JP2005532199A - プリントヘッド - Google Patents
プリントヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005532199A JP2005532199A JP2004519728A JP2004519728A JP2005532199A JP 2005532199 A JP2005532199 A JP 2005532199A JP 2004519728 A JP2004519728 A JP 2004519728A JP 2004519728 A JP2004519728 A JP 2004519728A JP 2005532199 A JP2005532199 A JP 2005532199A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printhead
- flow path
- nozzle
- microns
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 180
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 94
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 78
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 67
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 38
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 38
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 37
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 17
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 12
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 83
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 42
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 30
- 239000010408 film Substances 0.000 description 30
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 22
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 20
- 238000011161 development Methods 0.000 description 14
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 13
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 11
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 11
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 8
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- RUDATBOHQWOJDD-UHFFFAOYSA-N (3beta,5beta,7alpha)-3,7-Dihydroxycholan-24-oic acid Natural products OC1CC2CC(O)CCC2(C)C2C1C1CCC(C(CCC(O)=O)C)C1(C)CC2 RUDATBOHQWOJDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000005020 Acaciella glauca Species 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000012700 ceramic precursor Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000009415 formwork Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N oxolead;oxomagnesium;2,4,5-trioxa-1$l^{5},3$l^{5}-diniobabicyclo[1.1.1]pentane 1,3-dioxide Chemical compound [Mg]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.O1[Nb]2(=O)O[Nb]1(=O)O2 ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000013500 performance material Substances 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 235000003499 redwood Nutrition 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005070 ripening Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1635—Manufacturing processes dividing the wafer into individual chips
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1637—Manufacturing processes molding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2002/14306—Flow passage between manifold and chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14403—Structure thereof only for on-demand ink jet heads including a filter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/20—Modules
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
本発明はプリントヘッドに関する。
一般に、インクジェットプリンタは、インク供給部からノズル流路までのインク流路を含む。ノズル流路の終端は、インク滴が射出されるノズル開口部である。インク滴の射出は、インク流路内のインクをアクチュエータよって加圧することによって制御し、このアクチュエータは、たとえば圧電偏向器、サーマルバブルジェット(登録商標)発生装置、または静電偏向素子でもよい。一般的なプリントヘッドは多数のインク流路を有し、インク流路ごとにノズル開口部とアクチュエータとが対応付けられているので、各ノズル開口部からのインク滴の射出をそれぞれ独立に制御することができる。ドロップオンデマンド方式のプリントヘッドでは、プリントヘッドとプリント基板とが相互に相対的に移動しているときに、各アクチュエータを駆動することによって、画像の特定の画素位置にインク滴を選択的に射出する。高性能プリントヘッドでは、一般にノズル開口部の直径は50ミクロンまたはそれ以下、たとえば約25ミクロンであり、配置間隔はインチ当たり100〜300ノズルであり、解像度は100dpiから3000dpiまたはそれ以上であり、インク滴サイズは約1ピコリットル(pl)から約70ピコリットルまたはそれ以下である。インク滴の射出頻度は、一般に10kHzまたはそれ以上である。
一態様において、本発明は、上面と下面とを有するモノリシック半導体本体を含むプリントヘッドを特徴とする。モノリシック半導体本体は、ポンピングチャンバと、ノズル流路と、ノズル開口部とを含む流体路を画定する。ノズル開口部はモノリシック半導体本体の下面に画定され、ノズル流路はアクセラレータ領域を含む。ポンピングチャンバには圧電アクチュエータが対応付けられる。アクチュエータは、厚さ約50ミクロンまたはそれ以下の圧電層を有する。
図1において、インクジェットプリントヘッド10は、画像を印刷する用紙14の全幅または一部にわたるように、ケース86に保持されている複数のプリントヘッドユニット80を含む。プリントヘッド10と用紙14とが相互に相対的に移動しているときに(矢印)、インクをユニット80から選択的に噴射することによって、画像を印刷することができる。図1Aの実施形態においては、たとえば約12インチまたはそれ以上の幅にわたる3セットのプリントヘッドユニット80が示されている。各セットは、プリントヘッドと用紙との間の相対的な移動方向に沿って複数のプリントヘッドユニットを含み、この例では3つのプリントヘッドユニットを含んでいる。解像度および/または印刷速度を上げるために、ノズル開口部がずれるようにこれらのユニットを配置することができる。あるいは、またはさらに、各セット内の各ユニットにそれぞれ異なる種類または色のインクを供給することができる。この構成を使用すると、プリントヘッドを1回通過させるだけで、用紙全幅にわたるカラー印刷を行うことができる。
特に図4Aおよび図4Bにおいて、モジュール基板26は、インク流路構成がエッチングによって形成された、シリコンオンインシュレータ(SOI)基板などのモノリシック半導体本体である。本SOI基板は、ハンドルとして公知の単結晶シリコンの上部層102と、活性層として公知の単結晶シリコンの下部層104と、BOX層として公知の二酸化シリコンの中間層つまり埋込層105とを含む。ポンピングチャンバ33とノズル開口部22とは、基板の並行な対向面にそれぞれ形成される。図示のように、ポンピングチャンバ33は裏面103に形成され、ノズル開口部22は前面106に形成される。モノリシック本体の厚さの均一性は高く、プリントヘッド内の複数モジュールのモノリシック本体間でも高い。たとえば、モノリシック部材の厚さの均一性は、たとえば6インチの研磨SOIウエハー上に形成されたモノリシック部材の場合、約±1ミクロンまたはそれ以下にすることができる。結果として、ウエハーにエッチングされた流路構成の寸法の均一性は、本体の厚さのばらつきによって実質的に低下することはない。さらに、ノズル開口部は、別個のノズル板を使わずにモジュール本体に画定される。特定の一実施形態においては、活性層104の厚さは約1ミクロンから約200ミクロンであり、たとえば約30ミクロンから約50ミクロンであり、ハンドル102の厚さは約200ミクロンから約800ミクロンであり、BOX層105の厚さは約0.1ミクロンから約5ミクロン、たとえば約1ミクロンから約2ミクロンである。ポンピングチャンバの長さは約1mmから約5mm、たとえば約1mmから約2mmであり、幅は約0.1mmから約1mm、たとえば約0.1mmから約0.5mmであり、深さは約60ミクロンから約100ミクロンである。特定の一実施形態においては、ポンピングチャンバの長さは約1.8mm、幅は約0.21mm、深さは約65ミクロンである。他の実施形態においては、モジュール基板を半導体ウエハーなどのエッチング可能な材料とし、BOX層をなくしてもよい。
ここでrは開口部の半径である。(開口部が矩形または他の形状の場合、rは最小断面寸法の2分の1である。)入射パルスの持続時間に比べて流れの発達時間が比較的長い場合は、流路開口部が誘導子として機能する。しかし、入射圧力パルスの持続時間に比べて流れの発達時間が比較的短い場合は、流路開口部が抵抗子として機能し、入射パルスを事実上減衰させる。
図4Aおよび図4Bにおいて、圧電アクチュエータ28は、アクチュエータ膜70と、接合層72と、接地電極層74と、圧電層76と、駆動電極層78とを含む。圧電層74は圧電材料の薄膜であり、厚さは約50ミクロンまたはそれ以下、たとえば約25ミクロンから約1ミクロン、たとえば約8ミクロンから約18ミクロンである。圧電層は、高密度、低空隙率、高圧電定数などの望ましい特性を持つ圧電材料で構成することができる。このような特性を圧電材料に持たせるには、基板に接合する前の材料を焼成する手法を用いる。たとえば、成形と焼成とを単独で(支持物に乗せずに)行った圧電材料は、材料を(加熱または非加熱)型枠に押し込むときに高圧をかけることができるという利点がある。さらに、フロー剤や結合剤などの添加剤が一般に少なくて済む。焼成処理に使用する温度をより高温、たとえば1200〜1300℃にすると、熟成および粒子成長が促進される。セラミックからの(高温による)PbO損失を減らす焼成雰囲気(たとえば鉛を富化した雰囲気)を使用することもできる。PbO損失または他の劣化が発生した可能性があるモールド部品の外面は、切り取って廃棄することができる。材料をさらに熱間静水圧圧縮成形(HIP)で処理すると、セラミックに一般に1000〜2000atmの高圧をかけることもできる。HIP処理は一般に圧電材料ブロックの焼成後に行われ、密度の増加、空隙の減少、圧電定数の増加のために用いられる。
図8A〜図8Nには、モジュール基板の製造が示されている。複数のモジュール基板を1つのウエハー上に同時に形成することができる。明確にするために、図8A〜図8Nは単一の流路を示す。モジュール基板内の流路構成は、エッチング処理によって形成することができる。特定の処理は、ディープ反応性イオンエッチングによる等方性ドライエッチングであり、プラズマを用いてシリコンまたは二酸化シリコンを選択的にエッチングし、側壁がほぼ垂直な構成を形成する。ボッシュプロセスとして公知の反応性イオンエッチング法については、その内容全体を本願明細書に引用したものとするレナー(Laennor)らの米国特許第5,501,893号に記載されている。ディープシリコン反応性イオンエッチング装置は、カリフォルニア州レッドウッド市のSTS社、テキサス州プラノのアルカテル社(Alcatel)、またはスイスのユナクシス社(Unaxis)から入手可能である。結晶方位<100>のSOIウエハーはカリフォルニア州サンタバーバラのIMT社を含むエッチングベンダーから入手可能であり、これらのベンダーは、反応性イオンエッチングも行うことができる。
図11において、弾性膜450をポンピングチャンバの上流側に、たとえばフィルタ/インピーダンス構成および/またはインク供給流路を覆うように設ける。弾性膜は、音響エネルギーを吸収することによって、漏話を減らす。弾性膜は、アクチュエータ基板の連続部分によって設けてもよい。この部分を研削、鋸引き、またはレーザ加工によってポンピングチャンバ上の部分より薄く(たとえば約2ミクロンに)することによって弾性を高めてもよい。弾性膜に圧電材料層を含めてもよく、または圧電材料のサイズをこの膜を覆わない大きさにしてもよい。この膜は、二酸化シリコン膜または窒化シリコン膜、あるいはポリマー膜などの別個の要素にしてモジュール基板に接合してもよい。モジュール前面に沿ってインク供給流路に隣接する弾性膜を膜450と併用しても、膜450の代わりに使用してもよい。弾性膜については、その内容全体を本願明細書に引用したものとするホイジントン(Hoisington)の米国特許第4,891,054号に記載されている。
本プリントヘッドモジュールは、どのような印刷用途にも使用できるが、特に高速の高性能印刷に使用できる。本モジュールは特に幅広書式の印刷に有用であり、アレイ状に配列された複数のモジュールおよび/または長尺モジュールによって幅広の基板を印刷する。
Claims (92)
- プリントヘッドであって、
上面と下面とを有し、ポンピングチャンバと、ノズル流路と、ノズル開口部とを含む流体路を画定するモノリシック半導体本体であって、前記ノズル開口部が前記本体の前記下面に画定され、前記ノズル流路がアクセラレータ領域を含むモノリシック半導体本体と、
前記ポンピングチャンバに対応付けられ、厚さ約50ミクロンまたはそれ以下の圧電層を含む圧電アクチュエータと、を含むプリントヘッド。 - 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層の厚さが約25ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層の厚さが約5ミクロンから約25ミクロンであるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層の密度が約7.5g/cm3またはそれ以上であるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層のd31係数が約200またはそれ以上であるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層の表面のRaが約0.05ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層が予備焼成された圧電材料から成るプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記半導体本体がフィルタ/インピーダンス構成を画定するプリントヘッド。
- 請求項8に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記流体路に複数の流路開口部を画定するプリントヘッド。
- 請求項9に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記流路内に複数の突起を含むプリントヘッド。
- 請求項10に記載のプリントヘッドであって、前記突起が柱を含むプリントヘッド。
- 請求項8に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が壁部材を貫通する複数の開口部を含むプリントヘッド。
- 請求項8に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記ポンピングチャンバの上流側にあるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータが前記半導体本体に取り付けられたアクチュエータ基板を含むプリントヘッド。
- 請求項14に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータ基板が前記半導体本体に陽極接合によって取り付けられるプリントヘッド。
- 請求項15に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータ基板がガラスまたはシリコンから選択されるプリントヘッド。
- 請求項16に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータ基板がアルミナ、ジルコニア、または石英から選択されるプリントヘッド。
- 請求項15に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータ基板の厚さが約50ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項14に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層が前記アクチュエータ基板に有機接着剤によって取り付けられるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記半導体本体が少なくとも1つの埋込層を含み、前記ノズル流路が変断面を含み、断面が異なる前記領域間に前記埋込層があるプリントヘッド。
- 請求項20に記載のプリントヘッドであって、前記ポンピングチャンバが前記本体の前記上面に画定されるプリントヘッド。
- 請求項20に記載のプリントヘッドであって、前記ノズル流路が前記ポンピングチャンバからの流体を前記下面に導くためのディセンダ領域と、前記ディセンダ領域からの流体を前記ノズル開口部に導くためのアクセラレータ領域とを含むプリントヘッド。
- 請求項22に記載のプリントヘッドであって、前記埋込層が前記ディセンダ領域と前記アクセラレータ領域との接合部にあるプリントヘッド。
- 請求項22に記載のプリントヘッドであって、前記アクセラレータ領域の断面がほぼ一定であるプリントヘッド。
- 請求項22に記載のプリントヘッドであって、前記アクセラレータ領域の断面が前記ノズル開口部に向かって狭まるプリントヘッド。
- 請求項22に記載のプリントヘッドであって、前記ノズル開口部の断面に対する前記アクセラレータ領域の長さの比が約0.5またはそれ以上であるプリントヘッド。
- 請求項26に記載のプリントヘッドであって、前記比が約1.0またはそれ以上であるプリントヘッド。
- 請求項27に記載のプリントヘッドであって、前記比が約5.0またはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記アクセラレータ領域の長さが約10ミクロンから約75ミクロンであるプリントヘッド。
- 請求項1に記載のプリントヘッドであって、前記ノズル開口部の断面寸法が約5ミクロンから約50ミクロンであるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
埋込層を含み、上面と下面とを有し、複数の流体路を画定するモノリシック半導体本体であって、各流体路がポンピングチャンバと、ノズル開口部と、前記ポンピングチャンバと前記ノズル開口部との間のノズル流路とを画定し、前記ノズル流路がアクセラレータ領域を含み、
前記ポンピングチャンバが前記本体の前記上面に画定され、前記ノズル開口部が前記本体の前記下面に画定され、前記アクセラレータ領域が前記ノズル開口部と前記埋込層との間に画定されるモノリシック半導体本体と、
前記ポンピングチャンバに対応付けられ、厚さ約25ミクロンまたはそれ以下の圧電材料層を含む圧電アクチュエータと、を含むプリントヘッド。 - 請求項31に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層のd31係数が約200またはそれ以上であるプリントヘッド。
- 請求項31に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層が予備焼成された圧電材料から成るプリントヘッド。
- 請求項31に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータが、前記半導体本体に取り付けられたアクチュエータ基板を含むプリントヘッド。
- 請求項31に記載のプリントヘッドであって、前記半導体本体が、前記流路に複数の突起を含むフィルタ/インピーダンス構成を画定するプリントヘッド。
- 請求項31に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記ポンピングチャンバの上流側にあるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
流路とフィルタ/インピーダンス構成とを画定するモノリシック半導体本体を含むプリントヘッド。 - 請求項37に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が複数の流路開口部を画定するプリントヘッド。
- 請求項38に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が複数の突起を含むプリントヘッド。
- 請求項39に記載のプリントヘッドであって、前記突起が柱を含むプリントヘッド。
- 請求項39に記載のプリントヘッドであって、前記構成が隔壁に複数の開口部を備えるプリントヘッド。
- 請求項39に記載のプリントヘッドであって、前記流路開口部の断面寸法が約25ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項38に記載のプリントヘッドであって、ノズル開口部を含み、前記流路開口部の断面寸法が前記ノズル開口部の断面寸法より小さいプリントヘッド。
- 請求項43に記載のプリントヘッドであって、前記半導体本体がノズル開口部を画定するプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
断面が約25ミクロンまたはそれ以下の流路開口部を複数有する半導体を含むフィルタ/インピーダンス構成を備えるプリントヘッド。 - 請求項45に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が突起を備えるプリントヘッド。
- 請求項45に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が隔壁に開口部を備えるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
流体流路と、ノズル開口部と、複数の流路開口部を有するフィルタ/インピーダンス構成とを画定する半導体本体を備え、前記流路開口部の断面が前記ノズル開口部の断面より小さく、前記流路開口部の面積の合計が前記ノズル開口部の面積より大きいプリントヘッド。 - 請求項48に記載のプリントヘッドであって、前記流路開口部の断面が前記ノズル開口部の断面の約60%またはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項49に記載のプリントヘッドであって、前記流路開口部の面積の合計が前記ノズル開口部の断面の約2倍またはそれ以上であるプリントヘッド。
- 請求項50に記載のプリントヘッドであって、前記流路開口部が前記流路内の突起によって画定されるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
上面と、ほぼ平行な下面とを有し、インク供給路と、ポンピングチャンバと、ノズル開口部とを含む流体路を画定するモノリシック半導体本体を含み、前記ポンピングチャンバが前記上面に画定され、前記ノズル開口部が前記下面に画定されるプリントヘッド。 - 請求項52に記載のプリントヘッドであって、前記ポンピングチャンバと前記ノズル開口部との間にノズル流路を含むプリントヘッド。
- 請求項53に記載のプリントヘッドであって、前記ポンピングチャンバがほぼ線形のチャンバ側壁の間に画定され、前記ノズル流路が前記側壁の一方のほぼ共線的な延長部に沿って画定されるプリントヘッド。
- 請求項54に記載のプリントヘッドであって、前記本体が複数の流路対を画定し、前記流路対にノズルが隣接し、前記ポンピングチャンバの側壁がほぼ共線的であるプリントヘッド。
- 請求項55に記載のプリントヘッドであって、前記ノズル対の前記ノズル流路が互い違いに配置されるプリントヘッド。
- 請求項56に記載のプリントヘッドであって、前記複数対の前記ノズル群がほぼ直線を画定するプリントヘッド。
- 請求項57に記載のプリントヘッドであって、前記ノズル流路が長断面と短断面とから成る領域を有し、前記短断面が前記ノズル開口部の並びにほぼ並行するプリントヘッド。
- 請求項52に記載のプリントヘッドであって、前記半導体本体がフィルタ/インピーダンス構成を画定するプリントヘッド。
- 請求項59に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記流体路に複数の流路開口部を画定するプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
流路を含む本体と、
前記本体に固着された厚さ約50ミクロンまたはそれ以下の予備焼成された圧電層を有する圧電アクチュエータと、を備えるプリントヘッド。 - 請求項61に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層が約25ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項62に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層がアクチュエータ膜に接合されるプリントヘッド。
- 請求項63に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータ膜の厚さが約25ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項64に記載のプリントヘッドであって、前記アクチュエータ膜がシリコンまたはガラスであるプリントヘッド。
- 請求項61に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層の表面のRaが約0.05ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項61に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層が圧電材料のほぼ平面体であるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
表面のRaが約0.05ミクロンまたはそれ以下である圧電層を含み、前記プリントヘッド内の流体を加圧するように構成されている圧電アクチュエータを含むプリントヘッド。 - 請求項68に記載のプリントヘッドであって、前記圧電層の厚さが約50ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
厚さが約50ミクロンまたはそれ以下であり、少なくとも1つの表面に空隙充填材料を含む圧電層を有する圧電アクチュエータを備えるプリントヘッド。 - 請求項70に記載のプリントヘッドであって、前記空隙充填材料が誘電体であるプリントヘッド。
- 請求項71に記載のプリントヘッドであって、前記誘電体が酸化シリコン、窒化シリコン、または酸化アルミニウムから選択されるプリントヘッド。
- 請求項70に記載のプリントヘッドであって、前記空隙充填材料がITOであるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
上面と下面とを有し、ポンピングチャンバと、ノズル流路と、ノズル開口部とを含む流体路を画定するモノリシック本体を含み、前記ノズル開口部が前記本体の前記下面に画定され、圧電アクチュエータが前記ポンピングチャンバに対応付けられるプリントヘッド。 - 請求項74に記載のプリントヘッドであって、前記本体がフィルタ/インピーダンス構成を画定するプリントヘッド。
- 請求項75に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記流体路に複数の流路開口部を画定するプリントヘッド。
- 請求項76に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記流路内に複数の突起を含むプリントヘッド。
- 請求項77に記載のプリントヘッドであって、前記突起が柱を含むプリントヘッド。
- 請求項75に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が壁部材を貫通する複数の開口部を含むプリントヘッド。
- 請求項75に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が前記ポンピングチャンバの上流側にあるプリントヘッド。
- 請求項74に記載のプリントヘッドであって、前記本体がエッチング可能材料であるプリントヘッド。
- 請求項74に記載のプリントヘッドであって、前記本体が半導体であるプリントヘッド。
- 請求項82に記載のプリントヘッドであって、前記本体がシリコンであるプリントヘッド。
- プリントヘッドであって、
流路とフィルタ/インピーダンス構成とを画定するモノリシック本体を備えるプリントヘッド。 - 請求項84に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が複数の流路開口部を画定するプリントヘッド。
- 請求項85に記載のプリントヘッドであって、前記フィルタ/インピーダンス構成が複数の突起を含むプリントヘッド。
- 請求項86に記載のプリントヘッドであって、前記突起が柱を含むプリントヘッド。
- 請求項87に記載のプリントヘッドであって、前記開口部の断面寸法が約25ミクロンまたはそれ以下であるプリントヘッド。
- 請求項85に記載のプリントヘッドであって、ノズル開口部を含み、前記流路開口部の断面寸法が前記ノズル開口部の断面寸法より小さいプリントヘッド。
- 請求項85に記載のプリントヘッドであって、前記流路とフィルタ/インピーダンス構成とがエッチング可能材料に画定されているプリントヘッド。
- 請求項90に記載のプリントヘッドであって、前記エッチング可能材料が半導体であるプリントヘッド。
- 請求項91に記載のプリントヘッドであって、前記エッチング可能材料がシリコンであるプリントヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/189,947 US7052117B2 (en) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer |
PCT/US2003/020730 WO2004005030A2 (en) | 2002-07-03 | 2003-07-02 | Printhead |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007250120A Division JP4732416B2 (ja) | 2002-07-03 | 2007-09-26 | プリントヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005532199A true JP2005532199A (ja) | 2005-10-27 |
JP2005532199A5 JP2005532199A5 (ja) | 2009-11-05 |
Family
ID=29999755
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004519728A Pending JP2005532199A (ja) | 2002-07-03 | 2003-07-02 | プリントヘッド |
JP2007250120A Expired - Lifetime JP4732416B2 (ja) | 2002-07-03 | 2007-09-26 | プリントヘッド |
JP2009275001A Pending JP2010076453A (ja) | 2002-07-03 | 2009-12-02 | プリントヘッド |
JP2013171941A Expired - Lifetime JP5818848B2 (ja) | 2002-07-03 | 2013-08-22 | プリントヘッド |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007250120A Expired - Lifetime JP4732416B2 (ja) | 2002-07-03 | 2007-09-26 | プリントヘッド |
JP2009275001A Pending JP2010076453A (ja) | 2002-07-03 | 2009-12-02 | プリントヘッド |
JP2013171941A Expired - Lifetime JP5818848B2 (ja) | 2002-07-03 | 2013-08-22 | プリントヘッド |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7052117B2 (ja) |
EP (2) | EP2340938A1 (ja) |
JP (4) | JP2005532199A (ja) |
KR (2) | KR20100051870A (ja) |
CN (2) | CN100352652C (ja) |
AU (2) | AU2003247683B2 (ja) |
HK (2) | HK1078832A1 (ja) |
WO (1) | WO2004005030A2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008238412A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Toppan Printing Co Ltd | 微細径貫通孔を備えた樹脂基材およびその製造方法、インク分析用チップ、インクジェットヘッド |
JP2012245733A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Kyocera Corp | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
JP2017170836A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インクジェットヘッドおよびインクジェット装置 |
JP2019505411A (ja) * | 2015-12-31 | 2019-02-28 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 液体吐出装置 |
JP2020514118A (ja) * | 2017-01-13 | 2020-05-21 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 流体送達システムのためのアクチュエータ |
Families Citing this family (103)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7052117B2 (en) * | 2002-07-03 | 2006-05-30 | Dimatix, Inc. | Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer |
TW553837B (en) * | 2002-09-23 | 2003-09-21 | Nanodynamics Inc | Piezoelectric inkjet head and formation method of vibration layer thereof |
US7405033B2 (en) * | 2003-01-17 | 2008-07-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing resist pattern and method for manufacturing semiconductor device |
US7431956B2 (en) * | 2003-06-20 | 2008-10-07 | Sensient Imaging Technologies, Inc. | Food grade colored fluids for printing on edible substrates |
US20050151785A1 (en) * | 2004-01-10 | 2005-07-14 | Xerox Corporation. | Drop generating apparatus |
GB0402131D0 (en) | 2004-01-30 | 2004-03-03 | Isis Innovation | Delivery method |
US7052122B2 (en) * | 2004-02-19 | 2006-05-30 | Dimatix, Inc. | Printhead |
US8491076B2 (en) | 2004-03-15 | 2013-07-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid droplet ejection devices and methods |
US7281778B2 (en) * | 2004-03-15 | 2007-10-16 | Fujifilm Dimatix, Inc. | High frequency droplet ejection device and method |
ATE524317T1 (de) * | 2004-04-30 | 2011-09-15 | Dimatix Inc | Ausrichtung einer tröpfchenausstossvorrichtung |
BRPI0511926B1 (pt) * | 2004-06-10 | 2014-08-12 | Sensient Imaging Technologies | Fluido colorido de grau alimentício, processo de aplicação de um colorante comestível a uma superfície de um substrato comestível e substrato comestível |
KR100765315B1 (ko) * | 2004-07-23 | 2007-10-09 | 삼성전자주식회사 | 기판과 일체로 이루어진 필터링 부재를 구비하는 잉크젯헤드 및 그 제조방법. |
CN101432682B (zh) * | 2004-09-07 | 2014-08-20 | 富士胶片戴麦提克斯公司 | 可变分辨率的打印系统和方法 |
US7344230B2 (en) | 2004-09-07 | 2008-03-18 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid drop ejection system capable of removing dissolved gas from fluid |
US7484836B2 (en) | 2004-09-20 | 2009-02-03 | Fujifilm Dimatix, Inc. | System and methods for fluid drop ejection |
US7388319B2 (en) * | 2004-10-15 | 2008-06-17 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Forming piezoelectric actuators |
US7420317B2 (en) * | 2004-10-15 | 2008-09-02 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Forming piezoelectric actuators |
US7325907B2 (en) * | 2004-11-17 | 2008-02-05 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Printhead |
KR101323209B1 (ko) | 2004-12-03 | 2013-10-30 | 후지필름 디마틱스, 인크. | 프린트헤드 및 프린트헤드를 이용하는 시스템 |
CN101111386B (zh) | 2004-12-03 | 2010-06-16 | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 | 打印装置 |
CN101094770B (zh) * | 2004-12-30 | 2010-04-14 | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 | 喷墨打印 |
US20060152558A1 (en) | 2005-01-07 | 2006-07-13 | Hoisington Paul A | Fluid drop ejection |
US7691723B2 (en) * | 2005-01-07 | 2010-04-06 | Honeywell International Inc. | Bonding system having stress control |
CN101128733B (zh) * | 2005-02-28 | 2013-04-24 | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 | 印刷系统和方法 |
US7681994B2 (en) * | 2005-03-21 | 2010-03-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Drop ejection device |
KR101318902B1 (ko) * | 2005-05-09 | 2013-10-23 | 후지필름 디마틱스, 인크. | 잉크젯 프린팅 시스템 |
JP4799059B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2011-10-19 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
WO2007005063A1 (en) * | 2005-07-01 | 2007-01-11 | Sensient Imaging Technologies Inc. | Ink-jettable flavored fluids for printing on edible substrates |
US20080032011A1 (en) * | 2005-07-01 | 2008-02-07 | Sensient Colors Inc. | Flavored and Edible Colored Fluids for Printing on Edible Substrates and Precision Deposition Thereof |
US7427119B2 (en) * | 2005-07-13 | 2008-09-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Method and apparatus for scalable droplet ejection manufacturing |
US7992961B2 (en) * | 2006-03-31 | 2011-08-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head |
US7715107B2 (en) * | 2006-04-25 | 2010-05-11 | Asml Netherlands B.V. | Optical element for correction of aberration, and a lithographic apparatus comprising same |
US20090186121A1 (en) * | 2006-05-01 | 2009-07-23 | Sensient Colors Inc. | Modified edible substrates suitable for printing |
US20070257580A1 (en) * | 2006-05-05 | 2007-11-08 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Polishing Piezoelectric Material |
US7779522B2 (en) * | 2006-05-05 | 2010-08-24 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Method for forming a MEMS |
DE602007004770D1 (de) * | 2006-05-31 | 2010-04-01 | Konica Minolta Holdings Inc | Verfahren zur Herstellung einer Siliciumdüsenplatte und Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfs |
US20080122911A1 (en) * | 2006-11-28 | 2008-05-29 | Page Scott G | Drop ejection apparatuses |
US7988247B2 (en) | 2007-01-11 | 2011-08-02 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ejection of drops having variable drop size from an ink jet printer |
US7766462B2 (en) * | 2007-02-21 | 2010-08-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for forming a fluid ejection device |
JP4761071B2 (ja) * | 2007-03-05 | 2011-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンター |
US7976132B2 (en) * | 2007-03-12 | 2011-07-12 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead having moving roof structure and mechanical seal |
US7605009B2 (en) * | 2007-03-12 | 2009-10-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of fabrication MEMS integrated circuits |
US20080259134A1 (en) * | 2007-04-20 | 2008-10-23 | Hewlett-Packard Development Company Lp | Print head laminate |
CN101342520B (zh) * | 2007-07-10 | 2011-08-03 | 研能科技股份有限公司 | 微液滴喷射结构 |
US8206025B2 (en) | 2007-08-07 | 2012-06-26 | International Business Machines Corporation | Microfluid mixer, methods of use and methods of manufacture thereof |
US10531681B2 (en) * | 2008-04-25 | 2020-01-14 | Sensient Colors Llc | Heat-triggered colorants and methods of making and using the same |
US20090298952A1 (en) * | 2008-05-07 | 2009-12-03 | Brimmer Karen S | Platable soluble dyes |
US9085152B2 (en) * | 2008-05-22 | 2015-07-21 | Fujifilm Corporation | Etching piezoelectric material |
US8317284B2 (en) * | 2008-05-23 | 2012-11-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Method and apparatus to provide variable drop size ejection by dampening pressure inside a pumping chamber |
US8807716B2 (en) * | 2008-06-30 | 2014-08-19 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ink delivery |
US9113647B2 (en) * | 2008-08-29 | 2015-08-25 | Sensient Colors Llc | Flavored and edible colored waxes and methods for precision deposition on edible substrates |
CN102186604A (zh) * | 2008-10-16 | 2011-09-14 | 株式会社爱发科 | 印刷头、印刷装置 |
US20100110144A1 (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | Andreas Bibl | Applying a Layer to a Nozzle Outlet |
US8053951B2 (en) * | 2008-11-04 | 2011-11-08 | Fujifilm Corporation | Thin film piezoelectric actuators |
JP5241017B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-07-17 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置並びに画像形成装置 |
US8061820B2 (en) * | 2009-02-19 | 2011-11-22 | Fujifilm Corporation | Ring electrode for fluid ejection |
EP2230207A1 (fr) * | 2009-03-13 | 2010-09-22 | Nivarox-FAR S.A. | Moule pour galvanoplastie et son procédé de fabrication |
JP5407578B2 (ja) * | 2009-06-16 | 2014-02-05 | 株式会社リコー | インクジェットプリンタヘッド |
USD652446S1 (en) | 2009-07-02 | 2012-01-17 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Printhead assembly |
US8517508B2 (en) * | 2009-07-02 | 2013-08-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Positioning jetting assemblies |
USD653284S1 (en) | 2009-07-02 | 2012-01-31 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Printhead frame |
WO2011011359A1 (en) | 2009-07-20 | 2011-01-27 | Markem-Imaje Corporation | Solvent-based inkjet ink formulations |
KR20110014013A (ko) * | 2009-08-04 | 2011-02-10 | 삼성전기주식회사 | 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법 |
US20110080449A1 (en) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | Fujifilm Corporation | Non-wetting Coating on Die Mount |
US8393702B2 (en) * | 2009-12-10 | 2013-03-12 | Fujifilm Corporation | Separation of drive pulses for fluid ejector |
US8454132B2 (en) | 2009-12-14 | 2013-06-04 | Fujifilm Corporation | Moisture protection of fluid ejector |
KR101171475B1 (ko) * | 2010-02-08 | 2012-08-06 | 삼성전기주식회사 | 압전 엑츄에이터, 이를 포함하는 잉크젯 헤드 및 압전 엑츄에이터 제조방법 |
US9090084B2 (en) | 2010-05-21 | 2015-07-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device including recirculation system |
US10132303B2 (en) | 2010-05-21 | 2018-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Generating fluid flow in a fluidic network |
WO2012015397A1 (en) * | 2010-07-28 | 2012-02-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection assembly with circulation pump |
US9963739B2 (en) | 2010-05-21 | 2018-05-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Polymerase chain reaction systems |
JP2012061719A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置及び画像形成装置の製造方法 |
JP2012121168A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
US9199455B2 (en) | 2011-01-31 | 2015-12-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead |
US8939556B2 (en) * | 2011-06-09 | 2015-01-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device |
JP5775409B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-09-09 | スタンレー電気株式会社 | 光スキャナの製造方法 |
EP4233839A3 (en) | 2011-10-12 | 2023-09-27 | Vaxxas Pty Limited | Delivery device |
US9221266B2 (en) * | 2012-01-13 | 2015-12-29 | Hewlett-Parkard Development Company, L.P. | Fluid flux correction |
CN104245324B (zh) * | 2012-07-25 | 2016-10-12 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 压电致动器和制造压电致动器的方法 |
US8684500B2 (en) * | 2012-08-06 | 2014-04-01 | Xerox Corporation | Diaphragm for an electrostatic actuator in an ink jet printer |
US9132660B2 (en) * | 2012-12-19 | 2015-09-15 | Cimpress Schweiz Gmbh | System and method for offline print head alignment |
US9259931B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-02-16 | Cimpress Schweiz Gmbh | System and method for print head alignment using alignment adapter |
US8851616B2 (en) | 2012-12-19 | 2014-10-07 | Vistaprint Schweiz Gmbh | Print head pre-alignment systems and methods |
JP6189614B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2017-08-30 | キヤノンファインテックニスカ株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
US9437802B2 (en) | 2013-08-21 | 2016-09-06 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Multi-layered thin film piezoelectric devices and methods of making the same |
US9475093B2 (en) | 2013-10-03 | 2016-10-25 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric ultrasonic transducer array with switched operational modes |
US9525119B2 (en) | 2013-12-11 | 2016-12-20 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Flexible micromachined transducer device and method for fabricating same |
JP6277731B2 (ja) * | 2014-01-17 | 2018-02-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
EP4218892A1 (en) | 2015-02-02 | 2023-08-02 | Vaxxas Pty Limited | Microprojection array applicator |
JP2018509318A (ja) * | 2015-03-24 | 2018-04-05 | オセ−テクノロジーズ ビーブイ | フィルタ状態検出を有する噴射装置 |
US10105965B2 (en) * | 2015-04-23 | 2018-10-23 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printing method and ink jet printing apparatus |
WO2017045031A1 (en) | 2015-09-18 | 2017-03-23 | Vaxxas Pty Limited | Microprojection arrays with microprojections having large surface area profiles |
CN109641454B (zh) * | 2016-10-14 | 2021-12-28 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 流体喷射装置 |
EP3606760B1 (en) * | 2017-03-31 | 2023-09-27 | Vaxxas Pty Limited | Device and method for coating surfaces |
AU2018285954A1 (en) | 2017-06-13 | 2019-12-19 | Vaxxas Pty Limited | Quality control of substrate coatings |
US11090930B2 (en) | 2017-07-13 | 2021-08-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fludic die |
WO2019023757A1 (en) | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Vaxxas Pty Limited | COMPACT MECHANICAL HIGH ENERGY STORAGE ACTUATOR WITH LOW TRIGGER STRENGTH FOR ADMINISTRATION OF MICROPROJECTION NETWORK (PRM) PATCHES |
US10391781B1 (en) * | 2018-03-06 | 2019-08-27 | Ricoh Company, Ltd. | Printhead that evacuates air from a supply manifold |
JP2019155825A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
CN111016432A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-04-17 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种压电式打印头及其制作方法 |
CN111703207B (zh) * | 2020-05-13 | 2021-09-14 | 苏州锐发打印技术有限公司 | 带单层内电极的压电喷墨打印器件 |
CN111532027A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-08-14 | 苏州新锐发科技有限公司 | 压电喷墨打印头及打印系统 |
NL2033253B1 (en) * | 2022-10-07 | 2024-04-19 | Canon Kk | Process of manufacturing droplet jetting devices |
Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0280252A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-20 | Alps Electric Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH06198876A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Seiko Epson Corp | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 |
JPH06305141A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-01 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JPH0939234A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-10 | Sony Corp | プリンタ装置 |
JPH0939238A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-10 | Sony Corp | プリンタ装置 |
JPH0939232A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-10 | Sony Corp | プリンタ装置及びその製造方法 |
JPH0985949A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド、及び製造方法 |
JPH09223831A (ja) * | 1995-04-03 | 1997-08-26 | Seiko Epson Corp | 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JPH10264385A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法 |
JPH11334088A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-07 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
WO2000045445A1 (en) * | 1999-01-28 | 2000-08-03 | Parallel Design, Inc. | Multi-piezoelectric layer ultrasonic transducer for medical imaging |
JP2001088294A (ja) * | 1998-10-14 | 2001-04-03 | Seiko Epson Corp | 強誘電体薄膜素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ |
JP2001260355A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-25 | Nec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
JP2001334674A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-12-04 | Nec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
JP2001347658A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Ricoh Co Ltd | 静電型アクチュエータ及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド |
JP3255788B2 (ja) * | 1994-03-04 | 2002-02-12 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2002079668A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-19 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置、ヘッド駆動制御装置及び記憶媒体 |
US20020060724A1 (en) * | 2000-01-31 | 2002-05-23 | Le Hue P. | Ultrasonic bonding of ink-jet print head components |
JP2002173375A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-21 | R & D Inst Of Metals & Composites For Future Industries | マイクロ波及びホットプレスを利用して焼結された圧電セラミックス、その製造方法及びそれを用いた圧電アクチュエータ |
JP2002173659A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-06-21 | General Electric Co <Ge> | ポリ(アリーレンエーテル)接着剤組成物 |
JP2002187271A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Family Cites Families (412)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2892107A (en) | 1953-12-21 | 1959-06-23 | Clevite Corp | Cellular ceramic electromechanical transducers |
CH581357A5 (ja) | 1974-03-12 | 1976-10-29 | Facit Ab | |
DE2460207A1 (de) | 1974-12-19 | 1976-09-02 | Siemens Ag | Verfahren zum herstellen eines akustooptischen bauelementes oder eines breitbandigen ultraschall-bauelementes |
US4158847A (en) | 1975-09-09 | 1979-06-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelectric operated printer head for ink-operated mosaic printer units |
US4106976A (en) | 1976-03-08 | 1978-08-15 | International Business Machines Corporation | Ink jet nozzle method of manufacture |
US4216477A (en) * | 1978-05-10 | 1980-08-05 | Hitachi, Ltd. | Nozzle head of an ink-jet printing apparatus with built-in fluid diodes |
NL7903964A (nl) | 1979-05-21 | 1980-11-25 | Philips Nv | Pieezo-elektrisch lichaam voor een elektromechanisch omvormingselement. |
JPS56105968A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-22 | Hitachi Ltd | Liquid-drop jetting device |
JPS5793160A (en) * | 1980-12-01 | 1982-06-10 | Hitachi Ltd | Ink drop injector |
US4386358A (en) | 1981-09-22 | 1983-05-31 | Xerox Corporation | Ink jet printing using electrostatic deflection |
FR2519503B1 (fr) | 1981-12-31 | 1991-09-06 | Thomson Csf | Transducteurs piezoelectriques polymeres et procede de fabrication |
US4480259A (en) | 1982-07-30 | 1984-10-30 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printer with bubble driven flexible membrane |
DE3234408C2 (de) | 1982-09-16 | 1986-01-09 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Schreibkopf mit piezoelektrischen Antriebselementen für Tintenschreibeinrichtungen |
US4528574A (en) | 1983-03-28 | 1985-07-09 | Hewlett-Packard Company | Apparatus for reducing erosion due to cavitation in ink jet printers |
US4966037A (en) | 1983-09-12 | 1990-10-30 | Honeywell Inc. | Cantilever semiconductor device |
JPS60204352A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-15 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツド |
JPS61106259A (ja) | 1984-10-31 | 1986-05-24 | Hitachi Ltd | インク滴噴出装置 |
US4665409A (en) | 1984-11-29 | 1987-05-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Write head for ink printer devices |
US4620123A (en) | 1984-12-21 | 1986-10-28 | General Electric Company | Synchronously operable electrical current switching apparatus having multiple circuit switching capability and/or reduced contact resistance |
US4627138A (en) | 1985-08-06 | 1986-12-09 | The Dow Chemical Company | Method of making piezoelectric/pyroelectric elements |
US4641153A (en) | 1985-09-03 | 1987-02-03 | Pitney Bowes Inc. | Notched piezo-electric transducer for an ink jet device |
US4680595A (en) | 1985-11-06 | 1987-07-14 | Pitney Bowes Inc. | Impulse ink jet print head and method of making same |
US4730197A (en) | 1985-11-06 | 1988-03-08 | Pitney Bowes Inc. | Impulse ink jet system |
US4703333A (en) | 1986-01-30 | 1987-10-27 | Pitney Bowes Inc. | Impulse ink jet print head with inclined and stacked arrays |
US4728969A (en) | 1986-07-11 | 1988-03-01 | Tektronix, Inc. | Air assisted ink jet head with single compartment ink chamber |
US4726099A (en) * | 1986-09-17 | 1988-02-23 | American Cyanamid Company | Method of making piezoelectric composites |
US4789425A (en) | 1987-08-06 | 1988-12-06 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead fabricating process |
US4835554A (en) | 1987-09-09 | 1989-05-30 | Spectra, Inc. | Ink jet array |
US4891654A (en) | 1987-09-09 | 1990-01-02 | Spectra, Inc. | Ink jet array |
US4774530A (en) | 1987-11-02 | 1988-09-27 | Xerox Corporation | Ink jet printhead |
US4812199A (en) | 1987-12-21 | 1989-03-14 | Ford Motor Company | Rectilinearly deflectable element fabricated from a single wafer |
US4863560A (en) | 1988-08-22 | 1989-09-05 | Xerox Corp | Fabrication of silicon structures by single side, multiple step etching process |
US4891054A (en) | 1988-12-30 | 1990-01-02 | Ppg Industries, Inc. | Method for cutting hot glass |
US4899178A (en) | 1989-02-02 | 1990-02-06 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with internally fed ink reservoir |
JP2886588B2 (ja) | 1989-07-11 | 1999-04-26 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪アクチュエータ |
SG83626A1 (en) | 1989-07-11 | 2001-10-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric/electrostrictive actuator having at least one piezoelectric/electrostrictive film |
US5157420A (en) * | 1989-08-17 | 1992-10-20 | Takahiro Naka | Ink jet recording head having reduced manufacturing steps |
US5512922A (en) * | 1989-10-10 | 1996-04-30 | Xaar Limited | Method of multi-tone printing |
US5000811A (en) | 1989-11-22 | 1991-03-19 | Xerox Corporation | Precision buttable subunits via dicing |
US5041190A (en) | 1990-05-16 | 1991-08-20 | Xerox Corporation | Method of fabricating channel plates and ink jet printheads containing channel plates |
EP0465229B1 (en) | 1990-07-02 | 1994-12-28 | Seiko Epson Corporation | Micropump and process for manufacturing a micropump |
US5202703A (en) | 1990-11-20 | 1993-04-13 | Spectra, Inc. | Piezoelectric transducers for ink jet systems |
US5500988A (en) | 1990-11-20 | 1996-03-26 | Spectra, Inc. | Method of making a perovskite thin-film ink jet transducer |
US5265315A (en) | 1990-11-20 | 1993-11-30 | Spectra, Inc. | Method of making a thin-film transducer ink jet head |
US5124717A (en) | 1990-12-06 | 1992-06-23 | Xerox Corporation | Ink jet printhead having integral filter |
US5096535A (en) | 1990-12-21 | 1992-03-17 | Xerox Corporation | Process for manufacturing segmented channel structures |
AU657930B2 (en) | 1991-01-30 | 1995-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Nozzle structures for bubblejet print devices |
US6019457A (en) * | 1991-01-30 | 2000-02-01 | Canon Information Systems Research Australia Pty Ltd. | Ink jet print device and print head or print apparatus using the same |
JPH0590221A (ja) | 1991-02-20 | 1993-04-09 | Canon Inc | 珪素化合物膜のエツチング方法及び該方法を利用した物品の形成方法 |
GB9113023D0 (en) | 1991-06-17 | 1991-08-07 | Xaar Ltd | Multi-channel arrary droplet deposition apparatus and method of manufacture thereof |
US5204690A (en) | 1991-07-01 | 1993-04-20 | Xerox Corporation | Ink jet printhead having intergral silicon filter |
EP0526048B1 (en) | 1991-07-18 | 1997-11-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive element having ceramic substrate formed essentially of stabilized zirconia |
CA2075097C (en) | 1991-08-02 | 2000-03-28 | Hiroyuki Ishinaga | Recording apparatus, recording head and substrate therefor |
US5235352A (en) | 1991-08-16 | 1993-08-10 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead |
US5227813A (en) | 1991-08-16 | 1993-07-13 | Compaq Computer Corporation | Sidewall actuator for a high density ink jet printhead |
US5581286A (en) | 1991-12-31 | 1996-12-03 | Compaq Computer Corporation | Multi-channel array actuation system for an ink jet printhead |
DE69333619T2 (de) * | 1992-01-30 | 2005-09-29 | Canon K.K. | Herstellungsverfahren für Halbleitersubstrate |
SE9200555D0 (sv) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Markpoint Dev Ab | A method of coating a piezoelectric substrate |
WO1993022140A1 (en) * | 1992-04-23 | 1993-11-11 | Seiko Epson Corporation | Liquid jet head and production thereof |
DE4214555C2 (de) | 1992-04-28 | 1996-04-25 | Eastman Kodak Co | Elektrothermischer Tintendruckkopf |
JP3144948B2 (ja) | 1992-05-27 | 2001-03-12 | 日本碍子株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
JP3144949B2 (ja) | 1992-05-27 | 2001-03-12 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪アクチュエータ |
US5278585A (en) | 1992-05-28 | 1994-01-11 | Xerox Corporation | Ink jet printhead with ink flow directing valves |
JP3178945B2 (ja) | 1992-08-25 | 2001-06-25 | 日本碍子株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
JP3212382B2 (ja) | 1992-10-01 | 2001-09-25 | 日本碍子株式会社 | 精密ろう付け方法 |
JP3106044B2 (ja) | 1992-12-04 | 2000-11-06 | 日本碍子株式会社 | アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットプリントヘッド |
DE4241045C1 (de) | 1992-12-05 | 1994-05-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum anisotropen Ätzen von Silicium |
US5387314A (en) | 1993-01-25 | 1995-02-07 | Hewlett-Packard Company | Fabrication of ink fill slots in thermal ink-jet printheads utilizing chemical micromachining |
US5459501A (en) | 1993-02-01 | 1995-10-17 | At&T Global Information Solutions Company | Solid-state ink-jet print head |
JP3106026B2 (ja) | 1993-02-23 | 2000-11-06 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪アクチュエータ |
JP3151644B2 (ja) * | 1993-03-08 | 2001-04-03 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子 |
US5489930A (en) | 1993-04-30 | 1996-02-06 | Tektronix, Inc. | Ink jet head with internal filter |
JP3305041B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2002-07-22 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド、その製造方法および前記インクジェットヘッドを備えたインクジェット装置 |
US5408739A (en) | 1993-05-04 | 1995-04-25 | Xerox Corporation | Two-step dieing process to form an ink jet face |
US6074048A (en) * | 1993-05-12 | 2000-06-13 | Minolta Co., Ltd. | Ink jet recording head including interengaging piezoelectric and non-piezoelectric members and method of manufacturing same |
US5414916A (en) | 1993-05-20 | 1995-05-16 | Compaq Computer Corporation | Ink jet printhead assembly having aligned dual internal channel arrays |
US5463413A (en) | 1993-06-03 | 1995-10-31 | Hewlett-Packard Company | Internal support for top-shooter thermal ink-jet printhead |
US5736993A (en) * | 1993-07-30 | 1998-04-07 | Tektronix, Inc. | Enhanced performance drop-on-demand ink jet head apparatus and method |
DE4336416A1 (de) | 1993-10-19 | 1995-08-24 | Francotyp Postalia Gmbh | Face-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
US5385635A (en) | 1993-11-01 | 1995-01-31 | Xerox Corporation | Process for fabricating silicon channel structures with variable cross-sectional areas |
US5477344A (en) | 1993-11-19 | 1995-12-19 | Eastman Kodak Company | Duplicating radiographic, medical or other black and white images using laser thermal digital halftone printing |
JP3235635B2 (ja) * | 1993-11-29 | 2001-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
US5484507A (en) | 1993-12-01 | 1996-01-16 | Ford Motor Company | Self compensating process for aligning an aperture with crystal planes in a substrate |
US5406682A (en) | 1993-12-23 | 1995-04-18 | Motorola, Inc. | Method of compliantly mounting a piezoelectric device |
JPH07205421A (ja) * | 1994-01-21 | 1995-08-08 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
JP3088890B2 (ja) | 1994-02-04 | 2000-09-18 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型アクチュエータ |
US5659346A (en) | 1994-03-21 | 1997-08-19 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
US5474032A (en) | 1995-03-20 | 1995-12-12 | Krietzman; Mark H. | Suspended feline toy and exerciser |
US6371598B1 (en) | 1994-04-20 | 2002-04-16 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording apparatus, and an ink jet head |
JP3454258B2 (ja) | 1994-04-20 | 2003-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録装置 |
JP3389732B2 (ja) * | 1994-04-20 | 2003-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
EP0678387B1 (en) * | 1994-04-20 | 1998-12-02 | Seiko Epson Corporation | Inkjet recording apparatus and method of producing an inkjet head |
US5745303A (en) * | 1994-06-14 | 1998-04-28 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Zoom lens system |
US5666143A (en) | 1994-07-29 | 1997-09-09 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead with tuned firing chambers and multiple inlets |
US5818482A (en) | 1994-08-22 | 1998-10-06 | Ricoh Company, Ltd. | Ink jet printing head |
US5790156A (en) * | 1994-09-29 | 1998-08-04 | Tektronix, Inc. | Ferroelectric relaxor actuator for an ink-jet print head |
US5665249A (en) | 1994-10-17 | 1997-09-09 | Xerox Corporation | Micro-electromechanical die module with planarized thick film layer |
JPH08118662A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットプリンタ用印字ヘッド及びその製造方法 |
JP3663652B2 (ja) | 1995-02-13 | 2005-06-22 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
US6140746A (en) * | 1995-04-03 | 2000-10-31 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric thin film, method for producing the same, and ink jet recording head using the thin film |
US5880759A (en) | 1995-04-12 | 1999-03-09 | Eastman Kodak Company | Liquid ink printing apparatus and system |
US5825385A (en) | 1995-04-12 | 1998-10-20 | Eastman Kodak Company | Constructions and manufacturing processes for thermally activated print heads |
US6045710A (en) * | 1995-04-12 | 2000-04-04 | Silverbrook; Kia | Self-aligned construction and manufacturing process for monolithic print heads |
US6012799A (en) * | 1995-04-12 | 2000-01-11 | Eastman Kodak Company | Multicolor, drop on demand, liquid ink printer with monolithic print head |
US5850241A (en) | 1995-04-12 | 1998-12-15 | Eastman Kodak Company | Monolithic print head structure and a manufacturing process therefor using anisotropic wet etching |
US5870124A (en) | 1995-04-12 | 1999-02-09 | Eastman Kodak Company | Pressurizable liquid ink cartridge for coincident forces printers |
US5710585A (en) * | 1995-05-04 | 1998-01-20 | Calcomp Inc. | Ink source for an ink delivery system |
US5655538A (en) | 1995-06-19 | 1997-08-12 | General Electric Company | Ultrasonic phased array transducer with an ultralow impedance backfill and a method for making |
US6143470A (en) | 1995-06-23 | 2000-11-07 | Nguyen; My T. | Digital laser imagable lithographic printing plates |
US5734399A (en) | 1995-07-11 | 1998-03-31 | Hewlett-Packard Company | Particle tolerant inkjet printhead architecture |
JP3316853B2 (ja) * | 1995-07-14 | 2002-08-19 | セイコーエプソン株式会社 | 積層型インクジェット記録ヘッド及びその製造方法並びにこの記録ヘッドを備えたプリンタ |
US5907340A (en) | 1995-07-24 | 1999-05-25 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head with plural actuator units connected at outermost ends |
DE69612333T2 (de) * | 1995-07-26 | 2001-10-11 | Sony Corp., Tokio/Tokyo | Druckvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US5745131A (en) | 1995-08-03 | 1998-04-28 | Xerox Corporation | Gray scale ink jet printer |
DE69625002T2 (de) * | 1995-08-28 | 2003-07-31 | Lexmark International Inc., Greenwich | Verfahren zum Bilden einer Düsenstruktur für einen Tintenstrahldruckkopf |
US5658471A (en) | 1995-09-22 | 1997-08-19 | Lexmark International, Inc. | Fabrication of thermal ink-jet feed slots in a silicon substrate |
AUPN623895A0 (en) | 1995-10-30 | 1995-11-23 | Eastman Kodak Company | A manufacturing process for lift print heads with nozzle rim heaters |
EP0771656A3 (en) | 1995-10-30 | 1997-11-05 | Eastman Kodak Company | Nozzle dispersion for reduced electrostatic interaction between simultaneously printed droplets |
US5718044A (en) | 1995-11-28 | 1998-02-17 | Hewlett-Packard Company | Assembly of printing devices using thermo-compressive welding |
US5820932A (en) | 1995-11-30 | 1998-10-13 | Sun Chemical Corporation | Process for the production of lithographic printing plates |
JP2881616B2 (ja) * | 1995-11-30 | 1999-04-12 | 日本電気株式会社 | インクジェット式ヘッド装置 |
JP3503386B2 (ja) | 1996-01-26 | 2004-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
US5757400A (en) | 1996-02-01 | 1998-05-26 | Spectra, Inc. | High resolution matrix ink jet arrangement |
US6209992B1 (en) | 1996-02-22 | 2001-04-03 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording head, ink-jet recording apparatus using the same, and method for producing ink-jet recording head |
US5861902A (en) | 1996-04-24 | 1999-01-19 | Hewlett-Packard Company | Thermal tailoring for ink jet printheads |
US5870123A (en) | 1996-07-15 | 1999-02-09 | Xerox Corporation | Ink jet printhead with channels formed in silicon with a (110) surface orientation |
WO1998002378A1 (fr) * | 1996-07-17 | 1998-01-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | Element ferroelectrique et son procede de production |
US6305791B1 (en) | 1996-07-31 | 2001-10-23 | Minolta Co., Ltd. | Ink-jet recording device |
US6042219A (en) * | 1996-08-07 | 2000-03-28 | Minolta Co., Ltd. | Ink-jet recording head |
US5991850A (en) * | 1996-08-15 | 1999-11-23 | Micron Technology, Inc. | Synchronous DRAM modules including multiple clock out signals for increasing processing speed |
US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
US6143432A (en) | 1998-01-09 | 2000-11-07 | L. Pierre deRochemont | Ceramic composites with improved interfacial properties and methods to make such composites |
US5704105A (en) | 1996-09-04 | 1998-01-06 | General Electric Company | Method of manufacturing multilayer array ultrasonic transducers |
US5855049A (en) | 1996-10-28 | 1999-01-05 | Microsound Systems, Inc. | Method of producing an ultrasound transducer |
JP3984689B2 (ja) | 1996-11-11 | 2007-10-03 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JPH10166576A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-23 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JPH10202874A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
US6020905A (en) * | 1997-01-24 | 2000-02-01 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printhead for drop size modulation |
US6494566B1 (en) | 1997-01-31 | 2002-12-17 | Kyocera Corporation | Head member having ultrafine grooves and a method of manufacture thereof |
JP3271540B2 (ja) | 1997-02-06 | 2002-04-02 | ミノルタ株式会社 | インクジェット記録装置 |
US6188416B1 (en) * | 1997-02-13 | 2001-02-13 | Microfab Technologies, Inc. | Orifice array for high density ink jet printhead |
DE19806807A1 (de) | 1997-02-19 | 1998-09-03 | Nec Corp | Tröpfchenausstoßvorrichtung |
KR20000075530A (ko) | 1997-02-20 | 2000-12-15 | 그래햄 와일리 | 프린터 및 인쇄 방법 |
JP3763175B2 (ja) | 1997-02-28 | 2006-04-05 | ソニー株式会社 | プリンタ装置の製造方法 |
US5818476A (en) | 1997-03-06 | 1998-10-06 | Eastman Kodak Company | Electrographic printer with angled print head |
US5821841A (en) | 1997-03-18 | 1998-10-13 | Eastman Kodak Company | Microceramic linear actuator |
US6278996B1 (en) * | 1997-03-31 | 2001-08-21 | Brightware, Inc. | System and method for message process and response |
JP3697829B2 (ja) | 1997-04-09 | 2005-09-21 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
US5889544A (en) | 1997-04-10 | 1999-03-30 | Eastman Kodak Company | Electrographic printer with multiple transfer electrodes |
US6375858B1 (en) | 1997-05-14 | 2002-04-23 | Seiko Epson Corporation | Method of forming nozzle for injection device and method of manufacturing inkjet head |
GB9802871D0 (en) | 1998-02-12 | 1998-04-08 | Xaar Technology Ltd | Operation of droplet deposition apparatus |
US6234608B1 (en) | 1997-06-05 | 2001-05-22 | Xerox Corporation | Magnetically actuated ink jet printing device |
US5821972A (en) | 1997-06-12 | 1998-10-13 | Eastman Kodak Company | Electrographic printing apparatus and method |
JP3728931B2 (ja) * | 1997-06-17 | 2005-12-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
WO1999001796A2 (en) | 1997-07-05 | 1999-01-14 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Pattern-forming methods |
US6547364B2 (en) | 1997-07-12 | 2003-04-15 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printing cartridge with an integrated circuit device |
US6238044B1 (en) | 2000-06-30 | 2001-05-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Print cartridge |
US6331258B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-12-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a buckle plate ink jet printer |
AUPP653898A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46F) |
US6264307B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Buckle grill oscillating pressure ink jet printing mechanism |
US6402300B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-06-11 | Silverbrook Research Pty. Ltd. | Ink jet nozzle assembly including meniscus pinning of a fluidic seal |
US6565762B1 (en) | 1997-07-15 | 2003-05-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a shutter based ink jet printer |
US6235211B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of an image creation apparatus |
AUPP702298A0 (en) | 1998-11-09 | 1998-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (IJ46I) |
US6491833B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-12-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a dual chamber single vertical actuator ink jet printer |
AUPO804997A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ12) |
AUPP653598A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46C) |
US6416168B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-07-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pump action refill ink jet printing mechanism |
US6213588B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-04-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Electrostatic ink jet printing mechanism |
US6235212B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of an electrostatic ink jet printer |
US6264306B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Linear spring electromagnetic grill ink jet printing mechanism |
US6340222B1 (en) * | 1997-07-15 | 2002-01-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | Utilizing venting in a MEMS liquid pumping system |
AUPO793797A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method of manufacture of an image creation apparatus (IJM03) |
US6264849B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a bend actuator direct ink supply ink jet printer |
US6312615B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-11-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Single bend actuator cupped paddle inkjet printing device |
US6318849B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-11-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | Fluid supply mechanism for multiple fluids to multiple spaced orifices |
US6454396B2 (en) | 1997-07-15 | 2002-09-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro electro-mechanical system which includes an electromagnetically operated actuator mechanism |
US6293658B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-09-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead ink supply system |
US6254793B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of high Young's modulus thermoelastic inkjet printer |
US6251298B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-26 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a planar swing grill electromagnetic ink jet printer |
US6412914B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Nozzle arrangement for an ink jet printhead that includes a hinged actuator |
US6267905B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-31 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a permanent magnet electromagnetic ink jet printer |
US6220694B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-04-24 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Pulsed magnetic field ink jet printing mechanism |
US6227653B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Bend actuator direct ink supply ink jet printing mechanism |
US6294101B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-09-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a thermoelastic bend actuator ink jet printer |
US6190931B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-02-20 | Silverbrook Research Pty. Ltd. | Method of manufacture of a linear spring electromagnetic grill ink jet printer |
AUPO804797A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ05) |
AUPO805897A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method of manufacture of an image creation apparatus (IJM26) |
AUPO794697A0 (en) * | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A device (MEMS10) |
US6451216B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-09-17 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a thermal actuated ink jet printer |
US6248248B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a magnetostrictive ink jet printer |
US6071750A (en) | 1997-07-15 | 2000-06-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a paddle type ink jet printer |
AUPP398498A0 (en) | 1998-06-09 | 1998-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method of manufacture of an image creation apparatus (ijm44) |
AUPP398298A0 (en) | 1998-06-09 | 1998-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method of manufacture of an image creation apparatus (ijm45) |
US6248249B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-19 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Method of manufacture of a Lorenz diaphragm electromagnetic ink jet printer |
AUPO804497A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ07) |
US6260953B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-17 | Silverbrook Research Pty Ltd | Surface bend actuator vented ink supply ink jet printing mechanism |
US6582059B2 (en) | 1997-07-15 | 2003-06-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Discrete air and nozzle chambers in a printhead chip for an inkjet printhead |
US6241904B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a two plate reverse firing electromagnetic ink jet printer |
US6540332B2 (en) | 1997-07-15 | 2003-04-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | Motion transmitting structure for a nozzle arrangement of a printhead chip for an inkjet printhead |
AUPP089397A0 (en) | 1997-12-12 | 1998-01-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ37) |
US6239821B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Direct firing thermal bend actuator ink jet printing mechanism |
US6588882B2 (en) | 1997-07-15 | 2003-07-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printheads |
US6241905B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a curling calyx thermoelastic ink jet printer |
US6299786B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-10-09 | Silverbrook Res Pty Ltd | Method of manufacture of a linear stepper actuator ink jet printer |
US6488361B2 (en) | 1997-07-15 | 2002-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Inkjet printhead that incorporates closure mechanisms |
US6241342B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-05 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Lorentz diaphragm electromagnetic ink jet printing mechanism |
AUPO804897A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ14) |
US6087638A (en) | 1997-07-15 | 2000-07-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Corrugated MEMS heater structure |
US6425651B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-07-30 | Silverbrook Research Pty Ltd | High-density inkjet nozzle array for an inkjet printhead |
AUPP653698A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical fluid supply system (fluid08) |
AUPP398798A0 (en) | 1998-06-09 | 1998-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (ij43) |
US6217153B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-04-17 | Silverbrook Research Pty Ltd | Single bend actuator cupped paddle ink jet printing mechanism |
US6227654B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printing mechanism |
US6228668B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a thermally actuated ink jet printer having a series of thermal actuator units |
AUPO803597A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ06) |
US6471336B2 (en) | 1997-07-15 | 2002-10-29 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Nozzle arrangement that incorporates a reversible actuating mechanism |
US6428147B2 (en) | 1997-07-15 | 2002-08-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet nozzle assembly including a fluidic seal |
US6286935B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-09-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro-electro mechanical system |
US6299300B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-10-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro electro-mechanical system for ejection of fluids |
AUPO807497A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method of manufacture of an image creation apparatus (IJM23) |
US6258284B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a dual nozzle single horizontal actuator ink jet printer |
US6241906B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-05 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Method of manufacture of a buckle strip grill oscillating pressure ink jet printer |
AUPP653998A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46B) |
AUPP653798A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical fluid supply system (fluid07) |
US6258285B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a pump action refill ink jet printer |
AUPO800297A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ20) |
US6214244B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-04-10 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Method of manufacture of a reverse spring lever ink jet printer |
US6247796B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-06-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Magnetostrictive ink jet printing mechanism |
US6238040B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Thermally actuated slotted chamber wall ink jet printing mechanism |
US6513908B2 (en) * | 1997-07-15 | 2003-02-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pusher actuation in a printhead chip for an inkjet printhead |
US6037957A (en) * | 1997-08-11 | 2000-03-14 | Eastman Kodak Company | Integrated microchannel print head for electrographic printer |
JPH1165212A (ja) * | 1997-08-18 | 1999-03-05 | Sharp Corp | カラー画像形成装置 |
US6022101A (en) * | 1997-08-29 | 2000-02-08 | Topaz Technologies, Inc. | Printer ink bottle |
USD405822S (en) | 1997-08-29 | 1999-02-16 | Topaz Technologies, Inc. | Bottom section of an ink bottle |
US6033060A (en) * | 1997-08-29 | 2000-03-07 | Topaz Technologies, Inc. | Multi-channel ink supply pump |
USD417233S (en) | 1997-08-29 | 1999-11-30 | Topaz Technologies, Inc. | Printer ink bottle |
USD402687S (en) | 1997-08-29 | 1998-12-15 | Topaz Technologies, Inc. | Side panel of an ink bottle |
JP3521708B2 (ja) | 1997-09-30 | 2004-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 |
GB2331271B (en) | 1997-10-18 | 2001-10-10 | Eastman Kodak Co | Method of forming an image |
US6171510B1 (en) | 1997-10-30 | 2001-01-09 | Applied Materials Inc. | Method for making ink-jet printer nozzles |
US6036874A (en) * | 1997-10-30 | 2000-03-14 | Applied Materials, Inc. | Method for fabrication of nozzles for ink-jet printers |
JP3236542B2 (ja) * | 1997-11-17 | 2001-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットプリントヘッド用アクチュエータの熱処理方法およびインクジェットプリントヘッドの製造方法 |
US5927206A (en) | 1997-12-22 | 1999-07-27 | Eastman Kodak Company | Ferroelectric imaging member and methods of use |
US6276774B1 (en) | 1998-01-24 | 2001-08-21 | Eastman Kodak Company | Imaging apparatus capable of inhibiting inadvertent ejection of a satellite ink droplet therefrom and method of assembling same |
KR100540644B1 (ko) | 1998-02-19 | 2006-02-28 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 엑츄에이터 제조방법 |
US6273557B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-08-14 | Hewlett-Packard Company | Micromachined ink feed channels for an inkjet printhead |
GB2335283B (en) * | 1998-03-13 | 2002-05-08 | Horsell Graphic Ind Ltd | Improvements in relation to pattern-forming methods |
GB2335282B (en) | 1998-03-13 | 2002-05-08 | Horsell Graphic Ind Ltd | Improvements in relation to pattern-forming methods |
GB9806478D0 (en) | 1998-03-27 | 1998-05-27 | Horsell Graphic Ind Ltd | Pattern formation |
JP3141840B2 (ja) * | 1998-04-02 | 2001-03-07 | 日本電気株式会社 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
US6328399B1 (en) | 1998-05-20 | 2001-12-11 | Eastman Kodak Company | Printer and print head capable of printing in a plurality of dynamic ranges of ink droplet volumes and method of assembling same |
US6109746A (en) | 1998-05-26 | 2000-08-29 | Eastman Kodak Company | Delivering mixed inks to an intermediate transfer roller |
US6097406A (en) | 1998-05-26 | 2000-08-01 | Eastman Kodak Company | Apparatus for mixing and ejecting mixed colorant drops |
US6439695B2 (en) | 1998-06-08 | 2002-08-27 | Silverbrook Research Pty Ltd | Nozzle arrangement for an ink jet printhead including volume-reducing actuators |
US6071822A (en) | 1998-06-08 | 2000-06-06 | Plasma-Therm, Inc. | Etching process for producing substantially undercut free silicon on insulator structures |
KR100362363B1 (ko) | 1998-06-12 | 2003-05-16 | 삼성전자 주식회사 | 램파를이용한잉크분사장치및그제조방법 |
US6428134B1 (en) | 1998-06-12 | 2002-08-06 | Eastman Kodak Company | Printer and method adapted to reduce variability in ejected ink droplet volume |
US6273985B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-08-14 | Xerox Corporation | Bonding process |
JP3379479B2 (ja) * | 1998-07-01 | 2003-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 機能性薄膜、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法、 |
US6412912B2 (en) | 1998-07-10 | 2002-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printer mechanism with colinear nozzle and inlet |
US6566858B1 (en) | 1998-07-10 | 2003-05-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | Circuit for protecting chips against IDD fluctuation attacks |
US6062681A (en) | 1998-07-14 | 2000-05-16 | Hewlett-Packard Company | Bubble valve and bubble valve-based pressure regulator |
US6402304B1 (en) * | 1998-08-12 | 2002-06-11 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator, ink jet printing head, printer, method for manufacturing piezoelectric actuator, and method for manufacturing ink jet printing head |
US6047600A (en) * | 1998-08-28 | 2000-04-11 | Topaz Technologies, Inc. | Method for evaluating piezoelectric materials |
US6367132B2 (en) | 1998-08-31 | 2002-04-09 | Eastman Kodak Company | Method of making a print head |
US6047816A (en) * | 1998-09-08 | 2000-04-11 | Eastman Kodak Company | Printhead container and method |
US6186610B1 (en) * | 1998-09-21 | 2001-02-13 | Eastman Kodak Company | Imaging apparatus capable of suppressing inadvertent ejection of a satellite ink droplet therefrom and method of assembling same |
US6662448B2 (en) | 1998-10-15 | 2003-12-16 | Xerox Corporation | Method of fabricating a micro-electro-mechanical fluid ejector |
US6127198A (en) | 1998-10-15 | 2000-10-03 | Xerox Corporation | Method of fabricating a fluid drop ejector |
JP2002527272A (ja) | 1998-10-16 | 2002-08-27 | シルバーブルック リサーチ プロプライエタリイ、リミテッド | インクジェットプリンタに関する改良 |
US6309054B1 (en) | 1998-10-23 | 2001-10-30 | Hewlett-Packard Company | Pillars in a printhead |
US6088148A (en) | 1998-10-30 | 2000-07-11 | Eastman Kodak Company | Micromagnetic light modulator |
US6108117A (en) | 1998-10-30 | 2000-08-22 | Eastman Kodak Company | Method of making magnetically driven light modulators |
US6089696A (en) | 1998-11-09 | 2000-07-18 | Eastman Kodak Company | Ink jet printer capable of increasing spatial resolution of a plurality of marks to be printed thereby and method of assembling the printer |
US6031652A (en) * | 1998-11-30 | 2000-02-29 | Eastman Kodak Company | Bistable light modulator |
US6067183A (en) | 1998-12-09 | 2000-05-23 | Eastman Kodak Company | Light modulator with specific electrode configurations |
US6214192B1 (en) * | 1998-12-10 | 2001-04-10 | Eastman Kodak Company | Fabricating ink jet nozzle plate |
US6252697B1 (en) | 1998-12-18 | 2001-06-26 | Eastman Kodak Company | Mechanical grating device |
US6022752A (en) * | 1998-12-18 | 2000-02-08 | Eastman Kodak Company | Mandrel for forming a nozzle plate having orifices of precise size and location and method of making the mandrel |
US6209999B1 (en) * | 1998-12-23 | 2001-04-03 | Eastman Kodak Company | Printing apparatus with humidity controlled receiver tray |
US6161270A (en) | 1999-01-29 | 2000-12-19 | Eastman Kodak Company | Making printheads using tapecasting |
US6179978B1 (en) * | 1999-02-12 | 2001-01-30 | Eastman Kodak Company | Mandrel for forming a nozzle plate having a non-wetting surface of uniform thickness and an orifice wall of tapered contour, and method of making the mandrel |
US6273552B1 (en) | 1999-02-12 | 2001-08-14 | Eastman Kodak Company | Image forming system including a print head having a plurality of ink channel pistons, and method of assembling the system and print head |
AUPP868799A0 (en) | 1999-02-15 | 1999-03-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus(IJ46P1B) |
AUPP869099A0 (en) | 1999-02-15 | 1999-03-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus(IJ46P1E) |
AUPP868699A0 (en) * | 1999-02-15 | 1999-03-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus(IJ46P1A) |
AUPP869199A0 (en) | 1999-02-15 | 1999-03-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus(IJ46P1F) |
US6568797B2 (en) * | 1999-02-17 | 2003-05-27 | Konica Corporation | Ink jet head |
US6303042B1 (en) | 1999-03-02 | 2001-10-16 | Eastman Kodak Company | Making ink jet nozzle plates |
US6214245B1 (en) * | 1999-03-02 | 2001-04-10 | Eastman Kodak Company | Forming-ink jet nozzle plate layer on a base |
US6238584B1 (en) | 1999-03-02 | 2001-05-29 | Eastman Kodak Company | Method of forming ink jet nozzle plates |
US6258286B1 (en) | 1999-03-02 | 2001-07-10 | Eastman Kodak Company | Making ink jet nozzle plates using bore liners |
KR100474832B1 (ko) | 1999-03-19 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 압전 효과를 이용한 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법 |
US6578953B2 (en) | 1999-03-29 | 2003-06-17 | Seiko Epson Corporation | Inkjet recording head, piezoelectric vibration element unit used for the recording head, and method of manufacturing the piezoelectric vibration element unit |
JP3202006B2 (ja) | 1999-04-15 | 2001-08-27 | 松下電器産業株式会社 | 圧電素子及びその製造方法並びにそれを用いたインクジェットヘッド及びその製造方法 |
AUPP993099A0 (en) | 1999-04-22 | 1999-05-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | A micromechancial device and method(ij46p2b) |
AUPP996099A0 (en) * | 1999-04-23 | 1999-05-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus(sprint01) |
US6283575B1 (en) | 1999-05-10 | 2001-09-04 | Eastman Kodak Company | Ink printing head with gutter cleaning structure and method of assembling the printer |
KR100649407B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2006-11-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 잉크젯 헤드의 노즐막힘 방지장치 |
DE10028318B4 (de) | 1999-06-28 | 2017-02-16 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines Druckkopfes eines Tintenstrahldruckers |
AUPQ130399A0 (en) * | 1999-06-30 | 1999-07-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus (IJ47V9) |
AUPQ130799A0 (en) | 1999-06-30 | 1999-07-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus (IJ47V13) |
AUPQ131099A0 (en) | 1999-06-30 | 1999-07-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus (IJ47V8) |
US6382779B1 (en) | 1999-06-30 | 2002-05-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Testing a micro electro- mechanical device |
AUPQ130899A0 (en) | 1999-06-30 | 1999-07-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus (IJ47V12) |
AUPQ130999A0 (en) | 1999-06-30 | 1999-07-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method and apparatus (IJ47V11) |
EP1065059B1 (en) | 1999-07-02 | 2007-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing liquid discharge head, liquid discharge head, head cartridge, liquid discharging recording apparatus, method for producing silicon plate and silicon plate |
JP4596612B2 (ja) * | 1999-07-02 | 2010-12-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2001010040A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-16 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2001026106A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ |
JP2001038908A (ja) | 1999-07-27 | 2001-02-13 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
JP3890820B2 (ja) * | 1999-08-20 | 2007-03-07 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
US6364459B1 (en) | 1999-10-05 | 2002-04-02 | Eastman Kodak Company | Printing apparatus and method utilizing light-activated ink release system |
US6755511B1 (en) | 1999-10-05 | 2004-06-29 | Spectra, Inc. | Piezoelectric ink jet module with seal |
US6527365B1 (en) * | 2000-10-20 | 2003-03-04 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Printhead for pen |
ATE249341T1 (de) * | 1999-11-15 | 2003-09-15 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahldruckkopf und tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung |
AUPQ455999A0 (en) | 1999-12-09 | 2000-01-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Memjet four color modular print head packaging |
JP2001171133A (ja) | 1999-12-10 | 2001-06-26 | Samsung Electro Mech Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
US6474795B1 (en) | 1999-12-21 | 2002-11-05 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printer with micro-valve deflection mechanism and method of controlling same |
JP2001179996A (ja) | 1999-12-22 | 2001-07-03 | Samsung Electro Mech Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
US6422677B1 (en) | 1999-12-28 | 2002-07-23 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead extended droplet volume control |
US6276782B1 (en) | 2000-01-11 | 2001-08-21 | Eastman Kodak Company | Assisted drop-on-demand inkjet printer |
JP2002103618A (ja) | 2000-01-17 | 2002-04-09 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
JP2001270116A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-10-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
EP1138792B1 (en) | 2000-02-07 | 2004-04-07 | Kodak Polychrome Graphics Company Ltd. | Aluminium alloy support body for lithographic printing and method for producing the same |
KR100499118B1 (ko) | 2000-02-24 | 2005-07-04 | 삼성전자주식회사 | 단결정 실리콘 웨이퍼를 이용한 일체형 유체 노즐어셈블리 및 그 제작방법 |
WO2001066680A1 (en) * | 2000-03-10 | 2001-09-13 | An Jung O | Method of making silver-contained candle |
US6488367B1 (en) | 2000-03-14 | 2002-12-03 | Eastman Kodak Company | Electroformed metal diaphragm |
CN1314246A (zh) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | 日本电气株式会社 | 喷墨头及其制造方法 |
US6409316B1 (en) | 2000-03-28 | 2002-06-25 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with crosslinked polymer layer |
US6425971B1 (en) | 2000-05-10 | 2002-07-30 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of fabricating devices incorporating microelectromechanical systems using UV curable tapes |
JP3651360B2 (ja) | 2000-05-19 | 2005-05-25 | 株式会社村田製作所 | 電極膜の形成方法 |
US6383833B1 (en) | 2000-05-23 | 2002-05-07 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Method of fabricating devices incorporating microelectromechanical systems using at least one UV curable tape |
US6526658B1 (en) * | 2000-05-23 | 2003-03-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of an ink jet printhead having a moving nozzle with an externally arranged actuator |
US6328417B1 (en) | 2000-05-23 | 2001-12-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead nozzle array |
US6428133B1 (en) | 2000-05-23 | 2002-08-06 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Ink jet printhead having a moving nozzle with an externally arranged actuator |
US6412908B2 (en) | 2000-05-23 | 2002-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet collimator |
US6281912B1 (en) | 2000-05-23 | 2001-08-28 | Silverbrook Research Pty Ltd | Air supply arrangement for a printer |
US6409323B1 (en) | 2000-05-23 | 2002-06-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Laminated ink distribution assembly for a printer |
IT1320381B1 (it) | 2000-05-29 | 2003-11-26 | Olivetti Lexikon Spa | Metodo per la fabbricazione di una testina di eiezione di gocce diliquido particolarmente adatta per operare con liquidi chimicamente |
JP2001341306A (ja) * | 2000-06-01 | 2001-12-11 | Ricoh Co Ltd | 画像形成用ヘッド、画像形成用ヘッドを用いた画像形成装置及び該ヘッドの製造方法 |
US6463656B1 (en) | 2000-06-29 | 2002-10-15 | Eastman Kodak Company | Laminate and gasket manfold for ink jet delivery systems and similar devices |
US6425661B1 (en) | 2000-06-30 | 2002-07-30 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink cartridge |
WO2002002336A1 (en) | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | An ejector mechanism for a print engine |
US6398344B1 (en) | 2000-06-30 | 2002-06-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Print head assembly for a modular commercial printer |
AU5373800A (en) | 2000-06-30 | 2002-01-14 | Silverbrook Res Pty Ltd | An ink feed arrangement for a print engine |
US6575549B1 (en) | 2000-06-30 | 2003-06-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet fault tolerance using adjacent nozzles |
US6521513B1 (en) * | 2000-07-05 | 2003-02-18 | Eastman Kodak Company | Silicon wafer configuration and method for forming same |
KR100397604B1 (ko) * | 2000-07-18 | 2003-09-13 | 삼성전자주식회사 | 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
SG105459A1 (en) | 2000-07-24 | 2004-08-27 | Micron Technology Inc | Mems heat pumps for integrated circuit heat dissipation |
JP2002036547A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-05 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
JP2002046283A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
US6398348B1 (en) | 2000-09-05 | 2002-06-04 | Hewlett-Packard Company | Printing structure with insulator layer |
JP2002080252A (ja) | 2000-09-08 | 2002-03-19 | Yamaha Livingtec Corp | 加熱圧縮成形人造大理石用モールディングコンパウンド及び人造大理石 |
WO2002022369A1 (en) | 2000-09-13 | 2002-03-21 | Silverbrook Research Pty Ltd | Modular commercial printer |
US6869170B2 (en) | 2000-10-16 | 2005-03-22 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording head having a vibration plate prevented from being damaged and ink-jet recording apparatus for using the same |
US6406129B1 (en) | 2000-10-20 | 2002-06-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Fluidic seal for moving nozzle ink jet |
US6550895B1 (en) | 2000-10-20 | 2003-04-22 | Silverbrook Research Pty Ltd | Moving nozzle ink jet with inlet restriction |
US6507099B1 (en) * | 2000-10-20 | 2003-01-14 | Silverbrook Research Pty Ltd | Multi-chip integrated circuit carrier |
US6508532B1 (en) * | 2000-10-25 | 2003-01-21 | Eastman Kodak Company | Active compensation for changes in the direction of drop ejection in an inkjet printhead having orifice restricting member |
US6715862B2 (en) | 2000-10-26 | 2004-04-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ink jet print head and method of making the same |
US6504118B2 (en) | 2000-10-27 | 2003-01-07 | Daniel J Hyman | Microfabricated double-throw relay with multimorph actuator and electrostatic latch mechanism |
US6386679B1 (en) | 2000-11-08 | 2002-05-14 | Eastman Kodak Company | Correction method for continuous ink jet print head |
US6352337B1 (en) * | 2000-11-08 | 2002-03-05 | Eastman Kodak Company | Assisted drop-on-demand inkjet printer using deformable micro-acuator |
US6428146B1 (en) | 2000-11-08 | 2002-08-06 | Eastman Kodak Company | Fluid pump, ink jet print head utilizing the same, and method of pumping fluid |
US6291317B1 (en) | 2000-12-06 | 2001-09-18 | Xerox Corporation | Method for dicing of micro devices |
JP3851812B2 (ja) | 2000-12-15 | 2006-11-29 | 三星電子株式会社 | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 |
KR100506082B1 (ko) | 2000-12-18 | 2005-08-04 | 삼성전자주식회사 | 반구형 잉크 챔버를 가진 잉크 젯 프린트 헤드의 제조 방법 |
JP2002185011A (ja) | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
US6588888B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-07-08 | Eastman Kodak Company | Continuous ink-jet printing method and apparatus |
US6554410B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-04-29 | Eastman Kodak Company | Printhead having gas flow ink droplet separation and method of diverging ink droplets |
US6595617B2 (en) | 2000-12-29 | 2003-07-22 | Eastman Kodak Company | Self-cleaning printer and print head and method for manufacturing same |
US6450619B1 (en) | 2001-02-22 | 2002-09-17 | Eastman Kodak Company | CMOS/MEMS integrated ink jet print head with heater elements formed during CMOS processing and method of forming same |
US6439703B1 (en) | 2000-12-29 | 2002-08-27 | Eastman Kodak Company | CMOS/MEMS integrated ink jet print head with silicon based lateral flow nozzle architecture and method of forming same |
US6382782B1 (en) | 2000-12-29 | 2002-05-07 | Eastman Kodak Company | CMOS/MEMS integrated ink jet print head with oxide based lateral flow nozzle architecture and method of forming same |
US6502925B2 (en) * | 2001-02-22 | 2003-01-07 | Eastman Kodak Company | CMOS/MEMS integrated ink jet print head and method of operating same |
US6513903B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-02-04 | Eastman Kodak Company | Ink jet print head with capillary flow cleaning |
US6474794B1 (en) | 2000-12-29 | 2002-11-05 | Eastman Kodak Company | Incorporation of silicon bridges in the ink channels of CMOS/MEMS integrated ink jet print head and method of forming same |
AUPR245401A0 (en) | 2001-01-10 | 2001-02-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | An apparatus (WSM07) |
JP3786178B2 (ja) * | 2001-01-23 | 2006-06-14 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
US6572218B2 (en) | 2001-01-24 | 2003-06-03 | Xerox Corporation | Electrostatically-actuated device having a corrugated multi-layer membrane structure |
US6508947B2 (en) * | 2001-01-24 | 2003-01-21 | Xerox Corporation | Method for fabricating a micro-electro-mechanical fluid ejector |
US6481835B2 (en) | 2001-01-29 | 2002-11-19 | Eastman Kodak Company | Continuous ink-jet printhead having serrated gutter |
US6505922B2 (en) * | 2001-02-06 | 2003-01-14 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printhead and method of rotating ink drops |
US6508543B2 (en) * | 2001-02-06 | 2003-01-21 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printhead and method of translating ink drops |
US6536883B2 (en) * | 2001-02-16 | 2003-03-25 | Eastman Kodak Company | Continuous ink-jet printer having two dimensional nozzle array and method of increasing ink drop density |
US6457807B1 (en) | 2001-02-16 | 2002-10-01 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printhead having two-dimensional nozzle array and method of redundant printing |
US20020139235A1 (en) | 2001-02-20 | 2002-10-03 | Nordin Brett William | Singulation apparatus and method for manufacturing semiconductors |
US6629756B2 (en) | 2001-02-20 | 2003-10-07 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printheads and methods therefor |
US6491376B2 (en) | 2001-02-22 | 2002-12-10 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printhead with thin membrane nozzle plate |
US6491385B2 (en) | 2001-02-22 | 2002-12-10 | Eastman Kodak Company | CMOS/MEMS integrated ink jet print head with elongated bore and method of forming same |
JP2002248758A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-03 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
US6475402B2 (en) | 2001-03-02 | 2002-11-05 | Hewlett-Packard Company | Ink feed channels and heater supports for thermal ink-jet printhead |
US6553651B2 (en) | 2001-03-12 | 2003-04-29 | Eastman Kodak Company | Method for fabricating a permanent magnetic structure in a substrate |
US6517735B2 (en) | 2001-03-15 | 2003-02-11 | Hewlett-Packard Company | Ink feed trench etch technique for a fully integrated thermal inkjet printhead |
US6474781B1 (en) | 2001-05-21 | 2002-11-05 | Eastman Kodak Company | Continuous ink-jet printing method and apparatus with nozzle clusters |
US6572215B2 (en) | 2001-05-30 | 2003-06-03 | Eastman Kodak Company | Ink jet print head with cross-flow cleaning |
US6450628B1 (en) | 2001-06-27 | 2002-09-17 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printing apparatus with nozzles having different diameters |
SG119140A1 (en) * | 2001-07-04 | 2006-02-28 | Disco Corp | Grinding wheel |
US6588889B2 (en) | 2001-07-16 | 2003-07-08 | Eastman Kodak Company | Continuous ink-jet printing apparatus with pre-conditioned air flow |
US6491362B1 (en) | 2001-07-20 | 2002-12-10 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printing apparatus with improved drop placement |
ES2290220T3 (es) | 2001-08-10 | 2008-02-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Metodo para la fabricacion de un cabezal de descarga de liquido, substrato para cabezal para descarga de liquido y metodo para su fabricacion. |
JP2003080715A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | ノズル穴の加工方法及び半導体装置の製造方法 |
US6679587B2 (en) | 2001-10-31 | 2004-01-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with a composite substrate |
US6971738B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-12-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator |
US6588890B1 (en) | 2001-12-17 | 2003-07-08 | Eastman Kodak Company | Continuous inkjet printer with heat actuated microvalves for controlling the direction of delivered ink |
KR100438836B1 (ko) | 2001-12-18 | 2004-07-05 | 삼성전자주식회사 | 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
US6588884B1 (en) | 2002-02-08 | 2003-07-08 | Eastman Kodak Company | Tri-layer thermal actuator and method of operating |
US6692109B2 (en) | 2002-02-15 | 2004-02-17 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head |
US6536874B1 (en) * | 2002-04-12 | 2003-03-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Symmetrically actuated ink ejection components for an ink jet printhead chip |
US7052117B2 (en) * | 2002-07-03 | 2006-05-30 | Dimatix, Inc. | Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer |
-
2002
- 2002-07-03 US US10/189,947 patent/US7052117B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-07-02 KR KR1020107007415A patent/KR20100051870A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-07-02 AU AU2003247683A patent/AU2003247683B2/en not_active Expired
- 2003-07-02 CN CNB038199505A patent/CN100352652C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-02 WO PCT/US2003/020730 patent/WO2004005030A2/en active Application Filing
- 2003-07-02 EP EP11158973A patent/EP2340938A1/en not_active Withdrawn
- 2003-07-02 KR KR1020077021241A patent/KR20070097134A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-07-02 JP JP2004519728A patent/JP2005532199A/ja active Pending
- 2003-07-02 EP EP03763081A patent/EP1519838A2/en not_active Withdrawn
- 2003-07-02 CN CN2007101619610A patent/CN101121319B/zh not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-08-26 US US11/213,596 patent/US20050280675A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-29 US US11/214,681 patent/US7303264B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2005-11-24 HK HK05110631A patent/HK1078832A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-09-26 JP JP2007250120A patent/JP4732416B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-08-12 HK HK08108939.9A patent/HK1113113A1/xx not_active IP Right Cessation
- 2008-10-02 AU AU2008229768A patent/AU2008229768B2/en not_active Expired
-
2009
- 2009-06-17 US US12/486,693 patent/US8162466B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-02 JP JP2009275001A patent/JP2010076453A/ja active Pending
-
2013
- 2013-08-22 JP JP2013171941A patent/JP5818848B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0280252A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-20 | Alps Electric Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH06198876A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Seiko Epson Corp | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 |
JPH06305141A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-01 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP3255788B2 (ja) * | 1994-03-04 | 2002-02-12 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JPH09223831A (ja) * | 1995-04-03 | 1997-08-26 | Seiko Epson Corp | 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JPH0939232A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-10 | Sony Corp | プリンタ装置及びその製造方法 |
JPH0939234A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-10 | Sony Corp | プリンタ装置 |
JPH0939238A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-10 | Sony Corp | プリンタ装置 |
JPH0985949A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド、及び製造方法 |
JPH10264385A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法 |
JPH11334088A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-07 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2001088294A (ja) * | 1998-10-14 | 2001-04-03 | Seiko Epson Corp | 強誘電体薄膜素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ |
WO2000045445A1 (en) * | 1999-01-28 | 2000-08-03 | Parallel Design, Inc. | Multi-piezoelectric layer ultrasonic transducer for medical imaging |
US20020060724A1 (en) * | 2000-01-31 | 2002-05-23 | Le Hue P. | Ultrasonic bonding of ink-jet print head components |
JP2001260355A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-25 | Nec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
JP2001334674A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-12-04 | Nec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
JP2001347658A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Ricoh Co Ltd | 静電型アクチュエータ及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド |
JP2002173659A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-06-21 | General Electric Co <Ge> | ポリ(アリーレンエーテル)接着剤組成物 |
JP2002079668A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-19 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置、ヘッド駆動制御装置及び記憶媒体 |
JP2002173375A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-21 | R & D Inst Of Metals & Composites For Future Industries | マイクロ波及びホットプレスを利用して焼結された圧電セラミックス、その製造方法及びそれを用いた圧電アクチュエータ |
JP2002187271A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008238412A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Toppan Printing Co Ltd | 微細径貫通孔を備えた樹脂基材およびその製造方法、インク分析用チップ、インクジェットヘッド |
JP2012245733A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Kyocera Corp | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
JP2019505411A (ja) * | 2015-12-31 | 2019-02-28 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 液体吐出装置 |
US11001059B2 (en) | 2015-12-31 | 2021-05-11 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid ejection devices |
JP2021175609A (ja) * | 2015-12-31 | 2021-11-04 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 液体吐出装置 |
JP7277508B2 (ja) | 2015-12-31 | 2023-05-19 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 液体吐出装置 |
US11904610B2 (en) | 2015-12-31 | 2024-02-20 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid ejection devices |
JP2017170836A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インクジェットヘッドおよびインクジェット装置 |
JP2020514118A (ja) * | 2017-01-13 | 2020-05-21 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 流体送達システムのためのアクチュエータ |
JP7118975B2 (ja) | 2017-01-13 | 2022-08-16 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 流体送達システムのためのアクチュエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7052117B2 (en) | 2006-05-30 |
JP2013230698A (ja) | 2013-11-14 |
CN101121319B (zh) | 2011-05-18 |
JP5818848B2 (ja) | 2015-11-18 |
CN100352652C (zh) | 2007-12-05 |
AU2008229768A1 (en) | 2008-10-30 |
WO2004005030A3 (en) | 2004-05-06 |
US20050280675A1 (en) | 2005-12-22 |
EP2340938A1 (en) | 2011-07-06 |
JP4732416B2 (ja) | 2011-07-27 |
CN1678460A (zh) | 2005-10-05 |
AU2008229768B2 (en) | 2011-12-01 |
WO2004005030A2 (en) | 2004-01-15 |
US7303264B2 (en) | 2007-12-04 |
US20060007271A1 (en) | 2006-01-12 |
US8162466B2 (en) | 2012-04-24 |
HK1113113A1 (en) | 2008-09-26 |
HK1078832A1 (en) | 2006-03-24 |
KR20070097134A (ko) | 2007-10-02 |
JP2010076453A (ja) | 2010-04-08 |
JP2008044379A (ja) | 2008-02-28 |
EP1519838A2 (en) | 2005-04-06 |
AU2003247683B2 (en) | 2008-07-03 |
US20100039479A1 (en) | 2010-02-18 |
KR20100051870A (ko) | 2010-05-18 |
US20040004649A1 (en) | 2004-01-08 |
AU2003247683A1 (en) | 2004-01-23 |
CN101121319A (zh) | 2008-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5818848B2 (ja) | プリントヘッド | |
JP2005532199A5 (ja) | ||
JP4550062B2 (ja) | 薄膜を有するプリントヘッド | |
US11001059B2 (en) | Fluid ejection devices | |
JPS62111758A (ja) | インパルスインクジエツトプリントヘツド及びその製造方法 | |
KR20050016688A (ko) | 프린트헤드 | |
JP2004167951A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置 | |
EP0975465A1 (en) | Nozzle plate for an ink jet print head | |
JPH07125204A (ja) | サーマルインクジェットヘッド | |
JP2000114612A (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法及びプリントヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080707 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081001 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081009 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081106 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081113 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081205 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090515 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090814 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090821 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under section 19 (pct) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20090915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100310 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100608 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100709 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101220 |