JP2001126322A - 情報記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の変形、複屈折、厚みの変動及び基板端
面の感光性樹脂の液だれを生じさせることなく、次世代
の高密度記録に対応することができる情報記録媒体用基
板の製造方法を提供する。 【解決手段】 スタンパ３を低速回転させながらスタン
パ３の情報記録面に感光性樹脂２を塗布し、スタンパ３
の情報記録面に塗布された感光性樹脂２上に基板７を設
置し、スタンパ３と基板７との間に感光性樹脂２を挟ん
だ状態でスタンパ３を高速回転させて感光性樹脂２を基
板７の全面に展開し、基板７の全面に展開された感光性
樹脂２に対して光を照射して感光性樹脂２を硬化させ、
感光性樹脂２上にスタンパ３の情報記録面を転写し、感
光性樹脂２上にスタンパ３の情報記録面が転写された基
板７をスタンパ３から分離させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体用基
板の製造方法に関し、特に、感光性樹脂（Photo−polym
er樹脂：２Ｐ樹脂）を用いた情報記録媒体用基板の製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の光デイスク基板等の情報記録媒体
用基板の製造方法としては、大きく分類して射出成形
法、２Ｐ（Photo−polymerization）法の２つの方法が
挙げられる。

【０００３】射出成形法とは、表面に凹凸形状の情報記
録面を有するスタンパを金型に取り付け、この金型の中
にポリカーボネイト等のプラスチック材料を射出して情
報記録媒体用基板を成形する方法である。

【０００４】一方、２Ｐ法とは、基板に光照射により硬
化する感光性樹脂を塗布し、この感光性樹脂を加圧圧延
により基板全面に展開し、この感光性樹脂に対して、ス
タンパの凹凸形状の情報記録面を接触させて光を照射
し、この光照射により感光性樹脂を硬化させてスタンパ
の情報記録面を感光性樹脂に転写し、その後、スタンパ
から基板を分離させて情報記録媒体用基板を製造する方
法である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の情報記録媒体用基板の製造方法において
は、以下に記載するような問題点がある。

【０００６】まず、射出成形法においては、スタンパの
情報記録面の転写性の向上と基板の平坦性の確保との両
立が極めて困難である。基板の平坦性の確保を優先させ
るとスタンパの情報記録面の転写性が劣化し、また、ス
タンパの情報記録面の転写性を優先させると、反り、チ
ルト、複屈折等が生じ、基板の平坦性が劣化してしま
う。

【０００７】また、ガラスや金属が使用できないことか
ら、ポリカーボネイト等のプラスチック材料を使用する
ため、情報記録媒体用基板の厚みに±１５μｍ程度の変
動が生じてしまう。

【０００８】情報記録媒体用基板の厚みは、現在、ＤＶ
Ｄ−ＲＡＭで使用されているレーザ波長６５０ｎｍ、レ
ンズ開口数ＮＡ０．６の条件下では、変動マージンが±
２０μｍ以内に設定されているが、次世代の高密度記録
ではレーザ波長４００ｎｍの青色レーザ、レンズの開口
数ＮＡ０．８５の条件下で情報記録媒体用基板が使用さ
れることが予想され、この条件下では、変動マージンが
±５μｍ以内に設定されると推測される。 このため、
次世代の高密度記録用の情報記録媒体用基板を射出成形
法で製造することは極めて困難である。

【０００９】また、２Ｐ法においては、上述した射出成
形法と比較して、ガラス基板やＡｌ等の金属基板を使用
できるという利点を有しているが、一方では、基板上に
感光性樹脂を塗布する工程で感光性樹脂への気泡の混入
が生じたり、感光性樹脂を加圧圧延により基板全面に展
開する工程で感光性樹脂の膜厚の変動が生じたりする。
これにより、情報記録媒体用基板全体としての厚みの変
動が大きくなるとともに、基板の端面で感光性樹脂の液
だれが生じてしまうおそれがある。

【００１０】また、感光体樹脂に粘度が比較的高いもの
を使用しているため、感光性樹脂の膜厚が３０μｍ程度
の厚いものとなり、これに伴い、感光性樹脂の膜厚の変
動は±５μｍ程度になる。これにより、感光性樹脂を塗
布する基板が、厚みの変動が±３μｍ程度の平坦性に優
れるものであったとしても、基板と感光性樹脂とを併せ
た情報記録媒体用基板全体としての厚みの変動は±８μ
ｍ程度の大きなものになってしまう。

【００１１】このため、２Ｐ法における上記問題点を解
決するために、情報記録媒体用基板の製造方法として種
々の方法が提案されている。

【００１２】感光性樹脂への気泡の混入を防止する方法
としては、例えば、特開昭６３−１４０４３８号公報に
おいては、感光性樹脂（２Ｐ樹脂）液の塗布面を下向き
にする方法が開示されており、また、特開平２−１２６
４３４号公報、特開平３−１７３９５５号公報及び特開
平６−１６８４８号公報においては、エアーバッグや真
空槽や加圧振動装置等の特殊な装置を用いる方法が開示
されている。

【００１３】しかしながら、２Ｐ樹脂液の塗布面を下向
きにするものにおいては、塗布面を下向きにした時に２
Ｐ樹脂液がたれ流れ易いという問題点があり、また、エ
アーバツグや真空槽や加圧振動装置等の特殊な装置を用
いるものにおいては、特殊な装置が必要となるだけでな
く、これらの特殊な装置の操作が複雑になってしまうと
いう問題点がある。

【００１４】また、情報記録媒体用基板の端面における
感光性樹脂の液だれを防止する方法としては、例えば、
特開平５−４７０５１号公報において、基板からはみ出
した感光性樹脂を真空吸着によって取り除く方法が開示
されている。

【００１５】しかしながら、基板からはみ出した感光性
樹脂を真空吸着によって取り除くものにおいては、真空
吸着を行うための特殊な装置が必要となるだけでなく、
この特殊な装置の操作が複雑になってしまうという問題
点がある。

【００１６】２Ｐ法に用いられる感光性樹脂としては、
基板に対する密着性が高く、かつ、スタンパに対する離
型性が良い材料を用いる必要があるが、これらを共に満
足させることは困難である。このため、最近では、基板
に予めプライマリー処理を施し、基板と感光性樹脂との
密着性を高める方法が採用されている。

【００１７】しかしながら、基板と感光性樹脂との密着
性を高めたとしても、依然としてスタンパと感光性樹脂
との密着性は高いままであるため、スタンパの情報記録
面が感光性樹脂に転写された基板をスタンパから分離さ
せる際には、強い力で基板を分離させる必要がある。

【００１８】これにより、基板が変形したり、基板に対
する応力の増加により複屈折が生じたりするため、薄い
基板を使用できないという問題点がある。

【００１９】感光性樹脂とスタンパとの離型性を向上さ
せるとともに、基板と感光性樹脂との密着性を向上させ
る方法としては、例えば、特開昭６２−３６７５６号公
報において、基板上に、基板との密着性が高い第１層の
フォトポリマー層及びスタンパとの離型性が良い第２層
のフオトポリマー層を順次積層する方法が開示されてい
る。

【００２０】しかしながら、基板上に第１層及び第２層
のフオトポリマー層を順次積層したものにおいても、従
来の２Ｐ法と同様に、上述した加圧圧延方式を用いて感
光性樹脂を基板全面へ展開させているため、感光性樹脂
への気泡の混入や基板端面の感光性樹脂の液だれを回避
することができないという問題点や、光ディスク基板全
体としての厚みの変動が大きなものになってしまうとい
う問題点が依然として残存する。

【００２１】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、基板の変形、
複屈折、厚みの変動及び基板端面の感光性樹脂の液だれ
を生じさせることなく、次世代の高密度記録に対応する
ことができる情報記録媒体用基板の製造方法を提供する
ことを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、情報記録面を具備するスタンパに感光性樹
脂を塗布し、該感光性樹脂上に基板を設置して前記感光
性樹脂を硬化させることにより前記スタンパの情報記録
面を前記基板に転写する情報記録媒体用基板の製造方法
において、前記スタンパを低速回転させながら該スタン
パの情報記録面に前記感光性樹脂を塗布する塗布工程
と、前記スタンパの情報記録面に塗布された前記感光性
樹脂上に前記基板を設置する基板設置工程と、前記スタ
ンパと前記基板との間に前記感光性樹脂を挟んだ状態で
前記スタンパを高速回転させて該感光性樹脂を前記基板
の全面に展開する展開工程と、前記基板の全面に展開さ
れた前記感光性樹脂に対して光を照射して該感光性樹脂
を硬化させ、該感光性樹脂上に前記スタンパの情報記録
面を転写する硬化工程と、前記感光性樹脂上に前記スタ
ンパの情報記録面が転写された前記基板を、該スタンパ
から分離させる分離工程とを有することを特徴とする。

【００２３】また、前記感光性樹脂は、膜厚が１０μｍ
以下であることを特徴とする。

【００２４】また、情報記録面を具備するスタンパに感
光性樹脂を塗布し、該感光性樹脂上に基板を設置して前
記感光性樹脂を硬化させることにより前記スタンパの情
報記録面を前記基板に転写する情報記録媒体用基板の製
造方法において、前記スタンパを低速回転させながら該
スタンパの情報記録面に第１の感光性樹脂を塗布する第
１の塗布工程と、前記スタンパの情報記録面に前記第１
の感光性樹脂が塗布された状態で前記スタンパを高速回
転させて該第１の感光性樹脂を前記スタンパの情報記録
面の全面に展開する第１の展開工程と、前記スタンパの
情報記録面の全面に展開された前記第１の感光性樹脂に
対して光を照射し、該光照射により該第１の感光性樹脂
を硬化させて転写層を形成し、該転写層上に前記スタン
パの情報記録面を転写する第１の硬化工程と、前記スタ
ンパを低速回転させながら前記転写層上に第２の感光性
樹脂を塗布する第２の塗布工程と、前記転写層上に塗布
された前記第２の感光性樹脂上に前記基板を設置する基
板設置工程と、前記転写層と前記基板との間に前記第２
の感光性樹脂を挟んだ状態で前記スタンパを高速回転さ
せて該第２の感光性樹脂を前記基板の全面に展開する第
２の展開工程と、前記基板の全面に展開された前記第２
の感光性樹脂に対して光を照射し、該光照射により該第
２の感光性樹脂を硬化させて接着層を形成し、該接着層
を介して前記転写層と前記基板とを密着させる第２の硬
化工程と、前記転写層上に前記スタンパの情報記録面が
転写された前記基板を、該スタンパから分離させる分離
工程とを有することを特徴とする。

【００２５】また、前記転写層及び接着層を併せた膜厚
が１０μｍ以下であることを特徴とする。

【００２６】また、前記感光性樹脂は、粘度が５５０ｃ
Ｐ以下であることを特徴とする。

【００２７】また、前記硬化工程は、熱線カットガラス
を介して光照射を行うことを特徴とする。

【００２８】また、前記硬化工程は、前記スタンパを低
速回転させながら光照射を行うことを特徴とする。

【００２９】（作用）上記のように構成された本発明に
おいては、展開工程において、スタンパと基板との間に
感光性樹脂を挟んだ状態、あるいは、スタンパ上に感光
性樹脂が塗布された状態でスタンパを高速回転させてい
るため、感光性樹脂が、基板全面、あるいは、スタンパ
全面に薄く均一に展開されるとともに、基板設置工程時
に基板とスタンパとの間の感光性樹脂に気泡が混入した
場合にも、この気泡が余分な感光性樹脂と共に基板とス
タンパとの間から排出されることになる。

【００３０】これにより、感光性樹脂の膜厚の変動が低
減され、これに伴い、情報記録媒体用基板全体としての
厚みの変動が低減されるため、次世代の高密度記録に対
応可能になる。また、基板端面への感光性樹脂の付着が
低減されるため、感光性樹脂の液だれが防止される。

【００３１】また、スタンパの情報記録面が転写される
転写層と、転写層と基板との密着性を向上させる接着層
とを分離して形成したものにおいては、転写層にスタン
パとの離型性を向上させる材料を用いることにより、分
離工程時において、スタンパから基板を分離させる時に
基板にかかる応力が低減される。

【００３２】これにより、プラスチック製の柔らかい基
板や、ガラス製や金属製の薄い基板を情報記録媒体用の
基板として使用することが可能となる。また、基板にか
かる応力が低減されるとともに、基板の変形が生じるこ
とがないため、複屈折、反り及びチルトが少ない良好な
機械特性を有し、かつ、平坦性に優れる情報記録媒体用
基板が得られる。

【００３３】

【発明の実施形態】以下に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００３４】（第１の実施の形態）図１〜図６は、本発
明の情報記録媒体用基板の製造方法の第１の実施の形態
における各製造工程を説明するための図である。

【００３５】まず、本形態に使用される製造装置の一例
について図１〜図６を参照して説明する。

【００３６】図１〜図６に示すように本例においては、
表面に凹凸形状の情報記録面を具備するスタンパ３と、
スタンパ３を固定するためのスタンパ保持台４と、スタ
ンパ保持台４を保持するとともに、スタンパ３及びスタ
ンパ保持台４を回転させるためのターンテーブル５と、
ターンテーブル５により回転しているスタンパ３の情報
記録面に第１の感光性樹脂である感光性樹脂２を塗布す
る塗布バレル１と、基板７の芯出しを行うとともに、塗
布バレル１により感光性樹脂２が塗布されたスタンパ３
上に基板７を設置するための治具であるセンターピン６
と、スタンパ３上への基板７の設置が完了した後、スタ
ンパ３上に塗布された感光性樹脂２を紫外線照射により
硬化させるためのＵＶランプ８と、ＵＶランプ８により
感光性樹脂２が硬化した後、基板７をスタンパ３から分
離させるための治具である引き離し治具１０とが設けら
れている。

【００３７】なお、感光性樹脂２に対するＵＶランプ８
からの紫外線照射は、熱線カットガラス９を介して行わ
れる。これは、ＵＶランプ８からの紫外線照射により、
感光性樹脂２や基板７が熱変形することを防止するため
である。

【００３８】スタンパ３は、熱硬化型嫌気性樹脂を用い
てスピンコート法によりスタンパ保持台４上に固定され
ている。

【００３９】センターピン６は、基板７の芯出し機能及
び基板７をスタンパ３から分離させるための引き離し治
具としての機能も備えている。

【００４０】以下に、上記のように構成された製造装置
を用いた各製造工程について説明する。

【００４１】図１は、スタンパ３の凹凸形状の情報記録
面に感光性樹脂（Photo−polymer樹脂：２Ｐ樹脂）２を
塗布する塗布工程を説明するための図である。

【００４２】図１に示すように、スタンパ３の凹凸形状
の情報記録面が上を向くようにスタンパ３をスタンパ保
持台４に固定し、スタンパ保持台４に固定されたスタン
パ３を、ターンテーブル５により約３０ｒｐｍの低速回
転で回転させる。

【００４３】次に、低速回転しているスタンパ３の情報
記録面に対して、塗布用バレル１から約２ｇの感光性樹
脂２を塗布する。

【００４４】このとき、スタンパ３は低速回転している
ため、塗布用バレル１からスタンパ３の情報記録面に塗
布された感光性樹脂２は、スタンパ３上でドーナツ状に
塗布されることになる。なお、本形態に用いる感光性樹
脂２は、スリーボンド製３０Ｙ−２６６Ａ−１（粘度１
８０ｃＰ）であり、光照射により硬化する光硬化性の樹
脂である。 図２は、スタンパ３の情報記録面に塗布さ
れた感光性樹脂２上に基板７を設置する基板設置工程を
説明するための図である。また、図３は、図２に示す基
板設置工程が完了した状態を示す図である。

【００４５】図２及び図３に示すように、スタンパ３の
情報記録面に塗布された感光性樹脂２上に、センターピ
ン６に接続された基板７を、センターピン６と共に設置
する。

【００４６】このとき、スタンパ３と基板７との間にあ
る感光性樹脂２に気泡が混入する場合があるが、この場
合は、図１に示した感光性樹脂２の塗布工程において、
スタンパ３の情報記録面に塗布する感光性樹脂２の量を
大目に（約４ｇ）することで、この気泡を次工程の展開
工程で取り除くことが可能である。

【００４７】図４は、スタンパ３の情報記録面に塗布さ
れた感光性樹脂２を基板７の全面に展開する展開工程を
説明するための図である。

【００４８】図４に示すように、基板７の設置が完了
し、スタンパ３と基板７との間に感光性樹脂２を挟んだ
状態で、スタンパ３をターンテーブル５により約１００
０ｒｐｍの中速回転で２０秒間回転させて感光性樹脂２
を基板７の全面に展開させ、その後、スタンパ３をター
ンテーブル５により約４０００ｒｐｍの高速回転で回転
させる。

【００４９】スタンパ３を高速で回転させることによ
り、スタンパ３と基板７との間に存在していた感光性樹
脂２のうち、余分な樹脂及び感光性樹脂２に混入してい
た気泡がスタンパ３と基板７との間から排出される。こ
のように、感光性樹脂２のうち、余分な樹脂及び気泡が
排出されるため、基板７の端面への感光性樹脂２の付着
や、これに伴う感光性樹脂２の液だれも回避される。

【００５０】図５は、感光性樹脂２の硬化工程を説明す
るための図である。

【００５１】図５に示すように、スタンパ３をターンテ
ーブル５により３０ｒｐｍ程度の低速回転で回転させな
がら、スタンパ３上で基板７の全面に展開された感光性
樹脂２に対して、ＵＶランプ８から熱線カットガラス９
を介して紫外線を照射する。

【００５２】これにより、感光性樹脂２が硬化するとと
もに、硬化した感光性樹脂２にスタンパ３の情報記録面
が転写されることになる。

【００５３】スタンパ３を低速で回転させながら、基板
７の全面に展開された感光体樹脂２に対して、ＵＶラン
プ８から紫外線照射を行うことにより、均一な紫外線照
射が可能になる。

【００５４】また、感光性樹脂２と感光性樹脂２の硬化
用の光との組み合わせは、任意な選択が可能であり、ス
タンパ３に石英等の透明なものを使用し、スタンパ３側
から感光性樹脂２に対して光照射を行うことも可能であ
る。

【００５５】図６は、スタンパ３の情報記録面が感光性
樹脂２に転写された基板７をスタンパ３から分離させる
分離工程を説明するための図である。

【００５６】図６に示すように、センターピン６に引き
離し治具１０を接続し、引き離し治具１０を上方に引き
上げる。

【００５７】これにより、基板７がスタンパ３から分離
され、スタンパ３の情報記録面が感光性樹脂２に転写さ
れた情報記録媒体用基板が完成する。

【００５８】上述したような製造方法により製造された
情報記録媒体用基板は、基板７の厚みの変動が±３．５
μｍ、感光性樹脂２の膜厚が４．６±０．２５μｍであ
り、これらを併せた情報記録媒体用基板全体としての厚
みの変動は±３．７５μｍとなった。

【００５９】また、感光体樹脂２に粘度が５３０ｃＰの
材料を用いて上述したような製造方法により情報記録媒
体用基板を製造した場合においては、完成した情報記録
媒体用基板の感光性樹脂の膜厚は、９．７５±１．１５
μｍであり、基板７の厚みの変動の±３．５μｍと併せ
て、情報記録媒体用基板全体としての厚みの変動は±
４．６５μｍとなった。

【００６０】従って、次世代の高密度記録用の情報記録
媒体用基板の条件である、厚みの変動が±５μｍ以内の
条件を満足させるためには、感光性樹脂の粘度が、５５
０ｃＰ以下であり、また、感光性樹脂の膜厚が、１０μ
ｍ以下であることが望ましい。

【００６１】（第２の実施の形態）図７〜図１５は、本
発明の情報記録媒体用基板の製造方法の第２の実施の形
態における各製造工程を説明するための図である。

【００６２】本形態は、上述した第１の実施の形態に対
して、２種類の感光性樹脂１１，１３を使用し、スタン
パ３との離型性を向上させるための転写層１２と、転写
層１２と基板７との密着性を向上させるための接着層１
４とを分離して形成するものである。

【００６３】なお、以下に記載する各製造工程におい
て、第１の実施の形態と同一の符号を付したものについ
ては、構成及び動作が同様であるため説明を省略する。

【００６４】まず、スタンパ３との離型性を向上させる
転写層１２を形成する製造工程について、図７〜図９を
参照して説明する。

【００６５】図７は、スタンパ３の凹凸形状の情報記録
面に第１の感光性樹脂である感光性樹脂（Photo−polym
er樹脂：２Ｐ樹脂）１１を塗布する第１の塗布工程を説
明するための図である。

【００６６】図７に示すように、スタンパ３の凹凸形状
の情報記録面が上を向くようにスタンパ３をスタンパ保
持台４に固定し、スタンパ保持台４に固定されたスタン
パ３を、ターンテーブル５により約３０ｒｐｍの低速回
転で回転させ、低速回転しているスタンパ３の情報記録
面に対して、塗布用バレル１から約１ｇの感光性樹脂１
１を塗布する。

【００６７】このとき、スタンパ３は低速回転している
ため、塗布用バレル１からスタンパ３の情報記録面に塗
布された感光性樹脂１１は、スタンパ３上でドーナツ状
に塗布されることになる。なお、本形態に用いる感光性
樹脂１１は、スリーボンド製３０Ｙ−２６６Ｂ−１（粘
度１８０ｃＰ）であり、光照射により硬化する光硬化特
性を有するとともに、スタンパ３に対して優れた離型性
を有している。

【００６８】図８は、スタンパ３の情報記録面に塗布さ
れた感光性樹脂１１を、スタンパ３の情報記録面の全面
へ展開する第１の展開工程を説明するための図である。

【００６９】図８に示すように、スタンパ３の情報記録
面に感光性樹脂１１が塗布された状態で、スタンパ３を
ターンテーブル５により約１０００ｒｐｍの中速回転で
１０秒間回転させて感光性樹脂１１をスタンパ３の情報
記録面の全面に展開させ、その後、スタンパ３をターン
テーブル５により約４０００ｒｐｍの高速回転で回転さ
せる。

【００７０】スタンパ３を高速で回転させることによ
り、感光性樹脂１１をスタンパ３の情報記録面の全面に
更に薄く均一に展開させることができるとともに、スタ
ンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂１１のう
ち、余分な樹脂がスタンパ３の情報記録面から排出され
る。このように、感光性樹脂１１のうち、余分な樹脂が
排出されるため、基板７の端面への感光性樹脂１１の付
着や、これに伴う感光性樹脂１１の液だれも回避され
る。

【００７１】図９は、感光性樹脂１１を硬化させて転写
層１２を形成する第１の硬化工程を説明するための図で
ある。

【００７２】図９に示すように、スタンパ３をターンテ
ーブル５により約３０ｒｐｍの低速回転で回転させなが
ら、スタンパ３の情報記録面の全面へ展開された感光性
樹脂１１に対して、ＵＶランプ８から熱線カットガラス
９を介して紫外線を照射する。

【００７３】これにより、感光性樹脂１１が硬化して転
写層１２が形成され、転写層１２上にスタンパ３の情報
記録面が転写されることになる。

【００７４】上記のようにスタンパ３の情報記録面に形
成された転写層１２の膜厚は、４．６±０．２５μｍで
あった。

【００７５】次に、スタンパ３の情報記録面に形成され
た転写層１２上に、転写層１２と基板７との密着性を向
上させる接着層１４を形成する製造工程について、図１
０〜図１４を参照して説明する。

【００７６】図１０は、スタンパ３の情報記録面に形成
された転写層１２上に第２の感光性樹脂である感光性樹
脂（Photo−polymer樹脂：２Ｐ樹脂）１３を塗布する第
２の塗布工程を説明するための図である。

【００７７】図１０に示すように、転写層１２が形成さ
れたスタンパ３をターンテーブル５により約３０ｒｐｍ
の低速回転で回転させ、低速回転しているスタンパ３上
に形成された転写層１２に対して、塗布用バレル１から
約１ｇの感光性樹脂１３をドーナツ状に塗布する。な
お、本形態に用いる感光性樹脂１３は、大日本インキ化
学工業ＳＤ−３１８（粘度１２８ｃＰ）であり、光照射
により硬化する光硬化特性を有するとともに、転写層１
２と基板７との密着性を向上させるものである。

【００７８】図１１は、感光性樹脂１３が塗布された転
写層１２上に基板７を設置する基板設置工程を説明する
ための図である。また、図１２は、図１１に示す基板設
置工程が完了した状態を示す図である。

【００７９】図１１及び図１２に示すように、転写層１
２上に塗布された感光性樹脂１３上に、センターピン６
に接続された基板７を、センターピン６と共に設置す
る。

【００８０】このとき、転写層１２と基板７との間にあ
る感光性樹脂１３に気泡が混入する場合があるが、この
場合には、図１０に示した感光性樹脂１３の塗布工程に
おいて、転写層１２上に塗布する感光性樹脂１３の量を
大目（４ｇ程度）にすることで、この気泡を次工程の展
開工程で取り除くことが可能である。

【００８１】図１３は、転写層１２上に塗布された感光
性樹脂１３を基板７の全面に展開する第２の展開工程を
説明するための図である。

【００８２】図１３に示すように、基板７の設置が完了
し、転写層１２と基板７との間に感光性樹脂１３を挟ん
だ状態で、スタンパ３をターンテーブル５により約１０
００ｒｐｍで１０秒間回転させて転写層１２上に塗布さ
れた感光性樹脂１３を基板７の全面に展開させ、その
後、スタンパ３をターンテーブル５により約４０００ｒ
ｐｍの高速回転で回転させる。

【００８３】スタンパ３を高速で回転させることによ
り、転写層１２上に塗布された感光性樹脂１３を基板７
の全面に更に薄く均一に展開させることができるととも
に、転写層１２と基板７との間に存在していた感光性樹
脂１３のうち、余分な樹脂及び感光性樹脂１３に混入し
ていた気泡が転写層１２と基板７との間から排出され
る。このように、感光性樹脂１３のうち、余分な樹脂及
び気泡が排出されるため、基板７の端面への感光性樹脂
１３の付着や、これに伴う感光性樹脂１３の液だれも回
避される。

【００８４】図１４は、感光性樹脂１３の第２の硬化工
程を説明するための図である。

【００８５】図１４に示すように、スタンパ３をターン
テーブル５により３０ｒｐｍ程度の低速回転で回転させ
ながら、スタンパ３に形成された転写層１２上で基板７
の全面に展開された感光性樹脂１３に対して、ＵＶラン
プ８から熱線カットガラス９を介して紫外線を照射す
る。

【００８６】これにより、感光性樹脂１３が硬化して接
着層１４が形成され、基板７と転写層１２とが接着層１
４を介して密着することになる。

【００８７】図１５は、転写層１２及び接着層１４が形
成された基板７をスタンパ３から分離させる分離工程を
説明するための図である。

【００８８】図１５に示すように、センターピン６に引
き離し治具１０を接続し、引き離し治具１０を上方に引
き上げることにより、スタンパ３から基板７を分離させ
る。

【００８９】これにより、基板７上に、スタンパ３の情
報記録面が転写された転写層１２と、転写層１２と基板
７との密着性を向上させる接着層１４とが形成された情
報記録媒体用基板が完成する。

【００９０】上述したような製造方法により製造された
情報記録媒体用基板は、基板７の厚み変動が±３．５μ
ｍ、転写層１２の膜厚が４．６±０．２５μｍ、接着層
１４の膜厚が４．１５±０．２５μｍであり、これらを
併せた情報記録媒体用基板全体としての厚み変動は±
４．０μｍとなる。

【００９１】従って、次世代の高密度記録用の情報記録
媒体用基板の条件である、厚みの変動が±５μｍ以内の
条件を満足させるためには、上述した第１の実施の形態
における結果に基づいて、感光性樹脂１１，１３の粘度
が、５５０ｃＰ以下であり、また、転写層１２及び接着
層１４を併せた膜厚が、１０μｍ以下であることが望ま
しい。

【００９２】本形態においては、転写層１２に、スタン
パ３との離型性に優れる材料を用いているため、基板７
をスタンパ３から分離させる時の力が小さくて済み、こ
れにより、基板の変形が生じることがなく、基板にかか
る応力が低減される。

【００９３】従って、基板７として、柔らかいポリカー
ボネイトなどのプラッスチック性の薄い基板や金属性の
薄い基板を用いることができる。また、基板にかかる応
力が低減されるとともに、基板の変形が生じることがな
いため、複屈折、反り及びチルトが少ない機械特性を有
し、かつ、平坦性に優れる情報記録媒体用基板を製造す
ることが可能になる。

【００９４】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
展開工程において、スタンパと基板との間に感光性樹脂
を挟んだ状態、あるいは、スタンパ上に感光性樹脂が塗
布された状態でスタンパを高速回転させているため、感
光性樹脂を、基板全面、あるいは、スタンパ全面に薄く
均一に展開することができるとともに、基板設置工程時
に基板とスタンパとの間の感光性樹脂に気泡が混入した
場合にも、この気泡を余分な感光性樹脂と共に基板とス
タンパとの間から排出することができる。

【００９５】これにより、感光性樹脂の膜厚の変動を低
減することができ、これに伴い、情報記録媒体用基板全
体としての基板厚の変動を低減することができるため、
次世代の高密度記録にも対応することができる。また、
基板端面への感光性樹脂の付着を低減することができる
ため、感光性樹脂の液だれを防止することができる。

【００９６】また、スタンパの情報記録面が転写される
転写層と、転写層と基板との密着性を向上させる接着層
とを分離して形成したものにおいては、転写層にスタン
パとの離型性を向上させる材料を用いることにより、分
離工程時において、スタンパから基板を分離させる時に
基板にかかる応力を低減することができる。

【００９７】これにより、プラスチック製の柔らかい基
板や、ガラス製や金属製の薄い基板を情報記録媒体用の
基板として使用することができる。また、基板にかかる
応力が低減されるとともに、基板の変形が生じることが
ないため、複屈折、反り及びチルトが少ない良好な機械
特性を有し、かつ、平坦性に優れる情報記録媒体用基板
を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】スタンパの凹凸形状の情報記録面に感光性樹脂
を塗布する塗布工程を説明するための図である。

【図２】スタンパの情報記録面に塗布された感光性樹脂
上に基板を設置する基板設置工程を説明するための図で
ある。

【図３】図２に示した基板設置工程が完了した状態を示
す図である。

【図４】スタンパの情報記録面に塗布された感光性樹脂
を基板の全面に展開する展開工程を説明るための図であ
る。

【図５】感光性樹脂の硬化工程を説明するための図であ
る。

【図６】スタンパの情報記録面が感光性樹脂に転写され
た基板をスタンパから分離させる分離工程を説明するた
めの図である。

【図７】スタンパの情報記録面に第１の感光性樹脂を塗
布する第１の塗布工程を説明するための図である。

【図８】スタンパの情報記録面に塗布された第１の感光
性樹脂を、スタンパの情報記録面の全面へ展開する第１
の展開工程を説明するための図である。

【図９】第１の感光性樹脂を硬化させて転写層を形成す
る第１の硬化工程を説明するための図である。

【図１０】スタンパの情報記録面に形成された転写層上
に第２の感光性樹脂を塗布する第２の塗布工程を説明す
るための図である。

【図１１】第２の感光性樹脂が塗布された転写層上に基
板を設置する基板設置工程を説明するための図である。

【図１２】図１１に示した基板設置工程が完了した状態
を示す図である。

【図１３】転写層上に塗布された第２の感光性樹脂を基
板の全面に展開する第２の展開工程を説明するための図
である。

【図１４】第２の感光性樹脂の第２の硬化工程を説明す
るための図である。

【図１５】転写層及び接着層が形成された基板をスタン
パから分離させる分離工程を説明するための図である。

【符号の説明】

１ 塗布用バレル ２ 感光性樹脂（２Ｐ樹脂） ３ スタンパ ４ スタンパ保持台 ５ ターンテーブル ６ センターピン ７ 基板 ８ ＵＶランプ ９ 熱線カットガラス １０ 引き離し治具 １１ 感光性樹脂 １２ 転写層 １３ 感光性樹脂 １４ 接着層

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 情報記録面を具備するスタンパに感光性
   樹脂を塗布し、該感光性樹脂上に基板を設置して前記感
   光性樹脂を硬化させることにより前記スタンパの情報記
   録面を前記基板に転写する情報記録媒体用基板の製造方
   法において、 前記スタンパを低速回転させながら該スタンパの情報記
   録面に前記感光性樹脂を塗布する塗布工程と、 前記スタンパの情報記録面に塗布された前記感光性樹脂
   上に前記基板を設置する基板設置工程と、 前記スタンパと前記基板との間に前記感光性樹脂を挟ん
   だ状態で前記スタンパを高速回転させて該感光性樹脂を
   前記基板の全面に展開する展開工程と、 前記基板の全面に展開された前記感光性樹脂に対して光
   を照射して該感光性樹脂を硬化させ、該感光性樹脂上に
   前記スタンパの情報記録面を転写する硬化工程と、 前記感光性樹脂上に前記スタンパの情報記録面が転写さ
   れた前記基板を、該スタンパから分離させる分離工程と
   を有することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の情報記録媒体用基板の
   製造方法において、 前記感光性樹脂は、膜厚が１０μｍ以下であることを特
   徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
3. 【請求項３】 情報記録面を具備するスタンパに感光性
   樹脂を塗布し、該感光性樹脂上に基板を設置して前記感
   光性樹脂を硬化させることにより前記スタンパの情報記
   録面を前記基板に転写する情報記録媒体用基板の製造方
   法において、 前記スタンパを低速回転させながら該スタンパの情報記
   録面に第１の感光性樹脂を塗布する第１の塗布工程と、 前記スタンパの情報記録面に前記第１の感光性樹脂が塗
   布された状態で前記スタンパを高速回転させて該第１の
   感光性樹脂を前記スタンパの情報記録面の全面に展開す
   る第１の展開工程と、 前記スタンパの情報記録面の全面に展開された前記第１
   の感光性樹脂に対して光を照射し、該光照射により該第
   １の感光性樹脂を硬化させて転写層を形成し、該転写層
   上に前記スタンパの情報記録面を転写する第１の硬化工
   程と、 前記スタンパを低速回転させながら前記転写層上に第２
   の感光性樹脂を塗布する第２の塗布工程と、 前記転写層上に塗布された前記第２の感光性樹脂上に前
   記基板を設置する基板設置工程と、 前記転写層と前記基板との間に前記第２の感光性樹脂を
   挟んだ状態で前記スタンパを高速回転させて該第２の感
   光性樹脂を前記基板の全面に展開する第２の展開工程
   と、 前記基板の全面に展開された前記第２の感光性樹脂に対
   して光を照射し、該光照射により該第２の感光性樹脂を
   硬化させて接着層を形成し、該接着層を介して前記転写
   層と前記基板とを密着させる第２の硬化工程と、 前記転写層上に前記スタンパの情報記録面が転写された
   前記基板を、該スタンパから分離させる分離工程とを有
   することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の情報記録媒体用基板の
   製造方法において、前記転写層及び接着層を併せた膜厚
   が１０μｍ以下であることを特徴とする情報記録媒体用
   基板の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
   情報記録媒体用基板の製造方法において、 前記感光性樹脂は、粘度が５５０ｃＰ以下であることを
   特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
   情報記録媒体用基板の製造方法において、 前記硬化工程は、熱線カットガラスを介して光照射を行
   うことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
   情報記録媒体用基板の製造方法において、 前記硬化工程は、前記スタンパを低速回転させながら光
   照射を行うことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造
   方法。