DE1282119B

DE1282119B - Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauelementen unter Anwendung der Duennfolienmethode

Info

Publication number: DE1282119B
Application number: DE1966S0103868
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Dr Werner Cirkler; Dipl-Phys Dr Manfred Kobale; Dipl-Phys Viktor Wenkowitsch
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1966-05-18
Filing date: 1966-05-18
Publication date: 1968-11-07

Description

Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauelementen unter Anwendung der Dünnfolienmethode Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauelementen unter Anwendung der Dünnfolienmethode. Diese Bauelemente bestehen aus wenigstens einem plättchenförmigen Körper geringer Dicke, unter 0,3 mm, vorzugsweise um 50 bis 100,um, aus keramischem Material mit entsprechenden elektrischen Eigenschaften und auf dem Körper angebrachten leitenden Belägen. Bauelemente in diesem Sinne können elektrische Kondensatoren in einzel- oder mehrlagiger Bauweise, vorzugsweise Stapel- und Wickelkondensatoren sein; ferner fallen hierunter Bauelemente, deren piezoelektrische Eigenschaften ausgenutzt werden; Trägerkörper für elektrische Widerstände sowie elektrische Massewiderstände können ebenfalls nach dem Verfahren, auf das sich die Erfindung bezieht, hergestellt werden. Nicht zuletzt seien Speicherelemente, deren ferromagnetische Eigenschaften ausgenutzt werden (Ferrite), genannt. Bei den Ferriten entfallen in gewissen Fällen die leitenden Beläge und werden unter anderem durch Drahtwicklungen ersetzt.
Zum Herstellen solcher elektrischer Bauelemente ist es bekannt, das keramische Material als feinkörniges Pulver (Korngröße unter 20 ,um, vorzugsweise um 1 ,um) in einer aus organischen Bindemitteln (z. B. Polymethacrylat), Weichmachern (Dialkylphthalat, z. B. Dioctylphthalat) und Lösungsmitteln (z. B. Xylol, Butylacetat und Methyläthylketon) aufzuschlämmen und diese Suspension (Schlicker) durch Gießen, Tauchen bzw. Spritzen auf eine Trägerunterlage aufzutragen, zu trocknen und die gebildete flexible Folie von der Trägerunterlage abzutrennen. Aus dieser Folie wird dann durch Stanzen bzw. Schneiden der gewünschte Körper geformt, der dann nach üblichen Verfahren von den organischen Bestandteilen befreit und keramisch gesintert wird.
Das vorliegende Verfahren unterscheidet sich vom bekannten Verfahren und ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß eine Suspension verwendet wird, die in an sich bekannter Weise als Binder Polymethacrylat, als Weichmacher Dialkylphthalat und als Lösungsmittel ein Gemisch aus Xylol, Butylacetat und Methyläthylketon enthält und die zusätzlich noch einen Anteil von bis 12 Gewichtsprozent, bezogen auf die Menge des trockenen Keramikpulvers, an bei Erwärmung irreversibel räumlich vernetzenden organischen Kunststoffen (Duroplaste) mit an sich bekannten Härtern aufweist, daß die Suspension gewichtsmäßig auf 1 Teil Keramikpulver 0,05 bis 0,5 Teile des Gemisches der organischen Bestandteile, gerechnet ohne Lösungsmittel, enthält, daß aus der nach an sich bekannten Verfahren erzeugten Folie die Körper gebildet werden, daß danach durch Erwärmen die Lösungsmittel ausgetrieben werden und der anwesende duroplastische Kunststoff ausgehärtet wird, wobei auf einen Stapel plättchenförmiger Körper mittels eines Stempels ein Druck ausgeübt wird, und daß schließlich das Brennen der Körper erfolgt, wobei diese auf aus Zirkondioxid bestehenden Brennunterlagen liegen.
Verfährt man nach diesem Verfahren, dann ergeben sich folgende Vorteile: Die mechanischen Eigenschaften der flexiblen Folie werden im Hinblick auf die Arbeitsschritte, die sich an das Abziehen der Folie von der Trägerunterlage anschließen, wesentlich verbessert; so tritt eine bessere Bedruckbarkeit mit Metallsuspensionen ein, ferner wird das Ausstanzen bzw. Schneiden der Folie in die gewünschten Körper insofern verbessert, als durch den möglichen höheren Gehalt an organischem Binder (Polymethacrylat) ein Ausbrechen an den Rändern vermieden wird; ferner entweichen die Lösungsmittel infolge ihrer unterschiedlichen Dampfdrucke nacheinander; das Entfernen der anderen organischen Bestandteile aus der Folie ist erleichtert, weil während der Temperaturerhöhung - wobei das Polymethacrylat erweicht - der Körper eine eigene Standfestigkeit durch das räumliche Netzwerk des duroplastischen Kunststoffes aufweist. Dieses Netzwerk gewährleistet insbesondere während der kritischen Phase des Entkohlens, nämlich während des Austreibens der anderen organischen Bestandteile durch Zersetzung, einen Zusammenhalt der Keramikpartikeln. Es ist auch zu vermuten, daß der duroplastische Kunststoff in der Regel erst bei höheren Temperaturen verkohlt, so daß das räumliche Netzwerk in einem relativ weiten Temperaturbereich vorhanden ist. Der größte Teil des duroplastischen Kunststoffes dürfte etwa bei 800 bis 900°C aus dem Körper ausgetrieben sein. Für den Fall, daß von dieser Temperatur bis zur eigentlichen Sinterung ein erneuter kritischer Bereich vorhanden ist, in welchem z. B. ein Auseinanderfallen der Rohlinge eintreten könnte, werden die plättchenförmigen Körper in einem Stapel gesintert, der unter Druck steht. Dies bringt den weiteren Vorteil mit sich, daß die Körper auch während der Sinterung sich nicht verziehen oder verwerfen können.
Bei der Herstellung von elektrischen Bauelementen, die abwechselnd Schichten aus keramischem Werkstoff und aus Metall aufweisen, d. h. bei der Herstellung mehrschichtiger Bauelemente, wie z. B. Stapelkondensatoren, ist eine Mindestmenge an organischem Binder unbedingt erforderlich, damit der gesamte Stapel gut verklebt; diese Mindestmenge ist aber, wie Versuche gezeigt haben, so groß, daß während des Erweichens des Binders bei der Temperaturerhöhung die Standfestigkeit des Stapels nicht mehr gewährleistet ist. Hier wirkt sich der Zusatz des duroplastischen Kunststoffes besonders vorteilhaft aus, denn die Stapel können einerseits infolge eines relativ hohen Binderanteils gut verkleben, ohne daß die Standfestigkeit beeinträchtigt wird; andererseits wird eine gute Maßhaltigkeit der Stapelkörper gewährleistet, die sowohl für die Ausnutzung der elektrischen Eigenschaften als auch für die Kontaktierung erforderlich ist, damit die im Stapel gegeneinander versetzten Metallbelegungen in ihrer Lage erhalten bleiben.
Durch den Zusatz des duroplastischen Kunststoffes wird aber nicht nur die Verarbeitung der flexiblen Folie nach dem Abziehen von der Trägerplatte erleichtert und verbessert, sondern es ist auch die Herstellung einer rissefreien Folie auf der Trägerunterlage gewährleistet, und darüber hinaus entsteht eine glatte, an allen Stellen gleichmäßig starke Folie, weil der duroplastische Kunststoff zusammen mit den anderen organischen Bestandteilen und Lösungsmitteln die Oberflächenspannung im Sinne einer guten Benetzbarkeit der Trägerunterlage beeinflußt; als Trägerunterlage wird in aller Regel nämlich ein flexibles Band aus Polyäthylenterephthalat verwendet, auf das die Suspension ohne Anwendung von Hilfszwischenlagen aufgetragen und von dem Band nach entsprechender Trocknung direkt wieder abgezogen werden kann. Durch den Zusatz von Celluloseacetobutyrat kann die gewünschte Haftfestigkeit der Folie auf dem Trägerband zusätzlich eingestellt werden, wobei die Haftfestigkeit mit steigendem Anteil des Celluloseacetobutyrats steigt. Die Verträglichkeit der vorgeschlagenen Suspension mit Polyäthylenterephthalat gewährleistet, daß auf die Oberflächenspannung zurückzuführende Unebenheiten der Folie vermieden werden. Andererseits ermöglicht die Verträglichkeit der Komponenten der Suspension untereinander eine homogene Verteilung des keramischen Werkstoffes innerhalb der Folie.
Es ist überraschend, daß durch die Zugabe der relativ geringen Menge an duroplastischem Kunststoff diese hier aufgezählten Vorteile erreicht werden. Das vorgeschlagene Verfahren stellt somit eine erhebliche Bereicherung der Technik der Dünnfolienmethode dar.
Das Verfahren nach der Erfindung erlaubt es, daß aus der Folie, die beim Trocknen bereits den größten Teil der Lösungsmittel abgegeben hat, die herzustellenden Körper gleichzeitig mit dem Ausstanzen durch Anwendung von Druck verdichtet werden.
Weiterhin wird vorgeschlagen, daß aus den plättchenförmigen Körpern ein Stapel unter Verwendung einer Stapelhilfe gebildet und auf diesen Stapel in der Stapelhilfe mittels eines Stempelsein Druck ausgeübt wird. Als Stapelhilfe ist beispielsweise ein Rohr bei scheibenförmigen Körpern oder ein Rahmen bei rechteckförmigen Körpern geeignet. Während der Ausübung des Druckes auf den Stapel wird gleichzeitig durch erhöhte Temperatur der duroplastische Kunststoff ausgehärtet, wobei die Stapelhilfe als Preßform dient.
Für die Durchführung des keramischen Brandes wird vorgeschlagen, die Körper hochkant aneinanderzureihen und in Rillen auf das Zirkondioxid bestehende Brennunterlagen einzulegen und zur Vermeidung des Zusammenbackens zwischen die Körper Zirkondioxidpulver einzubringen.
Bei Herstellung eines Stapelkondensators sollen, wie oben bereits erwähnt, die einzelnen Schichten gut miteinander verkleben; bei der Hochkantsinterung werden aber mehrere Stapel nebeneinander aufgereiht, die dann während der Sinterung nicht zusammenbacken sollen. Letzteres gilt aber auch für die Herstellung von einlagigen elektrischen Bauelementen, bei denen ein Zusammenbacken nicht eintreten darf.
Für die Herstellung von Stapelkondensatoren wird vorgeschlagen, die Folie vor dem Abziehen von der Trägerunterlage in an sich bekannter Weise mittels einer wenigstens ein Platinmetall (z. B. Pd oder Pt) enthaltenden Suspension mit einem Muster aus Metallflecken durch Bedrucken zu versehen, wobei das Muster so angeordnet wird, daß beim späteren Stapeln die Metallflecken gegeneinander versetzt sind; mehrere solcher bedruckten Folien werden nach dem Abziehens von der Trägerunterlage in der Weise übereinandergestapelt, daß die Metallflecke von Schicht zu Schicht gegeneinander derart versetzt sind, daß nach Heraustrennen der einzelnen Stapelblöcke Platinmetallflecke gleicher Polung an gegenüberliegenden Seiten in die Schnittfläche hineinragen, so daß nach der Sinterung eine Kontaktierung möglich ist. Die Herstellung solcher Stapelkondensatoren ist im Prinzip hinreichend bekannt. In entsprechender Weise wird verfahren, wenn aus der Folie keramische Wickelkondensatoren oder andere gewickelte Bauelemente hergestellt werden sollen. Die Stapelblöcke oder auch die Wickel werden auf einer Zirkondioxidunterlage aufliegend bzw. hochkant stehend und zugedeckt mit Zirkondioxidpulver - zur gleichmäßigen Verteilung der Wärme - dem keramischen Brand unterworfen.
Es ist vorteilhaft, die Stapelblöcke durch Druck und erhöhte Temperatur zu einer schon vor dem kerarxzischen Brand festen Einheit zusammenzufügen.
Bezüglich der für das Aufdrucken der Platinmetallflecke zu verwendenden Metallsuspension sei erwähnt, daß die Suspensionsmittel (Äthylcellulose gelöst in Butylglykol) keine schädlichen Einflüsse auf die organischen Bestandteile der von den Lösungsmitteln befreiten Folie ausüben dürfen, andererseits soll aber eine relativ feste Haftung des Metallpulvers an der Folie gewährleistet sein, ohne daß das Metallpulver in die Keramikfolie eindringt. Diese Maßgabe wird durch die beim Verfahren nach der Erfindung zu verwendende Suspension bezüglich ihrer Bestandteile und mengenmäßigen Zusammensetzung gewährleistet. In diesem. Zusammenhang wird vorgeschlagen, die als leitende Beläge dienenden Metallflecke vor dem Aushärten des duroplastischen Kunststoffes, aber nach dem Austreiben der wesentlichen Mengen der Lösungsmittel auf die Folie aufzubringen.
Für den Fall, daß einlagige Bauelemente herzustellen sind, können die als leitende Beläge dienenden Metallflecke auch nach dem Aushärten des duroplastischen Kunststoffes, jedoch vor dem keramischen Sinterprozeß auf die Körper aufgebracht werden.
Platinmetalle werden bei keramischen Massen verwendet, die während des keramischen Brandes gegen Oxydations- oder Reduktionseinflüsse, sei es durch die Brennatmosphäre oder durch Reaktion mit dem Belegungsmetall, empfindlich sind. Für Massen, bei denen solche Einflüsse unerheblich sind, können auch Metalle, wie Eisen und Nickel, als Belegungsmetalle verwendet werden, die in entsprechender Weise auf die Folie aufgetragen werden und bei denen eine nichtoxydierende Brennatmosphäre nötig ist.
Zur Herstellung von Kondensatoren werden hochdielektrische Materialien (e-Werte über 1000), wie z. B. Erdalkalititanate mit Calcium, Strontium, Barium im Kationenteil und Zinn und/oder Zirkon neben Titan im Anionenteil, verwendet. Es ist auch möglich, sogenannte NDK-Massen mit einem --Wert um 40 bis 80 zu verwenden, die im wesentlichen aus Titandioxid mit kleinen Mengen Zirkondioxid und Bariumoxid bestehen (TiO2 700/" Ba0 100/" ZrO2 200/,). Für die Herstellung von Piezoelementen werden bevorzugt bleihaltige Erdalkalititanate oder Zirkonate verwendet. Zur Herstellung von Trägerkörpern für elektrische Widerstände werden an sich übliche Porzellanmassen, beispielsweise zusammengesetzt aus A1203, Si02 und Mg0, verwendet; bei der Herstellung von Massewiderständen können neben den neuen sogenannten Kaltleitermassen auf der Basis von mit gitterfremden Stoffen dotiertem Bariumtitanat auch andere Materialien verwendet werden, die eine für Widerstände ausnutzbare Leitfähigkeit aufweisen. Zur Herstellung von Speicherelementen werden Pulver aus Materialien mit besonders guten ferromagnetischen Eigenschaften verwendet.
Allen diesen Materialien ist gemeinsam, daß sie vor der Bildung der eigentlichen Körper, die gesintert werden sollen, einem Vorbrand unterworfen werden müssen, teils für eine homogene Durchmischung, teils aber auch für eine chemische Reaktion. Die bei diesem Vorbrennen anzuwendenden Temperaturen wirken sich auf die Porosität des Produktes aus. Beispielsweise werden HDK-Massen mit --Werten zwischen 2000 und 4000 bei relativ hohen Temperaturen zwischen 900 und 1050°C vorgebrannt, wobei bereits eine gewisse Sinterung nicht zu vermeiden ist, so daß die feinteiligen Pulverkörner nach dem Mahlen des Reaktionsgutes schon relativ dicht sind. Andere Massen, beispielsweise die Ferrit- oder Porzellanmassen, werden bei niedrigeren Temperaturen vorgebrannt, so daß eine nicht unerhebliche Porosität der Pulverkörner gegeben ist. Die unterschiedliche Porosität des Materials führt auch zu einer unterschiedlich großen Saugfähigkeit der Materialien, was bei der Bemessung des Lösungsmittelanteils für die einzelnen Suspensionen zu berücksichtigen ist. Pulver mit Körnern hoher Porosität erfordern höhere Anteile an Lösungsmitteln in der Suspension. Andererseits richtet sich der Lösungsmittelanteil danach, wie die Viskosität des Schlickers eingestellt sein soll. Der Binderanteil hängt davon ab, ob ein- oder mehrlagige Bauelemente aus der Folie hergestellt werden. Für mehrlagige Bauelemente muß der Binderanteil, wie beschrieben, höher sein. Bei höherem Binderanteil muß auch der Epoxidanteil höher sein, wodurch aber auch ein höherer Anteil an Lösungsmittel bedingt wird. Das spezifische Gewicht des Keramikpulvers ist bei der Bemessung der Anteile an Binder und Lösungsmittel ebenfalls zu berücksichtigen, und zwar in der Weise, daß das Verhältnis aus dem Quotienten aus Menge des Keramikpulvers und dem spezifischen Gewicht desselben zu den Anteilen an Binder und Lösungsmittel unter sonst gleichen Bedingungen konstant ist.
Ausführungsbeispiele Zur Herstellung von Stapelkondensatoren aus NDK-Keramik wird folgendes bevorzugtes Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung angegeben: Es wird zunächst eine Binderlösung hergestellt, bestehend aus 17 g Polymethacrylat, 6 g Epoxidharz-Härter-Gemisch (mit einem flexiblen aromatischen Epoxidharz mit einem Epoxidwert von 0,43 als Epoxidharzkomponente, mit Methylendomethylen - tetrahydrophthalsäureanhydrid als Härter und mit Tris-dimethylamino-methylphenol als Beschleuniger, z. B. im Verhältnis 100:73:1), 1 g Dioctylphthalat und 35 g Lösungsmittelgemisch (je ein Drittel Methyläthylketon, Xylol und Butylacetat); diese Bestandteile werden bei Raumtemperatur innig miteinander vermischt.
100 g eines keramisch vorbehandelten Oxidgemisches mit mittlerer Porosität aus Ba0, TiO2 und Zr02 mit einem --Wert von 40 werden mit 35 g weiterem Lösungsmittelgemisch der obengenannten Art, etwa 10 g der obengenannten vorbereiteten Binderlösung und 1 g Dioctylphthalat innig, vorzugsweise in einer Kugelmühle, vermischt, damit die Pulverteilchen gut vorbenetzt werden. Der Zusatz eines kleinen Teiles der Binderlösung beim Vorbenetzen setzt die Tixotropie der Suspension so weit herab, daß eine homogene Verteilung des Pulvers ermöglicht wird. Danach wird diese Suspension mit dem Rest der Binderlösung versetzt und ebenfalls innig vermischt.
Die Gesamtsuspension enthält somit in diesem ersten Beispiel: 1. l00 g Keramikpulver, 17 g Polymethacrylat, 6 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 2 g Diotylphthalat, 70 g Lösungsmittelgemisch. Die so erhaltene Gesamtsuspension wird bei Raumtemperatur auf ein Band aus Polyäthylenterephthalat in dünner Schicht aufgetragen, wobei durch mechanische Verteilung für einen gleichmäßigen Auftrag gesorgt wird. Das Auftragen wird kontinuierlich durch Tauchen des Trägerbandes in die Suspension bewirkt. Dieser Verfahrensschritt wird vorzugsweise kontinuierlich vorgenommen.
Die Folie wird entweder durch genügend große Verweilzeit oder durch leichte Temperaturerhöhung auf etwa 40°C vorgetrocknet, d. h., es treten die leicht flüchtigen Lösungsmittelanteile auf Grund ihrer hohen Dampfdrücke nahezu vollständig aus. Hierbei entsteht die flexible Folie. Diese Folie wird nunmehr mit den oben beschriebenen Metallflecken im Siebdruckverfahren versehen. Danach wird die Folie vom Trägerkörper abgezogen und in größere Stücke aufgeteilt, die dann so übereinandergestapelt werden, daß die Metallflecke von Schicht zu Schicht gegeneinander versetzt sind. Die so gestapelten Folienstücke, etwa von der Größe 10 - 6 cm, ergeben etwa 20 Stapelkondensatoren. Zu ihrer Herstellung wird der Folienstapel gepreßt unter Anwendung von Druck und Wärme, wobei der Epoxidharzanteil aushärtet und innerhalb der einzelnen Stapel eine feste Verbindung der Folien miteinander erfolgt. Für die Aushärtung ist eine Temperatur von 180 bis 200'C und ein Druck von 5 kp/cmz erforderlich. Die Aushärtung erfolgt in einem Zeitraum von etwa 10 bis 20 Minuten. Zur weiteren Verfestigung werden die verbundenen Folien ohne Druck bei etwa 150'C in einem Zeitraum von etwa 100 Stunden getempert.
Danach werden die einzelnen Rohlinge für die Stapelkondensatoren herausgeschnitten, so daß an einander gegenüberliegenden Seiten der Stapel die Metallschichten in die Schnittkantenflächen hineinragen.
Die einzelnen Stapel werden nunmehr auf Brennunterlagen aus Zirkondioxid aufgereiht und mit Zirkondioxidpulver bedeckt. In dieser Form werden die Brennunterlagen samt den zu brennenden Teilen in den Brennofen eingeführt.
Die Temperatur wird gleichmäßig innerhalb etwa 4 Stunden auf etwa 400°C erhöht, damit sich die organischen Bestandteile des Binders zersetzen können und die Hauptmenge, etwa 70 °/o, entweichen kann. Hier sichert der duroplastische Kunststoff die Formbeständigkeit der Rohlinge. Die weitere Temperatursteigerung bis zur Sintertemperatur, etwa 1350°C, erfolgt in einem Zeitraum von weiteren 4 Stunden.
Die Sinterzeit beträgt etwa 3 Stunden.
Nach dem Abkühlen werden die einzelnen Stapelkondensatoren in an sich bekannter Weise stirnkontaktiert und mit Anschlußdrähten versehen.
In ähnlicher Weise können auch andere Suspensionszusammensetzungen behandelt werden.
Folgende Zusammensetzungen werden als bevorzugt, je nach der gewünschten Art des Bauelements, angegeben: 2. 100 g Keramikpulver (mit mittlerer Porosität), 32g Polymethacrylat, 8 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 6 g Dioctylphthalat, 54 g Lösungsmittelgemisch(jeeinDrittelMethyläthylketon, Xylol, Butylacetat).
3. 100 g Keramikpulver (mit mittlerer Porosität), 25 g Polymethacrylat, 4 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 4 g Celluloseacetobutyrat, 4 g Dioctylphthalat, 75 g Lösungsmittelgemisch(jeeinDrittelMethyläthylketon, Xylol, Butylacetat).
4. 100 g Keramikpulver (mit großer Porosität), 30 g Polymethacrylat, 10 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 3 g Dioctylphthalat, 120 g Lösungsmittelgemisch (je ein DrittelMethyläthylketon, Xylol, Butylacetat).
5. 100 g Keramikpulver (mit geringer Porosität, spezifisches Gewicht etwa 7, für einlagige. Bauelemente), 2 g Dioctylphthalat, 3,2 g Polymethaerylat, 0,8 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 22 g Methyläthylketon, 2 g Xylol, 2 g Butylacetat.

Claims

Patentansprüche: 1. Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauelementen, die aus wenigstens einem plättchenförmigen Körper geringer Dicke, unter 0,3 mm, vorzugsweise um 50 bis 100 ,um, aus keramischem Material mit entsprechenden elektrischen Eigenschaften und auf dem Körper angebrachten leitenden Belägen bestehen, bei dem das keramische Material als feinkörniges Pulver in einer aus organischen Bindemitteln, Weichmachern und Lösungsmitteln bestehenden Suspension aufgeschlämmt wird, die Suspension durch Gießen, Tauchen bzw. Spritzen auf eine Trägerunterlage aufgetragen, getrocknet und von der Trägerunterlage als Folie abgetrennt wird, aus der dann durch Stanzen bzw. Schneiden die Körper geformt werden, die nach üblichen Verfahren von den organischen Bestandteilen befreit und keramisch gesintert werden, dadurch gekennzeichnet, daß eine Suspension verwendet wird, die in an sich bekannter Weise als Binder Polymethacrylat, als Weichmacher Dialkylphthalat und als Lösungsmittel ein Gemisch aus Xylol, Butylacetat und Methyläthylketon enthält und die zusätzlich noch einen Anteil von bis 12 Gewichtsprozent, bezogen auf die Menge des trockenen Keramikpulvers, an bei Erwärmung irreversibel räumlich vernetzenden organischen Kunststoffen (Duroplaste) mit an sich bekannten Härtern und Beschleunigern aufweist, daß die Suspension gewichtsmäßig auf 1 Teil Keramikpulver, 0,05 bis 0,5 Teile des Gemisches der organischen Bestandteile, gerechnet ohne Lösungsmittel, enthält, daß aus der nach an sich bekannten Verfahren erzeugten Folie die Körper gebildet werden, daß danach durch Erwärmen die Lösungsmittel ausgetrieben werden und der anwesende duroplastische Kunststoff ausgehärtet wird, wobei auf einen Stapel plättchenförmiger Körper mittels eines Stempels ein Druck ausgeübt wird, und daß schließlich das Brennen der Körper erfolgt, wobei diese auf aus Zirkondioxid bestehenden Brennunterlagen liegen.
2. Verfahren -nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß aus der Folie, die beim Trocknen bereits den größten Teil der Lösungsmittel abgegeben hat, die Körper gleichzeitig mit dem Ausstanzen durch Anwendung von Druck verdichtet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß aus den plättchenförmigen Körpern ein Stapel unter Verwendung einer Stapelhilfe in Form eines Rohres oder eines Rahmens gebildet wird und auf diesen Stapel in der Stapelhilfe mittels eines Stempels ein Druck ausgeübt und gleichzeitig durch erhöhte Temperatur der duroplastische Kunststoff ausgehärtet wird, wobei die Stapelhilfe als Preßform dient.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Körper für den keramischen Brand hochkant aneinandergereiht in Rillen auf aus Zirkondioxid bestehende Brennunterlagen eingelegt werden und zur Vermeidung des Zusammenbackens zwischen die Körper Zirkondioxidpulver eingebracht ist.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung von Stapelkondensatoren die Folie in an sich bekannter Weise mittels einer wenigstens ein Platinmetall enthaltenden Suspension mit einem Muster aus Platinmetallflecken durch Bedrucken versehen wird und daß mehrere solcher bedruckten Folien in der Weise übereinandergestapelt werden, daß die Platinmetallflecke von Schicht zu Schicht gegeneinander derart versetzt sind, daß nach Heraustrennen der einzelnen Stapelblöcke an gegenüberliegenden Seiten Platinmetallflecke gleicher Polung in die Schnittfläche hineinragen, und daß diese Stapelblöcke auf einer Zirkondioxidunterlage und zugedeckt mit Zirkondioxidpulver dem keramischen Brand unterworfen werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stapelblöcke durch Druck und erhöhte Temperatur zu einer schon vor dem keramischen Brand festen Einheit zusammengefügt werden.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die als leitende Beläge dienenden Metallflecke vor dem Aushärten des duroplastischen Kunststoffes auf die Folie aufgebracht werden. B.
Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die als leitende Beläge dienenden Metallflecke nach dem Aushärten des duroplastischen Kunststoffes, jedoch vor dem keramischen Sinterprozeß auf die Körper aufgebracht werden.
9. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Suspension folgender relativer Zusammensetzung: 100 g Keramikpulver, 17 g Polymethacrylat, 6 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 2 g Dioctylphthalat, 70 g Lösungsmittelgemisch (je ein Drittel Methyläthylketon, Xylol und Butylacetat).
10. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Suspension mit folgender relativer Zusammensetzung: 100 g Keramikpulver, 32 g Polymethacrylat, 8 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 6 g Dioctylphthalat, 54 g Lösungsmittelgemisch (je ein Drittel Methyläthylketon, Xylol, Butylacetat).
11. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Suspension folgender relativer Zusammensetzung: 100 g Keramikpulver, 25 g Polymethaerylat, 4 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 4 g Celluloseacetobutyrat, 4 g Dioctylphthalat, 75 g Lösungsmittelgemisch (je ein Drittel Methyläthylketon, Xylol, Butylacetat).
12. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Suspension folgender relativer Z, sammensetzung: 100 g Keramikpulver, 30 g Polymethaerylat, 10 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 3 g Dioctylphthalat, 120 g Lösungsmittelgemisch (je ein Drittel Methyläthylketon, Xylol, Butylacetat).
13. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Suspension folgender relativer Zusammensetzung: 100 g Keramikpulver, 2 g Dioctylphthalat, 3,2 g Polymethacrylat, 0,8 g Epoxidharz-Härter-Gemisch, 22 g Methyläthylketon, 2 g Xylol, 2 g Butylacetat.
14. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Binderlösung hergestellt wird, die aus dem gesamten Polymethacrylat, dem gesamten Epoxidharz-Härter-Gemisch, etwa der Hälfte des Dioctylphthalats und etwa der Hälfte des Lösungsmittelgemisches besteht, wobei die Bestandteile bei Raumtemperatur innig miteinander vermischt werden, daß ferner das keramisch vorbehandelte Oxidgemisch mit einer Lösung innig, vorzugsweise in einer Kugelmühle, vermischt wird, wobei diese Lösung die andere Hälfte des Lösungsmittelgemisches, den restlichen Teil des Dioctylphthalats und etwa den sechsten bis siebenten Teil der erwähnten Binderlösung enthält, und daß schließlich der Rest der vorbereiteten Binderlösung der Keramiksuspension zugefügt wird.
15. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Epoxidharz-Härter-Gemisch aus einem flexiblen aromatischen Epoxidharz mit einem Epoxidwert von 0,43 als Epoxidharzkomponente, mit Methylendomethylen - tetrahydrophthalsäureanhydrid als Härter und mit Tris-dimethylamino-methylphenol als Beschleuniger im Verhältnis 100:73:1 besteht.