JP2001038908A - 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 - Google Patents
液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液流路内の液体中の気泡の発生に伴い可動部
材がストッパに近接する際に、液流路内で上流側への液
体の移動が抑制され、可動部材の応答速度の低下が発生
することのない液体吐出ヘッドを実現する。 【解決手段】 素子基板１の天板２側の面上には、素子
基板１の発熱体３の上流側の部分と一部が対向する可動
部材１１が片持ち梁状に取り付けられている。可動部材
１１の自由端１１ｂ側の部分の上方に先端ストッパ１２
ａが設けられ、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の
面に、液流路３の流路方向に沿って延びる複数の溝１３
ａが形成されている。発熱体１によるインク中の気泡の
発生により可動部材１１が先端ストッパ１２ａに近付く
際に、先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域
のインクが溝１３ａを通してその領域の外部に排出さ
れ、可動部材１１が速やかに変位する。
材がストッパに近接する際に、液流路内で上流側への液
体の移動が抑制され、可動部材の応答速度の低下が発生
することのない液体吐出ヘッドを実現する。 【解決手段】 素子基板１の天板２側の面上には、素子
基板１の発熱体３の上流側の部分と一部が対向する可動
部材１１が片持ち梁状に取り付けられている。可動部材
１１の自由端１１ｂ側の部分の上方に先端ストッパ１２
ａが設けられ、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の
面に、液流路３の流路方向に沿って延びる複数の溝１３
ａが形成されている。発熱体１によるインク中の気泡の
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際に、先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域
のインクが溝１３ａを通してその領域の外部に排出さ
れ、可動部材１１が速やかに変位する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱エネルギーを液
体に作用させて気泡を発生させることによって液体を吐
出する液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘ
ッドカートリッジおよび液体吐出装置に関するものであ
り、特に、気泡の発生を利用して変位する可動部材を備
えた液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘッ
ドカートリッジおよび液体吐出装置に関する。
体に作用させて気泡を発生させることによって液体を吐
出する液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘ
ッドカートリッジおよび液体吐出装置に関するものであ
り、特に、気泡の発生を利用して変位する可動部材を備
えた液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘッ
ドカートリッジおよび液体吐出装置に関する。
【０００２】なお、本発明における、「記録」とは、文
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することをも意味するものである。
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することをも意味するものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、プリンター等の記録装置におい
て、流路中の液体インクに熱等のエネルギーを与えて気
泡を発生させ、その気泡の発生に伴う急峻な体積変化に
基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これ
を被記録媒体上に付着させて画像形成を行なうインクジ
ェット記録方法、いわゆるバブルジェット記録方法が知
られている。このバブルジェット記録方法を用いる記録
装置には、米国特許明細書第４，７２３，１２９号等に
開示されているように、インクを吐出するための吐出口
と、この吐出口に連通する流路と、流路内に配されたイ
ンクを吐出するためのエネルギー発生手段としての電気
熱変換体が一般的に配されている。
て、流路中の液体インクに熱等のエネルギーを与えて気
泡を発生させ、その気泡の発生に伴う急峻な体積変化に
基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これ
を被記録媒体上に付着させて画像形成を行なうインクジ
ェット記録方法、いわゆるバブルジェット記録方法が知
られている。このバブルジェット記録方法を用いる記録
装置には、米国特許明細書第４，７２３，１２９号等に
開示されているように、インクを吐出するための吐出口
と、この吐出口に連通する流路と、流路内に配されたイ
ンクを吐出するためのエネルギー発生手段としての電気
熱変換体が一般的に配されている。
【０００４】この様な記録方法によれば、品位の高い画
像を高速、低騒音で記録することができると共に、この
記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出
口を高密度に配置することができるため、小型の装置で
高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得る
ことができるという多くの優れた点を有している。この
ため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンタ
ー、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利
用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムに
まで利用されるようになってきている。
像を高速、低騒音で記録することができると共に、この
記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出
口を高密度に配置することができるため、小型の装置で
高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得る
ことができるという多くの優れた点を有している。この
ため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンタ
ー、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利
用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムに
まで利用されるようになってきている。
【０００５】このようにバブルジェット技術が多方面の
製品に利用されるに従って、次のような様々な要求が近
年さらにたかまっている。
製品に利用されるに従って、次のような様々な要求が近
年さらにたかまっている。
【０００６】高画質な画像を得るために、インクの吐出
スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好なイン
ク吐出を行える液体吐出方法等を与えるための駆動条件
が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐出され
た液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速い液体
吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したものも提案
されている。
スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好なイン
ク吐出を行える液体吐出方法等を与えるための駆動条件
が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐出され
た液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速い液体
吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したものも提案
されている。
【０００７】このような液体吐出ヘッドの他にも、気泡
の発生に伴って発生するバック波（吐出口へ向かう方向
とは逆の方向へ向かう圧力）に着目し、吐出において損
失エネルギーになるバック波を防止する構造の液体吐出
ヘッドが特開平６−３１９１８号公報に開示されてい
る。この公報に記載された液体吐出ヘッドは、三角形状
の板状部材の三角形部分を、気泡を発生するヒーターに
対して対向させたものである。この液体吐出ヘッドで
は、板状部材によってバック波が一時的に且つわずかに
は抑えられている。しかし、気泡の成長と板状部材の三
角形部分との相関関係については全く触れられておら
ず、また、その着想もないため、上記の液体吐出ヘッド
は以下の問題点を含んでいる。
の発生に伴って発生するバック波（吐出口へ向かう方向
とは逆の方向へ向かう圧力）に着目し、吐出において損
失エネルギーになるバック波を防止する構造の液体吐出
ヘッドが特開平６−３１９１８号公報に開示されてい
る。この公報に記載された液体吐出ヘッドは、三角形状
の板状部材の三角形部分を、気泡を発生するヒーターに
対して対向させたものである。この液体吐出ヘッドで
は、板状部材によってバック波が一時的に且つわずかに
は抑えられている。しかし、気泡の成長と板状部材の三
角形部分との相関関係については全く触れられておら
ず、また、その着想もないため、上記の液体吐出ヘッド
は以下の問題点を含んでいる。
【０００８】すなわち、上記公報に記載の発明では、ヒ
ーターが凹部の底に位置しており吐出口との直線的連通
状態をとれないため、液滴の形を安定させることができ
ず、さらに気泡の成長は三角形の頂点の部分の周囲から
許容されているため、気泡は三角形の板状部材の片側か
ら反対側全体まで成長し、結果的に板状部材が存在して
いないかのように液中における通常の気泡の成長が完成
してしまう。従って、成長した気泡にとって板状部材の
存在は何ら関係のないものとなってしまう。逆に、板状
部材の全体が気泡に囲まれるために、気泡の収縮段階に
おいて、凹部の底に位置するヒーターへのリフィルは乱
流を生じせしめ、その凹部内に微小気泡を蓄積する原因
となり、成長気泡に基づいて吐出を行う原理自体を乱す
ことになってしまう。
ーターが凹部の底に位置しており吐出口との直線的連通
状態をとれないため、液滴の形を安定させることができ
ず、さらに気泡の成長は三角形の頂点の部分の周囲から
許容されているため、気泡は三角形の板状部材の片側か
ら反対側全体まで成長し、結果的に板状部材が存在して
いないかのように液中における通常の気泡の成長が完成
してしまう。従って、成長した気泡にとって板状部材の
存在は何ら関係のないものとなってしまう。逆に、板状
部材の全体が気泡に囲まれるために、気泡の収縮段階に
おいて、凹部の底に位置するヒーターへのリフィルは乱
流を生じせしめ、その凹部内に微小気泡を蓄積する原因
となり、成長気泡に基づいて吐出を行う原理自体を乱す
ことになってしまう。
【０００９】他方、ＥＰ公開公報４３６０４７Ａ１で
は、吐出口近傍域と気泡発生部との間にこれらを遮断す
る第１弁と、気泡発生部とインク供給部との間にこれら
を完全に遮断する第２弁とを交互に開閉させる発明が提
案されている（ＥＰ４３６０４７Ａ１の第４図〜第９
図）。しかし、この発明では、これら３つの部屋を２つ
づつに区分してしまうために、吐出時には液滴に追従す
るインクが大きな尾引きとなり、気泡成長・収縮・消泡
を行う通常の吐出方式に比べてサテライトドットがかな
り多くなってしまう。これは、消泡によるメニスカス後
退の効果を使えないと推定される。また、リフィル時
は、消泡に伴って気泡発生部に液体が供給されるが、吐
出口近傍域には次の発泡が生じるまで液体は供給できな
いので、吐出液滴のばらつきが大きいだけでなく、吐出
応答周波数が極めて小さく、実用レベルではない。
は、吐出口近傍域と気泡発生部との間にこれらを遮断す
る第１弁と、気泡発生部とインク供給部との間にこれら
を完全に遮断する第２弁とを交互に開閉させる発明が提
案されている（ＥＰ４３６０４７Ａ１の第４図〜第９
図）。しかし、この発明では、これら３つの部屋を２つ
づつに区分してしまうために、吐出時には液滴に追従す
るインクが大きな尾引きとなり、気泡成長・収縮・消泡
を行う通常の吐出方式に比べてサテライトドットがかな
り多くなってしまう。これは、消泡によるメニスカス後
退の効果を使えないと推定される。また、リフィル時
は、消泡に伴って気泡発生部に液体が供給されるが、吐
出口近傍域には次の発泡が生じるまで液体は供給できな
いので、吐出液滴のばらつきが大きいだけでなく、吐出
応答周波数が極めて小さく、実用レベルではない。
【００１０】上述したそれぞれの液体吐出ヘッドとは全
く異なり、液滴の吐出に関し有効に貢献できる可動部材
（自由端を支点よりも吐出口側に有する板状部材等）を
用いた液体吐出ヘッドが、本願出願人によって数多く提
案されている。それらの液体吐出ヘッドのうち、特開平
９−４８１２７号公報には、上記の可動部材の挙動がわ
ずかに乱れることを防止すべく、可動部材の変位の上限
を規制する液体吐出ヘッドが開示されている。また、特
開平９−３２３４２０号公報には、上記の可動部材に対
して、その可動部材の上流に形成された共通液室の位置
を、可動部材の利点を利用して可動部材の自由端側、つ
まり下流側にシフトさせてリフィル能力を高める液体吐
出ヘッドが開示されている。
く異なり、液滴の吐出に関し有効に貢献できる可動部材
（自由端を支点よりも吐出口側に有する板状部材等）を
用いた液体吐出ヘッドが、本願出願人によって数多く提
案されている。それらの液体吐出ヘッドのうち、特開平
９−４８１２７号公報には、上記の可動部材の挙動がわ
ずかに乱れることを防止すべく、可動部材の変位の上限
を規制する液体吐出ヘッドが開示されている。また、特
開平９−３２３４２０号公報には、上記の可動部材に対
して、その可動部材の上流に形成された共通液室の位置
を、可動部材の利点を利用して可動部材の自由端側、つ
まり下流側にシフトさせてリフィル能力を高める液体吐
出ヘッドが開示されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述した特開平９−４
８１２７号公報に記載の液体吐出ヘッドのように可動部
材の変位を規制する液体吐出ヘッドとして、液流路の内
壁における可動部材の自由端側の部分と対向する位置
に、気泡の発生に伴い変位した可動部材と近接するスト
ッパをその内壁面から突出するように形成し、そのスト
ッパによって可動部材の変位を規制するものが、本出願
人により出願されている。しかしながら、このような液
体吐出ヘッドでは、ヒータ面上の液体中での気泡の発生
により可動部材が変位して上昇し、ストッパの、可動部
材との当接面に接近してくる際に、可動部材とストッパ
との間の液層の存在により可動部材のストッパへの接近
速度が低下し、液流路内で上流側への液体の移動や、可
動部材の応答速度の低下が発生するという問題点があ
る。
８１２７号公報に記載の液体吐出ヘッドのように可動部
材の変位を規制する液体吐出ヘッドとして、液流路の内
壁における可動部材の自由端側の部分と対向する位置
に、気泡の発生に伴い変位した可動部材と近接するスト
ッパをその内壁面から突出するように形成し、そのスト
ッパによって可動部材の変位を規制するものが、本出願
人により出願されている。しかしながら、このような液
体吐出ヘッドでは、ヒータ面上の液体中での気泡の発生
により可動部材が変位して上昇し、ストッパの、可動部
材との当接面に接近してくる際に、可動部材とストッパ
との間の液層の存在により可動部材のストッパへの接近
速度が低下し、液流路内で上流側への液体の移動や、可
動部材の応答速度の低下が発生するという問題点があ
る。
【００１２】本発明の目的は、液流路内に設けられた可
動部材の変位を所望の範囲に規制するためにその液流路
の内壁に規制部としてストッパが形成された液体吐出ヘ
ッドにおいて、液流路内の液体中の気泡の発生に伴い可
動部材がストッパに近接する際に、液流路内で上流側へ
の液体の移動が抑制され、また、可動部材の応答速度の
低下が発生することがなく、安定した記録品位が得られ
る液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドの有するヘッド
カートリッジおよび液体吐出装置を提供することにあ
る。
動部材の変位を所望の範囲に規制するためにその液流路
の内壁に規制部としてストッパが形成された液体吐出ヘ
ッドにおいて、液流路内の液体中の気泡の発生に伴い可
動部材がストッパに近接する際に、液流路内で上流側へ
の液体の移動が抑制され、また、可動部材の応答速度の
低下が発生することがなく、安定した記録品位が得られ
る液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドの有するヘッド
カートリッジおよび液体吐出装置を提供することにあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体中に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生する発熱体と、前記液体を吐出する部分で
ある吐出口と、該吐出口に連通すると共に、前記液体中
に気泡を発生させるための気泡発生領域を有する液流路
と、前記気泡発生領域に設けられ、前記気泡の成長に伴
い変位する可動部材と、前記可動部材の変位を所望の範
囲に規制する規制部とを備え、前記発熱体による前記気
泡発生時のエネルギーにより前記吐出口から前記液体を
吐出する液体吐出ヘッドであって、前記規制部は前記液
流路の前記気泡発生領域に対向して設けられ、前記気泡
の成長により変位した前記可動部材と前記規制部とが実
質的に接触することで、前記可動部材と前記規制部とに
より前記液流路の上流側と下流側を分断し、略密閉状態
を作る、前記可動部材および前記規制部の互いの面のう
ち少なくともいずれか一方に凹凸部が設けられている。
に、本発明は、液体中に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生する発熱体と、前記液体を吐出する部分で
ある吐出口と、該吐出口に連通すると共に、前記液体中
に気泡を発生させるための気泡発生領域を有する液流路
と、前記気泡発生領域に設けられ、前記気泡の成長に伴
い変位する可動部材と、前記可動部材の変位を所望の範
囲に規制する規制部とを備え、前記発熱体による前記気
泡発生時のエネルギーにより前記吐出口から前記液体を
吐出する液体吐出ヘッドであって、前記規制部は前記液
流路の前記気泡発生領域に対向して設けられ、前記気泡
の成長により変位した前記可動部材と前記規制部とが実
質的に接触することで、前記可動部材と前記規制部とに
より前記液流路の上流側と下流側を分断し、略密閉状態
を作る、前記可動部材および前記規制部の互いの面のう
ち少なくともいずれか一方に凹凸部が設けられている。
【００１４】また、本発明は、液体中に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生する発熱体と、前記液体を
吐出する部分である吐出口と、該吐出口に連通すると共
に、前記液体中に気泡を発生させるための気泡発生領域
を有する液流路と、前記気泡発生領域に設けられ、前記
気泡の成長に伴い変位する可動部材と、前記可動部材の
変位を所望の範囲に規制する規制部とを備え、前記発熱
体による前記気泡発生時のエネルギーにより前記吐出口
から前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記
規制部は前記液流路の前記気泡発生領域に対向して設け
られ、前記気泡の成長により変位した前記可動部材と前
記規制部とが実質的に接触することで、前記可動部材と
前記規制部とにより前記液流路の上流側と下流側を分断
し、略密閉状態を作る、前記可動部材および前記規制部
の互いの面のうち少なくともいずれか一方に、前記可動
部材と前記規制部とが接触する前の、前記可動部材と前
記規制部との間の領域に存在する液体を該領域の外部に
排出する第１の排出促進構造を有する。
るための熱エネルギーを発生する発熱体と、前記液体を
吐出する部分である吐出口と、該吐出口に連通すると共
に、前記液体中に気泡を発生させるための気泡発生領域
を有する液流路と、前記気泡発生領域に設けられ、前記
気泡の成長に伴い変位する可動部材と、前記可動部材の
変位を所望の範囲に規制する規制部とを備え、前記発熱
体による前記気泡発生時のエネルギーにより前記吐出口
から前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記
規制部は前記液流路の前記気泡発生領域に対向して設け
られ、前記気泡の成長により変位した前記可動部材と前
記規制部とが実質的に接触することで、前記可動部材と
前記規制部とにより前記液流路の上流側と下流側を分断
し、略密閉状態を作る、前記可動部材および前記規制部
の互いの面のうち少なくともいずれか一方に、前記可動
部材と前記規制部とが接触する前の、前記可動部材と前
記規制部との間の領域に存在する液体を該領域の外部に
排出する第１の排出促進構造を有する。
【００１５】具体的には、前記第１の排出促進構造は、
前記気泡の成長により変位した前記可動部材と前記規制
部とが実質的に接触する、前記可動部材および前記規制
部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に設けられ
た凹凸部である。
前記気泡の成長により変位した前記可動部材と前記規制
部とが実質的に接触する、前記可動部材および前記規制
部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に設けられ
た凹凸部である。
【００１６】また、前記気泡の成長に伴い変位した前記
可動部材の側部に少なくとも一部が実質的に接触するサ
イド規制部をさらに有することが好ましい。
可動部材の側部に少なくとも一部が実質的に接触するサ
イド規制部をさらに有することが好ましい。
【００１７】さらに、前記気泡の成長により変位した前
記可動部材と前記サイド規制部とが実質的に接触する、
前記可動部材および前記サイド規制部の互いの面のうち
少なくともいずれか一方に、前記可動部材と前記サイド
規制部とが接触する前の、前記可動部材と前記サイド規
制部との間の領域に存在する液体を該領域の外部に排出
する第２の排出促進構造をさらに有することが好まし
い。
記可動部材と前記サイド規制部とが実質的に接触する、
前記可動部材および前記サイド規制部の互いの面のうち
少なくともいずれか一方に、前記可動部材と前記サイド
規制部とが接触する前の、前記可動部材と前記サイド規
制部との間の領域に存在する液体を該領域の外部に排出
する第２の排出促進構造をさらに有することが好まし
い。
【００１８】さらに、前記第２の排出促進構造は、前記
気泡の成長により変位した前記可動部材と前記サイド規
制部とが実質的に接触する、前記可動部材および前記サ
イド規制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に
設けられた凹凸部であることが好ましい。
気泡の成長により変位した前記可動部材と前記サイド規
制部とが実質的に接触する、前記可動部材および前記サ
イド規制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に
設けられた凹凸部であることが好ましい。
【００１９】さらに、前記第１および第２の排出促進構
造のそれぞれの前記凹凸部は、前記凹凸部が設けられる
面に溝が形成されることによって構成されていることが
好ましく、さらに、前記凹凸部の形状が櫛歯状になって
いることが好ましい。さらに、櫛歯状の前記凹凸部は、
前記凹凸部が設けられる面に、前記液流路の流路方向に
延びる複数の溝が形成されることにより構成されている
ことが好ましい。さらに、この場合、前記複数の溝の長
さが同じであり、隣り合う２つの前記溝同士の長手方向
の位置が異なるように前記溝が前記液流路の流路方向に
対して垂直な方向に互い違いに並んでいてもよい。
造のそれぞれの前記凹凸部は、前記凹凸部が設けられる
面に溝が形成されることによって構成されていることが
好ましく、さらに、前記凹凸部の形状が櫛歯状になって
いることが好ましい。さらに、櫛歯状の前記凹凸部は、
前記凹凸部が設けられる面に、前記液流路の流路方向に
延びる複数の溝が形成されることにより構成されている
ことが好ましい。さらに、この場合、前記複数の溝の長
さが同じであり、隣り合う２つの前記溝同士の長手方向
の位置が異なるように前記溝が前記液流路の流路方向に
対して垂直な方向に互い違いに並んでいてもよい。
【００２０】さらに、前記凹凸部は、前記凹凸部が設け
られる面に島状の凸部が形成されることにより構成され
ていることが好ましく、あるいは、前記凹凸部の凹部が
穴であり、前記凹凸部が設けられた面とは異なる面に、
前記穴の開口端が形成されていることが好ましい。
られる面に島状の凸部が形成されることにより構成され
ていることが好ましく、あるいは、前記凹凸部の凹部が
穴であり、前記凹凸部が設けられた面とは異なる面に、
前記穴の開口端が形成されていることが好ましい。
【００２１】上記の通りの発明では、可動部材の変位を
所望の範囲に規制する規制部とその可動部材とが実質的
に接触することで、可動部材と規制部とにより液流路の
上流側と下流側を分断し、略密閉状態を作る、可動部材
および規制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方
に凹凸部が形成されて、その一方の面に第１の排出促進
構造を有することにより、規制部に可動部材が近付く際
に規制部と可動部材との間の領域の液体を、その凹凸部
の凹部を通してその領域の外部へと速やかに排出させる
ことができる。また、可動部材が規制部から離れる際に
も、凹凸部の凹部を通して規制部と可動部材との間の領
域へと液体を供給することができる。従って、可動部材
が変位する際に、規制部と可動部材との間の液層によ
る、可動部材への抵抗が小さくなる。これにより、発熱
体からの熱エネルギーによる、気泡発生領域での気泡の
発生によって、可動部材が規制部に向かう方向に変位し
た際に、規制部に可動部材が接触するまでの時間が短く
なる。このように規制部に可動部材が接触するまでの時
間が短くなることで、吐出動作において液流路内でのそ
の流路方向上流側への液体の移動を抑制することがで
き、発熱体による発泡エネルギーのロスを小さくするこ
とができる。また、可動部材が規制部に接触または近接
している状態から、可動部材が規制部から離れる方向に
変位する際に、可動部材が規制部から離れて初期状態の
位置に戻るまでの時間も短くなり、可動部材の応答速度
（応答周波数）の低下を防止することができる。さら
に、吐出口から液体を吐出させる動作において、液流路
内で上流側への液体の回り込みが抑制されることでメニ
スカスの振動も抑制され、低駆動周波数から高駆動周波
数まで安定した記録品位を得ることができる。
所望の範囲に規制する規制部とその可動部材とが実質的
に接触することで、可動部材と規制部とにより液流路の
上流側と下流側を分断し、略密閉状態を作る、可動部材
および規制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方
に凹凸部が形成されて、その一方の面に第１の排出促進
構造を有することにより、規制部に可動部材が近付く際
に規制部と可動部材との間の領域の液体を、その凹凸部
の凹部を通してその領域の外部へと速やかに排出させる
ことができる。また、可動部材が規制部から離れる際に
も、凹凸部の凹部を通して規制部と可動部材との間の領
域へと液体を供給することができる。従って、可動部材
が変位する際に、規制部と可動部材との間の液層によ
る、可動部材への抵抗が小さくなる。これにより、発熱
体からの熱エネルギーによる、気泡発生領域での気泡の
発生によって、可動部材が規制部に向かう方向に変位し
た際に、規制部に可動部材が接触するまでの時間が短く
なる。このように規制部に可動部材が接触するまでの時
間が短くなることで、吐出動作において液流路内でのそ
の流路方向上流側への液体の移動を抑制することがで
き、発熱体による発泡エネルギーのロスを小さくするこ
とができる。また、可動部材が規制部に接触または近接
している状態から、可動部材が規制部から離れる方向に
変位する際に、可動部材が規制部から離れて初期状態の
位置に戻るまでの時間も短くなり、可動部材の応答速度
（応答周波数）の低下を防止することができる。さら
に、吐出口から液体を吐出させる動作において、液流路
内で上流側への液体の回り込みが抑制されることでメニ
スカスの振動も抑制され、低駆動周波数から高駆動周波
数まで安定した記録品位を得ることができる。
【００２２】また、上述した液体吐出ヘッドが、前記気
泡の成長に伴い変位した前記可動部材の側部に少なくと
も一部が実質的に接触するサイド規制部をさらに有する
場合でも、気泡の成長により変位した可動部材とサイド
規制部とが実質的に接触する、可動部材およびサイド規
制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に、第２
の排出促進構造としての凹凸部が形成されることによ
り、可動部材が前記規制部およびサイド規制部に向かっ
て移動する際に、可動部材とサイド規制部とが接触する
前の、可動部材とサイド規制部との間の領域に存在する
液体をその領域の外部に排出させることができる。ま
た、可動部材がサイド規制部から離れる際にも、凹凸部
の凹部を通してサイド規制部と可動部材との間の領域へ
と液体を供給することができる。従って、可動部材が変
位する際に、サイド規制部と可動部材との間の液層によ
る、可動部材への抵抗が小さくなる。
泡の成長に伴い変位した前記可動部材の側部に少なくと
も一部が実質的に接触するサイド規制部をさらに有する
場合でも、気泡の成長により変位した可動部材とサイド
規制部とが実質的に接触する、可動部材およびサイド規
制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に、第２
の排出促進構造としての凹凸部が形成されることによ
り、可動部材が前記規制部およびサイド規制部に向かっ
て移動する際に、可動部材とサイド規制部とが接触する
前の、可動部材とサイド規制部との間の領域に存在する
液体をその領域の外部に排出させることができる。ま
た、可動部材がサイド規制部から離れる際にも、凹凸部
の凹部を通してサイド規制部と可動部材との間の領域へ
と液体を供給することができる。従って、可動部材が変
位する際に、サイド規制部と可動部材との間の液層によ
る、可動部材への抵抗が小さくなる。
【００２３】さらに、本発明のヘッドカートリッジは、
上述したいずれかの液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッ
ドに供給される液体を保持する液体容器とを有する。
上述したいずれかの液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッ
ドに供給される液体を保持する液体容器とを有する。
【００２４】さらに、本発明の液体吐出装置は、上述し
たいずれかの液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから
液体を吐出させるための駆動信号を供給する駆動信号供
給手段とを有する。
たいずれかの液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから
液体を吐出させるための駆動信号を供給する駆動信号供
給手段とを有する。
【００２５】さらに、本発明の液体吐出装置は、上述し
たいずれかの液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから
吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒
体搬送手段とを有する。
たいずれかの液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから
吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒
体搬送手段とを有する。
【００２６】これらの液体吐出装置は、前記液体吐出ヘ
ッドから液体を吐出して被記録媒体に前記液体を付着さ
せることで記録を行うものである。
ッドから液体を吐出して被記録媒体に前記液体を付着さ
せることで記録を行うものである。
【００２７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００２８】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するための
断面図である。図１（ａ）は、本実施形態の液体吐出ヘ
ッドの、流路方向に沿った断面図、図１（ｂ）は図１
（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）の
Ｃ−Ｃ’線断面図である。
１の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するための
断面図である。図１（ａ）は、本実施形態の液体吐出ヘ
ッドの、流路方向に沿った断面図、図１（ｂ）は図１
（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）の
Ｃ−Ｃ’線断面図である。
【００２９】図１に示すように本実施形態の液体吐出ヘ
ッドは、液体中に気泡を発生させるための熱エネルギー
を与える吐出エネルギー発生素子としての、複数個（図
１では、１つのみ示す）の発熱体１０が並列に設けられ
た素子基板１と、この素子基板１上に積層状態で固着さ
れた天板２と、素子基板１および天板２の前端面に接合
されたオリフィスプレート８とを有している。素子基板
１および天板２との間に、複数の液流路３、およびそれ
ぞれの液流路３が連通した大容積の共通液室６が設けら
れている。それぞれの液流路３の形状は、素子基板１、
側壁７および天板（対向板）２に囲まれた細長いものと
なって、１個の液体吐出ヘッドに多数の液流路３が設け
られている。そして、この多数の液流路３の上流側でそ
れらの液流路３が同時に共通液室６と連通している。つ
まり、それぞれの液流路３は、単一の共通液室６から多
数の液流路３に分岐した形状となっている。そして、共
通液室６内の液室高さは、液流路３内の流路高さよりも
非常に高くなっている。また、多数の液流路３のそれぞ
れに対応して、素子基板１に電気熱変換素子等の発熱体
（気泡発生手段）１０が形成され、さらに、素子基板１
の発熱体１０側の面上に、それぞれの発熱体１０に対応
する可動部材１１が取付けられている。液流路３におけ
る発熱体１０上の部分が、液流路３内にある、液体であ
るインク中に発熱体１０によって気泡を発生させるため
の気泡発生領域となっている。
ッドは、液体中に気泡を発生させるための熱エネルギー
を与える吐出エネルギー発生素子としての、複数個（図
１では、１つのみ示す）の発熱体１０が並列に設けられ
た素子基板１と、この素子基板１上に積層状態で固着さ
れた天板２と、素子基板１および天板２の前端面に接合
されたオリフィスプレート８とを有している。素子基板
１および天板２との間に、複数の液流路３、およびそれ
ぞれの液流路３が連通した大容積の共通液室６が設けら
れている。それぞれの液流路３の形状は、素子基板１、
側壁７および天板（対向板）２に囲まれた細長いものと
なって、１個の液体吐出ヘッドに多数の液流路３が設け
られている。そして、この多数の液流路３の上流側でそ
れらの液流路３が同時に共通液室６と連通している。つ
まり、それぞれの液流路３は、単一の共通液室６から多
数の液流路３に分岐した形状となっている。そして、共
通液室６内の液室高さは、液流路３内の流路高さよりも
非常に高くなっている。また、多数の液流路３のそれぞ
れに対応して、素子基板１に電気熱変換素子等の発熱体
（気泡発生手段）１０が形成され、さらに、素子基板１
の発熱体１０側の面上に、それぞれの発熱体１０に対応
する可動部材１１が取付けられている。液流路３におけ
る発熱体１０上の部分が、液流路３内にある、液体であ
るインク中に発熱体１０によって気泡を発生させるため
の気泡発生領域となっている。
【００３０】可動部材１１は、一端支持の片持ち梁状で
あり、液流路３におけるインクの流れの上流側（図１
（ａ）における右側）で素子基板１に固定されている。
可動部材１１の、素子基板１への接続部が支点１１ａと
なっていて、可動部材１１の、支点１１ａより下流側
（図１（ａ）における左側）の部分が素子基板１に対し
て上下方向に移動可能となっている。そして、可動部材
１１は、図１（ａ）に示す初期状態においては、素子基
板１との間にわずかな隙間を保ちつつ素子基板１に平行
に位置する。
あり、液流路３におけるインクの流れの上流側（図１
（ａ）における右側）で素子基板１に固定されている。
可動部材１１の、素子基板１への接続部が支点１１ａと
なっていて、可動部材１１の、支点１１ａより下流側
（図１（ａ）における左側）の部分が素子基板１に対し
て上下方向に移動可能となっている。そして、可動部材
１１は、図１（ａ）に示す初期状態においては、素子基
板１との間にわずかな隙間を保ちつつ素子基板１に平行
に位置する。
【００３１】本実施形態ではさらに、可動部材１１の自
由端１１ｂが発熱体１０における流路方向のほぼ中央の
領域に位置するように可動部材１１が配設され、可動部
材１１の下流側の部分が、発熱体１０上の気泡発生領域
に配置されている。この可動部材１１の自由端１１ｂ
の、発熱体１０側とは反対側、すなわちその自由端１１
ｂの上方に、可動部材１１の上方への移動を規制する規
制部である先端ストッパ１２ａが設けられている。先端
ストッパ１２ａの可動部材１１側の面、すなわち先端ス
トッパ１２ａにおける可動部材１１が実質的に接触する
面には、凹部として、液流路３の流路方向に沿って延び
る複数の溝１３ａが形成されている。このように複数の
溝１３ａが形成されることによって、隣り合う２つの溝
１３ａ同士の間の部分が凸部となっており、これによ
り、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に、第１
の排出促進構造としての凹凸部が設けられている。
由端１１ｂが発熱体１０における流路方向のほぼ中央の
領域に位置するように可動部材１１が配設され、可動部
材１１の下流側の部分が、発熱体１０上の気泡発生領域
に配置されている。この可動部材１１の自由端１１ｂ
の、発熱体１０側とは反対側、すなわちその自由端１１
ｂの上方に、可動部材１１の上方への移動を規制する規
制部である先端ストッパ１２ａが設けられている。先端
ストッパ１２ａの可動部材１１側の面、すなわち先端ス
トッパ１２ａにおける可動部材１１が実質的に接触する
面には、凹部として、液流路３の流路方向に沿って延び
る複数の溝１３ａが形成されている。このように複数の
溝１３ａが形成されることによって、隣り合う２つの溝
１３ａ同士の間の部分が凸部となっており、これによ
り、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に、第１
の排出促進構造としての凹凸部が設けられている。
【００３２】図４は、図１に示した先端ストッパ１２ａ
を素子基板１側から見た平面図である。図４では、先端
ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に形成された複数
の溝１３ａのそれぞれに斜線を付してある。図４に示す
ように複数の溝１３ａはそれぞれ、液流路３の流路方向
に沿って、先端ストッパ１２ａの共通液室６側の端面か
ら、先端ストッパ１２ａの吐出口４側の端面にまで延び
ている。これらの複数の溝１３ａが形成されることによ
って、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面は櫛歯
状の凹凸部となっている。
を素子基板１側から見た平面図である。図４では、先端
ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に形成された複数
の溝１３ａのそれぞれに斜線を付してある。図４に示す
ように複数の溝１３ａはそれぞれ、液流路３の流路方向
に沿って、先端ストッパ１２ａの共通液室６側の端面か
ら、先端ストッパ１２ａの吐出口４側の端面にまで延び
ている。これらの複数の溝１３ａが形成されることによ
って、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面は櫛歯
状の凹凸部となっている。
【００３３】このように、先端ストッパ１２ａにおける
可動部材１１との接触面に複数の溝１３ａが形成されて
いることにより、発熱体１０上のインク中で発生した気
泡によって可動部材１１が変位して先端ストッパ１２ａ
の溝１３ａ側の面に近付いた際に、先端ストッパ１２ａ
と可動部材１１との間の領域にあるインクが、それぞれ
の溝１３ａを通して上流側および下流側に速やかに排出
されると共に、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに対
して良好な接触状態を達成することができ、気泡発生領
域を略密閉状態とすることができる。なお、このときの
溝１３ａの幅は、実質的に気泡が先端ストッパ１２ａの
上流にいたらず、保持される間隔となっている。また、
可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接触または近接し
ている状態から、先端ストッパ１２ａから離れる方向に
可動部材１１が移動する際にも、それぞれの溝１３ａを
通して先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域
にインクが供給される。これにより、先端ストッパ１２
ａに可動部材１１が近付く際、および先端ストッパ１２
ａから可動部材１１が離れる際に、先端ストッパ１２ａ
と可動部材１１との間の液層による、可動部材１１への
抵抗が小さくなる。よって、可動部材１１が先端ストッ
パ１２ａに当接するまでの時間、および可動部材１１が
先端ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻るま
での時間が短くなる。
可動部材１１との接触面に複数の溝１３ａが形成されて
いることにより、発熱体１０上のインク中で発生した気
泡によって可動部材１１が変位して先端ストッパ１２ａ
の溝１３ａ側の面に近付いた際に、先端ストッパ１２ａ
と可動部材１１との間の領域にあるインクが、それぞれ
の溝１３ａを通して上流側および下流側に速やかに排出
されると共に、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに対
して良好な接触状態を達成することができ、気泡発生領
域を略密閉状態とすることができる。なお、このときの
溝１３ａの幅は、実質的に気泡が先端ストッパ１２ａの
上流にいたらず、保持される間隔となっている。また、
可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接触または近接し
ている状態から、先端ストッパ１２ａから離れる方向に
可動部材１１が移動する際にも、それぞれの溝１３ａを
通して先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域
にインクが供給される。これにより、先端ストッパ１２
ａに可動部材１１が近付く際、および先端ストッパ１２
ａから可動部材１１が離れる際に、先端ストッパ１２ａ
と可動部材１１との間の液層による、可動部材１１への
抵抗が小さくなる。よって、可動部材１１が先端ストッ
パ１２ａに当接するまでの時間、および可動部材１１が
先端ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻るま
での時間が短くなる。
【００３４】その結果、先端ストッパ１２ａに可動部材
１１が近付く際に液流路３内での上流側への液体の移動
が抑制され、また、可動部材１１の応答速度（応答周波
数）の低下が防止される。また、吐出口４からインクを
吐出させる動作において、可動部材１１と先端ストッパ
１２ａと天板２と素子基板１と側壁７とにより略密閉状
態を形成し、液流路３の上流側と下流側を分断すること
で、液流路３内で上流側への液体の回り込みが抑制され
るので、メニスカスの振動も抑制され、低駆動周波数か
ら高駆動周波数まで安定した記録品位が得られる。この
インクの吐出動作において、発熱体１０による発泡エネ
ルギーのロスも小さくなる。さらに、可動部材１１の応
答周波数を高くして、液体吐出ヘッドの駆動周波数を高
めることができるので、高速の記録が可能な液体吐出ヘ
ッドを実現することができる。
１１が近付く際に液流路３内での上流側への液体の移動
が抑制され、また、可動部材１１の応答速度（応答周波
数）の低下が防止される。また、吐出口４からインクを
吐出させる動作において、可動部材１１と先端ストッパ
１２ａと天板２と素子基板１と側壁７とにより略密閉状
態を形成し、液流路３の上流側と下流側を分断すること
で、液流路３内で上流側への液体の回り込みが抑制され
るので、メニスカスの振動も抑制され、低駆動周波数か
ら高駆動周波数まで安定した記録品位が得られる。この
インクの吐出動作において、発熱体１０による発泡エネ
ルギーのロスも小さくなる。さらに、可動部材１１の応
答周波数を高くして、液体吐出ヘッドの駆動周波数を高
めることができるので、高速の記録が可能な液体吐出ヘ
ッドを実現することができる。
【００３５】また、可動部材１１の自由端１１ｂの先端
面Ｙの位置と、先端ストッパ１２ａの吐出口４側の端面
Ｘとは、素子基板１に対して垂直な面上に配置されてい
ることが好ましい。さらに好ましくは、これら端面Ｘお
よび先端面Ｙの位置が、発熱体１０における液流路３の
流路方向の長さの中心Ｚと共に、素子基板１に対して垂
直な面上に配置されていることが好ましい。
面Ｙの位置と、先端ストッパ１２ａの吐出口４側の端面
Ｘとは、素子基板１に対して垂直な面上に配置されてい
ることが好ましい。さらに好ましくは、これら端面Ｘお
よび先端面Ｙの位置が、発熱体１０における液流路３の
流路方向の長さの中心Ｚと共に、素子基板１に対して垂
直な面上に配置されていることが好ましい。
【００３６】さらに、本実施形態の液体吐出ヘッドで
は、液流路３における先端ストッパ１２ａから下流側の
部分の高さが急激に高くなる形状となっている。この構
成によって発熱体１０上の気泡発生領域で発生した気泡
の下流側の部分は、可動部材１１が先端ストッパ１２ａ
によって規制された際にも十分な流路高さを有している
ため、気泡の成長が阻害されることがないので吐出口４
に向かって液体をスムーズに向かわせることができる。
それと共に、吐出口４の下端から上端までの高さ方向で
の圧力バランスの不均一が少なくなるため、良好な液体
の吐出を行うことができる。なお、可動部材をもたない
従来の液体吐出ヘッドにおいて、このように高さが急激
に高くなる流路構成を採った場合には、下流側で流路高
さが高くなっている部分でよどみが生じ、この部分に気
泡が滞留しやすくなり、好ましいものではなかったが、
本構成においては、上述したように液体の流れがこの部
分まで及ぶため気泡滞留の影響は極めて少なくなる。
は、液流路３における先端ストッパ１２ａから下流側の
部分の高さが急激に高くなる形状となっている。この構
成によって発熱体１０上の気泡発生領域で発生した気泡
の下流側の部分は、可動部材１１が先端ストッパ１２ａ
によって規制された際にも十分な流路高さを有している
ため、気泡の成長が阻害されることがないので吐出口４
に向かって液体をスムーズに向かわせることができる。
それと共に、吐出口４の下端から上端までの高さ方向で
の圧力バランスの不均一が少なくなるため、良好な液体
の吐出を行うことができる。なお、可動部材をもたない
従来の液体吐出ヘッドにおいて、このように高さが急激
に高くなる流路構成を採った場合には、下流側で流路高
さが高くなっている部分でよどみが生じ、この部分に気
泡が滞留しやすくなり、好ましいものではなかったが、
本構成においては、上述したように液体の流れがこの部
分まで及ぶため気泡滞留の影響は極めて少なくなる。
【００３７】さらに、共通液室６側の天井形状は急激に
たちあがるようになっている。このような共通液室６の
構成で可動部材１１がない場合には、気泡発生領域の上
流側の流体抵抗が下流側の流体抵抗よりも小さくなるた
め、吐出に用いられる圧力は吐出口４側に向かいにくい
ものであったが、本実施形態においては、気泡形成時に
可動部材１１により気泡発生領域の上流側への気泡の移
動が実質的に遮断されているため、吐出に用いられる圧
力は積極的に吐出口４側へ向かうと共に、インク供給時
においては気泡発生領域の上流側の流体抵抗が小さくな
っていることから、気泡発生領域へのインク供給が速や
かになされるようになっている。
たちあがるようになっている。このような共通液室６の
構成で可動部材１１がない場合には、気泡発生領域の上
流側の流体抵抗が下流側の流体抵抗よりも小さくなるた
め、吐出に用いられる圧力は吐出口４側に向かいにくい
ものであったが、本実施形態においては、気泡形成時に
可動部材１１により気泡発生領域の上流側への気泡の移
動が実質的に遮断されているため、吐出に用いられる圧
力は積極的に吐出口４側へ向かうと共に、インク供給時
においては気泡発生領域の上流側の流体抵抗が小さくな
っていることから、気泡発生領域へのインク供給が速や
かになされるようになっている。
【００３８】なお、本実施形態においては、気泡の下流
側の部分と吐出口との間は液流に対しまっすぐな流路構
造を保っている「直線的連通状態」となっている。これ
は、より好ましくは、気泡の発生時に生じる圧力波の伝
播方向とそれに伴う液体の流動方向と吐出方向とを直線
的に一致させることで、吐出口４からの吐出滴の吐出方
向や吐出速度等の吐出状態をきわめて高いレベルで安定
化させるという理想状態を形成する上で望ましい。本発
明では、この理想状態を達成、または近似させるための
一つの定義として、吐出口４と発熱体１０、特に気泡の
吐出口４側の部分に影響力を持つ発熱体１０の吐出口４
側（下流側）の部分とが直線で直接結ばれる構成とすれ
ばよく、これは、液流路３内に流体がない状態であれ
ば、吐出口４の外側から見て発熱体１０、特に発熱体１
０の下流側を観察することが可能な状態である。
側の部分と吐出口との間は液流に対しまっすぐな流路構
造を保っている「直線的連通状態」となっている。これ
は、より好ましくは、気泡の発生時に生じる圧力波の伝
播方向とそれに伴う液体の流動方向と吐出方向とを直線
的に一致させることで、吐出口４からの吐出滴の吐出方
向や吐出速度等の吐出状態をきわめて高いレベルで安定
化させるという理想状態を形成する上で望ましい。本発
明では、この理想状態を達成、または近似させるための
一つの定義として、吐出口４と発熱体１０、特に気泡の
吐出口４側の部分に影響力を持つ発熱体１０の吐出口４
側（下流側）の部分とが直線で直接結ばれる構成とすれ
ばよく、これは、液流路３内に流体がない状態であれ
ば、吐出口４の外側から見て発熱体１０、特に発熱体１
０の下流側を観察することが可能な状態である。
【００３９】次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの吐出
動作について図１〜図３を参照して詳しく説明する。図
２および図３は、図１に基づいて説明した液体吐出ヘッ
ドの吐出動作について説明するための図である。図３
（ａ）、図３（ｂ）、図４（ａ）および図４（ｂ）がそ
れぞれ、液体吐出ヘッドの流路方向に沿った断面図であ
り、図３（ａ’）が図３（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図
３（ｂ’）が図３（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図４
（ａ’）が図４（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図４
（ｂ’）が図４（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
動作について図１〜図３を参照して詳しく説明する。図
２および図３は、図１に基づいて説明した液体吐出ヘッ
ドの吐出動作について説明するための図である。図３
（ａ）、図３（ｂ）、図４（ａ）および図４（ｂ）がそ
れぞれ、液体吐出ヘッドの流路方向に沿った断面図であ
り、図３（ａ’）が図３（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図
３（ｂ’）が図３（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図４
（ａ’）が図４（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図４
（ｂ’）が図４（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【００４０】図１（ａ）〜図１（ｃ）では、発熱体１０
に電気エネルギー等のエネルギーが印加される前の状態
であり、発熱体１０が熱を発生する前の状態を示す。こ
こで重要なことは、まず、可動部材１１の幅が液流路３
の幅に比べ小さいことで可動部材１１と、流路壁である
側壁７とのクリアランスが確保されていることと、発熱
体１０の発熱によって発生する気泡に対して可動部材１
１がその気泡の上流側半分に対面して位置し、かつ、可
動部材１１の変位を規制する先端ストッパ１２ａが液流
路３の内壁に設けられていることである。この先端スト
ッパ１２ａによって可動部材１１の上方への変位の規制
が行われると共に、その可動部材１１の上方への変位規
制時に可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接すること
によって気泡発生領域から上流側への液体の移動が抑制
される。
に電気エネルギー等のエネルギーが印加される前の状態
であり、発熱体１０が熱を発生する前の状態を示す。こ
こで重要なことは、まず、可動部材１１の幅が液流路３
の幅に比べ小さいことで可動部材１１と、流路壁である
側壁７とのクリアランスが確保されていることと、発熱
体１０の発熱によって発生する気泡に対して可動部材１
１がその気泡の上流側半分に対面して位置し、かつ、可
動部材１１の変位を規制する先端ストッパ１２ａが液流
路３の内壁に設けられていることである。この先端スト
ッパ１２ａによって可動部材１１の上方への変位の規制
が行われると共に、その可動部材１１の上方への変位規
制時に可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接すること
によって気泡発生領域から上流側への液体の移動が抑制
される。
【００４１】図２（ａ）および図２（ａ’）では、発熱
体１０上の気泡発生領域内を満たす液体の一部が発熱体
１０によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡４０が発泡し
始めた状態が示されている。図２（ａ）および図２
（ａ’）に示される状態のとき、膜沸騰による気泡４０
の発生に基づく圧力波が液流路３内に伝播し、それに伴
って液体は気泡発生領域の中央領域を境に下流側および
上流側に移動し、上流側においては気泡４０の成長に伴
う液体の流れにより可動部材１１が変位し始める。ま
た、上流側への若干の液体の移動は可動部材１１と側壁
７との間を通って共通液室６側に向かう。
体１０上の気泡発生領域内を満たす液体の一部が発熱体
１０によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡４０が発泡し
始めた状態が示されている。図２（ａ）および図２
（ａ’）に示される状態のとき、膜沸騰による気泡４０
の発生に基づく圧力波が液流路３内に伝播し、それに伴
って液体は気泡発生領域の中央領域を境に下流側および
上流側に移動し、上流側においては気泡４０の成長に伴
う液体の流れにより可動部材１１が変位し始める。ま
た、上流側への若干の液体の移動は可動部材１１と側壁
７との間を通って共通液室６側に向かう。
【００４２】図２（ｂ）および図２（ｂ’）では、可動
部材１１が、図２（ａ）および図２（ａ’）に示した状
態よりも大きく変位し、先端ストッパ１２ａに可動部材
１１が接近した状態が示されている。この状態では、気
泡４０の発生に基づき液体がさらに移動することによ
り、気泡発生領域の上流側で可動部材１１が先端ストッ
パ１２ａに接近し、下流側においては吐出口４から吐出
滴６６が吐出しつつある。
部材１１が、図２（ａ）および図２（ａ’）に示した状
態よりも大きく変位し、先端ストッパ１２ａに可動部材
１１が接近した状態が示されている。この状態では、気
泡４０の発生に基づき液体がさらに移動することによ
り、気泡発生領域の上流側で可動部材１１が先端ストッ
パ１２ａに接近し、下流側においては吐出口４から吐出
滴６６が吐出しつつある。
【００４３】このとき、先端ストッパ１２ａと可動部材
１１とのクリアランスは狭いため、気泡発生領域より上
流側、すなわち、共通液室６側への液体の通り抜けはか
なり規制される。それに伴い可動部材１１を境界として
気泡発生領域側と共通液室６側の圧力差が大きく生じ、
可動部材１１の自由端１１ｂ側の部分は、先端ストッパ
１２ａに対してより密着するかたちで押しつけられる。
１１とのクリアランスは狭いため、気泡発生領域より上
流側、すなわち、共通液室６側への液体の通り抜けはか
なり規制される。それに伴い可動部材１１を境界として
気泡発生領域側と共通液室６側の圧力差が大きく生じ、
可動部材１１の自由端１１ｂ側の部分は、先端ストッパ
１２ａに対してより密着するかたちで押しつけられる。
【００４４】ここで、先端ストッパ１２ａと可動部材１
１との間の領域に存在するインクの一部は、先端ストッ
パ１２ａに形成された、排出路となる溝１３ａを通し
て、液流路３の上流側および下流側、すなわち先端スト
ッパ１２ａと可動部材１１との間の領域の外部へと排出
される。従って、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに
向かって変位する際に、先端ストッパ１２ａと可動部材
１１との間の液層による可動部材１１への抵抗が抑制さ
れて、可動部材１１が速やかに変位する。よって、先端
ストッパ１２ａに溝１３ａが形成されていない場合と比
較して、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに当接する
までの時間が短くなり、この段階における液流路３内で
の上流側へのインクの移動が抑制されるので、発熱体１
０による発泡エネルギーのロスが小さくなる。
１との間の領域に存在するインクの一部は、先端ストッ
パ１２ａに形成された、排出路となる溝１３ａを通し
て、液流路３の上流側および下流側、すなわち先端スト
ッパ１２ａと可動部材１１との間の領域の外部へと排出
される。従って、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに
向かって変位する際に、先端ストッパ１２ａと可動部材
１１との間の液層による可動部材１１への抵抗が抑制さ
れて、可動部材１１が速やかに変位する。よって、先端
ストッパ１２ａに溝１３ａが形成されていない場合と比
較して、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに当接する
までの時間が短くなり、この段階における液流路３内で
の上流側へのインクの移動が抑制されるので、発熱体１
０による発泡エネルギーのロスが小さくなる。
【００４５】図３（ａ）および図３（ａ’）の状態で
は、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接近または接
触するまで変位すると、可動部材１１の先端部における
それ以上の上方への変位が規制されるため、上流方向へ
の液体の移動もそこで大きく制限される。それに伴い気
泡４０の上流側への成長も可動部材１１で制限される。
しかしながら、上流方向への液体の移動力は大きいた
め、可動部材１１は、上流方向へ引っ張られた形の応力
を大きく受けて、わずかながら上方に向かうかたちの凸
状に変形を生じる。なお、このとき、気泡４０は成長を
続けているため、可動部材１１によって規制された気泡
４０の上流側成分における成長は、気泡の下流側へと成
長しようとするため、可動部材を設けない場合に比べ、
発熱体の下流側への気泡の成長高さが高くなっている。
は、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接近または接
触するまで変位すると、可動部材１１の先端部における
それ以上の上方への変位が規制されるため、上流方向へ
の液体の移動もそこで大きく制限される。それに伴い気
泡４０の上流側への成長も可動部材１１で制限される。
しかしながら、上流方向への液体の移動力は大きいた
め、可動部材１１は、上流方向へ引っ張られた形の応力
を大きく受けて、わずかながら上方に向かうかたちの凸
状に変形を生じる。なお、このとき、気泡４０は成長を
続けているため、可動部材１１によって規制された気泡
４０の上流側成分における成長は、気泡の下流側へと成
長しようとするため、可動部材を設けない場合に比べ、
発熱体の下流側への気泡の成長高さが高くなっている。
【００４６】一方、前述したように可動部材１１の変位
は先端ストッパ１２ａによって規制されているため、気
泡４０の上流側の部分が、上流側への液流の慣性力によ
って可動部材１１を上流側へ凸形状に湾曲させ応力をチ
ャージさせるまでにとどまった状態で小さなサイズにな
っている。これによって、上流側への液流を大幅に規制
し、隣接した流路への流体クロストークや、高速リフィ
ルを阻害する供給路系における液の逆流や圧力振動を防
止する。
は先端ストッパ１２ａによって規制されているため、気
泡４０の上流側の部分が、上流側への液流の慣性力によ
って可動部材１１を上流側へ凸形状に湾曲させ応力をチ
ャージさせるまでにとどまった状態で小さなサイズにな
っている。これによって、上流側への液流を大幅に規制
し、隣接した流路への流体クロストークや、高速リフィ
ルを阻害する供給路系における液の逆流や圧力振動を防
止する。
【００４７】図３（ｂ）および図３（ｂ’）では、前述
した膜沸騰の後に気泡４０の内部の負圧が液流路３内の
下流側への液体の移動に打ち勝って、気泡４０の収縮が
開始された状態が示されている。
した膜沸騰の後に気泡４０の内部の負圧が液流路３内の
下流側への液体の移動に打ち勝って、気泡４０の収縮が
開始された状態が示されている。
【００４８】この状態では、気泡４０の収縮に伴い、可
動部材１１は下方に変位するが、可動部材１１は、それ
自身の片持ち梁ばねによる応力と、前述した上方への凸
変形の応力とを持っており、それらの応力によって、可
動部材１１の下方に変位する速度が高められている。そ
して、これに伴う低流路抵抗領域での下流方向への流れ
は流路抵抗が小さいため、急速に大きな流れとなって先
端ストッパ１２ａと可動部材１１との間を通して液流路
３へと流れ込む。このように、これらの動作によって共
通液室６側の液体を液流路３内に誘導する。液流路３内
に導かれた液体は先端ストッパ１２ａと、下方に変位し
た可動部材１１との間をそのまま通って、発熱体１０の
下流側に流れ込むと同時に、まだ消泡しきっていない気
泡に対して消泡を加速するように作用する。この液体の
流れは、消泡を助けたあと、吐出口４に向かう方向にさ
らに流れを作って、メニスカスの復帰を助け、リフィル
速度を向上させる。
動部材１１は下方に変位するが、可動部材１１は、それ
自身の片持ち梁ばねによる応力と、前述した上方への凸
変形の応力とを持っており、それらの応力によって、可
動部材１１の下方に変位する速度が高められている。そ
して、これに伴う低流路抵抗領域での下流方向への流れ
は流路抵抗が小さいため、急速に大きな流れとなって先
端ストッパ１２ａと可動部材１１との間を通して液流路
３へと流れ込む。このように、これらの動作によって共
通液室６側の液体を液流路３内に誘導する。液流路３内
に導かれた液体は先端ストッパ１２ａと、下方に変位し
た可動部材１１との間をそのまま通って、発熱体１０の
下流側に流れ込むと同時に、まだ消泡しきっていない気
泡に対して消泡を加速するように作用する。この液体の
流れは、消泡を助けたあと、吐出口４に向かう方向にさ
らに流れを作って、メニスカスの復帰を助け、リフィル
速度を向上させる。
【００４９】また、前述した可動部材１１と先端ストッ
パ１２ａとの間の部分を介した液流路３への液体の流れ
込みは、図３（ａ）および図３（ａ’）に示すように液
流路３における天板２側の壁面での流速を高めるため、
この部分での微小泡等の残留も極めて少なく、吐出の安
定性に寄与している。
パ１２ａとの間の部分を介した液流路３への液体の流れ
込みは、図３（ａ）および図３（ａ’）に示すように液
流路３における天板２側の壁面での流速を高めるため、
この部分での微小泡等の残留も極めて少なく、吐出の安
定性に寄与している。
【００５０】ここで、可動部材１１が、先端ストッパ１
２ａから離れる方向、すなわち下方に変位する際に、先
端ストッパ１２ａと可動部材１１とのクリアランスが小
さいときには、先端ストッパ１２ａの溝１３ａ側の部分
の近傍に存在するインクが、それぞれの溝１３ａを通し
て先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域に供
給される。よって、先端ストッパ１２ａに可動部材１１
が接触または近接している状態から、可動部材１１が先
端ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻る際
に、可動部材１１への抵抗が抑制されて、可動部材１１
は速やかに変位する。従って、先端ストッパ１２ａに溝
１３ａが形成されていない場合と比較して、可動部材１
１が先端ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻
るまでの時間が短くなる。
２ａから離れる方向、すなわち下方に変位する際に、先
端ストッパ１２ａと可動部材１１とのクリアランスが小
さいときには、先端ストッパ１２ａの溝１３ａ側の部分
の近傍に存在するインクが、それぞれの溝１３ａを通し
て先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域に供
給される。よって、先端ストッパ１２ａに可動部材１１
が接触または近接している状態から、可動部材１１が先
端ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻る際
に、可動部材１１への抵抗が抑制されて、可動部材１１
は速やかに変位する。従って、先端ストッパ１２ａに溝
１３ａが形成されていない場合と比較して、可動部材１
１が先端ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻
るまでの時間が短くなる。
【００５１】このように、本実施形態の液体吐出ヘッド
では、先端ストッパ１２ａに溝１３ａが形成されていな
い場合と比較して、可動部材１１が先端ストッパ１２ａ
に当接するまでの時間、および可動部材１１が先端スト
ッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻るまでの時間
が短くなるので、液流路３内に先端ストッパ１２ａが設
けられたことによる、可動部材１１の応答速度（応答周
波数）の低下が防止される。
では、先端ストッパ１２ａに溝１３ａが形成されていな
い場合と比較して、可動部材１１が先端ストッパ１２ａ
に当接するまでの時間、および可動部材１１が先端スト
ッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻るまでの時間
が短くなるので、液流路３内に先端ストッパ１２ａが設
けられたことによる、可動部材１１の応答速度（応答周
波数）の低下が防止される。
【００５２】図５〜図７は、図１に示した先端ストッパ
１２ａの変形例を示す平面図である。図５〜図７のそれ
ぞれでは、先端ストッパ１２ａに形成された溝に斜線を
付してある。
１２ａの変形例を示す平面図である。図５〜図７のそれ
ぞれでは、先端ストッパ１２ａに形成された溝に斜線を
付してある。
【００５３】図５に示される先端ストッパ１２ａの変形
例では、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に、
先端ストッパ１２ａの吐出口４側の端面から流路方向に
沿って先端ストッパ１２ａの共通液室６側の端面の近傍
にまで延びる溝１３ｂと、先端ストッパ１２ａの共通液
室６側の端面から流路方向に沿って先端ストッパ１２ａ
の吐出口４側の端面の近傍にまで延びる溝１３ｃとがそ
れぞれ複数形成されている。溝１３ｂ，１３ｃの長さお
よび幅は同じであり、溝１３ｂと１３ｃは、液流路３の
流路方向と垂直な方向に交互に並んでいる。従って、図
５に示される可動部材１１では、隣り合う２つの溝１３
ｂ，１３ｃ同士の長手方向の位置が異なるように、溝１
３ｂ，１３ｃが互い違いに並んでいる。
例では、先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に、
先端ストッパ１２ａの吐出口４側の端面から流路方向に
沿って先端ストッパ１２ａの共通液室６側の端面の近傍
にまで延びる溝１３ｂと、先端ストッパ１２ａの共通液
室６側の端面から流路方向に沿って先端ストッパ１２ａ
の吐出口４側の端面の近傍にまで延びる溝１３ｃとがそ
れぞれ複数形成されている。溝１３ｂ，１３ｃの長さお
よび幅は同じであり、溝１３ｂと１３ｃは、液流路３の
流路方向と垂直な方向に交互に並んでいる。従って、図
５に示される可動部材１１では、隣り合う２つの溝１３
ｂ，１３ｃ同士の長手方向の位置が異なるように、溝１
３ｂ，１３ｃが互い違いに並んでいる。
【００５４】図６に示される先端ストッパ１２ａの変形
例では、先端ストッパ１２ａと、その両端の側壁７との
それぞれの間に隙間があり、先端ストッパ１２ａの可動
部材１１側の面には、液流路３の流路方向と垂直な方向
に延びる溝１３ｄが複数形成されている。このように、
先端ストッパ１２ａは、液流路３の幅全体に渡って形成
されていなくともよく、下流側から上流側への液体の流
れが生じない範囲で、先端ストッパ１２ａと側壁７との
間に隙間を設けることも可能である。ただし、図５に示
した変形例のように、排出路となる溝１３ｂ，１３ｃが
液流路３の上流側および下流側の両方で連通しておら
ず、さらに、先端ストッパ１２ａと側壁７との間に隙間
がないことが好ましい。
例では、先端ストッパ１２ａと、その両端の側壁７との
それぞれの間に隙間があり、先端ストッパ１２ａの可動
部材１１側の面には、液流路３の流路方向と垂直な方向
に延びる溝１３ｄが複数形成されている。このように、
先端ストッパ１２ａは、液流路３の幅全体に渡って形成
されていなくともよく、下流側から上流側への液体の流
れが生じない範囲で、先端ストッパ１２ａと側壁７との
間に隙間を設けることも可能である。ただし、図５に示
した変形例のように、排出路となる溝１３ｂ，１３ｃが
液流路３の上流側および下流側の両方で連通しておら
ず、さらに、先端ストッパ１２ａと側壁７との間に隙間
がないことが好ましい。
【００５５】図７に示される先端ストッパ１２ａの変形
例では、先端ストッパ１２ａと、その両端の側壁７との
それぞれの間に隙間があり、先端ストッパ１２ａの可動
部材１１側の面には、格子パターン状の溝１３ｅが形成
されている。このように先端ストッパ１２ａに格子パタ
ーン状の溝１３ｅが形成されることによって、先端スト
ッパ１２ａの可動部材１１側の先端部には、島状の凸部
１５が複数形成されている。従って、島状の凸部１５が
複数形成されることによって、先端ストッパ１２ａの可
動部材１１側の面に凹凸部が設けられている。この形態
の液体吐出ヘッドでは、可動部材１１と先端ストッパ１
２ａとの間のインクを排出する効果が高い。
例では、先端ストッパ１２ａと、その両端の側壁７との
それぞれの間に隙間があり、先端ストッパ１２ａの可動
部材１１側の面には、格子パターン状の溝１３ｅが形成
されている。このように先端ストッパ１２ａに格子パタ
ーン状の溝１３ｅが形成されることによって、先端スト
ッパ１２ａの可動部材１１側の先端部には、島状の凸部
１５が複数形成されている。従って、島状の凸部１５が
複数形成されることによって、先端ストッパ１２ａの可
動部材１１側の面に凹凸部が設けられている。この形態
の液体吐出ヘッドでは、可動部材１１と先端ストッパ１
２ａとの間のインクを排出する効果が高い。
【００５６】（第２の実施の形態）図８は、本発明の第
２の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するための
断面図である。図９は図８のＢ−Ｂ’線断面図であり、
図１０は図８のＣ−Ｃ’線断面図である。本実施形態の
液体吐出ヘッドでは、第１の実施形態のものと比較し
て、可動部材の変位を規制する先端ストッパの内部に液
流路が形成されている点が主に異なっている。図８〜図
１０のそれぞれでは、第１の実施形態と同一の構成部品
に同一の符号を付してある。以下では、第１の実施形態
と異なる点を中心に説明する。
２の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するための
断面図である。図９は図８のＢ−Ｂ’線断面図であり、
図１０は図８のＣ−Ｃ’線断面図である。本実施形態の
液体吐出ヘッドでは、第１の実施形態のものと比較し
て、可動部材の変位を規制する先端ストッパの内部に液
流路が形成されている点が主に異なっている。図８〜図
１０のそれぞれでは、第１の実施形態と同一の構成部品
に同一の符号を付してある。以下では、第１の実施形態
と異なる点を中心に説明する。
【００５７】図８〜図１０に示すように先端ストッパ１
２ａの内部には複数の液流路１４ａが形成されており、
それぞれの液流路１４ａの一方の開口端が先端ストッパ
１２ａの可動部材１１側の面に形成され、それぞれの液
流路１４ａの他方の開口端が先端ストッパ１２ａの吐出
口４側の面に形成されている。従って、本実施形態の液
体吐出ヘッドでは、先端ストッパ１２ａの可動部材１１
側の面に、第１の排出構造である凹部としての、液流路
１４ａとなる穴が形成されている。
２ａの内部には複数の液流路１４ａが形成されており、
それぞれの液流路１４ａの一方の開口端が先端ストッパ
１２ａの可動部材１１側の面に形成され、それぞれの液
流路１４ａの他方の開口端が先端ストッパ１２ａの吐出
口４側の面に形成されている。従って、本実施形態の液
体吐出ヘッドでは、先端ストッパ１２ａの可動部材１１
側の面に、第１の排出構造である凹部としての、液流路
１４ａとなる穴が形成されている。
【００５８】このような液体吐出ヘッドでは、先端スト
ッパ１２ａ側に向かって可動部材１１が変位する際に、
先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域にある
インクの一部が、液流路１４ａを通して液流路１４の吐
出口４側の開口端から液流路３の下流側へと排出され
る。また、先端ストッパ１２ａに可動部材１１が接触ま
たは近接している状態から、可動部材１１が先端ストッ
パ１２ａから離れる方向に変位する際に、先端ストッパ
１２ａの吐出口４側にあるインクが、液流路１４ａの吐
出口４側の開口端から液流路１４ａを通して、先端スト
ッパ１２ａと可動部材１１との間の領域へと供給され
る。
ッパ１２ａ側に向かって可動部材１１が変位する際に、
先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域にある
インクの一部が、液流路１４ａを通して液流路１４の吐
出口４側の開口端から液流路３の下流側へと排出され
る。また、先端ストッパ１２ａに可動部材１１が接触ま
たは近接している状態から、可動部材１１が先端ストッ
パ１２ａから離れる方向に変位する際に、先端ストッパ
１２ａの吐出口４側にあるインクが、液流路１４ａの吐
出口４側の開口端から液流路１４ａを通して、先端スト
ッパ１２ａと可動部材１１との間の領域へと供給され
る。
【００５９】よって、インクの吐出動作において、発熱
体１０による発泡エネルギーのロスを小さくすることが
できる。また、第１の実施形態のように先端ストッパ１
２ａに溝が形成された液体吐出ヘッドと同様に、気泡の
発生によって可動部材１１が変位して先端ストッパ１２
ａに近付く際、および可動部材１１が先端ストッパ１２
ａから離れる際の、先端ストッパ１２ａと可動部材１１
との間の液層による抵抗が小さくなる。その結果、可動
部材１１が先端ストッパ１２ａに当接するまでの時間、
および可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離れて初
期状態の位置に戻るまでの時間が短くなり、可動部材１
１の応答速度（応答周波数）の低下が防止される。ま
た、本実施形態では、先端ストッパ１２ａに、液流路の
上流側と下流側に連通する溝がないため、液流路３の上
流側と下流側を分断する効果が高い。
体１０による発泡エネルギーのロスを小さくすることが
できる。また、第１の実施形態のように先端ストッパ１
２ａに溝が形成された液体吐出ヘッドと同様に、気泡の
発生によって可動部材１１が変位して先端ストッパ１２
ａに近付く際、および可動部材１１が先端ストッパ１２
ａから離れる際の、先端ストッパ１２ａと可動部材１１
との間の液層による抵抗が小さくなる。その結果、可動
部材１１が先端ストッパ１２ａに当接するまでの時間、
および可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離れて初
期状態の位置に戻るまでの時間が短くなり、可動部材１
１の応答速度（応答周波数）の低下が防止される。ま
た、本実施形態では、先端ストッパ１２ａに、液流路の
上流側と下流側に連通する溝がないため、液流路３の上
流側と下流側を分断する効果が高い。
【００６０】図１１は、図８〜図１０に基づいて説明し
た液体吐出ヘッドの変形例について説明するための断面
図である。図１２は図１１のＢ−Ｂ’線断面図であり、
図１３は図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。図８〜図１
０に基づいて説明した液体吐出ヘッドでは、先端ストッ
パ１２ａ内に形成された液流路１４ａが、液流路３にお
ける先端ストッパ１２ａよりも下流側の部分と連通して
いるが、図１１〜図１３に基づいて説明する液体吐出ヘ
ッドでは、先端ストッパ１２ａ内に形成された液流路
が、液流路３における先端ストッパ１２ａよりも上流側
の部分と連通している。
た液体吐出ヘッドの変形例について説明するための断面
図である。図１２は図１１のＢ−Ｂ’線断面図であり、
図１３は図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。図８〜図１
０に基づいて説明した液体吐出ヘッドでは、先端ストッ
パ１２ａ内に形成された液流路１４ａが、液流路３にお
ける先端ストッパ１２ａよりも下流側の部分と連通して
いるが、図１１〜図１３に基づいて説明する液体吐出ヘ
ッドでは、先端ストッパ１２ａ内に形成された液流路
が、液流路３における先端ストッパ１２ａよりも上流側
の部分と連通している。
【００６１】図８〜図１０に基づいて説明した液体吐出
ヘッドの変形例では、図１１〜図１３に示すように先端
ストッパ１２ａの内部に複数の液流路１４ｂが形成され
ている。それぞれの液流路１４ｂの一方の開口端は先端
ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に形成され、それ
ぞれの液流路１４ｂの他方の開口端は先端ストッパ１２
ａの共通液室６側の面に形成されている。従って、この
液体吐出ヘッドでは、先端ストッパ１２ａの可動部材１
１側の面に、凹部としての、液流路１４ｂとなる穴が形
成されている。
ヘッドの変形例では、図１１〜図１３に示すように先端
ストッパ１２ａの内部に複数の液流路１４ｂが形成され
ている。それぞれの液流路１４ｂの一方の開口端は先端
ストッパ１２ａの可動部材１１側の面に形成され、それ
ぞれの液流路１４ｂの他方の開口端は先端ストッパ１２
ａの共通液室６側の面に形成されている。従って、この
液体吐出ヘッドでは、先端ストッパ１２ａの可動部材１
１側の面に、凹部としての、液流路１４ｂとなる穴が形
成されている。
【００６２】このような液体吐出ヘッドでは、先端スト
ッパ１２ａ側に向かって可動部材１１が変位する際に、
先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域にある
インクの一部が、液流路１４ａを通して液流路１４の共
通液室６側の開口端から液流路３の上流側へと、すなわ
ち低圧側へと速やかに排出される。また、先端ストッパ
１２ａに可動部材１１が接触または近接している状態か
ら、可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離れる方向
に変位する際に、先端ストッパ１２ａの共通液室６側に
あるインクが、液流路１４ａの共通液室６側の開口端か
ら液流路１４ａを通して、先端ストッパ１２ａと可動部
材１１との間の領域へと供給される。
ッパ１２ａ側に向かって可動部材１１が変位する際に、
先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域にある
インクの一部が、液流路１４ａを通して液流路１４の共
通液室６側の開口端から液流路３の上流側へと、すなわ
ち低圧側へと速やかに排出される。また、先端ストッパ
１２ａに可動部材１１が接触または近接している状態か
ら、可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離れる方向
に変位する際に、先端ストッパ１２ａの共通液室６側に
あるインクが、液流路１４ａの共通液室６側の開口端か
ら液流路１４ａを通して、先端ストッパ１２ａと可動部
材１１との間の領域へと供給される。
【００６３】よって、インクの吐出動作において、発熱
体１０による発泡エネルギーのロスを小さくすることが
できる。また、第１の実施形態のように先端ストッパ１
２ａに溝が形成された液体吐出ヘッドと同様に、気泡の
発生によって可動部材１１が変位して先端ストッパ１２
ａに近付く際、および可動部材１１が先端ストッパ１２
ａから離れる際の、先端ストッパ１２ａと可動部材１１
との間の液層による抵抗が小さくなる。その結果、可動
部材１１が先端ストッパ１２ａに当接するまでの時間、
および可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離れて初
期状態の位置に戻るまでの時間が短くなり、可動部材１
１の応答速度（応答周波数）の低下が防止される。
体１０による発泡エネルギーのロスを小さくすることが
できる。また、第１の実施形態のように先端ストッパ１
２ａに溝が形成された液体吐出ヘッドと同様に、気泡の
発生によって可動部材１１が変位して先端ストッパ１２
ａに近付く際、および可動部材１１が先端ストッパ１２
ａから離れる際の、先端ストッパ１２ａと可動部材１１
との間の液層による抵抗が小さくなる。その結果、可動
部材１１が先端ストッパ１２ａに当接するまでの時間、
および可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離れて初
期状態の位置に戻るまでの時間が短くなり、可動部材１
１の応答速度（応答周波数）の低下が防止される。
【００６４】（第３の実施の形態）図１４は、本発明の
第３の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するため
の断面図である。図１４（ａ）は、本実施形態の液体吐
出ヘッドの、流路方向に沿った断面図、図１４（ｂ）は
図１（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図１４（ｃ）は図１
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
第３の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するため
の断面図である。図１４（ａ）は、本実施形態の液体吐
出ヘッドの、流路方向に沿った断面図、図１４（ｂ）は
図１（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図１４（ｃ）は図１
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【００６５】本実施形態の液体吐出ヘッドでは、第１の
実施形態のものと比較して、可動部材の素子基板側の面
に凸部が形成されている点が異なっている。図１４で
は、第１の実施形態と同一の構成部品に同一の符号を付
してあり、以下では、第１の実施形態と異なる点を中心
に説明する。
実施形態のものと比較して、可動部材の素子基板側の面
に凸部が形成されている点が異なっている。図１４で
は、第１の実施形態と同一の構成部品に同一の符号を付
してあり、以下では、第１の実施形態と異なる点を中心
に説明する。
【００６６】本実施形態の液体吐出ヘッドでは図１４に
示すように、素子基板１上に取り付けられた可動部材１
１の素子基板１側の面に、気泡発生領域に近接して素子
基板１側に突出した下側凸部１１ｃが形成されている。
この下側凸部１１ｃは、気泡発生領域で発生する気泡を
後方（上流側）に成長することを抑制するものである。
示すように、素子基板１上に取り付けられた可動部材１
１の素子基板１側の面に、気泡発生領域に近接して素子
基板１側に突出した下側凸部１１ｃが形成されている。
この下側凸部１１ｃは、気泡発生領域で発生する気泡を
後方（上流側）に成長することを抑制するものである。
【００６７】図１５および図１６は、図１４に基づいて
説明した液体吐出ヘッドの吐出動作について説明するた
めの図である。図１５（ａ）、図１５（ｂ）、図１６
（ａ）および図１６（ｂ）がそれぞれ、液体吐出ヘッド
の流路方向に沿った断面図であり、図１５（ａ’）が図
１５（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１５（ｂ’）が図１
５（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１６（ａ’）が図１６
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１６（ｂ’）が図１６
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
説明した液体吐出ヘッドの吐出動作について説明するた
めの図である。図１５（ａ）、図１５（ｂ）、図１６
（ａ）および図１６（ｂ）がそれぞれ、液体吐出ヘッド
の流路方向に沿った断面図であり、図１５（ａ’）が図
１５（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１５（ｂ’）が図１
５（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１６（ａ’）が図１６
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１６（ｂ’）が図１６
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【００６８】図１５（ａ）および図１５（ａ’）には、
発熱体１０上の気泡発生領域内を満たす液体の一部が発
熱体１０によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡４０が発
泡し始めた状態が示され、図１５（ｂ）および図１５
（ｂ’）には、可動部材１１が、図１５（ａ）および図
１５（ａ’）に示した状態よりも大きく変位し、先端ス
トッパ１２ａに可動部材１１が接近した状態が示されて
いる。また、図１６（ａ）および図１６（ａ’）には、
可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接近または接触す
るまで変位し、可動部材１１の先端部におけるそれ以上
の上方への変位が先端ストッパ１２ａによって規制され
た状態が示され、図１６（ｂ）および図１６（ｂ’）で
は、前述した膜沸騰の後に気泡４０の内部の負圧が液流
路３内の下流側への液体の移動に打ち勝って、気泡４０
の収縮が開始された状態が示されている。
発熱体１０上の気泡発生領域内を満たす液体の一部が発
熱体１０によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡４０が発
泡し始めた状態が示され、図１５（ｂ）および図１５
（ｂ’）には、可動部材１１が、図１５（ａ）および図
１５（ａ’）に示した状態よりも大きく変位し、先端ス
トッパ１２ａに可動部材１１が接近した状態が示されて
いる。また、図１６（ａ）および図１６（ａ’）には、
可動部材１１が先端ストッパ１２ａに接近または接触す
るまで変位し、可動部材１１の先端部におけるそれ以上
の上方への変位が先端ストッパ１２ａによって規制され
た状態が示され、図１６（ｂ）および図１６（ｂ’）で
は、前述した膜沸騰の後に気泡４０の内部の負圧が液流
路３内の下流側への液体の移動に打ち勝って、気泡４０
の収縮が開始された状態が示されている。
【００６９】このような吐出動作では、上述したように
可動部材１１に下側凸部１１ｃを設けたことにより、図
１５（ａ）、図１５（ｂ）、図１６（ａ）およびず１６
（ｂ）のそれぞれに示されるように、第１の実施形態の
場合と比較して気泡４０の後方（上流側）への成長が少
なくなっている。そして、この下側凸部１１ｃは、後方
への気泡４０の成長を抑制することで、吐出滴６６を吐
出させるために利用する吐出エネルギーの向上に寄与す
るものである。
可動部材１１に下側凸部１１ｃを設けたことにより、図
１５（ａ）、図１５（ｂ）、図１６（ａ）およびず１６
（ｂ）のそれぞれに示されるように、第１の実施形態の
場合と比較して気泡４０の後方（上流側）への成長が少
なくなっている。そして、この下側凸部１１ｃは、後方
への気泡４０の成長を抑制することで、吐出滴６６を吐
出させるために利用する吐出エネルギーの向上に寄与す
るものである。
【００７０】下側凸部１１ｃが設けられる位置として
は、可動部材１１が素子基板１側に変位した際に素子基
板１に下側凸部１１ｃが当接することがあるため、少な
くとも発熱体１０周囲の段差部分から離れた位置に設け
られることが望ましい。具体的には、有効発泡領域から
５μｍ以上離れていることが望ましい。また、あまりに
気泡発生領域から離れすぎると、気泡の後方への成長を
抑制する効果を発揮できなくなるため、発熱体１０の有
効発泡領域から発熱体の長さの略半分までの距離内に設
けられていることが望ましい。すなわち、本実施形態に
おいては、有効発泡領域から下側凸部１１ｃまでの距離
が約４５μｍであり、好ましくは３０μｍ以内、さらに
好ましくは２０μｍ以下となる。
は、可動部材１１が素子基板１側に変位した際に素子基
板１に下側凸部１１ｃが当接することがあるため、少な
くとも発熱体１０周囲の段差部分から離れた位置に設け
られることが望ましい。具体的には、有効発泡領域から
５μｍ以上離れていることが望ましい。また、あまりに
気泡発生領域から離れすぎると、気泡の後方への成長を
抑制する効果を発揮できなくなるため、発熱体１０の有
効発泡領域から発熱体の長さの略半分までの距離内に設
けられていることが望ましい。すなわち、本実施形態に
おいては、有効発泡領域から下側凸部１１ｃまでの距離
が約４５μｍであり、好ましくは３０μｍ以内、さらに
好ましくは２０μｍ以下となる。
【００７１】また、下側凸部１１ｃの高さは可動部材１
１と素子基板１間の距離とほぼ等しいかそれ以下であ
り、本実施形態においては、下側凸部１１ｃの先端と素
子基板１との間にわずかにクリアランスを有している。
１と素子基板１間の距離とほぼ等しいかそれ以下であ
り、本実施形態においては、下側凸部１１ｃの先端と素
子基板１との間にわずかにクリアランスを有している。
【００７２】この下側凸部１１ｃによって、気泡発生領
域で発生した気泡は、可動部材１１と素子基板１との間
を上流方向へ伸延することが抑制され、第１の実施形態
の場合よりもさらに、上流方向への液体の移動が少なく
なり、結果的にリフィル特性をさらに向上させることが
できる。
域で発生した気泡は、可動部材１１と素子基板１との間
を上流方向へ伸延することが抑制され、第１の実施形態
の場合よりもさらに、上流方向への液体の移動が少なく
なり、結果的にリフィル特性をさらに向上させることが
できる。
【００７３】（第４の実施の形態）図１７は、本発明の
第４の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するため
の断面図である。図１７（ａ）は、本実施形態の液体吐
出ヘッドの、流路方向に沿った断面図、図１７（ｂ）は
図１７（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図１７（ｃ）は図１
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１７（ｄ）は図１（ａ）
のＤ−Ｄ’線断面図である。
第４の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明するため
の断面図である。図１７（ａ）は、本実施形態の液体吐
出ヘッドの、流路方向に沿った断面図、図１７（ｂ）は
図１７（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図１７（ｃ）は図１
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１７（ｄ）は図１（ａ）
のＤ−Ｄ’線断面図である。
【００７４】本実施形態の液体吐出ヘッドは、第２の実
施形態と比較して、気泡の成長により変位した可動部材
の側部に実質的に接触する側方ストッパが液流路内に設
けられている点が異なっている。図１７では、第２の実
施形態と同一の構成部品に同一の符号を付してあり、以
下では、第１および第２の実施形態と異なる点を中心に
説明する。
施形態と比較して、気泡の成長により変位した可動部材
の側部に実質的に接触する側方ストッパが液流路内に設
けられている点が異なっている。図１７では、第２の実
施形態と同一の構成部品に同一の符号を付してあり、以
下では、第１および第２の実施形態と異なる点を中心に
説明する。
【００７５】本実施形態の液体吐出ヘッドでは図１７
（ａ）〜図１７（ｄ）に示すように、先端ストッパ１２
ａに加えて、可動部材１１の両側の側部の上方にそれぞ
れ、サイド規制部である側方ストッパ１２ｂが設けられ
ている。それぞれの側方ストッパ１２ｂの可動部材１１
側の面には、液層を排出し易い排出路として、液流路３
の流路方向に対して垂直な方向に延びる溝１３ｆが複数
形成されている。このように側方ストッパ１２ｂに複数
の溝１３ｆが形成されることによって、隣り合う２つの
溝１３ｆ同士の間の部分が凸部となっており、これによ
り、側方ストッパ１２ｂの可動部材１１側の面に、第２
の排出促進構造としての凹凸部が設けられている。
（ａ）〜図１７（ｄ）に示すように、先端ストッパ１２
ａに加えて、可動部材１１の両側の側部の上方にそれぞ
れ、サイド規制部である側方ストッパ１２ｂが設けられ
ている。それぞれの側方ストッパ１２ｂの可動部材１１
側の面には、液層を排出し易い排出路として、液流路３
の流路方向に対して垂直な方向に延びる溝１３ｆが複数
形成されている。このように側方ストッパ１２ｂに複数
の溝１３ｆが形成されることによって、隣り合う２つの
溝１３ｆ同士の間の部分が凸部となっており、これによ
り、側方ストッパ１２ｂの可動部材１１側の面に、第２
の排出促進構造としての凹凸部が設けられている。
【００７６】このような側方ストッパ１２ｂが設けられ
たことにより、先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ
１２ｂ側に変位した可動部材１１を規制する時、すなわ
ち先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂに可動
部材１１が接触した時に、可動部材１１と流路壁とのク
リアランスが遮断される。また、側方ストッパ１２ｂに
複数の溝１３ｆが形成されていることにより、発熱体１
０上のインク中で発生した気泡によって可動部材１１が
変位して側方ストッパ１２ｂの溝１３ｆ側の面に近付い
た際に、側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の領
域にあるインクが、それぞれの溝１３ｆを通してその領
域の外部に速やかに排出される。また、可動部材１１が
側方ストッパ１２ｂに接触または近接している状態か
ら、側方ストッパ１２ｂから離れる方向に可動部材１１
が移動する際にも、それぞれの溝１３ｆを通して側方ス
トッパ１２ｂと可動部材１１との間の領域にインクが供
給される。これにより、側方ストッパ１２ｂに可動部材
１１が近付く際、および側方ストッパ１２ｂから可動部
材１１が離れる際に、側方ストッパ１２ｂと可動部材１
１との間の液層による、可動部材１１への抵抗が小さく
なる。
たことにより、先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ
１２ｂ側に変位した可動部材１１を規制する時、すなわ
ち先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂに可動
部材１１が接触した時に、可動部材１１と流路壁とのク
リアランスが遮断される。また、側方ストッパ１２ｂに
複数の溝１３ｆが形成されていることにより、発熱体１
０上のインク中で発生した気泡によって可動部材１１が
変位して側方ストッパ１２ｂの溝１３ｆ側の面に近付い
た際に、側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の領
域にあるインクが、それぞれの溝１３ｆを通してその領
域の外部に速やかに排出される。また、可動部材１１が
側方ストッパ１２ｂに接触または近接している状態か
ら、側方ストッパ１２ｂから離れる方向に可動部材１１
が移動する際にも、それぞれの溝１３ｆを通して側方ス
トッパ１２ｂと可動部材１１との間の領域にインクが供
給される。これにより、側方ストッパ１２ｂに可動部材
１１が近付く際、および側方ストッパ１２ｂから可動部
材１１が離れる際に、側方ストッパ１２ｂと可動部材１
１との間の液層による、可動部材１１への抵抗が小さく
なる。
【００７７】よって、可動部材１１が先端ストッパ１２
ａおよび側方ストッパ１２ｂに当接するまでの時間、お
よび可動部材１１が先端ストッパ１２ａおよび側方スト
ッパ１２ｂから離れて初期状態の位置に戻るまでの時間
が短くなる。その結果、先端ストッパ１２ａおよび側方
ストッパ１２ｂに可動部材１１が近付く際に液流路３内
での上流側への液体の移動や、可動部材１１の応答速度
（応答周波数）の低下が防止される。
ａおよび側方ストッパ１２ｂに当接するまでの時間、お
よび可動部材１１が先端ストッパ１２ａおよび側方スト
ッパ１２ｂから離れて初期状態の位置に戻るまでの時間
が短くなる。その結果、先端ストッパ１２ａおよび側方
ストッパ１２ｂに可動部材１１が近付く際に液流路３内
での上流側への液体の移動や、可動部材１１の応答速度
（応答周波数）の低下が防止される。
【００７８】上記の構成により、気泡の形状特性に対し
て、前後(上流下流)の機能の分断化を機械的な要素によ
り一層確実に達成することができる。そして、従来、流
路の前後の流路抵抗等のバランスを最重要として設計し
ていたものを、上記構成によれば機能分離化できること
により、設計の自由度を格段に向上させることができ
る。
て、前後(上流下流)の機能の分断化を機械的な要素によ
り一層確実に達成することができる。そして、従来、流
路の前後の流路抵抗等のバランスを最重要として設計し
ていたものを、上記構成によれば機能分離化できること
により、設計の自由度を格段に向上させることができ
る。
【００７９】なお、上述の構成では、側方ストッパ１２
ｂが、対向板である天板２に設けられているものである
が、これに限られるものではなく、側方ストッパ１２ｂ
が側壁７のみに設けられるようにしても良い。
ｂが、対向板である天板２に設けられているものである
が、これに限られるものではなく、側方ストッパ１２ｂ
が側壁７のみに設けられるようにしても良い。
【００８０】図１８および図１９は、図１７に基づいて
説明した液体吐出ヘッドの吐出動作について説明するた
めの図である。図１８（ａ）、図１８（ｂ）、図１９
（ａ）および図１９（ｂ）がそれぞれ、液体吐出ヘッド
の流路方向に沿った断面図であり、図１８（ａ’）が図
１８（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１８（ｂ’）が図１
８（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１９（ａ’）が図１９
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１９（ｂ’）が図１９
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
説明した液体吐出ヘッドの吐出動作について説明するた
めの図である。図１８（ａ）、図１８（ｂ）、図１９
（ａ）および図１９（ｂ）がそれぞれ、液体吐出ヘッド
の流路方向に沿った断面図であり、図１８（ａ’）が図
１８（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１８（ｂ’）が図１
８（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１９（ａ’）が図１９
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１９（ｂ’）が図１９
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【００８１】図１８（ａ）および図１８（ａ’）には、
発熱体１０上の気泡発生領域内を満たす液体の一部が発
熱体１０によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡４０が発
泡し始めた状態が示されている。図１８（ａ）および図
１８（ａ’）に示される状態のとき、この時点における
側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間のクリアラン
スは大きいが、そのクリアランスは、可動部材１１が変
位するにつれ狭くなっていく。
発熱体１０上の気泡発生領域内を満たす液体の一部が発
熱体１０によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡４０が発
泡し始めた状態が示されている。図１８（ａ）および図
１８（ａ’）に示される状態のとき、この時点における
側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間のクリアラン
スは大きいが、そのクリアランスは、可動部材１１が変
位するにつれ狭くなっていく。
【００８２】図１８（ｂ）および図１８（ｂ’）には、
可動部材１１が、図１８（ａ）および図１８（ａ’）に
示した状態よりも大きく変位し、先端ストッパ１２ａに
可動部材１１が接近した状態が示されている。このと
き、先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂと可
動部材１１とのクリアランスは狭いため、気泡発生領域
より上流側、すなわち、共通液室６側への液体の通り抜
けは、第１および第２の実施形態の場合よりもかなり規
制される。それに伴い可動部材１１を境界として気泡発
生領域側と共通液室６側の圧力差が大きく生じ、可動部
材１１は側方ストッパ１２ｂに、より密着するかたちで
押しつけられる。従って、可動部材１１と先端ストッパ
１２ａおよび側方ストッパ１２ｂとの密着性が高まるた
め、可動部材１１と流路壁とのクリアランスが十分に設
けられていても、このクリアランス部分からの液体の漏
れが少なくなる。この構成により、気泡発生領域の共通
液室６側に対する密閉性は高まり、共通液室６側に液体
が漏れて吐出力を損失することが少なくなる。
可動部材１１が、図１８（ａ）および図１８（ａ’）に
示した状態よりも大きく変位し、先端ストッパ１２ａに
可動部材１１が接近した状態が示されている。このと
き、先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂと可
動部材１１とのクリアランスは狭いため、気泡発生領域
より上流側、すなわち、共通液室６側への液体の通り抜
けは、第１および第２の実施形態の場合よりもかなり規
制される。それに伴い可動部材１１を境界として気泡発
生領域側と共通液室６側の圧力差が大きく生じ、可動部
材１１は側方ストッパ１２ｂに、より密着するかたちで
押しつけられる。従って、可動部材１１と先端ストッパ
１２ａおよび側方ストッパ１２ｂとの密着性が高まるた
め、可動部材１１と流路壁とのクリアランスが十分に設
けられていても、このクリアランス部分からの液体の漏
れが少なくなる。この構成により、気泡発生領域の共通
液室６側に対する密閉性は高まり、共通液室６側に液体
が漏れて吐出力を損失することが少なくなる。
【００８３】ここで、先端ストッパ１２ａと可動部材１
１との間の領域に存在するインクの一部は、先端ストッ
パ１２ａに形成された、排出路となる溝１３ａを通し
て、液流路３の上流側および下流側、すなわち先端スト
ッパ１２ａと可動部材１１との間の領域の外部へと排出
される。それと同時に、側方ストッパ１２ｂと可動部材
１１との間の領域に存在するインクの一部は、側方スト
ッパ１２ｂに形成された、排出路となる溝１３ｆを通し
て、側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の領域の
外部へと排出される。従って、可動部材１１が先端スト
ッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂに向かって変位す
る際に、先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の液
層、および側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の
液層による可動部材１１への抵抗が抑制されて、可動部
材１１が速やかに変位する。よって、溝１３ａ，１３ｆ
が形成されていない場合と比較して、可動部材１１が先
端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂに当接する
までの時間が短くなり、この段階における液流路３内で
の上流側へのインクの移動が抑制されるので、発熱体１
０による発泡エネルギーのロスが小さくなる。
１との間の領域に存在するインクの一部は、先端ストッ
パ１２ａに形成された、排出路となる溝１３ａを通し
て、液流路３の上流側および下流側、すなわち先端スト
ッパ１２ａと可動部材１１との間の領域の外部へと排出
される。それと同時に、側方ストッパ１２ｂと可動部材
１１との間の領域に存在するインクの一部は、側方スト
ッパ１２ｂに形成された、排出路となる溝１３ｆを通し
て、側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の領域の
外部へと排出される。従って、可動部材１１が先端スト
ッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂに向かって変位す
る際に、先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の液
層、および側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の
液層による可動部材１１への抵抗が抑制されて、可動部
材１１が速やかに変位する。よって、溝１３ａ，１３ｆ
が形成されていない場合と比較して、可動部材１１が先
端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂに当接する
までの時間が短くなり、この段階における液流路３内で
の上流側へのインクの移動が抑制されるので、発熱体１
０による発泡エネルギーのロスが小さくなる。
【００８４】図１９（ａ）および図１９（ａ’）には、
可動部材１１が先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ
１２ｂに接近または接触するまで変位し、可動部材１１
の先端部におけるそれ以上の上方への変位が先端ストッ
パ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂによって規制された
状態が示されている。
可動部材１１が先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ
１２ｂに接近または接触するまで変位し、可動部材１１
の先端部におけるそれ以上の上方への変位が先端ストッ
パ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂによって規制された
状態が示されている。
【００８５】一方、前述したように可動部材１１の変位
が先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂによっ
て規制されているため、気泡４０の上流側の部分が、上
流側への液流の慣性力によって可動部材１１を上流側へ
凸形状に湾曲させ応力をチャージさせるまでにとどまっ
た状態で小さなサイズになっている。この部分全体とし
ては、先端ストッパ１２ａ、側方ストッパ１２ｂ、側壁
７、可動部材１１およびその支点１１ａとで上流側の領
域に進入する量をほとんど無にしている。これによっ
て、上流側への液流を大幅に規制し、隣接した流路への
流体クロストークや、高速リフィルを阻害する供給路系
における液の逆流や圧力振動を防止する。図１９（ｂ）
および図１９（ｂ’）では、前述した膜沸騰の後に気泡
４０の内部の負圧が液流路３内の下流側への液体の移動
に打ち勝って、気泡４０の収縮が開始された状態が示さ
れている。ここで、可動部材１１と、先端ストッパ１２
ａおよび側方ストッパ１２ｂとの間の部分を介した液流
路３への流れ込みは、図１９（ａ）および図１９
（ａ’）に示すように液流路３における天板２側の壁面
での流速を高めるため、この部分での微小泡等の残留も
極めて少なく、吐出の安定性に寄与している。
が先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂによっ
て規制されているため、気泡４０の上流側の部分が、上
流側への液流の慣性力によって可動部材１１を上流側へ
凸形状に湾曲させ応力をチャージさせるまでにとどまっ
た状態で小さなサイズになっている。この部分全体とし
ては、先端ストッパ１２ａ、側方ストッパ１２ｂ、側壁
７、可動部材１１およびその支点１１ａとで上流側の領
域に進入する量をほとんど無にしている。これによっ
て、上流側への液流を大幅に規制し、隣接した流路への
流体クロストークや、高速リフィルを阻害する供給路系
における液の逆流や圧力振動を防止する。図１９（ｂ）
および図１９（ｂ’）では、前述した膜沸騰の後に気泡
４０の内部の負圧が液流路３内の下流側への液体の移動
に打ち勝って、気泡４０の収縮が開始された状態が示さ
れている。ここで、可動部材１１と、先端ストッパ１２
ａおよび側方ストッパ１２ｂとの間の部分を介した液流
路３への流れ込みは、図１９（ａ）および図１９
（ａ’）に示すように液流路３における天板２側の壁面
での流速を高めるため、この部分での微小泡等の残留も
極めて少なく、吐出の安定性に寄与している。
【００８６】さらに、消泡によりキャビテーションが発
生するポイントも気泡発生領域の下流側にずれるため、
発熱体１０に対するダメージが少なくなる。それと同時
に、そのようなキャビテーションの現象によりこの領域
での発熱体（ヒータ）１０へのこげの付着も少なくなる
ため、吐出安定性が向上する。
生するポイントも気泡発生領域の下流側にずれるため、
発熱体１０に対するダメージが少なくなる。それと同時
に、そのようなキャビテーションの現象によりこの領域
での発熱体（ヒータ）１０へのこげの付着も少なくなる
ため、吐出安定性が向上する。
【００８７】ここで、可動部材１１が、先端ストッパ１
２ａおよび側方ストッパ１２ｂから離れる方向、すなわ
ち下方に変位する際に、先端ストッパ１２ａおよび側方
ストッパ１２ｂと、可動部材１１とのクリアランスが小
さいときには、先端ストッパ１２ａの溝１３ａ側の部分
の近傍に存在するインクが、それぞれの溝１３ａを通し
て先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域に供
給される。それと共に、側方ストッパ１２ｂの溝１３ｆ
側の部分の近傍に存在するインクが、それぞれの溝１３
ｆを通して側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の
領域に供給される。よって、先端ストッパ１２ａおよび
側方ストッパ１２ｂに可動部材１１が接触または近接し
ている状態から、可動部材１１が先端ストッパ１２ａお
よび側方ストッパ１２ｂから離れて初期状態の位置に戻
る際に、可動部材１１への抵抗が抑制されて、可動部材
１１は速やかに変位する。従って、溝１３ａ，１３ｆが
形成されていない場合と比較して、可動部材１１が先端
ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻るまでの
時間が短くなる。
２ａおよび側方ストッパ１２ｂから離れる方向、すなわ
ち下方に変位する際に、先端ストッパ１２ａおよび側方
ストッパ１２ｂと、可動部材１１とのクリアランスが小
さいときには、先端ストッパ１２ａの溝１３ａ側の部分
の近傍に存在するインクが、それぞれの溝１３ａを通し
て先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域に供
給される。それと共に、側方ストッパ１２ｂの溝１３ｆ
側の部分の近傍に存在するインクが、それぞれの溝１３
ｆを通して側方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間の
領域に供給される。よって、先端ストッパ１２ａおよび
側方ストッパ１２ｂに可動部材１１が接触または近接し
ている状態から、可動部材１１が先端ストッパ１２ａお
よび側方ストッパ１２ｂから離れて初期状態の位置に戻
る際に、可動部材１１への抵抗が抑制されて、可動部材
１１は速やかに変位する。従って、溝１３ａ，１３ｆが
形成されていない場合と比較して、可動部材１１が先端
ストッパ１２ａから離れて初期状態の位置に戻るまでの
時間が短くなる。
【００８８】このように、本実施形態の液体吐出ヘッド
では、溝１３ａ，１３ｆが形成されていない場合と比較
して、可動部材１１が先端ストッパ１２ａおよび側方ス
トッパ１２ｂに当接するまでの時間、および可動部材１
１が先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂから
離れて初期状態の位置に戻るまでの時間が短くなるの
で、液流路３内に先端ストッパ１２ａおよび側方ストッ
パ１２ｂが設けられたことによる、可動部材１１の応答
速度（応答周波数）の低下が防止される。
では、溝１３ａ，１３ｆが形成されていない場合と比較
して、可動部材１１が先端ストッパ１２ａおよび側方ス
トッパ１２ｂに当接するまでの時間、および可動部材１
１が先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂから
離れて初期状態の位置に戻るまでの時間が短くなるの
で、液流路３内に先端ストッパ１２ａおよび側方ストッ
パ１２ｂが設けられたことによる、可動部材１１の応答
速度（応答周波数）の低下が防止される。
【００８９】本実施形態の液体吐出ヘッドでは、側方ス
トッパ１２ｂの可動部材１１側の面に、液流路３の流路
方向に対して垂直な方向に延びる溝１３ｆが形成されて
いるが、それら溝１３ｆの代わりに、液流路３の流路方
向に延びる溝を複数形成してもよい。また、それらの溝
１３ｆを、第１の実施形態において図５に示した溝１３
ｂ，１３ｃのパターンのように、隣り合う２つの溝１３
ｆ同士の長手方向の位置が異なるように互い違いに配置
させてもよい。さらに、側方ストッパ１２ｂの可動部材
１１側の面に設ける凹凸部として、第１の実施形態にお
いて図７に示した溝１３ｅおよび凸部１５のパターンと
同様な溝および島状の凸部を形成してもよい。さらに、
第２の実施形態の液体吐出ヘッドにおいて先端ストッパ
１２ａ内に形成した液流路１４ａ，１４ｂのような液流
路を、排出路として側方ストッパ１２ｂに設けてもよ
い。
トッパ１２ｂの可動部材１１側の面に、液流路３の流路
方向に対して垂直な方向に延びる溝１３ｆが形成されて
いるが、それら溝１３ｆの代わりに、液流路３の流路方
向に延びる溝を複数形成してもよい。また、それらの溝
１３ｆを、第１の実施形態において図５に示した溝１３
ｂ，１３ｃのパターンのように、隣り合う２つの溝１３
ｆ同士の長手方向の位置が異なるように互い違いに配置
させてもよい。さらに、側方ストッパ１２ｂの可動部材
１１側の面に設ける凹凸部として、第１の実施形態にお
いて図７に示した溝１３ｅおよび凸部１５のパターンと
同様な溝および島状の凸部を形成してもよい。さらに、
第２の実施形態の液体吐出ヘッドにおいて先端ストッパ
１２ａ内に形成した液流路１４ａ，１４ｂのような液流
路を、排出路として側方ストッパ１２ｂに設けてもよ
い。
【００９０】（第５の実施の形態）図２０は、本発明の
第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。本実施形態の液体吐出ヘッドは、共
通液室および液流路を形成するための溝付きの天板部
と、吐出口が形成されるオリフィスプレート部とが一体
となった溝付き天板が用いられたものである。
第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。本実施形態の液体吐出ヘッドは、共
通液室および液流路を形成するための溝付きの天板部
と、吐出口が形成されるオリフィスプレート部とが一体
となった溝付き天板が用いられたものである。
【００９１】図２０に示すように本実施形態の液体吐出
ヘッドでは、第１の実施形態で用いた素子基板１が用い
られており、素子基板１の発熱体１０側の表面には、第
１の実施形態と同様に可動部材１１が形成されている。
素子基板１のその表面には、天板部３２およびオリフィ
スプレート部３８から構成された溝付き天板３２ａが接
合されている。天板部３２には、発熱体１０が配置され
る液流路３３を形成するための複数の溝と、それぞれの
液流路３３と連通した共通液室３６を形成するための溝
とが形成されている。オリフィスプレート部３８には、
液流路３３と連通した吐出口３４が形成されており、吐
出口３４は、オリフィスプレート部３８に液流路３３側
からレーザを照射することにより形成されたために素子
基板１に対して斜めに延びている。
ヘッドでは、第１の実施形態で用いた素子基板１が用い
られており、素子基板１の発熱体１０側の表面には、第
１の実施形態と同様に可動部材１１が形成されている。
素子基板１のその表面には、天板部３２およびオリフィ
スプレート部３８から構成された溝付き天板３２ａが接
合されている。天板部３２には、発熱体１０が配置され
る液流路３３を形成するための複数の溝と、それぞれの
液流路３３と連通した共通液室３６を形成するための溝
とが形成されている。オリフィスプレート部３８には、
液流路３３と連通した吐出口３４が形成されており、吐
出口３４は、オリフィスプレート部３８に液流路３３側
からレーザを照射することにより形成されたために素子
基板１に対して斜めに延びている。
【００９２】液流路３３内では、可動部材１１の自由端
１１ｂの、発熱体１０側とは反対側、すなわちその自由
端１１ｂの上方に、可動部材１１の上方への移動を規制
する規制部である先端ストッパ４２ａが設けられ、先端
ストッパ４２ａの可動部材１１側の面に、液流路３３の
流路方向に延びる溝４３ａが複数形成されている。ま
た、先端ストッパ４２ａの上流側、かつ可動部材１１の
上方には、気泡の成長により変位した可動部材１１の側
部に実質的に接触する側方ストッパ４２ｂが設けられて
おり、側方ストッパ４２ｂの可動部材１１側の面に、液
流路３３の流路方向に対して垂直な方向に延びる溝４３
ｆが複数形成されている。
１１ｂの、発熱体１０側とは反対側、すなわちその自由
端１１ｂの上方に、可動部材１１の上方への移動を規制
する規制部である先端ストッパ４２ａが設けられ、先端
ストッパ４２ａの可動部材１１側の面に、液流路３３の
流路方向に延びる溝４３ａが複数形成されている。ま
た、先端ストッパ４２ａの上流側、かつ可動部材１１の
上方には、気泡の成長により変位した可動部材１１の側
部に実質的に接触する側方ストッパ４２ｂが設けられて
おり、側方ストッパ４２ｂの可動部材１１側の面に、液
流路３３の流路方向に対して垂直な方向に延びる溝４３
ｆが複数形成されている。
【００９３】このような液体吐出ヘッドにおいても、先
端ストッパ４２ａに複数の溝４３ａが形成され、側方ス
トッパ４２ｂに溝４３ｆが形成されていることにより、
可動部材１１が先端ストッパ４２ａおよび側方ストッパ
４２ｂに接触するまでの時間、および可動部材１１が先
端ストッパ４２ａおよび側方ストッパ４２ｂから離れて
初期状態の位置に戻るまでの時間が短くなり、可動部材
１１の応答速度（応答周波数）の低下が防止される。ま
た、可動部材１１が先端ストッパ４２ａおよび側方スト
ッパ４２ｂに接触するまでの時間が短くなることによ
り、液流路３３内での上流側へのインクの移動が抑制さ
れるので、発熱体１０による発泡エネルギーのロスが小
さくなると共に、メニスカスの振動も抑制され、低駆動
周波数から高駆動周波数まで安定した記録品位が得られ
る。
端ストッパ４２ａに複数の溝４３ａが形成され、側方ス
トッパ４２ｂに溝４３ｆが形成されていることにより、
可動部材１１が先端ストッパ４２ａおよび側方ストッパ
４２ｂに接触するまでの時間、および可動部材１１が先
端ストッパ４２ａおよび側方ストッパ４２ｂから離れて
初期状態の位置に戻るまでの時間が短くなり、可動部材
１１の応答速度（応答周波数）の低下が防止される。ま
た、可動部材１１が先端ストッパ４２ａおよび側方スト
ッパ４２ｂに接触するまでの時間が短くなることによ
り、液流路３３内での上流側へのインクの移動が抑制さ
れるので、発熱体１０による発泡エネルギーのロスが小
さくなると共に、メニスカスの振動も抑制され、低駆動
周波数から高駆動周波数まで安定した記録品位が得られ
る。
【００９４】（第６の実施の形態）図２１は、本発明の
第６の実施形態に係る液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。本実施形態の液体吐出ヘッドは、第
１の実施形態のものと比較して、溝が形成される部分
が、可動部材の変位を規制する先端ストッパではなく、
可動部材の、先端ストッパとの実質的な接触面に溝が形
成されている点が異なっている。図２１では、第１の実
施形態と同一の構成部品に同一の符号を付してあり、以
下では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
第６の実施形態に係る液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。本実施形態の液体吐出ヘッドは、第
１の実施形態のものと比較して、溝が形成される部分
が、可動部材の変位を規制する先端ストッパではなく、
可動部材の、先端ストッパとの実質的な接触面に溝が形
成されている点が異なっている。図２１では、第１の実
施形態と同一の構成部品に同一の符号を付してあり、以
下では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００９５】図２１に示すように本実施形態の液体吐出
ヘッドでは、可動部材１１の、先端ストッパ１２ａと実
質的に接触する面、すなわち可動部材１１の吐出口４側
の先端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、液流路
３の流路方向に延びる溝１３ｇが複数形成されている。
ヘッドでは、可動部材１１の、先端ストッパ１２ａと実
質的に接触する面、すなわち可動部材１１の吐出口４側
の先端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、液流路
３の流路方向に延びる溝１３ｇが複数形成されている。
【００９６】図２２は、図２１に示した可動部材１１の
先端部の側面図および平面図である。図２２（ａ）が、
可動部材１１をその先端面側から見た側面図であり、図
２２（ｂ）が、可動部材１１の先端部の平面図である。
図２２（ａ）および図２２（ｂ）に示すように、可動部
材１１の先端部に形成された複数の溝１３ｇは、可動部
材１１と平行、かつ液流路３の流路方向に対して垂直な
方向に並んでおり、それぞれの溝１３ｇは、可動部材１
１の先端面から可動部材１１の所定の位置にまで延びて
いる。このように複数の溝１３ｇが形成されることによ
って、隣り合う２つの溝１３ｇ同士の間の部分が凸部と
なっており、これにより、可動部材１１の吐出口４側の
先端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、第１の排
出促進構造としての凹凸部が設けられている。
先端部の側面図および平面図である。図２２（ａ）が、
可動部材１１をその先端面側から見た側面図であり、図
２２（ｂ）が、可動部材１１の先端部の平面図である。
図２２（ａ）および図２２（ｂ）に示すように、可動部
材１１の先端部に形成された複数の溝１３ｇは、可動部
材１１と平行、かつ液流路３の流路方向に対して垂直な
方向に並んでおり、それぞれの溝１３ｇは、可動部材１
１の先端面から可動部材１１の所定の位置にまで延びて
いる。このように複数の溝１３ｇが形成されることによ
って、隣り合う２つの溝１３ｇ同士の間の部分が凸部と
なっており、これにより、可動部材１１の吐出口４側の
先端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、第１の排
出促進構造としての凹凸部が設けられている。
【００９７】そして、このように可動部材１１に複数の
溝１３ｇが形成されることによって、発熱体１０上のイ
ンク中で発生した気泡によって可動部材１１が変位して
先端ストッパ１２ａの溝１３ａ側の面に近付いた際に、
先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域にある
インクが、それぞれの溝１３ｇを通してその領域の外部
に速やかに排出される。また、可動部材１１が先端スト
ッパ１２ａに接触または近接している状態から、先端ス
トッパ１２ａから離れる方向に可動部材１１が移動する
際にも、それぞれの溝１３ｇを通して先端ストッパ１２
ａと可動部材１１との間の領域にインクが供給される。
これにより、先端ストッパ１２ａに可動部材１１が近付
く際、および先端ストッパ１２ａから可動部材１１が離
れる際に、先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の
液層による、可動部材１１への抵抗が小さくなる。よっ
て、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに当接するまで
の時間、および可動部材１１が先端ストッパ１２ａから
離れて初期状態の位置に戻るまでの時間が短くなる。
溝１３ｇが形成されることによって、発熱体１０上のイ
ンク中で発生した気泡によって可動部材１１が変位して
先端ストッパ１２ａの溝１３ａ側の面に近付いた際に、
先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の領域にある
インクが、それぞれの溝１３ｇを通してその領域の外部
に速やかに排出される。また、可動部材１１が先端スト
ッパ１２ａに接触または近接している状態から、先端ス
トッパ１２ａから離れる方向に可動部材１１が移動する
際にも、それぞれの溝１３ｇを通して先端ストッパ１２
ａと可動部材１１との間の領域にインクが供給される。
これにより、先端ストッパ１２ａに可動部材１１が近付
く際、および先端ストッパ１２ａから可動部材１１が離
れる際に、先端ストッパ１２ａと可動部材１１との間の
液層による、可動部材１１への抵抗が小さくなる。よっ
て、可動部材１１が先端ストッパ１２ａに当接するまで
の時間、および可動部材１１が先端ストッパ１２ａから
離れて初期状態の位置に戻るまでの時間が短くなる。
【００９８】その結果、先端ストッパ１２ａに可動部材
１１が近付く際に液流路３内での上流側への液体の移動
が抑制され、また、可動部材１１の応答速度（応答周波
数）の低下が防止される。また、吐出口４からインクを
吐出させる動作において、液流路３内で上流側への液体
の回り込みが抑制されるので、メニスカスの振動も抑制
され、低駆動周波数から高駆動周波数まで安定した記録
品位が得られる。このインクの吐出動作において、発熱
体１０による発泡エネルギーのロスも小さくなる。さら
に、可動部材１１の応答周波数を高くして、液体吐出ヘ
ッドの駆動周波数を高めることができるので、高速の記
録が可能な液体吐出ヘッドを実現することができる。
１１が近付く際に液流路３内での上流側への液体の移動
が抑制され、また、可動部材１１の応答速度（応答周波
数）の低下が防止される。また、吐出口４からインクを
吐出させる動作において、液流路３内で上流側への液体
の回り込みが抑制されるので、メニスカスの振動も抑制
され、低駆動周波数から高駆動周波数まで安定した記録
品位が得られる。このインクの吐出動作において、発熱
体１０による発泡エネルギーのロスも小さくなる。さら
に、可動部材１１の応答周波数を高くして、液体吐出ヘ
ッドの駆動周波数を高めることができるので、高速の記
録が可能な液体吐出ヘッドを実現することができる。
【００９９】図２３〜図２５は、図２１および図２２に
示した可動部材１１の変形例について説明するための側
面図および平面図である。図２３（ａ）、図２４
（ａ）、図２５ｂ（ａ）が可動部材１１の先端面側から
見た側面図であり、図２３（ｂ）、図２４（ｂ）、図２
５ｂ（ｂ）が可動部材１１の先端部の平面図である。
示した可動部材１１の変形例について説明するための側
面図および平面図である。図２３（ａ）、図２４
（ａ）、図２５ｂ（ａ）が可動部材１１の先端面側から
見た側面図であり、図２３（ｂ）、図２４（ｂ）、図２
５ｂ（ｂ）が可動部材１１の先端部の平面図である。
【０１００】図２３（ａ）および図２３（ｂ）に示され
る可動部材１１の変形例では、可動部材１１の吐出口４
側の端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、可動部
材１１の先端面より離れた位置から、流路方向に沿って
共通液室６側に所定の位置まで延びた溝１３ｈと、可動
部材１１の先端面から流路方向に沿って、溝１３ｈと同
じ長さにまで延びた溝１３ｉとがそれぞれ複数形成され
ている。溝１３ｈと１３ｉは、液流路３の流路方向と垂
直な方向に交互に並んでいる。従って、図２３に示され
る可動部材１１では、隣り合う２つの溝１３ｈ，１３ｉ
同士の長手方向の位置が異なるように、溝１３ｈ，１３
ｉが互い違いに並んでいる。
る可動部材１１の変形例では、可動部材１１の吐出口４
側の端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、可動部
材１１の先端面より離れた位置から、流路方向に沿って
共通液室６側に所定の位置まで延びた溝１３ｈと、可動
部材１１の先端面から流路方向に沿って、溝１３ｈと同
じ長さにまで延びた溝１３ｉとがそれぞれ複数形成され
ている。溝１３ｈと１３ｉは、液流路３の流路方向と垂
直な方向に交互に並んでいる。従って、図２３に示され
る可動部材１１では、隣り合う２つの溝１３ｈ，１３ｉ
同士の長手方向の位置が異なるように、溝１３ｈ，１３
ｉが互い違いに並んでいる。
【０１０１】図２４（ａ）および図２４（ｂ）に示され
る可動部材１１の変形例では、可動部材１１の吐出口４
側の端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、液流路
３の流路方向と垂直な方向に延びる溝１３ｊが複数形成
されている。
る可動部材１１の変形例では、可動部材１１の吐出口４
側の端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、液流路
３の流路方向と垂直な方向に延びる溝１３ｊが複数形成
されている。
【０１０２】図２５（ａ）および図２５（ｂ）に示され
る可動部材１１の変形例では、可動部材１１の吐出口４
側の端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、マトリ
クス状に配置された、複数の島状の凸部１６が形成され
ている。これらの凸部１６は、可動部材１１のその面に
格子パターン状の溝１３ｅを形成することによってでき
たものである。従って、島状の凸部１６が複数形成され
ることによって、可動部材１１の吐出口４側の先端部に
おける先端ストッパ１２ａ側の面に凹凸部が設けられて
いる。
る可動部材１１の変形例では、可動部材１１の吐出口４
側の端部における先端ストッパ１２ａ側の面に、マトリ
クス状に配置された、複数の島状の凸部１６が形成され
ている。これらの凸部１６は、可動部材１１のその面に
格子パターン状の溝１３ｅを形成することによってでき
たものである。従って、島状の凸部１６が複数形成され
ることによって、可動部材１１の吐出口４側の先端部に
おける先端ストッパ１２ａ側の面に凹凸部が設けられて
いる。
【０１０３】また、この可動部材１１に、溝や凸部の代
わりに、第２の実施形態の液体吐出ヘッドにおいて先端
ストッパ１２ａ内に形成した液流路１４ａ，１４ｂのよ
うな、排出路としての液流路を設けてもよい。この場
合、可動部材１１に形成する液流路の一方の開口端を、
可動部材１１の先端ストッパ１２ａ側の面における先端
ストッパ１２ａと対向する位置に配置し、その液流路の
他方の開口端を、可動部材１１の吐出口４側の先端面、
可動部材１１の素子基板１側の面における支点１１ａ近
傍の部分、あるいは可動部材１１の先端ストッパ１２ａ
側の面における先端ストッパ１２ａよりも上流側の部分
等に配置すればよい。
わりに、第２の実施形態の液体吐出ヘッドにおいて先端
ストッパ１２ａ内に形成した液流路１４ａ，１４ｂのよ
うな、排出路としての液流路を設けてもよい。この場
合、可動部材１１に形成する液流路の一方の開口端を、
可動部材１１の先端ストッパ１２ａ側の面における先端
ストッパ１２ａと対向する位置に配置し、その液流路の
他方の開口端を、可動部材１１の吐出口４側の先端面、
可動部材１１の素子基板１側の面における支点１１ａ近
傍の部分、あるいは可動部材１１の先端ストッパ１２ａ
側の面における先端ストッパ１２ａよりも上流側の部分
等に配置すればよい。
【０１０４】さらに、第４の実施形態の液体吐出ヘッド
のように側方ストッパ１２ｂを設けた場合には、側方ス
トッパ１２ｂに溝１３ｆを形成せずに、可動部材１１の
側部、すなわち側方ストッパ１２ｂと接触する部分に、
排出路となる溝や液流路を形成してもよい。あるいは、
側方ストッパ１２ｂおよび可動部材１１の両方に、側方
ストッパ１２ｂと可動部材１１の間の領域のインクを排
出するための溝や液流路を形成してもよい。
のように側方ストッパ１２ｂを設けた場合には、側方ス
トッパ１２ｂに溝１３ｆを形成せずに、可動部材１１の
側部、すなわち側方ストッパ１２ｂと接触する部分に、
排出路となる溝や液流路を形成してもよい。あるいは、
側方ストッパ１２ｂおよび可動部材１１の両方に、側方
ストッパ１２ｂと可動部材１１の間の領域のインクを排
出するための溝や液流路を形成してもよい。
【０１０５】（その他の実施形態） ＜サイドシュータタイプ＞次に、本発明の液体吐出ヘッ
ドおよびその液体吐出原理を、互いに平行な２つの平面
上に発熱体と吐出口とが配置されて発熱体と吐出口とが
対面しているサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドに
適用したものについて図２６〜図２８を参照して説明す
る。図２６は、このサイドシュータタイプの液体吐出ヘ
ッドについて説明するための図である。図２６（ａ）
が、液体吐出ヘッドの流路方向に沿った断面図、図２６
（ｂ）が図２６（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図２６
（ｃ）が図２６（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
ドおよびその液体吐出原理を、互いに平行な２つの平面
上に発熱体と吐出口とが配置されて発熱体と吐出口とが
対面しているサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドに
適用したものについて図２６〜図２８を参照して説明す
る。図２６は、このサイドシュータタイプの液体吐出ヘ
ッドについて説明するための図である。図２６（ａ）
が、液体吐出ヘッドの流路方向に沿った断面図、図２６
（ｂ）が図２６（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図、図２６
（ｃ）が図２６（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【０１０６】図２６において、素子基板１上の発熱体１
０と、天板２に形成された吐出口４とが相対するように
配設されている。吐出口４は発熱体１０上を通る液流路
３と連通している。発熱体１０と液体との接する面の近
傍領域には気泡発生領域が存在する。そして素子基板１
上に２つの可動部材１１が支持され、各々の可動部材１
１は発熱体１０の中心を通る面に対して面対称となるよ
うに形成されており、各々の可動部材１１の自由端は発
熱体１０上で向き合うように位置している。また、各々
の可動部材１１は発熱体１０への投影面積を等しくして
おり、各々の可動部材１１の自由端同士は所望の寸法で
隔てられている。ここで、各可動部材１１は発熱体１０
の中心を通る面の分割壁で分割したと仮定した際、それ
ぞれの分割された発熱体１０の中心付近に可動部材１１
の自由端が位置するように設けられている。
０と、天板２に形成された吐出口４とが相対するように
配設されている。吐出口４は発熱体１０上を通る液流路
３と連通している。発熱体１０と液体との接する面の近
傍領域には気泡発生領域が存在する。そして素子基板１
上に２つの可動部材１１が支持され、各々の可動部材１
１は発熱体１０の中心を通る面に対して面対称となるよ
うに形成されており、各々の可動部材１１の自由端は発
熱体１０上で向き合うように位置している。また、各々
の可動部材１１は発熱体１０への投影面積を等しくして
おり、各々の可動部材１１の自由端同士は所望の寸法で
隔てられている。ここで、各可動部材１１は発熱体１０
の中心を通る面の分割壁で分割したと仮定した際、それ
ぞれの分割された発熱体１０の中心付近に可動部材１１
の自由端が位置するように設けられている。
【０１０７】天板２には各可動部材１１の変位をある範
囲で規制する先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１
２ｂが設けられている。各液流路３が連通した共通液室
６から吐出口４への流れにおいて、先端ストッパ１２ａ
を境に上流側に、液流路３と比較して相対的に流路抵抗
の低い低流路抵抗領域が設けられている。この領域にお
ける流路構造は液流路３よりも流路断面積が大きいこと
で、液体の移動に対し流路から受ける抵抗を小さくして
いる。先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面には、
液流路３の流路方向とほぼ平行な方向に延びる溝１３ａ
が複数形成され、側方ストッパ１２ｂの可動部材１１側
の面には、液流路３の流路方向に対してほぼ垂直な方向
に延びる溝１３ｆが複数形成されている。
囲で規制する先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１
２ｂが設けられている。各液流路３が連通した共通液室
６から吐出口４への流れにおいて、先端ストッパ１２ａ
を境に上流側に、液流路３と比較して相対的に流路抵抗
の低い低流路抵抗領域が設けられている。この領域にお
ける流路構造は液流路３よりも流路断面積が大きいこと
で、液体の移動に対し流路から受ける抵抗を小さくして
いる。先端ストッパ１２ａの可動部材１１側の面には、
液流路３の流路方向とほぼ平行な方向に延びる溝１３ａ
が複数形成され、側方ストッパ１２ｂの可動部材１１側
の面には、液流路３の流路方向に対してほぼ垂直な方向
に延びる溝１３ｆが複数形成されている。
【０１０８】このように溝１３ａ，１３ｆが形成されて
いることにより、上述したのと同様に可動部材１１が速
やかに変位するので、吐出動作における液流路３の上流
側へのインクの移動が抑制され、可動部材１１の応答速
度の低下が防止されている。図２７および図２８は、一
つの発熱体に対して一つの可動部材を設けた構成のサイ
ドシュータタイプの液体吐出ヘッドについて説明するた
めの図である。図２７には、各可動部材の変位をある範
囲で規制する先端ストッパが天板に設けられた液体吐出
ヘッドが示され、図２８には、その先端ストッパに加え
て側方ストッパが天板に設けられた液体吐出ヘッドが示
されている。図２７（ａ）および図２８（ａ）はそれぞ
れ、液体吐出ヘッドの流路方向に沿った断面図である。
図２７（ｂ）は、図２７（ａ）に示した液体吐出ヘッド
において、気泡発生領域内を満たす液体の一部が発熱体
によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡が最大に成長した
状態を示す断面図であり、図２８（ｂ）は、図２８
（ａ）に示した液体吐出ヘッドにおいて、気泡発生領域
内を満たす液体の一部が発熱体によって加熱され、膜沸
騰に伴う気泡が最大に成長した状態を示す断面図であ
る。
いることにより、上述したのと同様に可動部材１１が速
やかに変位するので、吐出動作における液流路３の上流
側へのインクの移動が抑制され、可動部材１１の応答速
度の低下が防止されている。図２７および図２８は、一
つの発熱体に対して一つの可動部材を設けた構成のサイ
ドシュータタイプの液体吐出ヘッドについて説明するた
めの図である。図２７には、各可動部材の変位をある範
囲で規制する先端ストッパが天板に設けられた液体吐出
ヘッドが示され、図２８には、その先端ストッパに加え
て側方ストッパが天板に設けられた液体吐出ヘッドが示
されている。図２７（ａ）および図２８（ａ）はそれぞ
れ、液体吐出ヘッドの流路方向に沿った断面図である。
図２７（ｂ）は、図２７（ａ）に示した液体吐出ヘッド
において、気泡発生領域内を満たす液体の一部が発熱体
によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡が最大に成長した
状態を示す断面図であり、図２８（ｂ）は、図２８
（ａ）に示した液体吐出ヘッドにおいて、気泡発生領域
内を満たす液体の一部が発熱体によって加熱され、膜沸
騰に伴う気泡が最大に成長した状態を示す断面図であ
る。
【０１０９】なお、図２８に示されるそれぞれの液体吐
出ヘッドでは、液流路方向の上流側への液体の慣性力を
抑制する効果を高めるために、液流路３内に設けられた
側方ストッパ１２ｂの、可動部材１１との接触面が、液
流路３の下流側に向かって素子基板１から離れる方向に
傾斜した傾斜部１２ｄとなっている。この傾斜部１２ｄ
により、可動部材１１が上昇したときに可動部材１１
の、先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂへの
接触状態をより良好なものとすることができる。これに
よって、発泡時の上流側へのインク流がさらに減少し、
メニスカスの振動を抑制する効果がより高くなる。
出ヘッドでは、液流路方向の上流側への液体の慣性力を
抑制する効果を高めるために、液流路３内に設けられた
側方ストッパ１２ｂの、可動部材１１との接触面が、液
流路３の下流側に向かって素子基板１から離れる方向に
傾斜した傾斜部１２ｄとなっている。この傾斜部１２ｄ
により、可動部材１１が上昇したときに可動部材１１
の、先端ストッパ１２ａおよび側方ストッパ１２ｂへの
接触状態をより良好なものとすることができる。これに
よって、発泡時の上流側へのインク流がさらに減少し、
メニスカスの振動を抑制する効果がより高くなる。
【０１１０】次に、図２７（ａ）および図２７（ｂ）に
示したそれぞれの液体吐出ヘッドの構造による特徴的な
作用効果について図２７（ｂ）および図２８（ｂ）を参
照して説明する。
示したそれぞれの液体吐出ヘッドの構造による特徴的な
作用効果について図２７（ｂ）および図２８（ｂ）を参
照して説明する。
【０１１１】図２７（ａ）および図２７（ｂ）のそれぞ
れに示す状態では、発熱体１０上の気泡発生領域内を満
たす液体の一部が発熱体１０によって加熱され、膜沸騰
に伴う気泡４０が最大に成長している。このとき、気泡
４０の発生に基づく圧力により液流路３内の液体が吐出
口４に向かう方向に移動し、気泡４０の成長により各可
動部材１１が変位し、吐出口４から吐出滴６６が飛び出
そうとしている。ここで、上流方向への液体の移動は低
流路抵抗領域によって大きな流れとなるが、可動部材１
１が先端ストッパ１２ａに接近または接触するまで変位
すると、可動部材１１のそれ以上の変位が先端ストッパ
１２ａによって規制されるため、上流方向への液体の移
動もそこで大きく制限される。同時に気泡４０の上流側
への成長も可動部材１１で制限される。しかしながら、
図２７（ｂ）では、上流方向への液体の移動力は大きい
ため、可動部材１１で成長を制限された気泡４０の一部
は、液流路３を形成する側壁７と可動部材１１の側面と
の間隙を通り、可動部材１１の上面側に隆起している。
すなわち、可動部材１１の上面側へと回り込む隆起気泡
４１が形成されている。一方、図２８（ｂ）では、側方
ストッパ１２ｂにより可動部材１１と側壁７とのクリア
ランスが遮断されているため、可動部材１１の上面側へ
と回り込む隆起気泡が形成されていない。
れに示す状態では、発熱体１０上の気泡発生領域内を満
たす液体の一部が発熱体１０によって加熱され、膜沸騰
に伴う気泡４０が最大に成長している。このとき、気泡
４０の発生に基づく圧力により液流路３内の液体が吐出
口４に向かう方向に移動し、気泡４０の成長により各可
動部材１１が変位し、吐出口４から吐出滴６６が飛び出
そうとしている。ここで、上流方向への液体の移動は低
流路抵抗領域によって大きな流れとなるが、可動部材１
１が先端ストッパ１２ａに接近または接触するまで変位
すると、可動部材１１のそれ以上の変位が先端ストッパ
１２ａによって規制されるため、上流方向への液体の移
動もそこで大きく制限される。同時に気泡４０の上流側
への成長も可動部材１１で制限される。しかしながら、
図２７（ｂ）では、上流方向への液体の移動力は大きい
ため、可動部材１１で成長を制限された気泡４０の一部
は、液流路３を形成する側壁７と可動部材１１の側面と
の間隙を通り、可動部材１１の上面側に隆起している。
すなわち、可動部材１１の上面側へと回り込む隆起気泡
４１が形成されている。一方、図２８（ｂ）では、側方
ストッパ１２ｂにより可動部材１１と側壁７とのクリア
ランスが遮断されているため、可動部材１１の上面側へ
と回り込む隆起気泡が形成されていない。
【０１１２】上記の膜沸騰の後に気泡４０の収縮が開始
された場合、この時点では液体の上流方向への力が大き
く残るため、可動部材１１は未だ先端ストッパ１２ａに
接触した状態であり、気泡４０の収縮の多くは吐出口４
から上流方向への液移動を生じさせる。従って、メニス
カスはこの時点で吐出口４から液流路３内に大きく引き
込まれ、吐出液滴６６と繋がっている液柱を強い力です
ばやく切り離す。その結果、吐出口４の外側にとり残さ
れる液滴すなわちサテライトが少なくなる。
された場合、この時点では液体の上流方向への力が大き
く残るため、可動部材１１は未だ先端ストッパ１２ａに
接触した状態であり、気泡４０の収縮の多くは吐出口４
から上流方向への液移動を生じさせる。従って、メニス
カスはこの時点で吐出口４から液流路３内に大きく引き
込まれ、吐出液滴６６と繋がっている液柱を強い力です
ばやく切り離す。その結果、吐出口４の外側にとり残さ
れる液滴すなわちサテライトが少なくなる。
【０１１３】消泡工程がほぼ終了すると、低流路抵抗領
域では液体の上流方向の移動力に対し可動部材１１の反
発力（復元力）が勝り、可動部材１１の下方変位と、そ
れに伴う低流路抵抗領域での下流方向への流れとが開始
される。これと同時に、低流路抵抗領域での下流方向へ
の流れは流路抵抗が小さい為、急速に大きな流れとなっ
て先端ストッパ１２ａ近傍の部分を介して液流路３へ流
れ込む。
域では液体の上流方向の移動力に対し可動部材１１の反
発力（復元力）が勝り、可動部材１１の下方変位と、そ
れに伴う低流路抵抗領域での下流方向への流れとが開始
される。これと同時に、低流路抵抗領域での下流方向へ
の流れは流路抵抗が小さい為、急速に大きな流れとなっ
て先端ストッパ１２ａ近傍の部分を介して液流路３へ流
れ込む。
【０１１４】このような形態の液体吐出ヘッドでは、吐
出用液体を低流路抵抗領域より供給することで、リフィ
ル性をより高速に高めている。また、低流路抵抗領域に
隣接する共通液室がさらに流路抵抗を小さくしているの
で、さらに高速リフィルを可能にしている。
出用液体を低流路抵抗領域より供給することで、リフィ
ル性をより高速に高めている。また、低流路抵抗領域に
隣接する共通液室がさらに流路抵抗を小さくしているの
で、さらに高速リフィルを可能にしている。
【０１１５】さらに、気泡４０の消泡工程において、側
方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間隙が低流路抵抗
領域から発熱体１０上の気泡発生領域への液流を促進さ
せると共に、可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離
間して生じる、可動部材１１の表面を伝わる急速な液体
供給と相まって、消泡を速やかに完了させる。
方ストッパ１２ｂと可動部材１１との間隙が低流路抵抗
領域から発熱体１０上の気泡発生領域への液流を促進さ
せると共に、可動部材１１が先端ストッパ１２ａから離
間して生じる、可動部材１１の表面を伝わる急速な液体
供給と相まって、消泡を速やかに完了させる。
【０１１６】また、このような液体吐出ヘッドにおいて
も、先端ストッパ１２ａに溝１３ａが形成され、図２８
の液体吐出ヘッドにおいては側方ストッパ１２ｂにも溝
１３ｆが形成されていることにより、上述したのと同様
に可動部材１１が速やかに変位するので、吐出動作にお
ける液流路３の上流側へのインクの移動が抑制され、可
動部材１１の応答速度の低下が防止されている。
も、先端ストッパ１２ａに溝１３ａが形成され、図２８
の液体吐出ヘッドにおいては側方ストッパ１２ｂにも溝
１３ｆが形成されていることにより、上述したのと同様
に可動部材１１が速やかに変位するので、吐出動作にお
ける液流路３の上流側へのインクの移動が抑制され、可
動部材１１の応答速度の低下が防止されている。
【０１１７】本発明の液体吐出ヘッドは、上述したそれ
ぞれの実施形態のものや、図２６〜図２８に示したサイ
ドシュータタイプのものに限られるものではなく、上述
したように可動部材が変位する際に、その可動部材の変
位を規制する規制部材と可動部材との間の液層による可
動部材への抵抗を小さくなるような構造を有するもので
あれば本発明に含まれるものである。従って、本発明の
液体吐出ヘッドは、例えば、上述したような効果が得ら
れるように可動部材および規制部材のそれぞれに溝が形
成されたものなど、上述したそれぞれの液体吐出ヘッド
の特徴を組み合わせて構成されたものも当然含んでい
る。
ぞれの実施形態のものや、図２６〜図２８に示したサイ
ドシュータタイプのものに限られるものではなく、上述
したように可動部材が変位する際に、その可動部材の変
位を規制する規制部材と可動部材との間の液層による可
動部材への抵抗を小さくなるような構造を有するもので
あれば本発明に含まれるものである。従って、本発明の
液体吐出ヘッドは、例えば、上述したような効果が得ら
れるように可動部材および規制部材のそれぞれに溝が形
成されたものなど、上述したそれぞれの液体吐出ヘッド
の特徴を組み合わせて構成されたものも当然含んでい
る。
【０１１８】＜可動部材＞上述したそれぞれの実施形態
において、可動部材は厚さ５μｍの窒化シリコンで構成
したが、これに限られることなく可動部材を構成する材
質としては吐出液に対して耐溶剤性があり、可動部材と
して良好に動作するための弾性を有しているものであれ
ばよい。
において、可動部材は厚さ５μｍの窒化シリコンで構成
したが、これに限られることなく可動部材を構成する材
質としては吐出液に対して耐溶剤性があり、可動部材と
して良好に動作するための弾性を有しているものであれ
ばよい。
【０１１９】可動部材の材料としては、耐久性の高い、
銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニュウム、白
金、タンタル、ステンレス、りん青銅等の金属、および
その合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、ス
チレン等のニトリル基を有する樹脂、ポリアミド等のア
ミド基を有する樹脂、ポリカーボネイト等のカルボキシ
ル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を
持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、
そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐イ
ンク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケ
ル、ステンレス、チタン等の金属、これらの合金および
耐インク性に関してはこれらを表面にコーティングした
もの若しくは、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、
ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエー
テルエーテルケトン等のケトン基を有する樹脂、ポリイ
ミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂等の水
酸基を有する樹脂、ポリエチレン等のエチル基を有する
樹脂、ポリプロピレン等のアルキル基を持つ樹脂、エポ
キシ樹脂等のエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂等の
アミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂等のメチロール基を
持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素、チッ化
珪素等のセラミックおよびその化合物が望ましい。本発
明における可動部材としてはμｍオーダーの厚さを対象
にしている。
銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニュウム、白
金、タンタル、ステンレス、りん青銅等の金属、および
その合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、ス
チレン等のニトリル基を有する樹脂、ポリアミド等のア
ミド基を有する樹脂、ポリカーボネイト等のカルボキシ
ル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を
持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、
そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐イ
ンク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケ
ル、ステンレス、チタン等の金属、これらの合金および
耐インク性に関してはこれらを表面にコーティングした
もの若しくは、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、
ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエー
テルエーテルケトン等のケトン基を有する樹脂、ポリイ
ミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂等の水
酸基を有する樹脂、ポリエチレン等のエチル基を有する
樹脂、ポリプロピレン等のアルキル基を持つ樹脂、エポ
キシ樹脂等のエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂等の
アミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂等のメチロール基を
持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素、チッ化
珪素等のセラミックおよびその化合物が望ましい。本発
明における可動部材としてはμｍオーダーの厚さを対象
にしている。
【０１２０】次に、発熱体と可動部材の配置関係につい
て説明する。発熱体と可動部材の最適な配置によって、
発熱体による発泡時の液の流れを適正に制御して有効に
利用することが可能となる。
て説明する。発熱体と可動部材の最適な配置によって、
発熱体による発泡時の液の流れを適正に制御して有効に
利用することが可能となる。
【０１２１】熱等のエネルギーをインクに与えること
で、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行うインクジェット記録方法、いわゆ
るバブルジェット記録方法の従来技術においては、図２
９に示すように、発熱体面積とインク吐出量は比例関係
にあるが、インク吐出に寄与しない非発泡有効領域Ｓが
存在していることがわかる。また、発熱体上のコゲの様
子から、この非発泡有効領域Ｓが発熱体の周囲に存在し
ていることがわかる。これらの結果から、発熱体周囲の
約４μｍ幅は、発泡に関与されていないとされている。
で、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行うインクジェット記録方法、いわゆ
るバブルジェット記録方法の従来技術においては、図２
９に示すように、発熱体面積とインク吐出量は比例関係
にあるが、インク吐出に寄与しない非発泡有効領域Ｓが
存在していることがわかる。また、発熱体上のコゲの様
子から、この非発泡有効領域Ｓが発熱体の周囲に存在し
ていることがわかる。これらの結果から、発熱体周囲の
約４μｍ幅は、発泡に関与されていないとされている。
【０１２２】従って、発泡圧を有効利用するためには、
発熱体の周囲から約４μｍ以上内側の発泡有効領域の直
上が可動部材に対し有効に作用する領域であるが、本発
明の場合、気泡発生領域のほぼ中央領域（実際には中央
から液の流れ方向に±約１０μｍの範囲）の上流側と下
流側の気泡の液路内の液流に対する作用を独立的に作用
せしめる段階と、総合的に作用せしめる段階とを区分せ
しめることに着目し、該中央領域より上流側部分のみが
可動部材に対面するように、可動部材を配置するのが極
めて重要であると、言える。本実施形態においては、発
泡有効領域を発熱体周囲から約４μｍ以上内側とした
が、発熱体の種類や形成方法によっては、これに限定さ
れるものではない。
発熱体の周囲から約４μｍ以上内側の発泡有効領域の直
上が可動部材に対し有効に作用する領域であるが、本発
明の場合、気泡発生領域のほぼ中央領域（実際には中央
から液の流れ方向に±約１０μｍの範囲）の上流側と下
流側の気泡の液路内の液流に対する作用を独立的に作用
せしめる段階と、総合的に作用せしめる段階とを区分せ
しめることに着目し、該中央領域より上流側部分のみが
可動部材に対面するように、可動部材を配置するのが極
めて重要であると、言える。本実施形態においては、発
泡有効領域を発熱体周囲から約４μｍ以上内側とした
が、発熱体の種類や形成方法によっては、これに限定さ
れるものではない。
【０１２３】さらに、前述した実質的密閉空間を良好に
形成するために、待機状態における可動部材と発熱体の
距離は１０μｍ以下とするのが好ましい。
形成するために、待機状態における可動部材と発熱体の
距離は１０μｍ以下とするのが好ましい。
【０１２４】＜記録装置＞図３０は、本発明の液体吐出
ヘッドを搭載し、吐出液体としてインクを用いた液体吐
出装置が組み込まれて構成されたインクジェット記録装
置を示す斜視図である。キャリッジＨＣは、インクを収
容する液体タンク部９０と、液体吐出装置である記録ヘ
ッド部２００とが着脱可能なヘッドカートリッジを搭載
しており、被記録媒体搬送手段で搬送される記録紙等の
被記録媒体１５０の幅方向に往復移動する。
ヘッドを搭載し、吐出液体としてインクを用いた液体吐
出装置が組み込まれて構成されたインクジェット記録装
置を示す斜視図である。キャリッジＨＣは、インクを収
容する液体タンク部９０と、液体吐出装置である記録ヘ
ッド部２００とが着脱可能なヘッドカートリッジを搭載
しており、被記録媒体搬送手段で搬送される記録紙等の
被記録媒体１５０の幅方向に往復移動する。
【０１２５】不図示の駆動信号供給手段からキャリッジ
ＨＣ上の液体吐出手段に駆動信号が供給されると、この
信号に応じて記録ヘッド部から被記録媒体に対してイン
ク（記録液体）が吐出される。
ＨＣ上の液体吐出手段に駆動信号が供給されると、この
信号に応じて記録ヘッド部から被記録媒体に対してイン
ク（記録液体）が吐出される。
【０１２６】また、本実施形態の記録装置においては、
被記録媒体搬送手段とキャリッジを駆動するための駆動
源としてのモータ１１１、駆動源からの動力をキャリッ
ジに伝えるためのギア１１２，１１３、キャリッジ軸１
１５等を有している。この記録装置およびこの記録装置
で行う液体吐出方法によって、各種の被記録媒体に対し
て液体を吐出することで良好な画像の記録物を得ること
ができた。
被記録媒体搬送手段とキャリッジを駆動するための駆動
源としてのモータ１１１、駆動源からの動力をキャリッ
ジに伝えるためのギア１１２，１１３、キャリッジ軸１
１５等を有している。この記録装置およびこの記録装置
で行う液体吐出方法によって、各種の被記録媒体に対し
て液体を吐出することで良好な画像の記録物を得ること
ができた。
【０１２７】図３１は、本発明の液体吐出装置によりイ
ンクジェット式記録を行なうための記録装置全体のブロ
ック図である。
ンクジェット式記録を行なうための記録装置全体のブロ
ック図である。
【０１２８】記録装置は、ホストコンピュータ３００よ
り記録情報を制御信号として受ける。記録情報は記録装
置内部の入力インターフェイス３０１に一時保存される
と同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、
ヘッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ（中央処理装
置）３０２に入力される。ＣＰＵ３０２はＲＯＭ（リー
ド・オンリー・メモリー）３０３に保存されている制御
プログラムに基づき、前記ＣＰＵ３０２に入力されたデ
ータをＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリー）３０４
等の周辺ユニットを用いて処理し、記録するデータ（画
像データ）に変換する。
り記録情報を制御信号として受ける。記録情報は記録装
置内部の入力インターフェイス３０１に一時保存される
と同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、
ヘッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ（中央処理装
置）３０２に入力される。ＣＰＵ３０２はＲＯＭ（リー
ド・オンリー・メモリー）３０３に保存されている制御
プログラムに基づき、前記ＣＰＵ３０２に入力されたデ
ータをＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリー）３０４
等の周辺ユニットを用いて処理し、記録するデータ（画
像データ）に変換する。
【０１２９】また、ＣＰＵ３０２は前記画像データを記
録用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに
同期して記録用紙および記録ヘッド部を搭載したキャリ
ッジＨＣを移動する駆動用モータ３０６を駆動するため
の駆動データを作る。画像データおよびモータ駆動デー
タは、各々ヘッドドライバ３０７と、モータドライバ３
０５を介し、記録ヘッド部２００および駆動用モータ３
０６に伝達され、それぞれ制御されたタイミングで駆動
され画像を形成する。
録用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに
同期して記録用紙および記録ヘッド部を搭載したキャリ
ッジＨＣを移動する駆動用モータ３０６を駆動するため
の駆動データを作る。画像データおよびモータ駆動デー
タは、各々ヘッドドライバ３０７と、モータドライバ３
０５を介し、記録ヘッド部２００および駆動用モータ３
０６に伝達され、それぞれ制御されたタイミングで駆動
され画像を形成する。
【０１３０】このような記録装置に用いられ、インク等
の液体の付与が行われる被記録媒体１５０としては、各
種の紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板等
に用いられるプラスチック材、布帛、アルミニウムや銅
等の金属材、牛皮、豚皮、人工皮革等の皮革材、木、合
板等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポン
ジ等の三次元構造体等を対象とすることができる。
の液体の付与が行われる被記録媒体１５０としては、各
種の紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板等
に用いられるプラスチック材、布帛、アルミニウムや銅
等の金属材、牛皮、豚皮、人工皮革等の皮革材、木、合
板等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポン
ジ等の三次元構造体等を対象とすることができる。
【０１３１】また、この記録装置として、各種の紙やＯ
ＨＰシート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパ
クトディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチ
ック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、
皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木
材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミック
ス用記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して
記録を行う記録装置、または布帛に記録を行う捺染装置
等をも含むものである。
ＨＰシート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパ
クトディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチ
ック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、
皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木
材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミック
ス用記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して
記録を行う記録装置、または布帛に記録を行う捺染装置
等をも含むものである。
【０１３２】また、これらの液体吐出装置に用いる吐出
液としては、それぞれの被記録媒体や記録条件に合わせ
た液体を用いればよい。
液としては、それぞれの被記録媒体や記録条件に合わせ
た液体を用いればよい。
【０１３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、液流路内
での可動部材の変位を所望の範囲に規制する規制部とそ
の可動部材とが実質的に接触することで、可動部材と規
制部とにより液流路の上流側と下流側を分断し、略密閉
状態を作る、可動部材および規制部の互いの面のうち少
なくともいずれか一方に凹凸部が形成されていることに
より、規制部に可動部材が近付く際に、規制部と可動部
材との間の液層による可動部材への抵抗が小さくなり、
規制部に可動部材が接触するまでの時間が短くなる。よ
って、吐出動作において液流路内でのその流路方向上流
側への液体の移動を抑制することができ、発熱体による
発泡エネルギーのロスを小さくすることができるという
効果がある。また、可動部材が規制部から離れて初期状
態の位置に戻るまでの時間も短くなり、可動部材の応答
速度（応答周波数）の低下を防止することができるとい
う効果がある。さらに、吐出口から液体を吐出させる動
作において、メニスカスの振動も抑制され、低駆動周波
数から高駆動周波数まで安定した記録品位を得ることが
できるという効果がある。
での可動部材の変位を所望の範囲に規制する規制部とそ
の可動部材とが実質的に接触することで、可動部材と規
制部とにより液流路の上流側と下流側を分断し、略密閉
状態を作る、可動部材および規制部の互いの面のうち少
なくともいずれか一方に凹凸部が形成されていることに
より、規制部に可動部材が近付く際に、規制部と可動部
材との間の液層による可動部材への抵抗が小さくなり、
規制部に可動部材が接触するまでの時間が短くなる。よ
って、吐出動作において液流路内でのその流路方向上流
側への液体の移動を抑制することができ、発熱体による
発泡エネルギーのロスを小さくすることができるという
効果がある。また、可動部材が規制部から離れて初期状
態の位置に戻るまでの時間も短くなり、可動部材の応答
速度（応答周波数）の低下を防止することができるとい
う効果がある。さらに、吐出口から液体を吐出させる動
作において、メニスカスの振動も抑制され、低駆動周波
数から高駆動周波数まで安定した記録品位を得ることが
できるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドにつ
いて説明するための断面図である。
いて説明するための断面図である。
【図２】図１に基づいて説明した液体吐出ヘッドの吐出
動作について説明するための図である。
動作について説明するための図である。
【図３】図１に基づいて説明した液体吐出ヘッドの吐出
動作について説明するための図である。
動作について説明するための図である。
【図４】図１に示した先端ストッパを素子基板側から見
た平面図である。
た平面図である。
【図５】図１に示した先端ストッパの変形例を示す平面
図である。
図である。
【図６】図１に示した先端ストッパの変形例を示す平面
図である。
図である。
【図７】図１に示した先端ストッパの変形例を示す平面
図である。
図である。
【図８】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドにつ
いて説明するための断面図である。
いて説明するための断面図である。
【図９】図８のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図１０】図８のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図１１】図８〜図１０に基づいて説明した液体吐出ヘ
ッドの変形例について説明するための断面図である。
ッドの変形例について説明するための断面図である。
【図１２】図１１のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図１３】図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図１４】本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドに
ついて説明するための断面図である。
ついて説明するための断面図である。
【図１５】図１３に基づいて説明した液体吐出ヘッドの
吐出動作について説明するための図である。
吐出動作について説明するための図である。
【図１６】図１３に基づいて説明した液体吐出ヘッドの
吐出動作について説明するための図である。
吐出動作について説明するための図である。
【図１７】本発明の第４の実施形態の液体吐出ヘッドに
ついて説明するための断面図である。
ついて説明するための断面図である。
【図１８】図１７に基づいて説明した液体吐出ヘッドの
吐出動作について説明するための図である。
吐出動作について説明するための図である。
【図１９】図１７に基づいて説明した液体吐出ヘッドの
吐出動作について説明するための図である。
吐出動作について説明するための図である。
【図２０】本発明の第５の実施形態に係る液体吐出ヘッ
ドの、流路方向に沿った断面図である。
ドの、流路方向に沿った断面図である。
【図２１】本発明の第６の実施形態に係る液体吐出ヘッ
ドの、流路方向に沿った断面図である。
ドの、流路方向に沿った断面図である。
【図２２】図２１に示した可動部材の先端部の側面図お
よび平面図である。
よび平面図である。
【図２３】図２１および図２２に示した可動部材の変形
例について説明するための側面図および平面図である。
例について説明するための側面図および平面図である。
【図２４】図２１および図２２に示した可動部材の変形
例について説明するための側面図および平面図である。
例について説明するための側面図および平面図である。
【図２５】図２１および図２２に示した可動部材の変形
例について説明するための側面図および平面図である。
例について説明するための側面図および平面図である。
【図２６】本発明の液体吐出ヘッドおよびその液体吐出
原理が適用されたサイドシュータタイプの液体吐出ヘッ
ドについて説明するための図である。
原理が適用されたサイドシュータタイプの液体吐出ヘッ
ドについて説明するための図である。
【図２７】一つの発熱体に対して一つの可動部材を設け
た構成のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドについ
て説明するための図である。
た構成のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドについ
て説明するための図である。
【図２８】一つの発熱体に対して一つの可動部材を設け
た構成のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドについ
て説明するための図である。
た構成のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドについ
て説明するための図である。
【図２９】発熱体面積とインク吐出量との相対関係を示
す図である。
す図である。
【図３０】本発明の液体吐出ヘッドを搭載し、吐出液体
としてインクを用いた液体吐出装置が組み込まれて構成
されたインクジェット記録装置を示す斜視図である。
としてインクを用いた液体吐出装置が組み込まれて構成
されたインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図３１】本発明の液体吐出装置によりインクジェット
式記録を行なうための記録装置全体のブロック図であ
る。
式記録を行なうための記録装置全体のブロック図であ
る。
１ 素子基板 ２ 天板 ３、３３ 液流路 ４、３４ 吐出口 ６、３６ 共通液室 ７ 側壁 ８ オリフィスプレート １０ 発熱体 １１ 可動部材 １１ａ 支点 １１ｂ 自由端 １１ｃ 凸部 １２ａ、４２ａ 先端ストッパ １２ｂ、４２ｂ 側方ストッパ １２ｄ 傾斜部 １３ａ〜１３ｊ、４３ａ、４３ｆ 溝 １４ａ、１４ｂ 液流路 １５、１６ 凸部 ３２ 天板部 ３２ａ 溝付き天板 ３８ オリフィスプレート部 ４０ 気泡 ４１ 隆起気泡 ６６ 吐出滴 ９０ 液体タンク部 １１１ モータ １１２、１１３ ギア １１５ キャリッジ軸 １５０ 被記録媒体 ２００ 記録ヘッド部 ３００ ホストコンピュータ ３０１ 入出力インターフェース ３０２ ＣＰＵ ３０３ ＲＯＭ ３０４ ＲＡＭ ３０５ モータドライバ ３０６ 駆動用モータ ３０７ ヘッドドライバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 須釜 定之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 森 雅生 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA01 FA03 FA10 HA19 2C057 AF04 AF51 AG30 AG46 AN01 BA03 BA13
Claims (22)
- 【請求項１】 液体中に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生する発熱体と、前記液体を吐出する部分で
ある吐出口と、該吐出口に連通すると共に、前記液体中
に気泡を発生させるための気泡発生領域を有する液流路
と、前記気泡発生領域に設けられ、前記気泡の成長に伴
い変位する可動部材と、前記可動部材の変位を所望の範
囲に規制する規制部とを備え、前記発熱体による前記気
泡発生時のエネルギーにより前記吐出口から前記液体を
吐出する液体吐出ヘッドであって、 前記規制部は前記液流路の前記気泡発生領域に対向して
設けられ、前記気泡の成長により変位した前記可動部材
と前記規制部とが実質的に接触することで、前記可動部
材と前記規制部とにより前記液流路の上流側と下流側を
分断し、略密閉状態を作る、前記可動部材および前記規
制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に凹凸部
が設けられている液体吐出ヘッド。 - 【請求項２】 液体中に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生する発熱体と、前記液体を吐出する部分で
ある吐出口と、該吐出口に連通すると共に、前記液体中
に気泡を発生させるための気泡発生領域を有する液流路
と、前記気泡発生領域に設けられ、前記気泡の成長に伴
い変位する可動部材と、前記可動部材の変位を所望の範
囲に規制する規制部とを備え、前記発熱体による前記気
泡発生時のエネルギーにより前記吐出口から前記液体を
吐出する液体吐出ヘッドであって、 前記規制部は前記液流路の前記気泡発生領域に対向して
設けられ、前記気泡の成長により変位した前記可動部材
と前記規制部とが実質的に接触することで、前記可動部
材と前記規制部とにより前記液流路の上流側と下流側を
分断し、略密閉状態を作る、前記可動部材および前記規
制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に、前記
可動部材と前記規制部とが接触する前の、前記可動部材
と前記規制部との間の領域に存在する液体を該領域の外
部に排出する第１の排出促進構造を有する液体吐出ヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記第１の排出促進構造は、前記気泡の
成長により変位した前記可動部材と前記規制部とが実質
的に接触する、前記可動部材および前記規制部の互いの
面のうち少なくともいずれか一方に設けられた凹凸部で
ある請求項２に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４】 前記凹凸部は、前記凹凸部が設けられる
面に溝が形成されることによって構成されている請求項
１または３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５】 前記凹凸部の形状が櫛歯状になっている
請求項１または３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項６】 櫛歯状の前記凹凸部は、前記凹凸部が設
けられる面に、前記液流路の流路方向に延びる複数の溝
が形成されることにより構成されている請求項５に記載
の液体吐出ヘッド。 - 【請求項７】 前記複数の溝の長さが同じであり、隣り
合う２つの前記溝同士の長手方向の位置が異なるように
前記溝が前記液流路の流路方向に対して垂直な方向に互
い違いに並んでいる請求項６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項８】 前記凹凸部は、前記凹凸部が設けられる
面に島状の凸部が形成されることにより構成されている
請求項１または３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項９】 前記凹凸部の凹部が穴であり、前記凹凸
部が設けられた面とは異なる面に、前記穴の開口端が形
成されている請求項１または３に記載の液体吐出ヘッ
ド。 - 【請求項１０】 前記気泡の成長に伴い変位した前記可
動部材の側部に少なくとも一部が実質的に接触するサイ
ド規制部をさらに有する請求項１〜９のいずれか１項に
記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１１】 前記気泡の成長により変位した前記可
動部材と前記サイド規制部とが実質的に接触する、前記
可動部材および前記サイド規制部の互いの面のうち少な
くともいずれか一方に、前記可動部材と前記サイド規制
部とが接触する前の、前記可動部材と前記サイド規制部
との間の領域に存在する液体を該領域の外部に排出する
第２の排出促進構造をさらに有する請求項１０に記載の
液体吐出ヘッド。 - 【請求項１２】 前記第２の排出促進構造は、前記気泡
の成長により変位した前記可動部材と前記サイド規制部
とが実質的に接触する、前記可動部材および前記サイド
規制部の互いの面のうち少なくともいずれか一方に設け
られた凹凸部である請求項１１に記載の液体吐出ヘッ
ド。 - 【請求項１３】 前記凹凸部は、前記凹凸部が設けられ
る面に溝が形成されることによって構成されている請求
項１２に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１４】 前記凹凸部の形状が櫛歯状になってい
る請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１５】 櫛歯状の前記凹凸部は、前記凹凸部が
設けられる面に複数の溝が形成されることにより構成さ
れている請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１６】 隣り合う２つの前記溝同士の長手方向
の位置が異なるように、前記溝が互い違いに並んでいる
請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１７】 前記凹凸部は、前記凹凸部が設けられ
る面に島状の凸部が形成されることにより構成されてい
る請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１８】 前記凹凸部の凹部が穴であり、前記凹
凸部が設けられた面とは異なる面に、前記穴の開口端が
形成されている請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１９】 請求項１〜１８のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液
体を保持する液体容器とを有するヘッドカートリッジ。 - 【請求項２０】 請求項１〜１８のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐出
させるための駆動信号を供給する駆動信号供給手段とを
有する液体吐出装置。 - 【請求項２１】 請求項１〜１８のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出された
液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段
とを有する液体吐出装置。 - 【請求項２２】 前記液体吐出ヘッドから液体を吐出し
て被記録媒体に前記液体を付着させることで記録を行う
ものである請求項２０または２１に記載の液体吐出装
置。
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|---|---|---|---|
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| US09/625,845 US6439701B1 (en) | 1999-07-27 | 2000-07-26 | Liquid discharge head, head cartridge and liquid discharge apparatus |
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|---|---|---|---|
| JP11212906A JP2001038908A (ja) | 1999-07-27 | 1999-07-27 | 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
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ID=16630252
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| EP (1) | EP1072414A3 (ja) |
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-
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- 1999-07-27 JP JP11212906A patent/JP2001038908A/ja active Pending
-
2000
- 2000-07-26 US US09/625,845 patent/US6439701B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-26 EP EP00116018A patent/EP1072414A3/en not_active Withdrawn
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