JP2006066852A - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持体20上に、セラミック粉を少なくとも含む下側グリーンシート10aを形成する工程と、下側グリーンシートの表面に電極パターン層12aを形成する工程と、下側グリーンシートおよび電極パターン層を少なくとも含む積層体ユニットU1を積層し、グリーンチップを形成する工程と、グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法である。支持体20上に形成される下側グリーンシート10aには、硬化性樹脂のバインダが含まれ、この下側グリーンシートの上に電極パターン層12aを形成する前に、下側グリーンシート10a内の硬化性樹脂を硬化させる。
【選択図】 図2
Description
支持体上に、セラミック粉を少なくとも含む下側グリーンシートを形成する工程と、
前記下側グリーンシートの表面に電極パターン層を形成する工程と、
前記下側グリーンシートおよび電極パターン層を少なくとも含む積層体ユニットを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記支持体上に形成される下側グリーンシートには、硬化性樹脂のバインダが含まれ、この下側グリーンシートの上に前記電極パターン層を形成する前に、前記下側グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させることを特徴とする。
その後に、前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
その後に、前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、をさらに有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、上側グリーンシートを形成し、
前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと、一層以上の前記中間グリーンシートと、二層以上の前記電極パターン層と、前記上側シートとで構成し、
前記上側グリーンシートには、熱可塑性樹脂のバインダを含ませる。
その後に、前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
その後に、前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、をさらに有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、上側グリーンシートを形成し、
前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと、一層以上の前記中間グリーンシートと、二層以上の前記電極パターン層と、前記上側シートとで構成し、
前記上側グリーンシートには、硬化性樹脂のバインダを含ませ、硬化をさせずにシートに接着性を持たせる。
支持体上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む下側グリーンシートを形成する工程と、
前記下側グリーンシートに含まれる前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記下側グリーンシートの表面に電極パターン層を形成する工程と、
前記電極パターン層の上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む中間グリーンシートを形成する工程と、
前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、セラミック粉と熱可塑性樹脂のバインダとを少なくとも含む上側グリーンシートを形成し、
単一の前記下側グリーンシートと、1層以上50層以下の前記中間グリーンシートと、2層以上51層以下の前記電極パターン層と、単一の前記上側グリーンシートとから成る積層体ユニットを前記支持体上に形成し、
前記支持体を剥がした前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと前記上側グリーンシートとが接触するように、二つ以上積層してグリーンチップを形成し、その後、前記グリーンチップを焼成することを特徴とする。
支持体上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む下側グリーンシートを形成する工程と、
前記下側グリーンシートに含まれる前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記下側グリーンシートの表面に電極パターン層を形成する工程と、
前記電極パターン層の上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む中間グリーンシートを形成する工程と、
前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む上側グリーンシートを形成し、
単一の前記下側グリーンシートと、1層以上50層以下の前記中間グリーンシートと、2層以上51層以下の前記電極パターン層と、単一の前記上側グリーンシートとから成る積層体ユニットを前記支持体上に形成し、
前記上側グリーンシートの硬化性樹脂を硬化させることなく、前記支持体を剥がした前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと前記上側グリーンシートとが接触するように、二つ以上積層してグリーンチップを形成し、その後、前記グリーンチップを焼成することを特徴とする。
図2は図1に示す積層セラミックコンデンサの製造方法の1製造過程を示す要部断面図、
図3は図2の続きの工程を示す要部断面図、
図4および図5はそれぞれ本発明の他の実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の1製造過程を示す要部断面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2は、コンデンサ素体4と、第1端子電極6と第2端子電極8とを有する。コンデンサ素体4は、誘電体層10と、内部電極層12とを有し、誘電体層10の間に、これらの内部電極層12が交互に積層してある。交互に積層される一方の内部電極層12は、コンデンサ素体4の第1端部の外側に形成してある第1端子電極6の内側に対して電気的に接続してある。また、交互に積層される他方の内部電極層12は、コンデンサ素体4の第2端部の外側に形成してある第2端子電極8の内側に対して電気的に接続してある。
まず、図2に示すように、ノズルコート法、ドクターブレード法などにより、支持シート(支持体)としてのキャリアシート20上に、厚さt1で、下側グリーンシート10aを形成する。下側グリーンシート10aは、キャリアシート20に形成された後に乾燥される。下側グリーンシート10aの乾燥温度は、好ましくは50〜100°Cであり、乾燥時間は、好ましくは1〜20分である。乾燥後のグリーンシート10aの厚みは、乾燥前に比較して、5〜25%の厚みに収縮する。乾燥後のグリーンシートの厚みt1は、好ましくは1.5μm以下、さらに好ましくは1.0μm以下、特に好ましくは0.5μm以下である。
保持温度:200〜400℃、特に250〜350℃、
保持時間:0.5〜20時間、特に1〜10時間、
雰囲気 :加湿したN2 とH2 との混合ガス。
昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
保持温度:1100〜1300℃、特に1150〜1250℃、
保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したN2 とH2 との混合ガス等。
保持時間:0〜6時間、特に2〜5時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300℃/時間、
雰囲気用ガス:加湿したN2 ガス等。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
たとえば、本発明の方法は、積層セラミックコンデンサの製造方法に限らず、その他の積層型電子部品の製造方法としても適用することが可能である。
熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1
誘電体原料として、主成分:BaTiO3(平均粒径0.2μm/堺化学工業社製BT02粉)と、副成分とを準備した。誘電体原料の副成分としては、主成分100モルに対し、2モルのY2O3 と、2モルのMgOと、0.4モルのMnOと、0.1モルのV2O5 と、3モルの(Ba0.6Ca0.4)SiO3 とを用いた。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂を加えないで、熱可塑性アクリル樹脂(MM747樹脂、藤倉化成(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、熱可塑性樹脂含有誘電体ペーストB1を得た。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂の代わりに、紫外線(UV)硬化性アクリル樹脂(メタアクリル酸アルキルエステル共重合体樹脂、日本カーバイト(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、UV硬化性樹脂含有誘電体ペーストA2を得た。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂の代わりに、電子線硬化性アクリル樹脂(メタアクリル酸アルキルエステル共重合体樹脂、日本カーバイト(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、電子線硬化性樹脂含有誘電体ペーストA3を得た。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂の代わりに、熱硬化性エポキシ樹脂(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、大日本インキ化学工業(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA4を得た。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂の代わりに、熱硬化性ウレタンアクリレート樹脂(第一工業製薬(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA5を得た。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂の代わりに、UV硬化性ウレタンアクリレート樹脂(東亜合成(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、UV硬化性樹脂含有誘電体ペーストA6を得た。
一次分散後の分散物に、熱硬化性アクリル樹脂の代わりに、電子線硬化性ウレタンアクリレート樹脂(東亜合成(株)社製)10重量部を添加した以外は、熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1と同様にして、電子線硬化性樹脂含有誘電体ペーストA7を得た。
まず、添加物(副成分)原料として、(Ba,Ca)SiO3:1.48重量部、Y2O3:1.01重量部、MgCO3:0.72重量部、MnO:0.13重量部およびV2O5:0.045重量部を準備した。次に、準備したこれらの添加物(副成分)原料を混合し、添加物(副成分)原料混合物を得た。
まず、内部電極用ペーストと同様にして、添加物原料がターピネオールに分散された添加物スラリーを調製した。
次いで、添加物スラリー:8.87重量部、BaTiO3 粉末(BT−02/堺化学工業(株)):95.70重量部、有機ビヒクル:104.36重量部、ポリエチレングリコール系分散剤:1.0重量部、フタル酸ジオクチル(可塑剤):2.61重量部、イソボニルアセテート:19.60重量部、アセトン57.20重量部、およびイミダゾリン系界面活性剤(帯電助剤):0.4重量部を、ボールミルを使用して混合してペースト化した。次いで、得られたペーストを、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を使用して、アセトンを蒸発させることにより、除去し、余白パターン用ペーストを得た。なお、上記有機ビヒクルとしては、内部電極用ペーストと同じ有機ビヒクルを使用した。すなわち、エチルセルロース樹脂の8重量%イソボニルアセテート溶液とした。
まず、表面にシリコーン系樹脂により剥離処理を施したPETフィルム(第1支持シート)上に、上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1を、ダイコーターにより塗布し、次いで、乾燥することにより、図2に示す下側グリーンシート10aを形成した。乾燥炉内にシートを連続して送り込み乾燥を行い、乾燥炉内の温度を80℃とし、乾燥時間は2分間であった。グリーンシートは、乾燥時の膜厚t1が0.5μmとなるように形成した。
昇温速度:50℃/時間、
保持温度:240℃、
保持時間:8時間、
雰囲気ガス:空気中、
で行った。
昇温速度:300℃/時間、
保持温度:1200℃、
保持時間:2時間、
冷却速度:300℃/時間、
雰囲気ガス:露点20℃に制御されたN2ガスとH2(5%)との混合ガス、
で行った。
保持時間:3時間、
冷却速度:300℃/時間、
雰囲気用ガス:露点20℃に制御されたN2ガス、
で行った。なお、雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを用い、水温0〜75℃にて行った。
上記にて得られた焼成前のグリーンチップのサンプルについて、シートアタックの発生度合いを測定した。測定は、まず、50個のグリーンチップサンプルを、誘電体層および内部電極層の側面が露出するように、2液硬化性エポキシ樹脂中に埋め込み、その後、2液硬化性エポキシ樹脂を硬化させた。次いで、エポキシ樹脂中に埋め込んだグリーンチップサンプルを、サンドペーパーを使用して、深さ1.6mmまで研磨した。なお、サンドペーパーによる研磨は、#400のサンドペーパー、#800のサンドペーパー、#1000のサンドペーパーおよび#2000のサンドペーパーを、この順に使用することにより行った。次いで、サンドペーパーによる研磨面を、ダイヤモンドペーストを使用して、鏡面研磨処理を施した。そして、光学顕微鏡を使用し、鏡面研磨処理を行った研磨面を、拡大倍率400倍にて、観察し、シートアタックの有無を調べた。光学顕微鏡による観察の結果、全測定サンプルに対する、シートアタックが発生していたサンプルの比率を、シートアタック比率とした。結果を表1に示す。
ショート不良率は、50個のコンデンササンプルを準備し、ショート不良が発生した個数を調べて測定した。
具体的には、絶縁抵抗計(HEWLETT PACKARD社製E2377Aマルチメーター)を使用して、抵抗値を測定し、抵抗値が100kΩ以下となったサンプルをショート不良サンプルとし、全測定サンプルに対する、ショート不良サンプルの比率をショート不良率とした。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記のUV硬化性樹脂含有誘電体ペーストA2を用い、硬化処理として紫外線照射を用いた以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の電子線硬化性樹脂含有誘電体ペーストA3を用い、硬化処理として電子線照射を用いた以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA4を用いた以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA5を用いた以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記のUV硬化性樹脂含有誘電体ペーストA6を用い、硬化処理として紫外線照射を用いた以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の電子線硬化性樹脂含有誘電体ペーストA7を用い、硬化処理として電子線照射を用いた以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートと、中間グリーンシートと、上側グリーンシートとを形成するための誘電体ペーストとして、上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1を用い、下側グリーンシートと中間グリーンシートの硬化処理として熱処理乾燥炉を用い、上側グリーンシートは硬化処理を行わないという以外は、実施例1と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートと、中間グリーンシートと、上側グリーンシートとを形成するための誘電体ペーストとして、上記のUV硬化性樹脂含有誘電体ペーストA2を用い、下側グリーンシートと中間グリーンシートの硬化処理として紫外線照射を用い、上側グリーンシートは硬化処理を行わないという以外は、実施例1と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートと、中間グリーンシートと、上側グリーンシートとを形成するための誘電体ペーストとして、上記の電子線硬化性樹脂含有誘電体ペーストA3を用い、下側グリーンシートと中間グリーンシートの硬化処理として電子線照射を用い、上側グリーンシートは硬化処理を行わないという以外は、実施例1と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の熱可塑性樹脂含有誘電体ペーストB1を用い、硬化処理を行わなかった以外は、実施例1と同様にして、グリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
上側グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1を用い、硬化処理を行った以外は、比較例1と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
中間グリーンシートおよび上側グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1を用い、硬化処理を行った以外は、比較例1と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルとを作製し、同様な測定を行った。結果を表1に示す。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートおよび上側グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして上記の熱硬化性樹脂含有誘電体ペーストA1を用い、硬化処理として熱処理乾燥炉を用いた以外は各実施例と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルを作製しようと試みた。
下側グリーンシートおよび中間グリーンシートおよび上側グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして上記のUV硬化性樹脂含有誘電体ペーストA2を用い、硬化処理として紫外線照射を用いた以外は各実施例と同様にしてグリーンチップサンプルとコンデンササンプルを作製しようと試みた。
表1に示すように、下側グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、硬化性樹脂含有誘電体ペーストを用いることで、シートアタックを防止でき、ショート不良率を低減できることが確認できた。また、表1に示すように、上側グリーンシートを形成するための誘電体ペーストとして、硬化をさせない硬化性樹脂または熱可塑性樹脂を有する誘電体ペーストを用いることで、接着性が良好になって、積層が容易であることが確認できた。
4… コンデンサ素体
6,8… 端子電極
10… 誘電体層
10a… 下側グリーンシート
10b… 中間グリーンシート
10c… 上側グリーンシート
12… 内部電極層
12a… 電極パターン層
20… キャリアシート(支持体)
24… 余白パターン層
U1… 積層体ユニット
Claims (10)
- 支持体上に、セラミック粉を少なくとも含む下側グリーンシートを形成する工程と、
前記下側グリーンシートの表面に電極パターン層を形成する工程と、
前記下側グリーンシートおよび電極パターン層を少なくとも含む積層体ユニットを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記支持体上に形成される下側グリーンシートには、硬化性樹脂のバインダが含まれ、この下側グリーンシートの上に前記電極パターン層を形成する前に、前記下側グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記下側グリーンシートの上に電極パターン層を形成した後、前記電極パターン層の上に、硬化性樹脂のバインダを含む中間グリーンシートを形成する工程と、
その後に、前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
その後に、前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、をさらに有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、上側グリーンシートを形成し、
前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと、一層以上の前記中間グリーンシートと、二層以上の前記電極パターン層と、前記上側シートとで構成し、
前記上側グリーンシートには、熱可塑性樹脂のバインダを含ませることを特徴とする請求項1に記載の積層型電子部品の製造方法。 - 前記下側グリーンシートの上に電極パターン層を形成した後、前記電極パターン層の上に、硬化性樹脂のバインダを含む中間グリーンシートを形成する工程と、
その後に、前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
その後に、前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、をさらに有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、上側グリーンシートを形成し、
前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと、一層以上の前記中間グリーンシートと、二層以上の前記電極パターン層と、前記上側シートとで構成し、
前記上側グリーンシートには、硬化性樹脂のバインダを含ませ、硬化をさせずにシートに接着性を持たせることを特徴とする請求項1に記載の積層型電子部品の製造方法。 - 前記上側グリーンシートに含まれる硬化性樹脂のバインダが、前記下側グリーンシートおよび前記中間グリーンシートに含まれる硬化性樹脂のバインダと同じ種類である請求項3に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記中間グリーンシートの厚みは、前記下側グリーンシートの厚みと前記上側グリーンシートの厚みとの合計に略等しい請求項2〜4のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記下側グリーンシートの厚みは、3μm以下である請求項1〜5のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記電極パターン層の上に前記中間グリーンシートまたは前記上側グリーンシートを形成する前に、前記電極パターン層が形成されていない前記グリーンシート上の余白部分に、余白パターン層を形成する工程をさらに有する請求項2〜6のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 支持体上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む下側グリーンシートを形成する工程と、
前記下側グリーンシートに含まれる前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記下側グリーンシートの表面に電極パターン層を形成する工程と、
前記電極パターン層の上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む中間グリーンシートを形成する工程と、
前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、セラミック粉と熱可塑性樹脂のバインダとを少なくとも含む上側グリーンシートを形成し、
単一の前記下側グリーンシートと、1層以上50層以下の前記中間グリーンシートと、2層以上51層以下の前記電極パターン層と、単一の前記上側グリーンシートとから成る積層体ユニットを前記支持体上に形成し、
前記支持体を剥がした前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと前記上側グリーンシートとが接触するように、二つ以上積層してグリーンチップを形成し、その後、前記グリーンチップを焼成することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 支持体上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む下側グリーンシートを形成する工程と、
前記下側グリーンシートに含まれる前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記下側グリーンシートの表面に電極パターン層を形成する工程と、
前記電極パターン層の上に、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む中間グリーンシートを形成する工程と、
前記中間グリーンシート内の硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記中間グリーンシートの上に電極パターン層を形成する工程と、有し、
前記支持シートの上に、1層以上の前記中間グリーンシートを介して2層以上の前記電極パターン層を形成し、
最も上側に位置する電極パターン層の上には、セラミック粉と硬化性樹脂のバインダとを少なくとも含む上側グリーンシートを形成し、
単一の前記下側グリーンシートと、1層以上50層以下の前記中間グリーンシートと、2層以上51層以下の前記電極パターン層と、単一の前記上側グリーンシートとから成る積層体ユニットを前記支持体上に形成し、
前記上側グリーンシートの硬化性樹脂を硬化させることなく、前記支持体を剥がした前記積層体ユニットを、前記下側グリーンシートと前記上側グリーンシートとが接触するように、二つ以上積層してグリーンチップを形成し、その後、前記グリーンチップを焼成することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂のいずれかである請求項1〜9のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
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