JP2003326535A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. ディスクの表面に樹脂層を介してスタンパを貼り合わせるスタンパ貼合工程と、前記ディスクと前記スタンパとを回転させながら放射線を照射し、前記樹脂層を形成する工程と、前記スタンパを前記樹脂層から剥離させるスタンパ工程とを少なくとも備え、
   前記スタンパ工程において、前記スタンパの任意の位置に前記スタンパを前記樹脂層から剥離させる方向の押圧力を加えると共に部分的な剥離が生じた後は前記スタンパの周部に沿って押圧力を連続して加えることを特徴とする多層記録媒体の形成方法。
2. ディスクの表面に樹脂層を介してスタンパを貼り合わせるスタンパ貼合工程と、前記ディスクと前記スタンパとを回転させながら放射線を照射して前記樹脂層の厚み寸法が変動しなくなるまで前記樹脂層を仮硬化させた後に更に放射線を照射して、前記樹脂層を形成する工程と、前記スタンパを前記樹脂層から剥離させるスタンパ工程とを少なくとも備えることを特徴とする多層記録媒体の形成方法。
3. 前記スタンパは前記ディスクより外径が大きいことを特徴とする請求項１または請求項２の何れかに記載の多層記録媒体の形成方法。
4. 前記スタンパは前記放射線が透光可能であることを特徴とする請求項１または請求項２の何れかに記載の多層記録媒体の形成方法。
5. ディスクの表面に樹脂を介してスタンパを貼り合わせるスタンパ貼合工程と、前記ディスクと前記スタンパとを回転させ前記樹脂の広がりによって前記クリアランスを埋めるとともに前記樹脂を硬化させ前記樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、前記スタンパを前記樹脂層から剥離させるスタンパ剥離工程とを順に行う多層記録媒体の形成方法であって、
   前記スタンパ貼合工程で、スピンナーテーブルから突出する芯出し部材にセンター穴を嵌合させつつ前記ディスクを前記スピンナーテーブルに固定し前記ディスクの内縁側に前記樹脂を塗布した後に、前記スタンパのセンター穴に前記芯出し部材を嵌合させ、前記スタンパを前記ディスクに前記樹脂を介して重ね合わせるとともに貼合ヘッドの押圧にて前記スタンパを前記ディスク側へと降下させ、前記芯出し部材との嵌合にて前記スタンパの芯出しがなされた後に前記貼合ヘッドで前記スタンパを吸着し、前記貼合ヘッドの降下にて前記ディスクに対する前記スタンパのクリアランスを設定するとともに前記芯出し部材にて前記クリアランスを保持するようにし、
   前記スタンパ剥離工程で、前記ディスクを固定した後、前記ディスクの外縁から突出する前記スタンパの任意の位置に前記スタンパの剥離方向に作用する押圧力を加え、当該押圧力により前記スタンパが前記樹脂層より剥離し始めた後は、前記スタンパの周部に沿って押圧力を連続して加え、前記樹脂層に対する前記スタンパの剥離を前記ディスク周回方向に沿って行わせるようにしたことを特徴とする多層記録媒体の形成方法。
6. ディスクの表面に樹脂を介してスタンパを貼り合わせるスタンパ貼合部と、前記ディスクと前記スタンパとを回転させ前記樹脂の広がりによって前記クリアランスを埋めるとともに前記樹脂を硬化させ前記樹脂層を形成する樹脂層形成部と、前記スタンパを前記樹脂層から剥離させるスタンパ剥離部とを有する多層記録媒体の形成装置であって、
   前記スタンパ貼合部は、
   ディスク吸引手段を備え前記ディスクの片面を全面吸着可能なスピンナーテーブルと、
   このスピンナーテーブルから突出し前記ディスクと前記スタンパとの芯出しをなすとともに突出方向の保持をなす芯出し部材と、
   往復移動手段を備え前記樹脂を前記ディスクの内縁側に供給可能なディスペンサと、
   スタンパ吸引手段を備え前記スタンパの片面を全面吸着可能とし前記スピンナーテーブルに対し昇降可能な貼合ヘッドと、
   当該貼合ヘッドの降下により前記スタンパを前記スピンナーテーブルに対し接近させ、前記芯出し部材に対する前記センター穴の嵌合により前記スタンパの芯出しがなされた後に、前記スタンパ吸引手段の稼働により前記スタンパを前記貼合ヘッドに密着させ前記ディスクに対する前記スタンパのクリアランスを設定する第１制御手段とを有し、
   前記スタンパ剥離部は、
   前記ディスクの保持をなす固定手段を設け、前記ディスクの外縁から突出する前記スタンパの周部に沿って前記スタンパの剥離方向に昇降可能な押圧ピンを複数配置し、これら押圧ピンの前記スタンパへの押圧を前記ディスクの周回方向に沿って行わせるとともに前記押圧ピンの昇降速度の調整をなす第２制御手段を設けたことを特徴とする多層記録媒体の形成装置。
7. 情報記録面を有する支持基体上に、少なくとも１層の記録層を有するディスクに、樹脂層を介してスタンパの貼合せと剥離とを行い、前記樹脂層の表面にピットおよび／またはグルーブ構造を形成する多層記録媒体の形成装置であって、
   前記ディスクと前記スタンパとを腕部先端側で把持し腕部根元側を回転中心とした旋回にて前記ディスクと前記スタンパを円周上に沿って搬送させる移載アームを複数配置するとともに、
   前記ディスクと前記スタンパの供給をなすディスク・スタンパ供給部と、
   前記ディスクに前記スタンパを貼り合わせるためのスタンパ貼合部と、
   前記ディスクと前記スタンパの間に樹脂層を形成させるための放射線照射部と、
   前記ディスクから前記スタンパを剥がすためのスタンパ剥離部と、
   前記ディスクと前記スタンパを排出するためのディスク排出部とを、
   前記移載アームの円周上に順に配置してなり、これらに跨る前記ディスクと前記スタンパの搬送を、前記移載アームによって行わせ、
   前記スタンパ剥離部は、前記ディスクの外縁から突出する前記スタンパの周部に沿って前記スタンパの剥離方向に昇降可能な押圧ピンを複数配置し、前記押圧ピンの一が前記スタンパの任意の位置に前記スタンパを前記樹脂層から剥離させる方向の押圧力を加えると共に部分的な剥離が生じた後は前記押圧ピンの他が前記スタンパの周部に沿って押圧力を連続して加えることを特徴とする多層記録媒体の形成装置。
8. 移載アームは複数の腕部を有し、複数の前記ディスクと前記スタンパとを同時に搬送可能にしたことを特徴とする請求項７に記載の多層記録媒体の形成装置。
9. 前記スタンパ剥離部は、前記ディスクと前記スタンパとをその周回方向に沿って複数収容する回転可能な搬送テーブル部を有するとともに、この搬送テーブル部における周回方向に沿って、
   前記ディスクと前記スタンパとの受け入れをなすための受入部と、
   前記ディスク側から前記スタンパを剥離させるためのスタンパ剥離部と、
   剥離後のディスク端面の処理を行う端面処理部と、
   前記搬送テーブル部から前記ディスク排出部へと前記ディスクを受け渡すための排出部とを順に配置し、前記スタンパの剥離作業を前記搬送テーブル部の周回方向に沿って行うことを特徴とする請求項７または請求項８の何れかに記載の多層記録媒体の形成装置。
10. 前記スタンパ貼合部は、前記ディスクと前記スタンパとをその周回方向に沿って複数収容する回転可能な貼合テーブルを有するとともに、この貼合テーブルにおける周回方向に沿って仮硬化放射線照射部を配置し、前記ディスクと前記スタンパとに挟まれる前記樹脂が厚さ寸法を変動させないまでの仮硬化を行うことを特徴とする請求の範囲第７項乃至請求項９の何れか１に記載の多層記録媒体の形成装置。
11. 少なくとも前記スタンパ貼合部と前記放射線照射部は、温度をほぼ一定に制御されたことを特徴とする請求項１０に記載の多層記録媒体の形成装置。
12. 請求項６乃至請求項１１の何れか１に記載の多層記録媒体の形成装置によって製造されたことを特徴とする多層記録媒体。