JP2007194598A5 - - Google Patents

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  1. 基板本体上に、ソルダーレジストと、電子素子に設けられワイヤーボンディングにより形成されるバンプが接合部材を用いてフリップチップ接合される接続パッドとを有しており、前記電子素子が実装された後にアンダーフィルレジンが配設されるフリップチップ実装基板において、
    前記接続パッドは、幅広部と、該幅広部よりも幅が狭い幅狭部とを有し、
    前記ソルダーレジストに前記接続パッドを露出させる開口部を形成すると共に、該ソルダーレジストの開口部を形成する縁部が前記接続パッドの外周部において一部重なった構成とし、
    前記接合部材が、前記バンプと前記接続パッドとを接続した際に前記ソルダーレジストに形成された開口部の全面を塞ぐよう構成したことを特徴とするフリップチップ実装基板。
  2. 基板本体上に、ソルダーレジストと、電子素子に設けられワイヤーボンディングにより形成されるバンプが接合部材を用いてフリップチップ接合される接続パッドとを有しており、前記電子素子が実装された後にアンダーフィルレジンが配設されるフリップチップ実装基板において、
    前記接続パッドは、幅広部と、該幅広部よりも幅が狭い幅狭部とを有し、
    前記ソルダーレジストに前記接続パッドを露出させる開口部を形成すると共に、該ソルダーレジストの開口部を形成する縁部前記接続パッドの外周縁と一致する構成とし、
    前記接合部材が、前記バンプと前記接続パッドとを接続した際に前記ソルダーレジストに形成された開口部の全面を塞ぐよう構成したことを特徴とするフリップチップ実装基板。
  3. 前記ソルダーレジストの開口部の縁部が外周部において一部重なった構成とされた前記接続パッドが、前記電子素子が実装される領域の中央位置に設けられていることを特徴とする請求項1記載のフリップチップ実装基板。
  4. 前記ソルダーレジストの開口部の縁部と前記外周縁が一致する構成とされた前記接続パッドが、前記電子素子が実装される領域の中央位置に設けられていることを特徴とする請求項2記載のフリップチップ実装基板。
  5. ワイヤーボンディングにより形成されるバンプが配設された電子素子をフリップチップ実装するフリップチップ実装方法において、
    請求項1乃至4のいずれか1項に記載のフリップチップ実装基板のソルダーレジストに形成された開口部から露出した前記幅広部と前記幅狭部とを有した接続パッド上に、接合部材を配設する工程と、
    前記接合部材を介して前記バンプを前記接続パッドに接合することにより、前記電子素子を前記フリップチップ実装基板に搭載すると共に、前記開口部の全面を前記接合部材と前記バンプとで塞ぐ工程と、
    前記電子素子と前記フリップチップ実装基板との間の離間部分にアンダーフィルレジンを配設する工程と
    を有することを特徴とするフリップチップ実装方法。
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Families Citing this family (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8853001B2 (en) 2003-11-08 2014-10-07 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming pad layout for flipchip semiconductor die
US8076232B2 (en) * 2008-04-03 2011-12-13 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming composite bump-on-lead interconnection
US8574959B2 (en) * 2003-11-10 2013-11-05 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming bump-on-lead interconnection
US20070105277A1 (en) 2004-11-10 2007-05-10 Stats Chippac Ltd. Solder joint flip chip interconnection
US9029196B2 (en) 2003-11-10 2015-05-12 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of self-confinement of conductive bump material during reflow without solder mask
USRE44500E1 (en) 2003-11-10 2013-09-17 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming composite bump-on-lead interconnection
USRE47600E1 (en) 2003-11-10 2019-09-10 STATS ChipPAC Pte. Ltd. Semiconductor device and method of forming electrical interconnect with stress relief void
US8129841B2 (en) 2006-12-14 2012-03-06 Stats Chippac, Ltd. Solder joint flip chip interconnection
US8026128B2 (en) 2004-11-10 2011-09-27 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of self-confinement of conductive bump material during reflow without solder mask
US7659633B2 (en) 2004-11-10 2010-02-09 Stats Chippac, Ltd. Solder joint flip chip interconnection having relief structure
US8216930B2 (en) 2006-12-14 2012-07-10 Stats Chippac, Ltd. Solder joint flip chip interconnection having relief structure
KR101249555B1 (ko) 2003-11-10 2013-04-01 스태츠 칩팩, 엘티디. 범프-온-리드 플립 칩 인터커넥션
US8350384B2 (en) 2009-11-24 2013-01-08 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming electrical interconnect with stress relief void
JP4502204B2 (ja) * 2005-03-22 2010-07-14 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
JP2008535225A (ja) 2005-03-25 2008-08-28 スタッツ チップパック リミテッド 基板上に狭い配線部分を有するフリップチップ配線
US8841779B2 (en) 2005-03-25 2014-09-23 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming high routing density BOL BONL and BONP interconnect sites on substrate
US20060255473A1 (en) 2005-05-16 2006-11-16 Stats Chippac Ltd. Flip chip interconnect solder mask
US9258904B2 (en) 2005-05-16 2016-02-09 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming narrow interconnect sites on substrate with elongated mask openings
US9847309B2 (en) 2006-09-22 2017-12-19 STATS ChipPAC Pte. Ltd. Semiconductor device and method of forming vertical interconnect structure between semiconductor die and substrate
US7713782B2 (en) * 2006-09-22 2010-05-11 Stats Chippac, Inc. Fusible I/O interconnection systems and methods for flip-chip packaging involving substrate-mounted stud-bumps
JP2008117805A (ja) * 2006-10-31 2008-05-22 Toshiba Corp プリント配線板、プリント配線板の電極形成方法およびハードディスク装置
US8349721B2 (en) 2008-03-19 2013-01-08 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming insulating layer on conductive traces for electrical isolation in fine pitch bonding
US7759137B2 (en) * 2008-03-25 2010-07-20 Stats Chippac, Ltd. Flip chip interconnection structure with bump on partial pad and method thereof
US9345148B2 (en) 2008-03-25 2016-05-17 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming flipchip interconnection structure with bump on partial pad
US20090250814A1 (en) * 2008-04-03 2009-10-08 Stats Chippac, Ltd. Flip Chip Interconnection Structure Having Void-Free Fine Pitch and Method Thereof
JP5150578B2 (ja) * 2008-08-08 2013-02-20 株式会社東芝 半導体装置及びその製造方法
US7897502B2 (en) 2008-09-10 2011-03-01 Stats Chippac, Ltd. Method of forming vertically offset bond on trace interconnects on recessed and raised bond fingers
WO2010047006A1 (ja) * 2008-10-23 2010-04-29 パナソニック株式会社 半導体装置およびその製造方法
JP5117371B2 (ja) * 2008-12-24 2013-01-16 新光電気工業株式会社 半導体装置およびその製造方法
US8659172B2 (en) * 2008-12-31 2014-02-25 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of confining conductive bump material with solder mask patch
US8198186B2 (en) 2008-12-31 2012-06-12 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of confining conductive bump material during reflow with solder mask patch
DE102009009828A1 (de) * 2009-02-19 2010-09-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Bauteilanordnung und Verfahren zu dessen Herstellung
US20100237500A1 (en) * 2009-03-20 2010-09-23 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor Substrate and Method of Forming Conformal Solder Wet-Enhancement Layer on Bump-on-Lead Site
JP5185885B2 (ja) 2009-05-21 2013-04-17 新光電気工業株式会社 配線基板および半導体装置
JP2011077307A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Fujitsu Ltd 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP2011077308A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Fujitsu Ltd 半導体装置の実装方法
US8039384B2 (en) 2010-03-09 2011-10-18 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming vertically offset bond on trace interconnects on different height traces
US8367467B2 (en) * 2010-04-21 2013-02-05 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor method of forming bump on substrate to prevent ELK ILD delamination during reflow process
US8409978B2 (en) 2010-06-24 2013-04-02 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming vertically offset bond on trace interconnect structure on leadframe
US8536718B2 (en) * 2010-06-24 2013-09-17 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit packaging system with trenches and method of manufacture thereof
US8492197B2 (en) 2010-08-17 2013-07-23 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming vertically offset conductive pillars over first substrate aligned to vertically offset BOT interconnect sites formed over second substrate
US8435834B2 (en) 2010-09-13 2013-05-07 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming bond-on-lead interconnection for mounting semiconductor die in FO-WLCSP
TWI474451B (zh) * 2011-09-15 2015-02-21 Chipmos Technologies Inc 覆晶封裝結構及其形成方法
US9230933B2 (en) 2011-09-16 2016-01-05 STATS ChipPAC, Ltd Semiconductor device and method of forming conductive protrusion over conductive pillars or bond pads as fixed offset vertical interconnect structure
JP2013093538A (ja) * 2011-10-04 2013-05-16 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板及びその製造方法
JP5778557B2 (ja) * 2011-11-28 2015-09-16 新光電気工業株式会社 半導体装置の製造方法、半導体装置、及び半導体素子
US9159695B2 (en) * 2013-01-07 2015-10-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Elongated bump structures in package structure
TWI546923B (zh) * 2013-02-06 2016-08-21 矽品精密工業股份有限公司 封裝基板、半導體封裝件及其製法
WO2015198838A1 (ja) * 2014-06-27 2015-12-30 ソニー株式会社 半導体装置およびその製造方法
WO2015198836A1 (ja) 2014-06-27 2015-12-30 ソニー株式会社 半導体装置およびその製造方法
CN106463427B (zh) 2014-06-27 2020-03-13 索尼公司 半导体装置及其制造方法
JP6458801B2 (ja) * 2014-06-27 2019-01-30 ソニー株式会社 半導体装置およびその製造方法
US20160343646A1 (en) * 2015-05-21 2016-11-24 Qualcomm Incorporated High aspect ratio interconnect for wafer level package (wlp) and integrated circuit (ic) package
JP6626349B2 (ja) * 2016-01-20 2019-12-25 ローム株式会社 半導体集積回路装置およびその製造方法
US11699651B2 (en) 2017-10-23 2023-07-11 Applied Materials, Inc. Fan-out interconnect integration processes and structures
WO2020026959A1 (ja) * 2018-07-31 2020-02-06 株式会社村田製作所 樹脂基板、および樹脂基板の製造方法
US11626336B2 (en) * 2019-10-01 2023-04-11 Qualcomm Incorporated Package comprising a solder resist layer configured as a seating plane for a device
WO2021179185A1 (zh) * 2020-03-10 2021-09-16 华为技术有限公司 芯片堆叠结构、制作方法及电子设备

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0927661A (ja) * 1995-07-11 1997-01-28 Sony Corp 配線基板
US5889326A (en) * 1996-02-27 1999-03-30 Nec Corporation Structure for bonding semiconductor device to substrate
KR100216839B1 (ko) * 1996-04-01 1999-09-01 김규현 Bga 반도체 패키지의 솔더 볼 랜드 메탈 구조
JPH10209210A (ja) * 1997-01-20 1998-08-07 Sharp Corp 半導体装置及びその製造方法並びにその検査方法
JP3390664B2 (ja) * 1997-10-16 2003-03-24 新光電気工業株式会社 フリップチップ実装用基板及びフリップチップ実装構造
US6049122A (en) * 1997-10-16 2000-04-11 Fujitsu Limited Flip chip mounting substrate with resin filled between substrate and semiconductor chip
JP3420076B2 (ja) * 1998-08-31 2003-06-23 新光電気工業株式会社 フリップチップ実装基板の製造方法及びフリップチップ実装基板及びフリップチップ実装構造
JP2001257453A (ja) * 2000-03-09 2001-09-21 Shinko Electric Ind Co Ltd 配線基板、半導体装置及びそれらの製造方法
JP2001332584A (ja) 2000-05-22 2001-11-30 Nec Corp 半導体装置、その製造方法、基板及び半導体チップ
US6201305B1 (en) * 2000-06-09 2001-03-13 Amkor Technology, Inc. Making solder ball mounting pads on substrates
JP3829325B2 (ja) * 2002-02-07 2006-10-04 日本電気株式会社 半導体素子およびその製造方法並びに半導体装置の製造方法
JP2003264256A (ja) * 2002-03-08 2003-09-19 Hitachi Ltd 半導体装置
US7084353B1 (en) * 2002-12-11 2006-08-01 Emc Corporation Techniques for mounting a circuit board component to a circuit board
US6734570B1 (en) * 2003-01-24 2004-05-11 Gennum Corporation Solder bumped substrate for a fine pitch flip-chip integrated circuit package
JP3933094B2 (ja) * 2003-05-27 2007-06-20 セイコーエプソン株式会社 電子部品の実装方法
JP2005011838A (ja) * 2003-06-16 2005-01-13 Toshiba Corp 半導体装置及びその組立方法
JP2005085931A (ja) * 2003-09-08 2005-03-31 Nec Semicon Package Solutions Ltd 半導体チップ及びその実装回路基板
US7112524B2 (en) * 2003-09-29 2006-09-26 Phoenix Precision Technology Corporation Substrate for pre-soldering material and fabrication method thereof
JP2005109187A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Tdk Corp フリップチップ実装回路基板およびその製造方法ならびに集積回路装置
US7098408B1 (en) * 2003-10-14 2006-08-29 Cisco Technology, Inc. Techniques for mounting an area array package to a circuit board using an improved pad layout
JP4502690B2 (ja) * 2004-04-13 2010-07-14 富士通株式会社 実装基板
US7420282B2 (en) * 2004-10-18 2008-09-02 Sharp Kabushiki Kaisha Connection structure for connecting semiconductor element and wiring board, and semiconductor device
JP4817892B2 (ja) * 2005-06-28 2011-11-16 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置

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