JP4354993B2 - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
グリーンシートを形成する工程と、
前記グリーンシートの表面に電極層を形成する工程と、
前記電極層が形成されたグリーンシートを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記電極層が形成されたグリーンシートを積層する前に、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面に、接着層を形成し、
前記接着層を介して、前記電極層が形成されたグリーンシートを積層することを特徴とする。
本発明においては、デラミネーションおよびクラックの防止という観点より、前記接着層の厚みを、上記範囲とすることが好ましい。接着層の厚みが薄すぎると、グリーンシート表面の凹凸よりも接着層の厚みが小さくなり、接着性が著しく低下する傾向にある。また、接着層の厚みが厚すぎると、その接着層の厚みに依存して焼結後の素子本体の内部に隙間ができやすく、クラック発生の起点となったり、その体積分の静電容量が著しく低下する傾向にある。また、グリーンシートに含まれる誘電体粒子の平均粒径よりも厚い接着層を形成すると、その接着層の厚みに依存して焼結後の素子本体の内部に隙間ができやすく、その体積分の静電容量が著しく低下する傾向にある。
前記第1支持シートを剥離した状態で、前記電極層が形成されたグリーンシートの反電極層側表面(電極層が形成されている面と反対側の面)を、他のグリーンシート上に積層する。
前記電極層が形成されたグリーンシートを積層した後に、前記電極層が形成されたグリーンシートから前記第1支持シートを剥離することが好ましい。
前記接着層は、最初に第2支持シートの表面に剥離可能に形成され、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面に、押し付けられて転写されることが好ましい。
前記接着層は、ダイコーティング法により、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面に、直接、塗布して形成されることが好ましい。
まず、本発明に係る方法により製造される電子部品の一実施形態として、積層セラミックコンデンサの全体構成について説明する。
図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2は、コンデンサ素体4と、第1端子電極6と第2端子電極8とを有する。コンデンサ素体4は、誘電体層10と、内部電極層12とを有し、誘電体層10の間に、これらの内部電極層12が交互に積層してある。交互に積層される一方の内部電極層12は、コンデンサ素体4の第1端部の外側に形成してある第1端子電極6の内側に対して電気的に接続してある。また、交互に積層される他方の内部電極層12は、コンデンサ素体4の第2端部の外側に形成してある第2端子電極8の内側に対して電気的に接続してある。
まず、焼成後に図1に示す誘電体層10を構成することになるセラミックグリーンシートを製造するために、誘電体ペーストを準備する。
誘電体ペーストは、通常、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練して得られた有機溶剤系ペースト、または水系ペーストで構成される。
以下、積層方法について説明する。
保持温度:200〜400℃、特に250〜350℃、
保持時間:0.5〜20時間、特に1〜10時間、
雰囲気 :加湿したN2 とH2 との混合ガス。
昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
保持温度:1100〜1300℃、特に1150〜1250℃、
保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したN2 とH2 との混合ガス等。
保持時間:0〜6時間、特に2〜5時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300℃/時間、
雰囲気用ガス:加湿したN2 ガス等。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
たとえば、本発明の方法は、積層セラミックコンデンサの製造方法に限らず、その他の積層型電子部品の製造方法としても適用することが可能である。
まず、下記の各ペーストを準備した。
グリーンシート用ペースト
まず、添加物(副成分)原料として、(Ba,Ca)SiO3:1.48重量部、Y2O3:1.01重量部、MgCO3:0.72重量部、MnO:0.13重量部およびV2O5:0.045重量部を準備した。次に、準備したこれらの添加物(副成分)原料を混合し、添加物(副成分)原料混合物を得た。
まず、上記のグリーンシート用ペーストと同様にして、添加物原料混合物を作製した。
次いで、上記にて得られた添加物原料混合物:100重量部、アセトン:150重量部、ターピネオール:104.3重量部、ポリエチレングリコール系分散剤:1.5重量部を混合して、スラリー化し、得られたスラリーを粉砕機(アシザワ・ファインテック(株) 型式LMZ0.6)により粉砕し、添加物スラリーを得た。
まず、内部電極用ペーストと同様にして、添加物原料がターピネオールに分散された添加物スラリーを調製した。
次いで、添加物スラリー:8.87重量部、BaTiO3 粉末(BT−02/堺化学工業(株)):95.70重量部、有機ビヒクル:104.36重量部、ポリエチレングリコール系分散剤:1.0重量部、フタル酸ジオクチル(可塑剤):2.61重量部、イソボニルアセテート:19.60重量部、アセトン:57.20重量部、およびイミダゾリン系界面活性剤(帯電助剤):0.4重量部を、ボールミルを使用して混合してペースト化した。次いで、得られたペーストを、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を使用して、アセトンを蒸発させることにより、除去し、余白パターン用ペーストを得た。なお、上記有機ビヒクルとしては、内部電極用ペーストと同じ有機ビヒクルを使用した。すなわち、エチルセルロース樹脂の8重量%イソボニルアセテート溶液とした。
ブチラール樹脂(重合度800、ブチラール化度83%、積水化学工業(株) BM−SH):1.5重量部、MEK:98.5重量部およびDOP(フタル酸ジオクチルおよびフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)の混合溶媒):50重量部を、撹拌溶解することにより接着層用ペーストを作製した。
まず、表面にシリコーン系樹脂により剥離処理を施したPETフィルム(第1支持シート)上に、上記のグリーンシート用ペーストを、ダイコーターにより塗布し、次いで、乾燥することにより、グリーンシートを形成した。塗布速度は50m/min.とし、乾燥は、乾燥炉内の温度を80℃とした。グリーンシートは、乾燥時の膜厚が1μmとなるように形成した。
まず、別のPETフィルム(第2支持シート)上に、上記の接着層用ペーストを、ダイコーターにより塗布し、次いで、乾燥することにより、接着層を形成した。塗布速度は70m/min.とし、乾燥は、乾燥炉内の温度を80℃とした。接着層は、乾燥時の膜厚が0.1μmとなるように形成した。なお、第2支持シートとして使用したPETフィルムとしては、第1支持シートと同様に、表面にシリコーン系樹脂により剥離処理を施したPETフィルムを使用した。
まず、厚み10μmに成形された複数枚の外層用グリーンシートを、積層時の厚みが約50μmとなるように、積層し、焼成後に積層コンデンサの蓋部分(カバー層)となる外層を形成した。なお、外層用グリーンシートは、上記にて製造したグリーンシート用塗料を使用し、乾燥後の厚みが10μmとなるように形成したグリーンシートである。
次いで、最終積層体を所定サイズに切断し、脱バインダ処理、焼成およびアニール(熱処理)を行って、チップ形状の焼結体を作製した。
昇温速度:50℃/時間、
保持温度:240℃、
保持時間:8時間、
雰囲気ガス:空気中、
で行った。
昇温速度:300℃/時間、
保持温度:1200℃、
保持時間:2時間、
冷却速度:300℃/時間、
雰囲気ガス:露点20℃に制御されたN2ガスとH2(5%)との混合ガス、
で行った。
保持時間:3時間、
冷却速度:300℃/時間、
雰囲気用ガス:露点20℃に制御されたN2ガス、
で行った。なお、雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを用い、水温0〜75℃にて行った。
上記にて得られた焼成前のグリーンチップのサンプルについて、非接着欠陥(ノンラミネーション)の発生度合いを測定した。測定は、まず、50個のグリーンチップサンプルを、誘電体層および内部電極層の側面が露出するように、2液硬化性エポキシ樹脂中に埋め込み、その後、2液硬化性エポキシ樹脂を硬化させた。次いで、エポキシ樹脂中に埋め込んだグリーンチップサンプルを、サンドペーパーを使用して、深さ1.6mmまで研磨した。なお、サンドペーパーによる研磨は、#400のサンドペーパー、#800のサンドペーパー、#1000のサンドペーパーおよび#2000のサンドペーパーを、この順に使用することにより行った。次いで、サンドペーパーによる研磨面を、ダイヤモンドペーストを使用して、鏡面研磨処理を施した。そして、光学顕微鏡を使用し、鏡面研磨処理を行った研磨面を、拡大倍率400倍にて、観察し、非接着欠陥の有無を調べた。光学顕微鏡による観察の結果、全測定サンプルに対する、非接着欠陥が発生していたサンプルの比率を、非接着欠陥比率とした。結果を表1に示す。
ショート不良率は、50個のコンデンササンプルを準備し、ショート不良が発生した個数を調べて測定した。
具体的には、絶縁抵抗計(HEWLETT PACKARD社製E2377Aマルチメーター)を使用して、抵抗値を測定し、抵抗値が100kΩ以下となったサンプルをショート不良サンプルとし、全測定サンプルに対する、ショート不良サンプルの比率をショート不良率とした。結果を表1に示す。
接着層の形成を、転写法ではなく、塗布法にて行った以外は、実施例1と同様にして焼成前のグリーンチップおよび積層セラミックコンデンサのサンプルを作製し、実施例1と同様にして、非接着欠陥比率およびショート不良率の測定を行った。
すなわち、実施例2においては、接着層用ペーストを、電極層12aおよび余白パターン24の形成されたグリーンシート10aの電極層側表面に、ダイコーターを使用して、直接塗布することにより、接着層を形成した。
接着層の形成を行わなかった以外は、実施例1と同様にして焼成前のグリーンチップおよび積層セラミックコンデンサのサンプルを作製し、実施例1と同様にして、非接着欠陥比率およびショート不良率の測定を行った。
すなわち、比較例1においては、接着層を介すことなく、積層体ユニットの積層を行った。
表1に、実施例1,2、比較例1の非接着欠陥比率およびショート不良率をそれぞれ示す。
表1より、電極層が形成されたグリーンシート上に接着層を形成し、接着層を介して、各積層体ユニットを積層させた実施例1および実施例2は、非接着欠陥比率がいずれも0%であり、また、ショート不良率が、それぞれ5%、18%と低く、良好な結果となった。なお、実施例1では、ショート不良率が5%であり、実施例2よりも良好な結果となったが、これは、実施例1では、接着層形成時における、接着層の成分の電極層またはグリーンシートへの染み込み(シートアタック)を、有効に防止することができたことによると考えられる。
グリーンシート用のバインダとして、ポリビニルブチラール樹脂の代わりに、アクリル系の樹脂を使用した以外は、実施例1と同様にして焼成前のグリーンチップおよび積層セラミックコンデンサのサンプルを作製し、実施例1と同様にして、非接着欠陥比率およびショート不良率の測定を行った。
すなわち、実施例3においては、グリーンシート用ペーストとして、以下の方法により製造したアクリル系樹脂のグリーンシート用ペーストを使用した。
まず、実施例1のグリーンシート用ペーストと同様にして、添加物原料混合物を作製した。
次いで、上記にて得られた添加物原料混合物:4.3重量部、酢酸エチル:6.85重量部、および分散剤:0.04重量部を、ボールミルを使用して混合粉砕し、添加物スラリーを得た。混合粉砕は、250ccポリエチレン製樹脂容器を用い、2mmφのZrO2メディア450gを投入し、周速45m/分および16時間の条件で行った。なお、粉砕後の添加物原料の粒径はメジアン径は0.1μmであった。
グリーンシート用のバインダとして、ポリビニルブチラール樹脂の代わりに、アクリル系の樹脂を使用した実施例3は、実施例1と同様に、非接着欠陥比率およびショート不良率が低く、良好な結果となった。すなわち、実施例3は、非接着欠陥比率が、0%、ショート不良率が、6%であった。この結果より、グリーンシート用のバインダとして、アクリル系の樹脂を使用した場合においても、本発明の作用効果が十分に発揮されることが確認できた。
Claims (8)
- グリーンシートを形成する工程と、
前記グリーンシートの表面に電極層を形成する工程と、
前記電極層が形成されたグリーンシートを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記電極層が形成されたグリーンシートを積層する前に、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面に、接着層を形成し、
前記接着層を介して、前記電極層が形成されたグリーンシートを積層し、
前記電極層は、接着層を用いることなく、前記グリーンシートの表面に形成され、
前記接着層の厚みが、0.02〜0.3μmであり、
前記グリーンシートは、第1支持シートの表面に剥離可能に形成され、
前記グリーンシートの厚みが1.5μm以下であり、
前記電極層の厚みが1.5μm以下であり、
前記グリーンシートと前記電極層との合計の厚みが3.0μm以下であり、
前記電極層は、グリーンシートの表面に所定パターンで形成され、前記電極層が形成されていないグリーンシートの表面には、前記電極層と実質的に同じ厚みの余白パターン層が形成され、前記余白パターン層が、前記グリーンシートと実質的に同じ材質で構成してあることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記電極層が形成されたグリーンシートを積層する前に、前記電極層が形成されたグリーンシートから前記第1支持シートを剥離し、
前記第1支持シートを剥離した状態で、前記電極層が形成されたグリーンシートの反電極層側表面を、他のグリーンシート上に積層する請求項1に記載の積層型電子部品の製造方法。 - 前記第1支持シートを有する状態で、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面を、他のグリーンシート上に積層し、
前記電極層が形成されたグリーンシートを積層した後に、前記電極層が形成されたグリーンシートから前記第1支持シートを剥離する請求項1に記載の積層型電子部品の製造方法。 - 前記接着層を、転写法により形成する請求項1〜3のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、最初に第2支持シートの表面に剥離可能に形成され、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面に、押し付けられて転写される請求項4に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層を、塗布法により形成する請求項1〜3のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、ダイコーティング法により、前記電極層が形成されたグリーンシートの電極層側表面に、直接、塗布して形成される請求項6に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、誘電体粒子を含み、
前記誘電体粒子は、前記グリーンシートに含まれる誘電体粒子の平均粒径と同等または小さい平均粒径を持ち、前記グリーンシートに含まれる誘電体組成と同一種類の誘電体組成である請求項1〜7のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
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