der Träger-Oberfläche abgelegte Substratträger, dann wenn der mindestens eine Permanentmagnet an der Übernahme-Anordnung in die erste Abstandsposition getrieben wird praktisch an die Übernahme-Oberfläche schnellt. Ebenso fällt der Substratträger von der Übernahme-Oberfläche abrupt auf die Träger-Oberfläche zurück, wenn der mindestens eine Permanentmagnet an der nicht-abstands-verstellbaren Übernahme-Anordnung in die zweite Abstandsposition rückgeholt wird. Die letzterwähnte Ausführungsform ermöglicht dies zu verhindern. Dabei kann für die Übernahme erst die Übernahme-Oberfläche auf den Substratträger an der Träger-Oberfläche abgesenkt werden, dann der mindestens eine Permanentmagnet in seine erste Abstandsposition gefahren werden. Der Substratträger bewegt sich dabei kaum, wird aber an die Übernahme-Oberfläche gezogen. Nun kann die Übernahme-Anordnung gemeinsam mit den Substratträger von der Träger-Oberfläche abgehoben werden um den Substratträger an eine bestimmte Destination weiter zu transportieren.
[0019] Umgekehrt wird für die Rückgabe eines Substratträgers an die Träger-Oberfläche die Übernahme-Anordnung erst soweit abgesenkt, dass der Substratträger sich auf der Träger-Oberfläche abstützt. Erst dann wird der mindestens eine Permanentmagnet von seiner ersten Abstandsposition (Festhalteposition) in die zweite rückgeholt, womit der Substratträger mit seinen ganzen Gewicht an die Träger-Oberfläche rückübergeben wird.
[0020] Diese Ausführungsform ist wiederum mit allen vorgenannten und noch zu erläuternden Ausführungsformen kombinierbar, sofern nicht widersprüchlich.
[0021] Es ist eine gute Ausführungsform, mit allen vorgenannten und noch zu erwähnenden Ausführungsformen kombinierbar, wenn nicht widersprüchlich, die Substratträger aus rostfreiem magnetisierbarem Stahl bereitzustellen. Dabei sind sie einstückig und mit einer oder mehreren Aufnahmen je für Substrate ausgelegt. Andererseits, in einer ebenfalls guten Ausführungsform, sofern nicht widersprüchlich, mit jeder der vorgenannten und noch zu nennenden Ausführungsform kombinierbar, werden die Substratträger mehrstückig ausgelegt, beispielsweise mit Aluminium- und Stahlpartien, durch Verschrauben, Verschweissen, etc. zum jeweiligen Substrathalter vereint. Auch durch Vorsehen von Ausfräsungen oder durchgehender Öffnungen in den Substratträgern kann ihr Gewicht auf das notwendige Mass optimiert werden.
[0022] Mit Blick auf eine möglicherweise mehrteilige Ausbildung der Substrathalter ist der hohen thermischen Belastung der Substratträger Rechnung zu tragen, welcher sie im Zuge der Behandlung der Substrate oft ausgesetzt werden, und mithin auftretenden, materialspezifischen thermischen Ausdehnungen.
[0023] Obwohl es durchaus möglich ist den mindestens einen Permanentmagneten gegen die Träger-Oberfläche frei ausgesetzt vorzusehen, ist es eine gute Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung, kombinierbar mit all den schon erwähnten und noch zu erwähnenden, sofern nicht widersprüchlich, den mindestens einen Permanentmagneten an der Übernahme-Anordnung durch eine Materiallage gegen die Träger-Oberfläche hin abzudecken; z.B. aus Aluminium oder einem Kunststoff.
[0024] In einer weiteren guten Ausführungsform, wiederum mit allen vorerwähnten und noch zu erläuternden kombinierbar, falls nicht widersprüchlich, ist zwischen der Übernahme-Oberfläche und dem jeweiligen Substratträger und/oder zwischen dem jeweiligen Substratträger und der Träger-Oberfläche ein elastisches Dämpfungsglied vorgesehen, welches Aufprallen von Substratträger auf Übernahme-Oberfläche bei der Übernahme abdämpft und/oder Aufprallen des Substratträgers auf die Träger-Oberfläche bei der Rückgabe an letztere.
[0025] In einer guten Ausführungsform umfasst das Dämpfungsglied einen elastischen Ring, z.B. einen O-Ring. Falls das Dämpfungsglied zwischen der Übernahme-Oberfläche und dem Substratträger angeordnet ist, kann ein solcher elastischer Ring in der Übernahme-Oberfläche und/oder in der ihr zugewandten Oberfläche des Substratträgers angeordnet sein, bevorzugt in ersterwähnter. Falls zusätzlich oder alternativ das Dämpfungsglied zwischen Substratträger (Rückseite) und Träger-Oberfläche angeordnet ist, kann ein elastischer Ring an der Träger-Oberfläche und/oder an der Letzterer zugewandten Oberfläche des Substratträgers angeordnet sein. Der elastische Ring ragt, im Querschnitt betrachtet, über die Oberfläche an der er angeordnet ist. Grundsätzlich ist das Vorsehen des Dämpfungsgliedes, insbesondere in Form eines elastischen Ringes, am Substratträger auch vorteilhaft, weil ein solches Dämpfungsglied am Substratträger einfach ausgewechselt werden kann, ohne beispielsweise in Zusammenhang mit einer Substrat-Behandlungsanlage, die Transport- und Übergabevorrichtung stillsetzen zu müssen.
[0026] Obwohl in guter Ausführungsform insbesondere der elastische Ring jeweils an einer von zwei zusammenwirkenden Oberflächen vorgesehen ist, nämlich an der Übernahme-Oberfläche oder an der ihr zugewandten Substrat Träger-Oberfläche und/oder an der – Träger-Oberfläche oder an der ihr zugewandten Substratträger-Rückoberflache, ist es durchaus möglich, jeweils an beiden sich zugewandten Oberflächen zusammenwirkende Dämpfungsglieder, wie insbesondere elastische Ringe, vorzusehen.
[0027] In einer weiteren guten Ausführungsform, mit all den vorerwähnten und noch zu erläuternden kombinierbar, falls nicht widersprüchlich, umschlingt der erwähnte elastische Ring, als Dämpfungsglied am Substratträger der Übernahme-Anordnung zugewandt, die eine oder die mehreren Aufnahmen für Substrate. Er läuft im Wesentlichen entlang der Peripherie des tablettförmigen Substratträgers. Dies hat den Vorteil, dass bei einer Behandlung der Substrate auf den Substratträgern, beispielsweise durch Beschichten, die Mitbeschichtung der Substratträger im Bereich der Aufnahmen kaum eine Rolle spielt. Es ist zudem ohne weiteres möglich, den Peripheriebereich der tablettförmigen Substratträger von einer Behandlungswirkung abzuschirmen oder solche Peripheriebereiche der Behandlung gar nicht auszusetzen.
[0028] In einer weiteren guten Ausführungsform die mit allen vorgenannten und noch zu erläuternden kombinierbar ist, wenn nicht widersprüchlich, haben die Substratträger, um die eine oder um die mehreren Aufnahmen herum, einen peripheren ununterbrochenen oder unterbrochenen, aufragenden Rand.
[0029] Dadurch wird ein Hohlraum zwischen Übernahme-Oberfläche und Substrat am Substratträger sichergestellt und jedenfalls verhindert, dass Substrate die Übernahme-Oberfläche berühren.
[0030] In einer weiteren guten Ausführungsform ist der mindestens ein elastischer Ring auf dem erwähnten Rand angeordnet.
[0031] Das Eigengewicht der Substratträger sichert, dass letztere auf der Träger-Oberfläche keinesfalls abheben. Es können aber an der Träger-Oberfläche Positionierungsführungen, wie aufragende Rippen, Nocken oder ähnliches vorgesehen sein, um ein laterales Verrutschen der Substratträger bei hohen Beschleunigungen des Trägers zu verhindern. Ein Vorsehen dynamisch betätigter Organe zum Rückhalten der Substratträger auf der Träger-Oberfläche, wie betätigbare Klinken, Raster, etc., wird aber an der erfindungsgemässen Transport- und Übergabeanordnung vermieden.
[0032] Ähnliches gilt bezüglich der Halterung von Substraten an den Substratträgern. In einer guten Ausführungsform der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung, mit all den vorerwähnten und noch zu erläuternden Ausführungsformen kombinierbar, sofern nicht widersprüchlich, werden die eine oder die mehreren Aufnahmen an den Substratträgern durch zum Substrat formähnliche Einbuchtungen im Substratträger gebildet, dabei den üblichen jeweilig eingesetzten Substratformen angepasst, also vorzugsweise rechteckig, quadratisch oder kreisförmig. Die scheibenförmigen Substrate liegen in diesen Einbuchtungen, deren Rand die Substrate nicht gerade formschlüssig aber doch eng, mit wenig Spiel, umschliessen. Berücksichtigt man die Tablett-Form der Substratträger, so ist es ohne weiteres möglich, verschiedene Substratformen an ein und demselben Peripherieteil eines Substratträgers zu berücksichtigen, indem auswechselbare Einsätze mit den jeweiligen, dem Substrat angepassten Aufnahmen vorgesehen werden, Einsätze die Substratformen-spezifisch in Substratträger-Rahmen eingelegt werden.
[0033] In einer weiteren Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung, welche mit allen bisher erläuterten und noch zu erläuternden Ausführungsformen kombinierbar ist, sofern nicht widersprüchlich, sind am Substratträger und/oder an der Übernahme-Oberfläche und/oder an der Träger-Oberfläche laterale Führungen für die Lateralposition der Substratträger vorgesehen.
[0034] Dadurch wird sichergestellt, dass wenn die Substratträger in Ausrichtung mit der Übernahme-Anordnung positioniert sind, die daran vorgesehenen Teile aus magnetisierbarem ’Material möglichst genau mit dem mindestens einen Permanentmagneten an der Übernahme-Anordnung ausgerichtet sind, sodass die Magnetkräfte senkrecht auf die Substratträger wirken, und insbesondere bei der Übernahme der Substratträger an die Übernahme-Anordnung, eine laterale Verschiebungskomponente vermieden wird.
[0035] Wenn die Übernahme-Anordnung nach Substratübernahme Beschleunigungen ausgesetzt ist, wie durch einen Schrittvortrieb, wird durch die erwähnten lateralen Führungen zwischen Substratträger und Übernahme-Anordnung auch bewirkt, dass der jeweilige Substratträger an der Übernahme-Oberfläche, trotz magnetischer Haltung, nicht verrutscht.
[0036] In einer weiteren Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung, kombinierbar mit allen vorgenannten und noch zu erläuternden Ausführungsformen, sofern nicht widersprüchlich, sind mindestens zwei der Übernahmeanordnungen vorgesehen, gemeinsam mit einem Träger zusammenwirkend. Die Übernahme-Oberflächen der mindestens zwei Übernahme-Anordnungen sind entlang einer gemeinsamen Ebene positioniert, welche senkrecht zu einer Achse senkrecht zur Träger-Oberfläche steht um welche die Übernahme-Anordnungen gemeinsam gesteuert getrieben schwenkbar sind. Damit werden beispielsweise zweiarmige Roboter realisiert, welcher endständig an beiden Hebelenden je eine Übernahme-Anordnung trägt. Durch schrittweises oder kontinuierliches Schwenken dieses zwei- oder mehrarmigen Roboters wird sequenziell eine Übernahme-Anordnung nach der anderen über die Trägeroberfläche geschwenkt.
[0037] Die vorliegende Erfindung betrifft weiter eine Vakuumbehandlungsanlage mit mindestens einer Vakuumbehandlungskammer für Substrate, wobei der Vakuumbehandlungskammer eine Transport- und Übergabevorrichtung für Substrate, wie sie vorgängig erläutert wurde, vor oder nachgelagert ist oder je eine vor- und nachgelagert.
[0038] Im Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung einen Substratträger, der ein Trägertablett umfasst mit mindestens einer Einformung an seiner einen Oberfläche, die geometrisch ähnlich ist der Formkonturfigur eines aufzunehmenden Substrates und wobei mindestens ein Teil des Trägertabletts aus magnetisierbarem Material besteht. Die erwähnte Einformung umschliesst mit ihrem Rand, wenn nicht gerade formschlüssig, so doch mit wenig Spiel die Kontur eines eingelegten scheibenförmigen Substrates.
[0039] Ein solcher Substratträger kann einige Kilogramm, bspw. 2kg, schwer sein und wird insbesondere im Rahmen der Transport- und Übergabevorrichtung gemäss vorliegender Erfindung eingesetzt. Er kann einstückig, bspw. aus magnetisierbarem rostfreiem Stahl, gefertigt sein oder mehrstückig mit bspw. Aluminium und Stahlteilen, bspw. verschraubt oder verschweisst. Er kann weiter Ausfräsungen oder durchgehende Öffnungen aufweisen zur Optimierung seines Gewichtes. Im Weiteren kann bezüglich seiner Ausbildung wie mit umlaufendem Rand, elastischem Ring etc., auf die diesbezüglichen Ausführungen rückverwiesen werden, im Zusammenhang mit der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung.
[0040] Im Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung in einer Behandlungsstation behandelter Substrate, bei der unbehandelte Substrate der Behandlungsstation zu- und behandelte Substrate von ihr weggeführt werden. Dabei umfasst das Zu- und/oder Wegführen folgendes: auf einem Träger mit einer Träger-Oberfläche, Transportieren von auf der Träger-Oberfläche durch Schwerkraft gehalten aufliegender Substratträger, je mit mindestens einer flächigen Substrat Aufnahme mit einem Substrat und mindestens teilweise aus magnetisierbarem Material bestehend; relatives Bewegen einer der Träger-Oberfläche mit einer Übernahme-Oberfläche beabstandet gegenüberliegenden Übernahme-Anordnung mit mindestens einem Permanentmagneten und dem Träger in eine Position, in der Übernahme-Oberfläche und ein Substratträger aufeinander ausgerichtet sind; Überwinden des Gewichtes des Substratträgers durch Erhöhen der zwischen dem Teil und dem mindestens einen Permanentmagnet wirkenden Magnetkraft und dabei Übernehmen des Substratträgers mit dem Substrat durch die Übernahme-Anordnung; Transport des Substratträgers mit dem Substrat an der Übernahme-Anordnung hin gegen die Behandlungsstation oder weg von der Behandlungsstation; und Behandeln des Substrates an der Behandlungsstation.
[0041] Die Erfindung wird anschliessend anhand der Figuren beispielsweise erläutert:
[0042] Es zeigen: <tb>Fig. 1<sep>schematisch und vereinfacht eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung, in einer ersten Arbeitsposition; <tb>Fig. 2<sep>die Vorrichtung gemäss Fig. 1in gleicher Darstellung in einer zweiten Arbeitsposition; <tb>Fig. 3<sep>eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung in schematischer, vereinfachter Darstellung, analog denjenigen der Fig. 1bzw. 2; <tb>Fig. 4<sep>eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemässen Vorrichtung, in vereinfachter, schematischer Form; <tb>Fig. 5<sep>eine Aufsicht auf einen erfindungsgemässen Substratträger, wie er an der erfindungsgemässen Transport-und Übergabevorrichtung eingesetzt werden kann in einer. Ausführungsvariante;. <tb>Fig. 6<sep>schematisch in Form eines Funktions-/ Signalfluss-Diagrammes, das erfindungsgemässe Herstellen behandelter Substrate unter Zuhilfenahme der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung.
[0043] In Fig. 1 ist, vereinfacht und schematisch, eine Transport-und Übergabevorrichtung gemäss vorliegender Erfindung in ihrem Grundprinzip dargestellt. Die Transport- und Übergabevorrichtung 1 umfasst einen Träger 3 mit einer Träger-Oberfläche 3o, die im Wesentlichen horizontal liegt. Wie schematisch mittels Rollen 5 dargestellt, ist der Träger 3 hin und/oder her bewegbar, gesteuert und getrieben durch einen schematisch dargestellten Antrieb 3A. Auf der Träger-Oberfläche 3oliegen Substratträger 7 auf, deren Gewicht G ausreicht, sie auf der Träger-Oberfläche 3o positioniert zu halten. Wird der Träger 3 beispielsweise bei schrittweisem Vorschub in eine der Richtungen B3 stark beschleunigt, so sind an der Träger-Oberfläche 3o nichtdynamisch betätigte Rückhaltemittel, wie Vorsprünge oder Nocken 9 vorgesehen, die ein Trägheits-bedingtes Verrutschen der Substratträger 7.
[0044] In Fig. 1 ist lediglich einer der Substratträger 7 dargestellt. Der Substratträger 7 weist an seiner freiliegenden Oberfläche 7o, als Substrat-Aufnahmen eine oder mehrere Einnehmungen 11 auf. Die Einnehmungen 11 sind geometrisch ähnlich der Kontur eines jeweils aufzunehmenden Substrates (nicht dargestellt) ausgelegt und umschliessen somit die Substrate mit wenig Spiel. Die Substratträger 7 sind ein- oder mehrteilig ausgebildet und umfassen jedenfalls einen Teil aus magnetisierbarem Material, wie aus magnetisierbarem rostfreiem Stahl.
[0045] In der Darstellung gemäss Fig. 1ist der Substratträger 7 einteilig und besteht mithin aus dem genannten magnetisierbaren Material. Es ist aber durchaus möglich, die Substratträger mehrteilig auszubilden, beispielsweise aus Teilen bestehend aus Aluminium und Teilen bestehend aus dem erwähnten magnetisierbaren Material, dabei diese Teile zu verschrauben oder zu verschweissen und/oder am Substratträger Einfräsungen bzw. durchgehende Öffnungen vorzusehen. Damit wird das Gewicht G des Substratträgers 7 so optimiert, dass einerseits ein guter Halt mit genügender Haftreibung an der Träger-Oberfläche 3o sichergestellt ist, andererseits, bei einer noch zu erläuternden Übernahme, nicht zu hohe Kräfte aufgewendet werden müssen.
[0046] Am Substratträger 7 können auch mehrere Einnehmungen 11 jeweils für ein Substrat vorgesehen sein, ausgebildet wie beschrieben wurde. Ist es erwünscht, an einem Substratträger 7, flexibel, unterschiedlich geformte Substrate aufnehmen zu können, so kann der Substratträger 7 auswechselbare Einsätze wie bei 12 schematisch dargestellt, umfassen, jeweils mit Substrat-formspezifischen Einnehmungen 11. Dann ist das magnetisierbare Material nicht an solchen Einsätzen 12 vorgesehen, sondern am rahmenartig solche Einsätze 12 aufnehmenden Teil des Substratträgers 7.
[0047] In den Einnehmungen 11 aufgenommene scheibenförmige Substrate liegen darin flächig auf, und es können formflexible, dünne, Folienartige Substrate, bis hin zu dickeren formstabilen Substraten aufgenommen werden.
[0048] Im Weiteren umfasst die Transport- und Übergabevorrichtung 1 eine schematisch dargestellte Übernahme-Anordnung 15. Diese hat eine Übernahmeoberfläche 15o, und ist üblicherweise mittels eines gesteuerten Antriebs 15A, wie mit dem Doppelpfeil B15 dargestellt mindestens in einer der dargestellten Richtungen stetig oder in Schritten gesteuert beweglich. Der Träger 3 und die Übernahme-Anordnung 15 sind generell mittels einem oder mittels zweier Antriebe relativ zueinander und im Wesentlichen parallel zu den Oberflächen 3o, bzw. 15o, verschiebbar, so dass jeweils ein Substratträger 7 an der Träger-Oberfläche 3oin Ausrichtung mit der Übernahme-Oberfläche 15ogebracht werden kann.
[0049] In der Übernahme-Anordnung 15 ist ein oder sind mehrere Permanent-Magnete 17 vorgesehen. Gemäss Darstellung von Fig. 1 ist der oder sind die Permanent-Magnete 17 mittels pneumatisch getriebener Kolben-/Zylinder-Anordnungen 19 in der mit dem Doppelpfeil B17 dargestellten Richtung hin gegen die Träger-Oberfläche 3ooder weg von ihr gesteuert getrieben bewegbar. In der schematischen Darstellung gemäss Fig. 1ist jeweils der oder jeder der Magnete 17 mittels einer spezifisch zugeordneten kleinen Kolben-/ Zylinder-Anordnung 19 betätigt. Sind, was üblicherweise der Fall ist, mehrere der Magnete 17 vorgesehen und entlang der Übernahme-Oberfläche 15o verteilt, so dass sie im Wesentlichen einen Peripheriebereich eines ausgerichteten Substratträgers 7 abdecken, ist es durchaus möglich, zwei oder mehrere der Magnete 17 gemeinsam mittels einer pneumatischen Kolben-/Zylinder-Anordnung 19 zu betreiben.
[0050] In der Darstellung gemäss Fig. 1sind die Permanent-Magnete 17 je an den Kolben der pneumatischen Kolben-/Zylinder-anordnung 19 angekoppelt.
[0051] Die Anordnung 1 gemäss Fig. 1funktioniert wie folgt: Durch Relativbewegen von Übernahme-Anordnung 15 und Träger 3 wird ein auf der Träger-Oberfläche 3o liegender Substratträger 7 auf die Übernahme-Oberfläche 15o und damit auf den oder die Permanent-Magnete 17 ausgerichtet. Dabei stehen der eine oder die mehreren Permanent-Magnete 17 wie in Fig. 1 dargestellt bezüglich der Träger-Oberfläche 3o und somit bezüglich des Substratträgers 7 in der einen Abstand-Position, d.h. in der «OFF» Position. Die Magnetkraft der Magnete 17 in dieser «OFF» Position reicht nicht aus, um die Gewichtskraft G des Substratträgers 7 zu überwinden.
[0052] Nun werden die Permanent-Magnete 17 mittels der pneumatischen Kolben-/Zylinder-Anordnung 19 gegen die Träger-Oberfläche 3oabgesenkt in eine zweite Abstandposition, die «ON» Position. Dort reichen die Magnetkräfte zwischen den Permanent-Magneten 17 und dem magnetisierbaren Material am Substratträger 7 aus, um das Substratträger-Gewicht G zu überwinden, d.h. der Substratträger 7 mit oder ohne Substrat in der Einnehmung 11 schnellt an die Übernahme-Oberfläche 15o. Die Übernahme-Anordnung 15 kann nun gemeinsam mit dem Substratträger 7 und ggf. dem Substrat an eine bestimmte Zielposition (nicht dargestellt) bewegt werden, wo der Substratträger und ggf. das Substrat weiter gehandhabt werden, beispielsweise einem weiteren Träger bzw. Förderer übergeben werden.
[0053] Fig. 2 stellt die Anordnung gemäss Fig. 1dar, bei in «ON» Position positionierten Magneten 17, sowie an die Übernahme-Anordnung 15 übernommenem Substratträger 7. Nach den Erläuterungen zu Fig. 1sind weitere Erläuterungen zu Fig. 2 für den Fachmann nicht nötig. Alle anhand von Fig. 1• erläuterten Teile, die zur Erklärung des Übernahmevorganges nicht nötig sind, sind in Fig. 2aus Übersichtsgründen, weggelassen.
[0054] Wie nun aus Fig. 2 ohne weiteres ersichtlich, wird zur Rückgabe eines Substratträgers 7 mit oder ohne in der Einnehmung 11 vorhandenem Substrat (nicht dargestellt) der mindestens eine oder die mehreren vorgesehenen Permanent-Magnete 17 in «OFF» Position gemäss Fig. 1 mittels der pneumatischen Kolben-/Zylinder-Anordnung 19 rückgeholt, worauf, gewichtsgetriebenen der Substratträger 7 auf die Träger-Oberfläche 3o fällt.
[0055] Aus den. Erläuterungen zu den Fig. 1und 2wird erkenntlich, dass einerseits der Substratträger 7 bei der Übernahme an die Übernahme-Oberfläche 15o, gegen letztere schnellt und, andererseits bei der Rückübergabe, von der Übernahme-Anordnung 15 an die Träger-Oberfläche 3oabrupt auf die genannte Oberfläche 3ofällt. Um nun eine sanfte Übernahme des Substratträgers 7 an die Übernahme-Oberfläche 15o zu realisieren, bzw. eine sanfte Rückgabe eines Substratträgers 7 an die Träger-Oberfläche 3o, ist die erfindungsgemässe Transport- und Übergabevorrichtung, wie sie in den Fig. 1 und 2dargestellt wurde, gemäss Fig. 3 weitergebildet. Ausgehend von der vereinfachten Darstellung von Fig. 2ist die Ausführungsform gemäss Fig. 3 wie folgt unterschiedlich:
[0056] Die Übernahme-Anordnung 15 ist ihrerseits mittels eines Antriebs 21, beispielsweise einer pneumatischen Kolben-/Zylinder-Anordnung, in Richtung gemäss Doppelpfeil V15 gegen die Träger-Oberfläche 3o gesteuert getrieben beweglich, bzw. von der Träger-Oberfläche 3o rückholbar. In dieser Ausbildungsform der erfindungsgemässen Transport-und Übergabevorrichtung erfolgt die Übernahme und Rückgabe des Substratträgers 7 wie folgt:
[0057] Bei auf die Übernahme-Oberfläche und auf die Permanent-Magnete 17 ausgerichtetem Substratträger 7, Gewichtgetrieben an der Träger-Oberfläche 3o aufliegend, wird die Übernahme-Anordnung 15 mittels des Antriebs 21 auf oder unmittelbar über den Substratträger 7 abgesenkt, bei in «OFF» Position stehenden Permanent-Magneten 17. Die Magnetkraft der Permanent-Magnete 17 reicht nicht aus, um das Gewicht des Substratträgers 7 zu überwinden.
[0058] Nun werden mittels der pneumatischen Kolben-/ Zylinder-Anordnung 19 die Permanent-Magnete 17 in die in Fig. 2 dargestellte «ON» Position vorgeschoben, womit das Substratträger-Gewicht G überwunden wird. Ohne die Position geändert zu haben, haftet nun der Substratträger 7 an der Übernahme-Oberfläche 15o. Es wird die Übernahme-Anordnung 15 mit «ON» Position verbleibenden Permanent-Magneten 17 von der Träger-Oberfläche 3oabgehoben, mit dem Substratträger 7, mit oder ohne Substrat in der Einnehmung 11. Wie vorgängig beschrieben, kann nun die Übernahme-Anordnung 15 mit dem Substratträger an eine Destinations-Position (nicht dargestellt) bewegt werden.
[0059] Für die Rückgabe eines Substratträgers 7 von der Übernahmeoberfläche 15o an die Träger-Oberfläche 3owird die Übernahme-Anordnung 15, bei in «ON» positionierten Permanent-Magneten 17, mittels des Antriebes 21, gegen die Träger-Oberfläche 3o abgesenkt, bis der Substratträger 7 auf der genannten Träger-Oberfläche 3o aufliegt. Erst jetzt werden mittels der pneumatischen Kolben-/Zylinder-Anordnung 19 der oder die Permanent-Magnete 17 in die «OFF» Position rückgeholt (gemäss Fig. 1) womit der Substratträger 7 mit seinem Gewicht G auf der Träger-Oberfläche 3o aufliegt und dort verbleibt, wenn die Übernahme-Anordnung 15 mittels des Antriebs 21 wieder hochgehoben wird.
[0060] Auf diese Art und Weise wird ein sanftes stossfreies Übernehmen, bzw. Rückübergeben des Substratträgers 7 an die Übernahme-Oberfläche 15o, bzw. an die Träger-Oberfläche 3o, realisiert. Es sei an dieser Stelle betont, dass das erwähnte Rückübergeben keinesfalls zwingend an denselben Träger 3 erfolgen muss, von dem der Substratträger 7 übernommen wurde. Die Rückübergabe kann und wird oft an einen weiteren Träger erfolgen (nicht dargestellt) in der Destinationsposition der Übernahme-Anordnung 15.
[0061] In Fig. 4 ist, wiederum vereinfacht und schematisch, eine Transport- und Übergabevorrichtung gemäss vorliegender Erfindung dargestellt, in einer weiteren Ausführungsform. Die Darstellung gemäss Fig. 4 geht prinzipiell von einer Darstellung gemäss Fig. 3und der entsprechenden Ausführungsform aus. Sie unterscheidet sich im Wesentlichen durch spezielle Ausbildung der pneumatischen Kolben-/ Zylinder-Anordnung für den Antrieb der Permanent-Magnete und die spezifische Ausbildung des Substratträgers, bzw. der Wechselwirkung des Substratträgers mit den jeweiligen Anliegeflächen und seinen Aufnahmen. All diese spezifischen Ausführungsvarianten sind nicht an die Realisation gemäss Fig. 3gebunden, sondern können je einzeln oder kombiniert an der Ausführungsform gemäss den Fig. 1bzw. 2 realisiert werden.
[0062] Bereits beschriebene Teile und Partien der Transport- und Übergabevorrichtung sind in Fig. 4mit denselben Bezugszeichen angesprochen, die bereits in Zusammenhang mit den Fig. 1bis 3verwendet und beschrieben wurden.
[0063] Zur spezifischen Ausbildung der pneumatischen Kolben-/ Zylinder-Anordnung 19:
[0064] Wie aus Fig. 4 ersichtlich, sind die mittels Druckluft-Leitungen 30 in Absenk- und Rückholrichtung B17 angesteuerten pneumatischen Kolben-/Zylinder-Anordnungen 194 mit Kolben ausgerüstet, welche direkt die Permanent-Magnete 174 bilden, oder direkt diese Magnete (nicht dargestellt) an ihrer der Träger-Oberfläche 3o zugewandten Oberfläche tragen. Damit sind die Permanent-Magnete 174 in den pneumatischen Zylindern 194 gekapselt. Damit wird ein höchst kompakter und robuster Aufbau der beweglichen Permanent-Magnete 174 und ihres Antriebes in der Übernahme-Anordnung 15 realisiert.
[0065] Die erläuterte Ausbildung von pneumatischen Kolben-/ Zylinder-Anordnungen und Permanent-Magneten ist, wie erwähnt, auch bei der Ausführungsform der Transport- und Übergabevorrichtung gemäss den Fig. 1und 2 mit den entsprechenden Vorteilen einsetzbar.
[0066] Zum Substratträger 7:
[0067] Gemäss Fig. 4 weist der Substratträger 74 einen peripher aufragenden Rand 25 auf. Damit wird sichergestellt, dass in der oder den Einnehmungen 11 liegende Substrate 12 auch mit gegebenenfalls aufgebrachten Schichten nie mit der Übernahme-Oberfläche 15oin Kontakt treten. Ebenfalls wird dadurch sichergestellt, dass auf dem Substratträger 74, in Bereichen um die Einnehmungen aufgewachsenes Schichtmaterial mit der Übernahme-Oberfläche nie in Kontakt tritt, wodurch der Gefahr von Partikelbildung gegen gewirkt wird. Im Weiteren sind zwischen Übernahme-Oberfläche 15o und der ihr zugewandten Oberfläche 7o des Substratträgers 74 und/oder zwischen der rückseitigen Substrat-Oberfläche 7r des Substratträgers 74 und der Träger-Oberfläche 3o Dämpfungsglieder vorgesehen, um gegebenenfalls entstehende Schläge bei Übernahme bzw. Rückgabe des Substratträgers 74 zu dämpfen. Hierzu ist, wie in Fig. 4dargestellt, in einer guten Ausführungsform solcher Dämpfungsglieder, an der Übernahme-Oberfläche 15o Dichtungsring-ähnlich ein Ring 27 aus elastischem Material eingelassen und steht über die genannte Oberfläche 15ovor. Es ist aber durchaus möglich und gegebenenfalls auch mit Vorteilen behaftet, das Dämpfungsglied, insbesondere einen umlaufenden Ring aus elastischem Material an der der Übernahme-Oberfläche 15o zugewandten Oberfläche 7odes Substratträgers 74, insbesondere auf dessen peripher aufragendem Rand 25, wie gestrichelt dargestellt, vorzusehen. Wie weiter in Fig. 4gestrichelt dargestellt, kann zusätzlich oder alternativ ein solcher Ring 27 entweder an der Peripherie der Rückoberfläche 7r des Substratträgers, bzw. an der Träger-Oberfläche 3o vorgesehen sein. Die erwähnten elastischen Ringe umschliessen die eine oder die mehreren Einnmehmungen 11 für das eine oder die mehreren Substrate 12, sofern sie an der Übernahme-Oberfläche 15ozugewandten Oberseite 70 des Substratträgers 74 angeordnet sind.
[0068] Auch das Vorsehen eines peripher aufragenden Randes 25 am Substratträger, bzw. des einen oder der mehreren insbesondere als elastische Ringe ausgebildeten Dämpfungsglieder, beschränkt sich nicht auf die Ausführungsform gemäss Fig. 3, sondern kann durchaus mit derjenigen nach den Fig. 1bzw. 2 kombiniert werden.
[0069] Wie aus Fig. 4 weiter ersichtlich, können Positionier-Organe 29 vorgesehen sein, womit bei der Übernahme der Substratträger 7 letztere an der Übernahme-Oberfläche 15o lateral exakt positioniert werden und rutschgesichert werden. Solche Positionier-Organe 29 können Nocken, Stifte etc. umfassen, mit geschrägten Führungsflächen, wie dem Fachmann durchaus vertraut ist. Auch das Vorsehen solcher Positionier-Organe kann an der Ausführungsform gemäss den Fig. 1und 2 eingesetzt werden.
[0070] Fig. 5 zeigt, in Aufsicht einen erfindungsgemässen Substratträger 7 bzw. 74, wie er auch bevorzugt an der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung eingesetzt ist. Er besteht z.B. einteilig aus Ferro-magnetischem rostfreiem Stahl. Bei der Aufsicht sind deutlich in Einnehmungen 11 liegende folienartige Substrate 12 und Einfräsungen 16, womit das Gewicht des Substratträgers 7 bzw. 74 auf das Notwendige optimiert wird. Im Weiteren ist der dünne, peripher aufragende Rand 25 erkennbar.
[0071] In Fig. 6 ist höchst vereinfacht und schematisch perspektivisch eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung dargestellt. An einem mehrarmigen (hier zweiarmig realisierten) Transport- und Übergabe-Roboter 32 ist je eine Übernahmevorrichtung 15 endständig an jedem der Roboterarme angebaut. Die Auf- und Ab-Bewegung entsprechend VI5 von Fig. 3 wird durch Auf- und Ab-Bewegung des zweiarmigen Roboters 32 als Ganzes realisiert. Er ist gesteuert getrieben um die Achse A, senkrecht zur Träger-Oberfläche stehend, schwenkbar.
[0072] Es wird jeweils eine der Übernahmenordnungen 15 über den Träger 3 geschwenkt, um dort einen Substratträger 7, je nach Betriebsweise mit oder ohne Substrat zu übernehmen oder an den Träger 3 zu übergeben. Durch Schwenken des Roboters, wie mit α dargestellt, wird z.B. der eben aufgenommene Substratträger 7 in Destinationsposition D geschwenkt und dort beispielsweise an einen weiteren Träger 3 ́ weiter gehandhabt. Gleichzeitig ist aufgrund des mehrarmigen Hebels eine «unbesetzte» Übernahme-Anordnung 15 in Position über Träger 3 geschwenkt worden.
[0073] In Fig. 7 ist in Form eines Funktionsblock-/Signalfluss-Diagrammes, vereinfacht, das Herstellen eines behandelten Substrates mit einer erfindungsgemässen Transport- und Übergabevorrichtung wie bis anhin beschrieben, dargestellt. 3, 3B, 3C und 3D bezeichnen Träger, bzw. Transportorgane für Substratträger 7. Einer Behandlungsstation 35 für Substrate ist eine Transport- und Übergabevorrichtung gemäss vorliegender Erfindung vorgeschaltet oder nachgeschaltet, in Fig. 7durch einen zweiarmigen Roboter gemäss Fig. 6 schematisch dargestellt. Der Behandlungsstation 35 können auch je eine erfindungsgemässe Transport- und Übergabevorrichtung vor- und nachgeschaltet sein, wie es in Fig. 7auch dargestellt ist. Die Übernahme der Substratträger 7 von einem Substratträger 3 an eine Übernahme-Anordnung 15 bzw. Rückgabe, kann aufgrund der einfachen Konzeption sehr schnell erfolgen, so beispielsweise innerhalb von 500 msec, was den Throughput der gesamten schematisch in Fig. 7 dargestellten Behandlungsverfahrens bei der Herstellung behandelter Substrate signifikant erhöht.

Claims (15)

1. Transport- und Übergabevorrichtung für scheibenförmige Substrate, umfassend: – einen Träger mit einer Träger- Oberfläche; – auf Grund ihres Gewichtes an der Träger-Oberfläche gehaltene tablettförmige Substratträger, mit je mindestens einer flächigen Aufnahme für ein Substrat und mindestens mit einem Teil aus magnetisierbarem Material; – eine der Träger-Oberfläche mit einer Übernahme-Oberfläche beabstandet gegenüberliegende Übernahmeanordnung, wobei Träger und Übernahmeanordnung relativ und parallel zueinander gesteuert beweglich sind und dabei sequentiell jeweils mindestens einer der Substratträger in Ausrichtung mit der Übernahme-Oberfläche gebracht werden kann; wobei weiter: – an der Übernahmeanordnung mindestens ein Permanentmagnet vorgesehen ist; – der Abstand zwischen dem mindestens einen Permanentmagneten und dem mindestens einen Teil gesteuert in zwei vorgegebene Abstands-Positionen verstellbar ist, so dass in einer ersten die auf den Substratträger wirkende Magnetkraft grösser als das Gewicht des Substratträgers ist, in der zweiten kleiner.
2. Transport- und Übergabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Übernahmeanordnung, in einem Pneumatik-Zylinder, mindestens einen gesteuert gegen die Träger-Oberfläche hin und von dieser rückholbaren Kolben umfasst, gekoppelt mit mindestens einen Permanentmagneten.
3. Transport- und Übergabevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Permanentmagnet mit dem Kolben im Pneumatik-Zylinder gekapselt ist.
4. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Übernahmeanordnung mittels eines Antriebes gesteuert gegen die Träger-Oberfläche hin bewegbar und von dieser rückholbar ist.
5. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Permanentmagnet durch eine Materiallage gegen die Träger-Oberfläche hin abgedeckt ist.
6. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Übernahme-Oberfläche und Substratträger und/oder zwischen Substratträger und Träger-Oberfläche ein elastisches Dämpfungsglied vorgesehen ist, dass ein Aufprallen von Substratträger auf die Übernahme-Oberfläche bzw. Träger-Oberfläche dämpft.
7. Transport- und Übergabevorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungsglied einen elastischen Ring umfasst, der in der Übernahme-Oberfläche und/oder in der Träger-Oberfläche, und/oder einer Oberfläche des Substratträgers angeordnet ist und, im Querschnitt, die jeweilige Anordnungs-Oberfläche überragt.
8. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Substratträger um die Aufnahme einen peripheren, aufragenden Rand umfasst.
9. Transport- und Übergabevorrichtung nach den Ansprüchen 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, dass der elastische Ring auf dem Rand angeordnet ist.
10. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrataufnahme eine zum Substrat formähnliche Einbuchtung im Substratträger umfasst, vorzugsweise rechteckig, quadratisch oder kreisförmig.
11. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass an Substratträger und /oder an der Übernahme-Oberfläche und/oder an der Träger-Oberfläche laterale Führungen für die. Lateralposition von Substratträger vorgesehen sind.
12. Transport- und Übergabevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der Übernahmeanordnungen mit Übernahme-Oberflächen vorzugsweise entlang einer gemeinsamen Ebene, senkrecht zu einer Achse, vorgesehen sind, gemeinsam um die Achse gesteuert getrieben schwenkbar.
13. Vakuumbehandlungsanlage mit mindestens einer Vakuumbehandlungskammer für Substrate, dadurch gekennzeichnet, dass der Vakuumbehandlungskammer eine Transport- und Übergabevorrichtung für die Substrate nach einem der Ansprüche 1–12 vor oder nachgelagert ist oder je eine vor- und nachgeschaltet.
14. Substratträger umfassend ein Trägertablett mit mindestens einer Einformung an seiner einen Oberfläche, die ähnlich ist die Konturfigur eines aufzunehmenden Substrates, wobei mindestens ein Teil des Trägertabletts aus magnetisierbarem Material besteht.
15. Verfahren zur Herstellung in einer Behandlungsstation behandelter Substrate, bei dem unbehandelte Substrate der Behandlungsstation zu- und behandelte von ihr weggeführt werden, wobei das Zu- und /oder Wegführen umfasst: – auf einem Träger mit einer Träger-Oberfläche, Transportieren von auf der Träger-Oberfläche durch Schwerkraft gehalten aufliegender Substratträger, je mit mindestens einer flächigen Substrat-Aufnahme mit einem Substrat und mindestens teilweise aus magnetisierbarem Material bestehend; – Relatives Bewegen einer der Träger-Oberfläche mit einer Übernahme-Oberfläche beabstandet gegenüberliegenden Übernahmeanordnung mit mindestens einem Permanentmagneten und dem Träger in eine Position, in der Übernahme-Oberfläche und ein Substratträger aufeinander ausgerichtet sind; – Überwinden des Gewichtes des Substratträgers durch Erhöhen der zwischen dem Teil und dem Permanentmagneten wirkenden Magnetkraft und dabei Übernehmen des Substratträgers mit dem Substrat durch die Übernahmeanordnung; – Transportieren des Substratträgers mit Substrat an der Übernahmeanordnung hin zur Behandlungsstation oder weg von der Behandlungsstation.
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