JPH0456784B2

JPH0456784B2 -

Info

Publication number: JPH0456784B2
Application number: JP61210402A
Authority: JP
Inventors: Noboru Wakabayashi; Hirotaka Takenaka; Kenichi Nishiwaki; Yasunori Zairi; Yukikazu Moritsu
Original assignee: Agency of Industrial Science and Technology
Current assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 1986-09-05
Filing date: 1986-09-05
Publication date: 1992-09-09
Also published as: JPS6364953A

Description

【発明の詳細な説明】

産業上の利用分野本発明は、セラミツクスシート用組成物及びセ
ラミツクスシートの製造法に関する。従来の技術及びその問題点従来、セラミツクスシート用原料組成物として
は、セラミツクス原料とバインダーとしての高分
子化合物とを有機溶剤又は水で混練りしたものが
使用されている。このような組成物を用いてセラ
ミツクスシートを作製する方法としては、一般
に、原料組成物を、ドクターブレード法、押し出
し法、ロール法等によつて薄膜とした後、熱乾燥
によつて溶媒又は水を揮発させて適当な保形性を
有するシート（以下、グリーンシートという）を
作製し、その後グリーンシートを焼成して、目的
とするセラミツクスシートを得る方法が採用され
ている。しかしながら、この様な製造方法では、以下に
示す様な問題点がある。グリーンシートの作製時に、ひびわれの発生
を阻けるために、乾燥を徐々に行なうことが必
要である。このためグリーンシートの製造に長
時間を要する。バインダー量を増加させると混練物が高粘度
となる。このためバインダー添加量に限度があ
り、0.1mm以下の膜厚のグリーンシートを得る
ことは困難である。成形性がセラミツクス原料の粒度分布に大き
く依存する。有機溶剤を使用する場合には、乾燥字の防爆
対策が必要である。水系バインダーを用いる場合には、表面のみ
が乾燥して皮膜を形成し、内部の水の蒸発が不
十分となり易い。グリーンシートは熱可塑性を有するものとな
り、保存中の温度変化により寸法が変化する。
また残存溶剤の蒸発により特性が変化する。問題点を解決するための手段本発明者は、上述した如き現状に鑑みて、セラ
ミツクスシートの製造速度を促進し、かつ薄い膜
厚のセラミツクスシートの作製を可能とすべく鋭
意研究を重ねてきた。その結果、バインダーとし
て特定の紫外線硬化型液状化合物を用いる場合に
は、従来のグリーンシートに比して極めて膜厚の
薄いグリーンシートの作製が可能となり、また、
グリーンシートの作製速度を著るしく促進するこ
とができ、更に、セラミツクスシートの表面平滑
性が良好となり、ピンホールの発生も少なくなる
ことを見出し、ここに本発明を完成した。即ち、本発明は、以下に示すセラミツクスシー
ト用組成物及びセラミツクスシートの製造法を提
供するものである。１セラミツクス原料、 (a) 重合度４〜９のポリエチレングリコール
又は重合度４〜９のポリプロピレングリコー
ルと、アクリル酸又はメタクリル酸とから得
られるエステル結合を有するアクリレート化
合物又はメタクリレート化合物、及び、 (b) ペンタエリスリトールと多塩基酸とのポリ
エステル化合物の末端にアクリレート基又は
メタクリレート基を有する化合物の少なくとも一種からなる紫外線硬化型液状
化合物、並びに光重合開始剤を含有することを特徴とするセラミツクスシート
用組成物。２セラミツクス原料、 (a) 重合度４〜９のポリエチレングリコール
又は重合度４〜９のポリプロピレングリコー
ルと、アクリル酸又はメタクリル酸とから得
られるエステル結合を有するアクリレート化
合物又はメタクリレート化合物、及び (b) ペンタエリスリトールと多塩基酸とのポリ
エステル化合物の末端にアクリレート基又は
メタクリレート基を有する化合物の少なくとも一種からなる紫外線硬化型液状
化合物、並びに光重合開始剤を含有するセラミツクスシート用組成物により薄
膜を形成し、紫外線を照射して該薄膜を硬化させ
た後、焼成することを特徴とするセラミツクスシ
ート製造法。本発明セラミツクスシート用組成物では、セラ
ミツクス原料として、特に限定はなく、通常のセ
ラミツクスシートと同様に、各種の酸化物、炭化
物、窒化物、硼化物、水酸化物等の微粉末が使用
でき、更に、金属セツケン、金属アルコキシド
（メトキシド、エトキシド）等の有機金属化合物
も使用できる。酸化物としては、アルミナ、酸化
チタン、チタン酸バリウム、フエライト、イツト
リア、ジルコニア（安定化又は部分安定化ジルコ
ニアを含む）、ムライト等を例示できる。炭化物
としては、炭化珪素、炭化タングステン、炭化ジ
ルコニウム、炭化チタン、炭化タンタル等を例示
できる。窒化物としては、窒化珪素、窒化硼素、
窒化アルミニウム、窒化ジルコニウム、窒化チタ
ン等を例示できる。硼化物としては、硼化アルミ
ニウム、硼化チタン、硼化ジルコニウム、硼化タ
ンタル、硼化タングステンを等を例示できる。水
酸化物としては、水酸化アルミニウム等を例示で
きる。金属セツケンとしては、オクチル酸、カプ
ロン酸、バーサテイツク酸、ナフテン酸等のジル
コニウム塩、カルシウム塩、イツトリウム塩等を
例示できる。金属アルコキシドとしては、シリコ
ンテトラエトキシド、ジルコニウムテトラＮ−ブ
トキシド、チタンテトライソプロポキシド、アル
ミニウムトリイソプロポキシド等を例示できる。
セラミツクス原料として粉体原料を使用する場合
の粉体の粒度は特に限定はなく、通常、熱乾燥法
によるセラミツクスシートの作製に用いられてい
たものと同様のものが使用でき、例えばアルミナ
では50μm〜0.1μm程度、好ましくは10μm〜
0.1μm程度のものが好適に使用でき、イツトリア
安定化ジルコニウムでは50μm〜80Å程度、好ま
しくは10μm〜80Å程度のものが好適に使用でき
る。金属セツケンをセラミツクス原料とする場合
には、ミネラルスピリツト等の適当な有機溶剤中
に溶解して用いることもできる。また、必要に応じてセラミツクス原料中に、酸
化珪素等の融剤粉末を添加することもできる。本発明セラミツクスシート用組成物では、バイ
ンダーとして、(a)重合度４〜９のポリエチレング
リコール又は重合度４〜９のポリプロピレングリ
コールと、アクリル酸又はメタクリル酸とから得
られるエステル結合を有するアクリレート化合物
又はメタクリレート化合物、及び(b)ペンタエリス
リトールと多塩基酸とのポリエステル化合物の末
端にアクリレート基又はメタクリレート基を有す
る化合物、の少なくとも一種からなる紫外線硬化
型液状化合物を使用する。ここで多塩基酸として
は、無水フタル酸、イソフタル酸、テレフタル
酸、無水コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、
無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水ト
リメツト酸、ピロメリツト酸等を例示できる。ペ
ンタエリスリトールと多塩基酸とから得られる化
合物については、紫外線硬化時に、適度な重合度
となる点で、アクリレート基及び／又はメタクリ
レート基が２個程度のものが好ましい。この様な紫外線硬化型化合物の具体例として
は、商標名：4EG−Ａ（共栄社油脂化学工業(株)
製）、アロニツクス6300（東亜合成化学工業(株)製）、
NKエステル9PG（新中村化学(株)製）等を挙げる
ことができる。上記した紫外線硬化型化合物をバインダー成分
とする場合には、バインダー成分自体が液状であ
ることから、セラミツクスシート用組成物中に溶
剤や水を添加する必要がなく、またこのバインダ
ー成分は、グリーンシート作製時に硬化により、
グリーンシート中にほとんど全量残存するので、
バインダー分を多量に含むグリーンシートが得ら
れる。その結果、焼結後の膜厚が10μm程度の非
常に薄いセラミツクスシートの作製が可能とな
る。また、紫外線硬化型化合物は、紫外線の照射
により速やかに硬化するので従来の熱乾燥法に比
して、非常に速い速度でのグリーンシートの作製
が可能となる。また、得られたグリーンシートは
可撓性に優れたものであり、保管による特性の変
化も少ない。また、上記紫外線硬化型化合物は、焼結時の分
解ガス化がスムーズであり、セラミツクスシート
にピンホールが発生することが少なく、また、適
度な硬化速度を有し、グリーンシートの収縮が少
ないことからセラミツクスシートの表面平滑性が
良好となる。また、本発明セラミツクスシート用組成物に
は、更に光重合開始剤としてカルボニル化合物、
有機イオウ化合物、過酸化物、レドツクス系化合
物、窒素誘導体類等を配合することが必要であ
る。カルボニル化合物としては、ベイゾイン、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンジルジメチルケタ
ール、ベンゾフエノン、等を例示できる。有機イ
オウ化合物としては、クロロチオキサントン、ジ
エチルチオキサントン、等を例示できる。過酸化
物としては過酸化ベンゾイル、ジ−ｔ−ブチルペ
ルオキシド等を例示できる。窒素誘導体類として
は、アゾビスイソブチロニトリル、Ｐ−アミノジ
フエニルアミン等を例示できる。光重合開始剤の
使用量は、紫外線硬化型液状化合物100重量部に
対して、１〜30重量部程度とすればよく、好まし
くは10〜20重量部とする。また、本発明組成物には、必要に応じて、グリ
ーンシートの可撓性の向上のためにエポキシ樹
脂、ブタジエンゴム、ブチラール樹脂等の樹脂類
を紫外線硬化型化合物100重量部に対して10〜50
重量部程度配合することができる。本発明セラミツクスシート用組成物では、上記
した紫外線硬化型化合物、光重合開始剤及び必要
に応じて添加する樹脂類からなるバインダー成分
の使用量は、セラミツクス原料として粉体状の原
料を用いる場合には、セラミツクス原料100重量
部に対して、10〜80重量部程度が適当である。好
ましい使用量は、ドクターブレート法で薄膜化す
る場合には30〜60重量部程度、ロール法で薄膜化
する場合には10〜30重量部程度、押し出し法で薄
膜化する場合には、10〜30重量部程度である。また、セラミツクス原料として、金属アルコキ
シド等の液状の化合物を使用する場合には、セラ
ミツクス原料100重量部に対して、バインダー成
分を100〜500重量部程度とすることが適当であ
る。本発明セラミツクスシート用組成物を用いてセ
ラミツクスシートを作製するいは以下に示すよう
な方法で採用できる。まず、セラミツクスシート用組成物を用いて常
法に従つて薄膜を作製する。例えばドクターブレ
ード法による場合には、セラミツクス原料に所定
の紫外線硬化型化合物量の約60％を加えて混練り
し、粘度の高い状態で三本ロールをかけて、バイ
ンダー中に固形分を充分に分散させ、次いで残り
の紫外線硬化型化合物を加えて一定粘度とした
後、ドクターブレード法により適当なキヤリヤー
プレート上に薄膜を形成させればよい。ロール法
又は押出し法による場合には、原料組成物の全量
を同時に混練した後、ロール成形または押出し成
形で適当なキヤリヤープレート上に薄膜を形成さ
せればよい。薄膜状に成形した後、紫外線照射を行ない、紫
外線硬化型化合物を硬化させて、グリーンシート
を作製する。紫外線照射には通常の紫外線照射ラ
ンプをいずれも使用できる。照射時間は、使用す
るランプの種類や照射条件によつて適宜決定すれ
ばよく、例えば80W／cmの高圧水銀灯（集光形）
を用いて、距離10cmで照射する場合には、１〜10
秒程度の照射時間で適度に硬化する。硬化時間が
短かすぎる場合には、内部の硬化が不十分とな
り、また硬化時間が長すぎると重合度が高くなり
すぎて、グリーンシートの可撓性が低下し、更
に、焼結時に有機物の分解、ガス化がスムーズに
進行しないので好ましくない。紫外線照射は、バツチ式で行なつてもよく、硬
化した薄膜を巻き取りながら連続的に行なつても
よい。また、紫外線照射工程でフオトマスクを使用
し、その後、現象処理を行なうことにより、パタ
ーンニングしたグリーンシートを得ることもでき
る。所定の形状に成形したグリーンシートを得た
後、徐々に昇温しつつ加熱してグリーンシート中
の紫外線硬化型化合物等の有機化合物を分解除去
し（脱バインダー工程）、引き続き焼結温度まで
昇温して焼結合体を作製する。脱バインダー工程では、グリーンシートの厚さ
や密度に応じて、昇温速度を適宜調整する。一般
には、厚いものは遅い昇温速度とし、薄いものは
速い昇温速度とすればよいが、通常10〜500℃／
時程度、好ましくは150〜250℃／時程度で昇温す
ればよい。脱バインダー工程において昇温速度が
速すぎると、有機物の熱分解が不充分となり、気
孔が多くなつたり、残存炭素による焼結時の割
れ、ふくれ等が生じる。また、熱分解が急激すぎ
ると表面にシワが生じるなどして好ましくない。紫外線硬化型化合物等の有機物の分解は一般に
300〜600℃程度で行なわれるので、分解を充分に
行なうために、この温度範囲に10分〜10時間程度
保持してもよい。脱バインダーを行なつた後、更に高温に加熱し
て、セラミツクス原料の焼結を行なう。焼結温度
は、従来の熱乾燥法で作製したシートと同様でよ
く、原料の種類や要求される焼結密度に応じて適
宜決定すればよい。例えば、アルミナを原料とす
る場合には、1000℃付近で仮焼成し、次いで1600
℃以上に昇温して焼結を行なえばよい。またジル
コニアを原料とする場合には、1000℃付近で仮焼
成し、1500℃以上に昇温して焼結を行なえばよ
い。また、チタン酸バリウムを原料とする場合に
は、1050℃以上、好ましくは1100℃以上で焼結を
行なえば緻密なセラミツクスが得られる。また、異なる種類のグリーンシートを積層した
後、焼成することにより、異種セラミツクス積層
板を作製することもできる。例えば、耐酸化性の
セラミツクス原料を含むグリーンシートと耐還元
性のセラミツクス原料を含むグリーンシートとを
積層し、焼結一体化することができる。発明の効果本発明セラミツクスシート用組成物を用いるこ
とにより、グリーンシート作製速度が、従来法に
比して10〜50倍程度速くなる。また、本発明組成物は無溶剤であり、バインダ
ー成分を多量に含有するグリーンシートが得られ
るので、グリーンシートのフレキシビリテイが向
上して取り扱いが容易になり、また膜厚の薄いグ
リーンシートの作製が可能となる。このため、最
終的な焼結体として膜厚10μm程度のセラミツク
スシートを製造できる。また、得られるセラミツ
クスシートは、従来品に比して緻密であり、且
つ、膜厚が非常に薄いことから熱伝導率が非常に
高いものである。また、焼結時の分解ガス化がスムーズであり、
グリーンシートの収縮が少なく、適度な硬化速度
を有し、他の種類の紫外線硬化型化合物を用いて
形成した場合と比べて、セラミツクスシートの表
面平滑性が良好であり、ピンホールの発生も少な
い。本発明によりこの様な薄い膜厚のセラミツクス
シートの製造が可能となり、その結果、積層パツ
ケージや印刷積層基板の小型化、高密度化を計る
ことができる。また、膜厚の薄いセラミツクスシ
ートは透明に近いものであり、高温炉への窓等へ
の適用も可能である。実施例以下に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。実施例１重合度４のポリエチレングリコールの末端にア
クリレート基が結合した紫外線硬化型化合物（商
標：4EG−Ａ、共栄社油脂化学工業(株)）100重量
部に光重合開始剤としてベンジルジメチルケター
ル（商標：イルガキユア−651、チバガイギー社
製）15重量部を溶解して、成形用バインダーを得
た。 Y₂O₃部分安定化ZrO₂（商標：HSY−30U、第
１稀元素化学工業(株)製）100重量部に、上記成形
用バインダー40重量部を加えて混練り後、三本ロ
ールにより充分に分散させてペーストを得た。こ
のペースト100重量部に、更に、上記成形用バイ
ンダー10重量部を加えて撹拌し、ドクターブレー
ドにて、ポリイミドフイルム（商標名：カプトン
200H、東レデユポン社製）上に40μm厚の薄膜を
形成させた。次いで80w／cmの高圧水銀灯（集光
形）で紫外線を10cmの距離から３秒間照射して、
バインダー成分を硬化させ、グリーンシートを得
た。得られたグリーンシートを5.0cm角に打ち抜き、
毎時200℃で500℃まで昇温し、500℃に30分間保
持して、脱バインダーを行なつた。その後毎時
600℃の速度で1000℃まで昇温し、1000℃で20分
間保持して仮焼成を行ない、続いて毎時300℃で
1550℃まで昇温して、1550℃で20分間保持して焼
結を行なつてセラミツクスシートを得た。得られたセラミツクスシートは、ひびわれ等の
ない良好なものであり、焼成収縮率は、約30％で
あり、縦方向と横方向とでの異方性は認められな
かつた。また、室温での熱拡散率は、0.0132cm²／
secという高い値を示した。比較例１グリセロールアクリレートメタクリレート（商
標：NK−エステル−701、新中村化学(株)製）100
重量部に、光重合開始剤としてベンジルジメチル
ケタール（商標名：イルガキユア−651、チバガ
イギー社製）10重量部を溶解してバインダー成分
とした。このバインダー成分中に、ジルコニウムメキシ
ド（ZrO₂分0.28g／ml、白水化学工業(株)製）170
ml及びイツトリウムメトキシド（Y₂O₃分
0.155g／ml、白水化学工業(株)製）30mlを溶解して
ペーストを得た。このペーストを用いて、ドクタ
ーブレード法によりポリイミドフイルム（商標
名：カプトン200H、東レデユポン社製）上に
40μm厚の薄膜を形成させた。この薄膜を実施例１と同様にして、硬化、焼成
してセラミツクスシートを形成させた。得られた
セラミツクスシートはY₂O₃を5mol％含むZrO₂で
あり、室温での熱拡散率は0.0119cm²／ｓであつ
た。実施例２ペンタエリスリトールとフタール酸との反応物
の末端にメタクリレート基を有するポリエステル
メタクリレート（商標アロニツクス6300、東亜合
成化学工業(株)製）70重量部、及びエピクロールヒ
ドリンとビスフエノールＡとから得られるエポキ
シ樹脂（商法：エピコート828、油化シエル(株)製）
30重量部を混合し、これに、光重合開始剤とし
て、ベンジルジメチルケタール（商標：イルガキ
ユア651、チバガイギー社製）10重量部、ジエチ
ルチオキサントン（商標：DETX、日本化薬(株)
製）３重量部、及びジメチルアミノアセトフエノ
ン（商標：PAA、大東化学(株)製）２重量部を加
えて、バインダー成分とした。平均粒径0.4μmのアルミナ（商標Ａ−HPT、
住友アルミニウム製練(株)製）100重量部に、上記
バインダー成分30重量部を加えて混練りし、三本
ロールにかけてペーストとした。次いでこのペー
スト100重量部に上記バインダー成分５重量部を
加えて、ドクターブレード法により、ポリイミド
フイルム（商標：カプトン200H、東レデユポン
社製）上に100μm厚の薄膜を形成させた。この薄膜を実施例１と同様にして硬化させたグ
リーンシートを得た。得られたグリーンシートを
5.0cm角に打ち抜き、毎時120℃の速度で500℃ま
で昇温して脱バインダーを行ない、続いて、毎時
400℃の速度で900℃まで昇温し、仮焼成した後、
毎時600℃で1550℃まで昇温して、1550℃で10分
間保持して焼結を行ない、セラミツクスシートを
得た。得られたセラミツクスシートは、ひびわれ等の
ない良好なものであり、縦方向、横方向ともに収
縮率は約30％であり、室温での熱拡散率は0.090
cm²／ｓであつた。比較例２ウレタンアクリレート（商標：ゴーセラツク
4200B、日本合成化学(株)製）60重量部及びトリメ
チロールプロパントリアクリレート（商標：
TMP−Ａ、共栄社油脂化学工業(株)製）40重量部
に、光重合開始剤としてベンジルジメチルケター
ル（商標：イルガキユア651、チバガイギー社製）
10重量部を加えて成形用バインダーとした。この成形用バインダーを使用する以外は実施例
１と同様にしてジルコニアセラミツクスシートを
作製した。得られたシートの外観は良好であり、
膜厚は30μmであつた。比較例３ウレタンアクリレート（商標：アロニツクス
M1200X、東亜合成化学工業(株)製）50重量部及び
ポリエステルアクリレート（商標：アロニツクス
Ｍ−8030、東亜合成化学工業(株)製）50重量部に、
光重合開始剤として２，２−ジエトキシアセトフ
エノン（商標DEAP、ユニオンカーバイド社製）
10重量部を加えて、成形用バインダーとした。この成形用バインダーを使用する以外は、実施
例１と同様にしてジルコニアセラミツクスシート
を作製した。得られたシートの外観は良好であ
り、膜厚は30μmであつた。比較例４エポキシアクリレート（商標：カヤラツドＲ−
242、日本化薬(株)製）60重量部及びポリエステル
型ジアクリレート反応性モノマー（商標：
MANDA、日本化薬(株)製）40重量部に、光重合
開始剤として２−ヒドロハシ−２−メチル−プロ
ピオフエノン（商標：ダロキユア1173、メルク社
製）12重量部を加え、成形用バインダーとした。この成形用バインダーを使用する以外は、実施
例２と同様にして、アルミナセラミツクスシート
を得た。得られたシートの外観は良好であり、膜
厚は、70μmであつた。比較例５常温で固型の紫外線硬化型エポキシアクリレー
ト（商標：リポキシVR−90、昭和高分子(株)製）
40重量部を１，６−ヘキサンジオールジアクリレ
ート（商標：１，６−HXA、共栄社油脂(株)製）
60重量部に溶解し、これに光重合開始剤として２
−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフエノン（商
標：ダロキユア1173、メルク社製）12重量部を加
え、成形用バインダーとした。この成形用バインダーを使用する以外は、実施
例２と同様にして、アルミナセラミツクスシート
を得た。得られたシートの外観は良好であり、膜
厚は70μmであつた。実施例３実施例１で用いた紫外線硬化型化合物に代え
て、重合度９のポリプロピレングリコールジメタ
クリレート（商標 NKエステル9PG 新中村化
学(株)製）を使用する以外は、実施例１と同様にし
て、セラミツクスシートを作製した。得られたセラミツクスシートは、ピンホールが
少なく、表面は平滑であり、収縮率は約30％であ
つた。以上の実施例及び比較例で得たセラミツクスシ
ートの成膜性、収縮率、表面平滑性及びピンホー
ルの発生状態を下記第１表に示す。成膜性は、焼結によりセラミツクスシートを作
製でき、クラツクや極端なちぢみ、ワレ、ネジレ
などが生じないものを○で表わす。表面平滑性は、平均表面粗さRaが1μm以下の
場合を○、Ra＝１〜10μmの場合を△、Ra＝
10μm以上の場合を×で示す。ピンホールの発生状態は、目視で観察し、ピン
ホールがない場合を○、直径0.1mm以上のピンホ
ールが１〜10個／cm²ある場合を△、直径0.1mm以
上のピンホールが10個以上／cm²ある場合を×で示
す。

【表】

【表】以上の結果から、本発明のセラミツクスシート
用組成物によれば表面平滑性に優れ、ピンホール
のほとんどないセラミツクスシートが得られるこ
とが判る。

Claims

【特許請求の範囲】１セラミツクス原料、 (a) 重合度４〜９のポリエチレングリコール
又は重合度４〜９のポリプロピレングリコー
ルと、アクリル酸又はメタクリル酸とから得
られるエステル結合を有するアクリレート化
合物又はメタクリレート化合物、及び、 (b) ペンタエリスリトールと多塩基酸とのポリ
エステル化合物の末端にアクリレート基又は
メタクリメート基を有する化合物の少なくとも一種からなる紫外線硬化型液状
化合物、並びに光重合開始剤を含有することを特徴とするセラミツクスシート
用組成物。２セラミツクス原料、 (a) 重合度４〜９のポリエチレングリコール
又は重合度４〜９のポリプロピレングリコー
ルと、アクリル酸又はメタクリル酸とから得
られるエステル結合を有するアクリレート化
合物又はメタクリレート化合物、及び (b) ペンタエリスリトールと多塩基酸とのポリ
エステル化合物の末端にアクリレート基又は
メタクリレート基を有する化合物の少なくとも一種からなる紫外線硬化型液状
化合物、並びに光重合開始剤を含有するセラミツクスシート用組成物により薄
膜を形成し、紫外線を照射して該薄膜を硬化させ
た後、焼成することを特徴とするセラミツクスシ
ートの製造法。