JP2008055643A - 記録ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】吸引時に高い圧力をかけてもノズル下面を閉塞することなく、安定して液室内から泡や増粘したインクを除去できるメンテナンス性に優れた記録ヘッドを提供する。
【解決手段】熱機械アクチュエータを用いて液室から液滴を吐出する記録ヘッドにおいて、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面に段差を形成する。前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側に突出する突出体により形成されてもよいし、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側とは反対側に窪んだ凹状溝により形成されてもよい。あるいは、前記液室を画定する壁であって、前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面に段差を形成してもよい。
【選択図】図1
【解決手段】熱機械アクチュエータを用いて液室から液滴を吐出する記録ヘッドにおいて、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面に段差を形成する。前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側に突出する突出体により形成されてもよいし、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側とは反対側に窪んだ凹状溝により形成されてもよい。あるいは、前記液室を画定する壁であって、前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面に段差を形成してもよい。
【選択図】図1
Description
本発明は、記録ヘッドに関し、より詳細には、熱機械アクチュエータによりインクを吐出し、記録を行うインクジェット記録ヘッドに関する。
インクジェット記録装置に用いられる記録ヘッドのインク吐出方式には、熱エネルギーをインクに与えて気泡を発生させる方式、圧電素子による電気機械的アクチュエータを用いた方式などが知られており、実用化されてきた。また、近年では、熱機械的アクチュエータを用いた方式も加工の容易性と、インク組織の自由度から開発が進められている。
特許文献1には、片持ち梁構造の発熱層と誘電体層の2層からなる熱機械的アクチュエータを用いた記録ヘッドが開示されている。このような片持ち梁構造の発熱層と誘電体層の2層からなる熱機械的アクチュエータの例を図5(a)乃至(c)を用いて簡単に説明する。
図5(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図(ここで、上面図とは、インク液滴が吐出する方向から見た図をいう。)である。図5(b)は、図5(a)に示す記録ヘッド吐出部のV−V線に沿う断面図である。図5(c)は、図5(a)、(b)に示す記録ヘッド吐出部から液滴が吐出する状態を説明する図である。
図5(a)、(b)に示されるように、シリコン基板1の上に液室2が形成され、ノズル3からインク液滴が吐出される。液室2には、熱機械的アクチュエータとしての片持ち梁(以下、「カンチレバー」という。)4が形成されている。カンチレバー4は、スリットにより2つの発熱部に分割された発熱層20、2つの発熱部に電流を供給する配線部5(5a、5b)及び2つの発熱部を接続する折り返し電極11を形成する導体層、及び誘電体層21を含んでいる。カンチレバー4は、最初に発熱層20が形成され、該発熱層20の上に導体層が積層され、最後に発熱層20及び導体層の上に誘電体層21が積層されることで形成される。誘電体層21の線膨張率は、発熱層20の線膨張率より小さく設定されている。なお、カンチレバー4全体は、インクに接触するため、不図示の薄い絶縁膜で覆われている。カンチレバー4の2つの発熱部が通電により発熱すると、発熱層20と誘電体層21の線膨張率の差により、図5(c)に示されるように、カンチレバー4は上方(ノズル3側)に湾曲する。これにより、液室2に満たされたインク7は、ノズル3より液滴8となって吐出する。
特許文献2には、誘電体層21が2つの発熱層20、20にサンドイッチ状に挟まれたカンチレバー4が開示されている。この例では、最初に、上側の発熱層20に通電することによりカンチレバー4をノズル3とは反対方向に湾曲させる。次に、下側の発熱層20に通電することにより、図5(c)に示されるようにカンチレバー4をノズル3側に湾曲させる。このようにすることで、大きな駆動力により液滴を吐出することが可能となる。
また、特許文献3には、カンチレバー4の固定端9側の幅が自由端10側の幅より大きい台形形状のカンチレバー4が開示されている。このようにすることでも大きな駆動力が得られ、液滴8を好適に吐出させることができる。
熱機械アクチュエータを用いた記録ヘッド吐出部においては、熱機械アクチュエータとしてのカンチレバーは、発熱、冷却を繰り返す。それにより、微少な気泡が発生し、この気泡が集合して液室内部に大きな泡として蓄積する。また、インクの水分が熱によりノズルから蒸発するため、インクの粘度が上がり、安定した吐出を妨げる。これらの弊害を抑えるためプリンタに備えられたポンプ(不図示)によりノズルを介してインクを吸引することで泡を取り除くとともに、増粘したインクをリフレッシュしている。
しかしながら、従来の熱機械アクチュエータにおいては、泡や増粘インクを十分に除去するために高い吸引圧力をかける必要がある。このように高い吸引圧力をかけると、図6に示されるように、熱機械アクチュエータとしてのカンチレバー4の自由端10側は、吸引されるインク7の流れによって変位し、ノズル3下面を閉塞してしまう。この状態では、引き続き吸引を行ってもインク7を引くことができないため、十分に泡15が取りきれないという問題が生じる。また、増粘したインクを十分リフレッシュすることができないという問題も生じる。
本発明の目的は、このような問題点に鑑み、吸引時に高い圧力をかけてもノズル下面を閉塞することなく、安定して液室内から泡や増粘したインクを除去できるメンテナンス性に優れた記録ヘッドを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る記録ヘッドは、熱機械アクチュエータを用いて液室から液滴を吐出する記録ヘッドにおいて、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面に段差を形成することを特徴とする。
該段差は、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側に突出する突出体により形成されてもよいし、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側とは反対側に窪んだ凹状溝により形成されてもよい。
本発明に係る記録ヘッドは、また、熱機械アクチュエータを用いて液室から液滴を吐出する記録ヘッドにおいて、前記液室を画定する壁であって、前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面に段差を形成してもよい。
この場合、該段差は、前記前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面から液室内に突出する突出体により形成されてもよいし、前記前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面から液滴吐出側に窪んだ凹状通路により形成されてもよい。
本発明は、以上のような構成を備えることで、メンテナンスの際、ノズルを介して高い吸引圧でインクを吸引しても、熱機械アクチュエータを構成するカンチレバーの自由端とノズル近傍の液室内壁との間に必ず空間が形成される。すなわち、カンチレバーの自由端が高い吸引圧によりノズル下面方向に変位しても、カンチレバーの自由端がノズルを閉塞することがない。したがって、高い吸引圧を液室内に作用させることが可能となることで、液室内に蓄積された泡や増粘したインクを完全に除去することができる。
(実施例1)
図1は、本発明に係る第1の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のI−I線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例で適用される記録ヘッド吐出部は、カンチレバー4の構造を除き、図5(a)、(b)に示される従来例と略同様の構成を備えている。以下に、図1(a)、(b)を用いて簡単に説明する。
図1は、本発明に係る第1の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のI−I線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例で適用される記録ヘッド吐出部は、カンチレバー4の構造を除き、図5(a)、(b)に示される従来例と略同様の構成を備えている。以下に、図1(a)、(b)を用いて簡単に説明する。
記録ヘッド吐出部は、シリコン基板1及び該シリコン基板1の上に形成された液室を含んでいる。液室2内の液体(以下、「インク」という。)は、液滴としてノズル3から吐出される。液室2には、シリコン基板1に支持される熱機械的アクチュエータとしてのカンチレバー4が延在する。カンチレバー4は、スリットにより2つの発熱部に分割された第1の層としての発熱層20、該2つの発熱部に電流を供給する配線部5及び2つの発熱部を接続する折り返し電極を形成する導体層、及び第2の層としての誘電体層21を含んでいる。第1の層としての発熱層20は、抵抗体よりなり、第2の層としての誘電体層は、絶縁体よりなる。また、第2の層としての誘電体層21は、図1(b)に示されるように、第1の層である発熱層20の上面、すなわち、発熱層20に対して吐出側(ノズル3側)に積層される。また、熱機械的アクチュエータとしてのカンチレバー4を湾曲させるために、第2の層としての誘電体層21は、第1の層を構成する発熱層20に対して線膨張率が十分に小さい材料が選択される。
本実施例における熱機械アクチュエータとしてのカンチレバー4は、第2の層である誘電体層21に対して段差を形成する(図1(b)参照)ように、突出体30が誘電体層21上面に積層されている。すなわち、突出体30は、カンチレバー4に対して液滴吐出側(ノズル3側)のカンチレバー4表面に設けられる。該突出体30は、インク吐出口としてのノズル3にかからないように、ノズル3に対してカンチレバー4の固定端9側上面に設けられる。突出体30は、また、図1(a)に示されるように第2の層である誘電体層21を横断する帯状体として誘電体層21上面に形成されることが好ましいが、これに限られるものではない。例えば、突出体30は円柱状や円錐状をなしていてもよい。なお、突出体30は、絶縁体からなる誘電体層21上面に積層されることから、耐インク性があればよく、樹脂や金属など様々な材料を用いることができる。
このような構成を備える記録ヘッド吐出部における熱機械アクチュエータとしてのカンチレバー4の動作につき、図1(c)を用いて説明する。
図1(c)に示されるように、液室2内の泡や増粘したインクを除去するために、プリンタ本体側に備えられたポンプによりノズル3を介して液室2内のインク7を高い圧力で吸引する。この時、カンチレバー4の自由端10が吸引されるインク7の流れによって変位しても、突出体30がノズル3下面としての液室2の天井壁内面2aに当接する。それにより、カンチレバー4の自由端10の変位が規制され、カンチレバー4の自由端10側がノズル3の下面を閉塞することがない。すなわち、カンチレバー4上面に突出体30を設けることで、吸引時、カンチレバー4の自由端10がノズル3側に変位しても、カンチレバー4とノズル3の下面との間に、必ず泡やインク7が通り得る空間が存在することになる。したがって、吸引時、液室2内から泡や増粘したインクを安定して除去することができる。
(実施例2)
図2は、本発明に係る第2の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のII−II線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例で適用される記録ヘッド吐出部は、カンチレバー4を除き、上記第1の実施例と略同様の構成を備えている。
図2は、本発明に係る第2の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のII−II線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例で適用される記録ヘッド吐出部は、カンチレバー4を除き、上記第1の実施例と略同様の構成を備えている。
本実施例における熱機械アクチュエータとしてのカンチレバー4は、第2の層である誘電体層21に対して段差を形成する(図2(b)参照)ように、凹状溝31が誘電体層21上面に形成されている。凹状溝31は、誘電体層21のノズル3に対向する位置に形成され、図2(b)において上方、すなわち、インク吐出口としてのノズル3に向かって開放された有底穴である。言い換えると、凹状溝31は、カンチレバー4に対して液滴吐出側(ノズル3側)のカンチレバー4表面に、該表面から液滴吐出側とは反対側に窪むように形成されている。
本実施例では、該凹状溝31の断面形状は、該ノズル3の断面形状に相似する円形状をなし、該ノズル3の断面形状より若干大きい。凹状溝31の形状は、円形状でなくてもよい。要は、その断面形状が、ノズル3の断面形状より大きければどのような形状であってもよい。凹状溝31は、図2(a)に示されるように、凹状溝31と同じ深さを有する、上方が開放された凹状通路31aを介してカンチレバー4の自由端10から液室2内に向かってさらに開放されている。あるいは、凹状溝31は、凹状通路31aを介してカンチレバー4の両側部(図2(a)において、上下縁部)から液室2内に向かって開放されていてもよい。
このように凹状溝31及び凹状通路31aを設けることで、カンチレバー4がノズル3下面を塞ぐように変位しても、該凹状溝31及び凹状通路31aがノズル3と液室2を連絡する液流路を形成し、泡及びインクの流れが遮断されることがない。
このような構成を備える記録ヘッド吐出部における熱機械アクチュエータとしてのカンチレバー4の動作につき、図2(c)を用いて説明する。
図2(c)に示されるように、液室2内の泡や増粘したインクを除去するために、プリンタ本体側に備えられたポンプによりノズル3を介して液室2内のインク7を高い圧力で吸引する。この時、カンチレバー4の自由端10が吸引されるインクの流れによって変位し、自由端10側がノズル3の下面としての液室2の天井壁内面2aに当接しても、上述したように、カンチレバー4の自由端10側がノズル3の下面を閉塞することがない。すなわち、ノズル3と液室2とを連絡する凹状溝31及び凹状通路31aが設けられているので、第1の実施例と同様、カンチレバー4とノズル3の下面との間に、必ず泡やインク7が通り得る空間が存在することになる。したがって、吸引時、液室2内から泡や増粘したインクを安定して除去することができる。
(実施例3)
図3は、本発明に係る第3の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のIII−III線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例で適用される記録ヘッド吐出部は、カンチレバー4上面に設けられた突出体30が対向する液室2の天井壁内面2aに設けられた点を除き、上記第1の実施例と略同様の構成を備えている。
図3は、本発明に係る第3の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のIII−III線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例で適用される記録ヘッド吐出部は、カンチレバー4上面に設けられた突出体30が対向する液室2の天井壁内面2aに設けられた点を除き、上記第1の実施例と略同様の構成を備えている。
本実施例においては、突出体32が液室2を画定する内壁のうち、インク吐出口としてのノズル3が形成される天井壁の内面2a(すなわち、ノズル3の下面)に対して段差を形成するように、該天井壁内面2aに積層される。言い換えると、突出体32は、液室2の天井壁内面2aから液室2内に向かって突出形成される。突出体32は、ノズル3にかからないように、ノズル3からカンチレバー4の固定端9寄りに形成される。該突出体32の形状は、第1の実施例と同様に、カンチレバー4を横断するような帯状体であってもよし、あるいは円柱状などであってもよい。突出体32は、また、樹脂や金属などどのような材料を用いてもよい。
記録ヘッド吐出部をこのように構成することで、吸引時、カンチレバー4の自由端10が吸引されるインク7の流れによって変位しても、突出体32がカンチレバー4の上面に当接する。それにより、図3(c)に示されるように、本実施例においても、カンチレバー4の自由端10の変位が規制され、カンチレバー4の自由端10側がノズル3の下面を閉塞することがない。すなわち、吸引時、カンチレバー4の自由端10がノズル3側に変位しても、カンチレバー4とノズル3の下面との間に、必ず泡やインク7が通り得る空間が存在することになる。したがって、第1の実施例と同様、本実施例も、吸引時、液室2内から泡や増粘したインクを安定して除去することができる。
(実施例4)
図4は、本発明に係る第4の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のIV−IV線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例における記録ヘッド吐出部は、液室2を画定する天井壁内面(ノズル3下面)2aに対して段差を形成する(図4(b)参照)ように、凹状通路33が該天井壁内面2aに形成されている。本実施例における記録ヘッド吐出部は、この点においてその構成を異にするが、その他の構成は上記第2の実施例と同じである。該凹状通路33は、下方(液室2内)に向かって開放されるとともに、ノズル3に向かって開放されている。すなわち、凹状通路33は、液室2を画定する天井壁内面(ノズル3下面)2aに、該内面2aから液滴吐出側(液室2と反対側)に窪むように形成されている。
図4は、本発明に係る第4の実施例を示し、(a)は、記録ヘッド吐出部の上面図であり、(b)は、(a)のIV−IV線に沿う記録ヘッド吐出部の断面図である。また、(c)は、記録ヘッド吐出部の液室からインクが吸引される時の状態を示す。
本実施例における記録ヘッド吐出部は、液室2を画定する天井壁内面(ノズル3下面)2aに対して段差を形成する(図4(b)参照)ように、凹状通路33が該天井壁内面2aに形成されている。本実施例における記録ヘッド吐出部は、この点においてその構成を異にするが、その他の構成は上記第2の実施例と同じである。該凹状通路33は、下方(液室2内)に向かって開放されるとともに、ノズル3に向かって開放されている。すなわち、凹状通路33は、液室2を画定する天井壁内面(ノズル3下面)2aに、該内面2aから液滴吐出側(液室2と反対側)に窪むように形成されている。
凹状通路33は、また、カンチレバー4が天井壁内面2aに当接する領域を越えて外側にまで延在している。凹状通路33は、本実施例では図4(a)、(b)に示されるように、天井壁に隣接する図において右側の側壁内面にまで延在している。凹状通路33は、これに限られるものではなく、例えば、図において、上下の側壁内面にまで延在していてもよい。
このような凹状通路33を天井壁内面2aに形成することで、カンチレバー4がノズル3の下面を塞いでも、ノズル3と液室2との間を連絡する通路が形成され、泡やインクの流れが遮断されることはない。
したがって、本実施例においても、吸引時、カンチレバー4の自由端10が吸引されるインク7の流れによって変位し、ノズル3の下面を閉塞しても、図4(c)に示されるように、ノズル3と液室2との間を遮断されることがない。言い換えれば、吸引時、カンチレバー4の自由端10がノズル3側に変位しても、カンチレバー4とノズル3の下面との間に、必ず泡やインク7が通り得る空間が存在することになる。したがって、上記実施例と同様、本実施例も、吸引時、液室2内から泡や増粘したインクを安定して除去することができる。
2 液室
2a 天井壁内面
3 吐出口(ノズル)
4 熱機械アクチュエータ(カンチレバー)
30 突出体
31 凹状溝
31a 凹状通路
32 突出体
33 凹状通路
2a 天井壁内面
3 吐出口(ノズル)
4 熱機械アクチュエータ(カンチレバー)
30 突出体
31 凹状溝
31a 凹状通路
32 突出体
33 凹状通路
Claims (6)
- 熱機械アクチュエータを用いて液室から液滴を吐出する記録ヘッドにおいて、
前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面に段差を形成することを特徴とする記録ヘッド。 - 前記段差は、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側に突出する突出体により形成されることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
- 前記段差は、前記熱機械アクチュエータの液滴吐出側表面から液滴吐出側とは反対側に窪んだ凹状溝により形成されることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
- 熱機械アクチュエータを用いて液室から液滴を吐出する記録ヘッドにおいて、
前記液室を画定する壁であって、前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面に段差を形成することを特徴とする記録ヘッド。 - 前記段差は、前記前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面から液室内に突出する突出体により形成されることを特徴とする請求項4に記載の記録ヘッド。
- 前記段差は、前記前記液滴を吐出する吐出口が形成される壁の液室側内面から液滴吐出側に窪んだ凹状通路により形成されることを特徴とする請求項4に記載の記録ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006232472A JP2008055643A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 記録ヘッド |
US11/846,443 US7780267B2 (en) | 2006-08-29 | 2007-08-28 | Recording head for ink-jet recording apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006232472A JP2008055643A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 記録ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008055643A true JP2008055643A (ja) | 2008-03-13 |
Family
ID=39238968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006232472A Pending JP2008055643A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 記録ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7780267B2 (ja) |
JP (1) | JP2008055643A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10994535B2 (en) * | 2018-05-11 | 2021-05-04 | Matthews International Corporation | Systems and methods for controlling operation of micro-valves for use in jetting assemblies |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0337429B1 (en) * | 1988-04-12 | 1993-07-07 | Seiko Epson Corporation | Ink jet head |
JPH024517A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-09 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
JP2001038908A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-13 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
US6631979B2 (en) * | 2002-01-17 | 2003-10-14 | Eastman Kodak Company | Thermal actuator with optimized heater length |
US6598960B1 (en) * | 2002-05-23 | 2003-07-29 | Eastman Kodak Company | Multi-layer thermal actuator with optimized heater length and method of operating same |
US6685303B1 (en) * | 2002-08-14 | 2004-02-03 | Eastman Kodak Company | Thermal actuator with reduced temperature extreme and method of operating same |
US6824249B2 (en) * | 2002-08-23 | 2004-11-30 | Eastman Kodak Company | Tapered thermal actuator |
-
2006
- 2006-08-29 JP JP2006232472A patent/JP2008055643A/ja active Pending
-
2007
- 2007-08-28 US US11/846,443 patent/US7780267B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080266359A1 (en) | 2008-10-30 |
US7780267B2 (en) | 2010-08-24 |
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