JPS6364953A - セラミツクスシ−ト用組成物、及びセラミツクスシ−トの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、セラミックスシート用組成物及びセラミック
スシートの製造法に関する。

来の技術及びその問題点 従来、セラミックスシート用原料組成物としては、セラ
ミックス原料とバインダーとしての高分子化合物とを有
機溶剤又は水で混練りしたものが使用されている。この
ような組成物を用いてセラミックスシートを作製する方
法としては、一般に、原料組成物を、ドクターブレード
法、押し出し法、ロール法等によってＲ膜とした後、熱
乾燥によって溶媒又は水を揮発させて適当な保形性を有
するシート（以下、グリーンシートという）を作製し、
その模グリーンシートを焼成して、目的とするセラミッ
クスシートを得る方法が採用されている。

しかしながら、この様な製造方法では、以下に示す様な
問題点がある。

■　グリーンシートの作製時に、ひびわれの発生を阻け
るために、乾燥を徐々に行なうことが必要である。この
ためグリーンシートの製造に長時間を要する。

■　バインダー量を増加させると混線物が高粘度となる
。このためバインダー添加量に限度があり、０．１１以
下の膜厚のグリーンシートを得ることは困難である。

■　成形性がセラミックス原料の粒度分布に大きく依存
する。

■　有機溶剤を使用する場合には、乾燥時の防爆対策が
必要である。

■　水系バインダーを用いる場合には、表面のみが乾燥
して皮膜を形成し、内部の水の蒸発が不十分となり易い
。

■　グリーンシートは熱可塑性を有するものとなり、保
存中の温度変化により寸法が変化する。

また残存溶剤の蒸発により特性が変化する。

１、を　決するための　１ 本発用者は、上述した如き現状に鑑みて、セラミックス
シートの製造速度を促進し、かつ薄い膜厚のセラミック
スシートの作製を可能とすべく鋭意研究を重ねてきた。

その結果、バインダーとして特定の紫外線硬化型液状化
合物を用いる場合には、従来のグリーンシートに比して
極めて膜厚の薄いグリーンシートの作製が可能となり、
また、グリーンシートの作製速度を著るしく促進するこ
とができることを見出し、ここに本発明を完成した。

即ち、本発明は、以下に示すセラミックスシート用組成
物及びセラミックスシートの製造法を提供するものであ
る。

（１）ｉ）セラミックス原料、 ｉｉ）エチレン性不飽和結合を少なくとも１個有する紫
外線硬化型液状化合物、及び ｉｉ）光重合開始剤 を含有することを特徴とするセラミックスシート用組成
物。

（２）ｉ）セラミックス原料、 ｉｉ）エチレン性不飽和結合を少なくとも１個有する紫
外線硬化型液状化合物、及び ｉｉｉ）光重合開始剤 を含有するセラミックスシート用組成物により薄膜を形
成し、紫外線を照射して該薄膜を硬化させた後、焼成す
ることを特徴とするセラミックスシートの製造法。

本発明セラミックスシート用組成物では、セラミックス
原料として、特に限定はなく、通常のセラミックスシー
トと同様に、各種の酸化物、炭化物、窒化物、硼化物、
水酸化物等の微粉末が使用でき、更に、金属セッケン、
金属アルコキシド（メトキシド、エトキシド）等の有機
金属化合物も使用できる。酸化物としては、アルミナ、
酸化チタン、チタン酸バリウム、フェライト、イツトリ
ア、ジルコニア（安定化又は部分安定化ジルコニアを含
む）、ムライト等を例示できる。炭化物としては、炭化
珪素、炭化タングステン、炭化ジルコニウム、炭化チタ
ン、炭化タンタル等を例示できる。窒化物としては、窒
化珪素、窒化硼素、窒化アルミニウム、窒化ジルコニウ
ム、窒化チタン等を例示できる。硼化物としては、硼化
アルミニウム、硼化チタン、硼化ジルコニウム、硼化タ
ンタル、硼化タングステンを等を例示できる。水酸化物
としては、水酸化アルミニウム等を例示できる。金属セ
ッケンとしては、オクチル酸、カプロン酸、パーサティ
ック酸、ナフテン酸等のジルコニウム塩、カルシウム塩
、イツトリウム塩等を例示できる。金属アルコキシドと
しては、シリコンテトラエトキシド、ジルコニウムテト
ラＮ−ブトキシド、チタンテトライソプロポキシド、ア
ルミニウムトリイソプロポキシド等を例示できる。

セラミックス原料として粉体原料を使用する場合の粉体
の粒度は特に限定はなく、通常、熱乾燥法によるセラミ
ックスシートの作製に用いられていたものと同様のもの
が使用でき、例えばアルミナでは５０μｍ〜０．１μｍ
程度、好ましくは１０μｍ〜０．１μｍ程度のものが好
適に使用でき、イツトリア安定化ジルコニアでは５０μ
ｍ〜８０人程度、好ましくは１０μｍ〜８０人程度のも
のが好適に使用できる。金属セッケンをセラミックス原
料とする場合には、ミネラルスピリット等の適当な有機
溶剤中に溶解して用いることもできる。

また、必要に応じてセラミックス原料中に、酸化珪素等
の融剤粉末を添加することもできる。

本発明セラミックスシート用組成物では、バインダーと
して、末端に光重合可能なエチレン性不飽和結合を少な
くとも１個有する紫外線硬化型液状化合物を使用する。

このような化合物をバインダー成分とする場合には、バ
インダー成分自体が液状であることから、セラミックス
シート用組成物中に溶剤や水を添加する必要がなく、ま
たこのバインダー成分は、グリーンシート作製時に硬化
により、グリーンシート中にほとんど全量残存するので
、バインダー分を多量に含むグリーンシートが得られる
。その結果、焼結後の膜厚が１０μｍ程度の非常に薄い
セラミックスシートの作製が可能となる。また、紫外線
硬化型化合物は、紫外線の照射により速やかに硬化する
ので従来の熱乾燥法に比して、非常に速い速度でのグリ
ーンシートの作製が可能となる。また、得られたグリー
ンシートは可撓性に優れたものであり、保管による特性
の変化も少ない。

本発明での使用に適する紫外線硬化型液状化合物は、光
重合可能なエチレン性不飽和結合を１個又は２個以上有
する化合物であり、例えば以下の様なものを示すことが
できる。

末端にエチレン性不飽和結合を１１１！ｌ有する化合物
として、アクリル酸ニアクリル酸メチル、アクリル酸エ
チル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリ
ル酸エチルヘキシル等のアクリル酸エステル：メタクリ
ルｍ：メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタ
クリル酸プロピル等のメタクリル酸エステル；アクリル
アミド、Ｎ−メチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピル
アクリルアミド、Ｎ−ｔ−ブチルアクリルアミド、Ｎ−
エチルヘキシルアクリルアミド等のアクリルアミド類：
メタアクリルアミド、Ｎ−メチルメタクリルアミド、Ｎ
−エチルメタクリルアミド、Ｎ−イソプロピルメタクリ
ルアミド、Ｎ−ｔ−ブチルメタクリルアミド、Ｎ−エチ
ルへキシルメタクリルアミド等のメタクリルアミド類；
酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラ
ウリン酸アリル、バルミチン酸アリル等のアリルエステ
ル類；ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテ
ル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエー
テル等のアルキルビニルエーテル類；ビニルブチレート
、ビニルインブチレート、ビニルトリメチルアセテート
、ビニルジエチルアセテート、ビニルカプロエート等の
ビニルエステル類：スチレン、メチルスチレン、クロル
メチル化スチレン、アルコキシスチレン、ハロゲン化ス
チレン、安息香酸スチレン等のスチレン類；クロトン酸
メチル、クロトン酸エチル、クロトン酸ブチル、りｏト
ン駿ヘキシル、クロトン酸イソプＯビル等のりａトン酸
エステル類等を例示できる。

また、エチレン性不飽和結合を２個以上有する化合物と
して、多価アルコールとアクリル酸又はメタクリル酸と
から得られるエステル結合を有するアクリレートまたは
メタクリレートを例示できる。ここで用いられる多価ア
ルコールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロ
ピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等
を例示できる。この様な紫外線硬化型化合物の具体制と
しては、商標名：４ＥＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業■製
）、ＮＫエステル−７Ｏ１（新中村化学■￥！Ｊ）　、
ＴＭＰ−Ａ　（共栄社油脂化学工業■製〉等の化合物を
示すことができる。

また、本発明では紫外線硬化型化合物として、上記した
低分子のの化合物の他に、末端にエチレン性不飽和結合
を有する液量のオリゴマーやポリマーも使用できる。

この様な化合物としては、エステル結合を有するオリゴ
マー又はポリマーとして、上記した各種多価アルコール
と無水フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、無水コ
ハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、無水マレイン酸、
フマル酸、イタコン酸、無水トリメット酸、ピロメリッ
ト酸等の多塩基酸とから得られるポリエステルの末端に
アクリレート基又はメタクリレート基を有する化合物を
例示できる。この様な化合物の具体例としては、Ｍ−６
１００，Ｍ−６３００、Ｍ−８０３０、Ｍ−８０６０等
の商標名の化合物（東亜合成化学工業＠製）を例示でき
る。

また、ウレタン結合を有するオリゴマー又はポリマーと
して、上記した各種多価アルコールと、ヘキサメチレン
ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂
肪族イソシアネート又は、トリレンジイソシアネート、
ジフェニルメタンジイソシアネート等の芳香族イソシア
ネートとから形成されるポリウレタンの末端にアクリレ
ート基又はメタクリレート基を有する化合物が使用でき
る。この様な化合物としては、商標名：Ｍ−１１００、
Ｍ−１２００Ｘ等の化合物（東亜合成化学工業ｆｌＩ製
）、商標名：ゴーセラック４２００Ｂの化合物（日本合
成化学（４１製）等が例示できる。

また、多価アルコールや多塩基酸とエピクロルヒドリン
（又はβ−メチルエピクロルヒドリン）との合成で得ら
れるエポキシ樹脂の末端にアクリレート基又はメタクリ
レート基を有する化合物も使用できる。このよ）な化合
物としては、商標名二ＮＫエステルＥＰＭ−８００、Ｎ
ＫエステルＥＡ−８００等の化合物（新中村化学■製）
、商標名：リボキシ５Ｐ−１５０６等の化合物（昭和高
分子■製）等を例示できる。

また、不飽和アルコールとオレフィンとの共重合体であ
る樹脂状ポリオールの末端にエチレン性不飽和結合をペ
ンダントさせたポリオールアクリレートも使用・できる
。

その他、ポリブタジェンを主骨格としたポリブタジェン
アクリレート（メタクリレート）類、メラミンを主骨格
としたメラミンアクリレート（メタクリレート）類、ロ
ジン変性の７クリレート（メタクリレート）、スピラン
核をもった不飽和アセタールアクリレート（メタクリレ
ート）類等も使用できる。

本発明では、上記した常温で液状の紫外線硬化型化合物
を単独又は組み合わせて使用できるが、その他に、常温
で固形の紫外線硬化型化合物を常温で液状の紫外線硬化
型化合物に溶解して使用することもできる。このような
常温で固形の紫外線硬化型化合物としては、商標：リポ
キシＶＲ−９０（昭和高分子■製）のエポキシアクリレ
ート、商標：ＵＡＳ−１０（山鳩国策パルプ曲製）のウ
レタンアクリレート等を例示できる。

本発明では、上記した各種の紫外線硬化型化合物のうち
で、特に焼結時の分解ガス化がスムーズであること、グ
リーンシートの収縮が少ないこと、適度な硬化速度を有
すること、等の点から、重合度２〜２３、好ましくは４
〜９程度のポリエチレングリコール又は重合度２〜２３
、好ましくは４〜９程度のポリプロピレングリコールと
、アクリル酸又はメタクリル酸とから得られるエステル
結合を有するアクリレート化合物又はメタクリレート化
合物、ペンタエリスリトールと多塩基酸とのポリエステ
ル化合物の末端にアクリレート基又はメタクリレート基
を有する化合物等が好ましい。

ペンタエリスリトールと多塩ＪＨＱとから得られる化合
物については、紫外線硬化時に、適度な重合度となる点
で、アクリレート基及び／又はメタクリレート基が２個
程度のものが好ましい。

また、本発明セラミックスシート用組成物には、更に光
重合開始剤としてカルボニル化合物、有機イオウ化合物
、過酸化物、レドックス系化合物、窒素誘導体類等を配
合することが必要である。カルボニル化合物としては、
ベイジイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンジルジメ
チルケタール、ベンゾフェノン、等を例示できる。有機
イオウ化合物としては、クロロヂオキサントン、ジエチ
ルチオキサントン、等を例示できる。過酸化物としては
過酸化ベンゾイル、ジ−ｔ−ブチルペルオキシド等を例
示できる。窒素誘導体類としては、アゾビスイソブチロ
ニトリル、Ｐ−アミノジフェニルアミン等を例示できる
。光重合開始剤の使用量は、紫外線硬化型液状化合物１
００重量部に対して、１〜３０重量部程度とすればよ（
、好ましくは１０〜２０重量部とする。

また、本発明組成物には、必要に応じて、グリーンシー
トの可撓性の向上のためにエポキシ樹脂、ブタジェンゴ
ム、ブチラール樹脂等の樹脂類を紫外線硬化型化合物１
ｏｏｉｉｉｉ部に対して１０〜５０重量部程度配合する
ことができる。

本発明セラミックスシート用組成物では、上記した紫外
線硬化型化合物、光重合開始剤及び必要に応じて添加す
る樹脂類からなるバインダー成分の使用量は、セラミッ
クス原料として粉体状の原料を用いる場合には、セラミ
ックス原料１００重量部に対して、１０〜８０重山部程
度が適当である。好ましい使用層は、ドクターブレード
法で薄膜化する場合には３０〜６０１ｆｆｉ部程度、ロ
ール法で薄膜化する場合には１０〜３０重量部程度、押
し出し法で薄膜化する場合には、１０〜ｂ量部程度であ
る。

また、セラミックス原料として、金属アルコキシド等の
液状の化合物を使用する場合には、セラミックス原料１
００重量部に対して、バインダー成分を１００〜５００
重凶部程度とすることが適当である。

本発明セラミックスシート用組成物を用いてセラミック
スシートを作製するには以下に示すような方法を採用で
きる。

まず、セラミックスシート用組成物を用いて常法に従っ
て薄膜を作製する。例えばドクターブレード法による場
合には、セラミックス原料に所定の紫外線硬化型化合物
囚の約６０％を加えて混練りし、粘度の高い状態で三本
ロールをかけて、バインダー中に固形分を充分に分散さ
せ、次いで残りの紫外線硬化型化合物を加えて一定粘度
とした後、ドクターブレード法により適当なキャリヤー
プレート上に薄膜を形成させればよい。ロール法又は押
出し法による場合には、原料組成物の全世を同時に混練
した後、０−ル成形または押出し成形で適当なキャリヤ
ープレート上に薄膜を形成させればよい。

薄膜状に成形した後、紫外線照射を行ない、紫外線硬化
型化合物を硬化させて、グリーンシートを作製する。紫
外線照射には通常の紫外線照射ランプをいずれも使用で
きる。照射時間は、使用するランプの種類や照射条件に
よって適宜決定すればよく、例えば８０Ｗ／ｃｍの高圧
水銀灯（集光形）を用いて、距離１０Ｃ１で照射する場
合には、１〜１０秒程度の照射時間で適度に硬化する。

硬化時間が短かすぎる場合には、内部の硬化が不充分と
なり、また硬化時間が艮すぎると重合度が高くなりすぎ
て、グリーンシートの可撓性が低下し、更に、焼結時に
有機物の分解、ガス化がスムーズに進行しないので好ま
しくない。

紫外線照射は、バッチ式で行なってもよく、硬化した薄
膜を巻き取りながら連続的に行なってもよい。

また、紫外線照射工程でフォトマスクを使用し、その後
、現象処理を行なうことにより、パターンニングしたグ
リーンシートをＷＩ冷こともできる。

所定の形状に成形したグリーンシートを得た後、徐々に
昇温しつつ加熱してグリーンシート中の紫外線硬化型化
合物等の有機化合物を分解除去しく脱バインダ一工程）
、引き続き焼結温度まで昇温して焼結体を作製する。

脱バインダ一工程では、グリーンシートの厚さや密度に
応じて、昇温速度を適宜調整する。一般には、厚いもの
は遅い昇温速度とし、薄いものは速い昇温速度とすれば
よいが、通常１０〜ｂ度で昇温すればよい。脱バインダ
一工程において昇温速度が速すぎると、有機物の熱分解
が不充分となり、気孔が多くなったり、残存炭素による
焼結時の割れ、ふ（れ等が生じる。また、熱分解が急激
すぎると表面にシワが生じるなどして好ましくない。

紫外線硬化型化合物等の有機物の分解は一般に３００〜
６００”Ｃ程度で行なわれるので、分解を充分に行なう
ために、この１度範囲に１０分〜１０時間程度保持して
もよい。

脱バインダーを行なった後、更に高温に加熱して、セラ
ミックス原料の焼結を行なう。焼結温度は、従来の熱乾
燥法で作製したシートと同様でよく、原料の種類や要求
される焼結密度に応じて適宜決定すればよい。例えば、
アルミナを原料とする場合には、１０００℃付近で仮焼
成し、次いで１６００℃以上に昇温して焼結を行なえば
よい。

またジルコニアを原料とする場合には、１０００℃付近
で仮焼成し、１５００℃以上に昇温して焼結を行なえば
よい。また、チタン酸バリウムを原料とする場合には、
１０５０℃以上、好ましくは１１００℃以上で焼結を行
なえば緻密なセラミックスが得られる。

また、異なる種類のグリーンシートを積層した後、焼成
することにより、異種セラミックス積層板を作製するこ
ともできる。例えば、耐酸化性のセラミックス原料を含
むグリーンシートと耐還元性のセラミックス原料を含む
グリーンシートとを積層し、焼結一体化することができ
る。

ｌ豆立皇１ 本発明セラミックスシート用組成物を用いることにより
、グリーンシート作製速度が、従来法に比して１０〜５
０倍程度速くなる。

また、本発明組成物は無溶剤であり、バインダー成分を
多量に含有するグリーンシートが得られるので、グリー
ンシートのフレキシビリティが向上して取り扱いが容易
になり、また膜厚の薄いグリーンシートの作製が可能と
なる。このため、最終的な焼結体として膜厚１０μｍ程
度のセラミックスシートを製造できる。また、得られる
セラミックスシートは、従来品に比して緻密であり、且
つ、膜厚が非常に薄いことから熱伝導率が非常に高いも
のである。

本発明によりこの様な薄い膜厚のセラミックスシートの
製造が可能となり、その結果、積層パッケージや印劉積
層基板の小型化、高密度化を図ることができる。また、
膜厚の薄いセラミックスシートは透明に近いものであり
、高温炉の窓等への適用も可能である。

実　　施　　例 以下に、実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。

実施例１ 重合度４のポリエチレングリコールの末端に７クリレー
ト基が結合した紫外線硬化型化合物（商標：４ＥＧ−Ａ
、共栄社油脂化学工業曲）１００重量部に光重合開始剤
としてベンジルジメチルケタール（商標ニイルガキュア
ー６５１、チバガイギー社製）１５１ｆｆｉ部を溶解し
て、成形用、バインダーを得た。

Ｙ２０３部分安定化Ｚｒ０２（商標：　Ｈ８Ｙ−３０Ｕ
１第１稀元素化学工業側製）１００重量部に、上記成形
用バインダー４０重量部を加えて混練り後、三本ロール
により充分に分散させてペーストを得た。このペースト
１００重量部に、更に、上記成形用バインダー１０重量
部を加えて撹拌し、ドクターブレードにて、ポリイミド
フィルム（商標名：カブトン２００Ｈ１東レデュボン社
製）上に４０８℃厚の薄膜を形成させた。次いで８０ｗ
／Ｃ＋ａの高圧水銀灯（集光形）で紫外線を１０ＣＩの
距離から３秒間照射して、バインダー成分を硬化させ、
グリーンシートを得た。

得られたグリーンシートを５．０ｃｍ角に打ち抜き、毎
時２００℃で５００℃まで昇温し、５００℃に３０分間
保持して、脱バインダーを行なった。

その後毎時６００℃の速度で１０００℃まで昇温し、１
０００℃で２０分間保持して仮焼成を行ない、続いて毎
時３００℃で１５５０℃まで昇温しで、１５５０℃で２
０分間保持して焼結を行なってセラミックスシートを得
た。

得られたセラミックスシートは、ひびわれ等のない良好
なものであり、焼成収縮率は、約３０％であり、縦方向
と横方向とでの異方性は認められなかった。また、室温
での熱拡散率は０．０１３２ＣＩ１２／Ｓｅｃという高
い値を示した。

実施例２ グリセロールアクリレートメタクリレート〈商標二ＮＫ
−エステル−７０１、新中村化学■製）１００重量部に
、光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（商標
名ニイルガキュアー６５１、チバガイギー社製）１０重
量部を溶解してバインダー成分とした。

このバインダー成分中に、ジルコニウムメトキシド（Ｚ
ｒ０２分０．２８ｇ／ｌｌ１１２、白水化学工業［Ｊ）
　１７０Ｉｌ１２及びイツトリウムメトキシド（Ｙ２０
３分０．１５５０／１ｌｉｌｌ、白水化学工業■製）３
０ＩＩ１ｇを溶解してペーストを得た。このペーストを
用いて、ドクターブレード法によりポリイミドフィルム
（商標名：カブトン２００１−１．東しデュポン社製）
上に４０８℃厚の薄膜を形成させた。

この薄膜を実施例１と同様にして、硬化、焼成してセラ
ミックスシートを形成させた。得られたセラミックスシ
ートはＹ２Ｏ３を５ｍｏ１％含むＺｒＯ２であり、室温
での熱拡散率は０．０１１９Ｃ１２／Ｓであった。

実施例３ ポリエステルアクリレート（商Ｉａ：アロニツクス６３
００．東亜合成化学工業■製）７０重量部、及びエピク
ロールヒドリンとビスフェノールＡとから得られるエポ
キシ樹脂（商標：エピコート８２８、油化シェル■製）
３０重量部を混合し、これに、光重合開始剤として、ベ
ンジルジメチルケタール（商標ニイルガキュア６５１、
チバガイギー社製）１０重量部、ジエチルチオキサント
ン（商標：ＤＥＴＸ、日本化薬■製）３重量部、及びジ
メチルアミノアセトフェノン（商Ｆ：　ＰＡＡ、大束化
学■製）２重量部を加えて、バインダー成分とした。

平均粒径０．４μｍのアルミナ（商標Ａ−ＨＰＴ１住友
アルミニウム製練■製）１００１１部に、上記バインダ
ー成分３０重量部を加えて混練りし、三本ロールにかけ
てペーストとした。次いで、このペースト１００重量部
に上記バインダー成分５重量部を加えて、ドクターブレ
ード法により、ポリイミドフィルム（商標：カブトン２
００Ｈ，東しデュポン社製）上に１００μｍ厚の薄膜を
形成させた。

この薄膜を実施例１と同様にして硬化させたグリーンシ
ートを得た。得られたグリーンシートを５．０ｃｍ角に
打ち抜き、毎時１２０℃の速度で５００℃まで昇温して
脱バインダーを行ない、続いて、毎時４００℃の速度で
９００℃まで昇温し、仮焼成した後、毎時６００℃で１
５５０℃まで昇温して、１５５０℃で１０分間保持して
焼結を行ない、セラミックスシートを得た。

得られたセラミックスシートは、ひびわれ等のない良好
なものであり、縦方向、横方向ともに収縮率は約３０％
であり、室温での熱拡散率は０．０９０ｃ鵬２／ｓであ
った。

実施例４ ウレタンアクリレート（商標：ゴーセラック４２００Ｂ
、日本合成化学■製）６０重通部及びトリメチロールプ
ロパントリアクリレート（商標：ＴＭＰ−Ａ、共栄社油
脂化学工業側製）４０重量部に、光重合開始剤としてベ
ンジルジメチルケタール（商標ニイルガキュア６５１、
チバガイギー社製）１０重凹部を加えて成形用バインダ
ーとした。

この成形用バインダーを使用する以外は実施例１と同様
にしてジルコニアセラミックスシートを作製した。得ら
れたシートの外観は良好であり、膜厚は３０μｍであっ
た。

実施例５ ウレタンアクリレート（商標：アロニツクスＭ１２００
Ｘ、東亜合成化学工業■製）５０重量部及びポリエステ
ルアクリレート（商標：アロニツクスＭ−８０３０、東
亜合成化学工業■製）５０重量部に、光重合開始剤とし
て２，２−ジェトキシアセトフェノン（商標ＤＥＡＰ、
ユニオンカーバイド社製）１０重ｆ１部を加えて、成形
用バインダーとした。

この成形用バインダーを使用する以外は、実施例１と同
様にしてジルコニアセラミックスシートを作製した。得
られたシートの外観は良好であり、膜厚は３０μｍであ
った。

実施例６ エポキシアクリレート（商標：カヤラッドＲ−２４２、
日本化薬■製）６０重量部及びポリエステル型ジアクリ
レート反応性モノマー（商標：ＭＡＮＤＡ、日本化薬■
製）４０重量部に、光重合開始剤として２−ヒドロハシ
−２−メチル−プロピオフェノン（商標：ダロキュア１
１７３、メルク社製）１２重量部を加え、・成形用バイ
ンダーとした。

この成形用バインダーを使用する以外は、実施例３と同
様にして、アルミナセラミックスシートを得た。得られ
たシートの外観は良好であり、膜厚は、７０μｍであっ
た。

実施例７ 常温で固型の紫外線硬化型エポキシアクリレート（商標
：リボキシＶＲ−９０、昭和高分子ｖ７Ｊ！８！＞４０
重量部を１．６−ヘキサンジオールジアクリレート（商
標：１，６−ＨＸＡ１共栄社油脂■製）６０重量部に溶
解し、これに光重合開始剤として２−ヒドロキシ−２−
メチルプロピオフェノン（商標：ダロキュア１１７３、
メルク社製）１２重同郡を加え、成形用バインダーとし
た。

この成形用バインダーを使用する以外は、実施例３と同
様にして、アルミナセラミックスシートを得た。得られ
たシー１−の外観は良好であり、膜厚は７０μｍであっ
た。

（以　上）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ｉ）セラミックス原料、 ｉｉ）エチレン性不飽和結合を少なくとも１個有する紫
   外線硬化型液状化合物、及び ｉｉｉ）光重合開始剤 を含有することを特徴とするセラミックスシート用組成
   物。
2. （２）ｉ）セラミックス原料、 ｉｉ）エチレン性不飽和結合を少なくとも１個有する紫
   外線硬化型液状化合物、及び ｉｉｉ）光重合開始剤 を含有するセラミックスシート用組成物により薄膜を形
   成し、紫外線を照射して該薄膜を硬化させた後、焼成す
   ることを特徴とするセラミックスシートの製造法。