JP2002170383A - 半導体記憶装置及び半導体装置 - Google Patents

半導体記憶装置及び半導体装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】携帯システムの消費電力とパフォーマンスの向
上に容易に対応することができる半導体記憶装置を提供
すること。 【解決手段】DRAM10は、パワーダウンモードにメ
モリセルを含むメモリコアに電源を供給する内部回路の
制御と、メモリコアに対するリフレッシュの制御を組み
合わせた「スリープモード」、「リフレッシュ停止モー
ド(Napモード)」、「部分セルフリフレッシュモー
ド(S−Refモード)」を備え、これらモードをプロ
グラムモードPro,PEにおいて選択する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置及び
半導体装置に係り、詳しくは主にモバイル機器に搭載さ
れる非同期型メモリシステムにおけるSRAM(リフレ
ッシュ動作が不必要なメモリ)と互換性のあるDRAM
(リフレッシュ動作の必要なメモリ)と、不揮発性メモ
リとの混合メモリシステムに関するものである。
【0002】近年、携帯電話、PHS(Personal Handyp
hone System)や、通信機能を有するPDA(Personal Di
gital Assistant)等の携帯端末は、小型化が進められる
とともに、扱うデータ量が増加する傾向にある。例え
ば、携帯電話は、音声により会話する機能のみならず、
テキストデータや画像データを伝送する機能を有するよ
うになってきている。さらに、携帯電話は、今後インタ
ーネットサービスが多様することで一種の情報端末(携
帯型のパーソナルコンピュータ)になると予想されてい
る。これらの機能によって、携帯電話で扱うデータの情
報量は、大幅に増加する傾向にある。
【0003】また、携帯機器の通信速度は、向上する傾
向にある。さらに、携帯機器は、大きさが小さくなるこ
とで、内蔵するバッテリも小さくなる傾向にある。従っ
て、携帯電話などの携帯機器に搭載されるメモリには、
高速、大容量、低消費電力でなければならない。更に、
価格競争の激しい携帯電話では、部品コストを極力低減
する必要がある。このため、ワークメモリは、大容量か
つ低価格でなければならない。
【0004】
【従来の技術】従来、携帯端末、例えば携帯電話には、
動作中の必要なデータを保持するためにワークメモリが
搭載され、そのワークメモリとして所定(例えば4Mビ
ット程度)の記憶容量を持つSRAMが用いられてき
た。しかし、伝送するデータ量の増大と通信速度の高速
化にともない、SRAMに代えてフラッシュメモリとD
RAMを携帯電話に搭載することが検討されている。
【0005】DRAMはビット単価が安く、リードライ
トが高速であるという利点を持つ。しかし、待機時にデ
ータを保持するために電力を消費する。その待機時の消
費電流は、メモリ全体のデータをDRAM自身が自動で
継続して保持するセルフリフレッシュモード時で数10
0μA、書き込まれたデータの保持が不要なスタンバイ
モード時で数10μAである。
【0006】フラッシュメモリはリフレッシュが不要で
スタンバイ時の消費電流が数μAと少ないという利点を
持つ。一方、フラッシュメモリはデータの書き込み動作
に数μsから数十μsが必要であり、書き込みに時間が
かかる。
【0007】従って、携帯電話は、通話状態(通話やデ
ータ伝送)では大容量で高速なDRAMをワークメモリ
として使用する。そして、通話状態から待ち状態になる
と、DRAMのデータのうち保持の必要なデータをフラ
ッシュメモリに退避する。そして、DRAM自身を停止
させる。このような動作によって、携帯電話の低消費電
力化を図っている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、携帯電話を
待ち状態から通話状態にするときに、DRAMを再活性
させた後、フラッシュメモリのデータをDRAMに書き
戻さなければならない。この動作によって待ち時間(シ
ステムビジー)が発生し、システム全体(携帯電話)の
パフォーマンスが低下するという問題がある。
【0009】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものである。この問題に対し、部分リフレッシュ機
能を持つDRAMを用いることが考えられる。この部分
リフレッシュ機能は、予め設定された領域のみをリフレ
ッシュする機能である。携帯電話において、電源をオン
にした状態における一部のデータだけを保持しておけば
他の全ての情報を保持しておかなくてもよいといったも
のがある。従って、保持するデータの領域を指定する、
あるいはリフレッシュする領域にデータを書き込む。こ
のようなDRAMを用いた携帯電話は、メモリ全体をリ
フレッシュするDRAMを用いたものに比べて消費電力
が少なく、フラッシュメモリからの書き戻しによる待ち
時間を少なくしてパフォーマンスの低下を抑える。
【0010】しかし、システムによっては、前述の低消
費電力化を最重要視した携帯機器の設計を選択する場合
もある。また、1つのシステムで部分リフレッシュとD
RAM自身の停止の両者をシステムの状態によって使い
分けるようなシステム設計も考えられる。このように、
それぞれ異なる低消費電力モードを有するデバイスを提
供する必要がある。
【0011】従って、その目的は携帯システムの消費電
力とパフォーマンスの向上に対応することができる半導
体記憶装置及び半導体装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明によれば、メモリセルに対し
て通常動作を行う第1のモードと、消費電力を削減する
第2のモードとを備え、前記第2のモードはデバイスの
内部電源の制御と前記リフレッシュの制御を組み合わせ
た複数の動作モードを有する。これにより、低消費電力
化とパフォーマンスの向上に容易に対応することができ
る。
【0013】請求項2に記載の発明のように、前記複数
の動作モードは、全てのメモリセルに対するリフレッシ
ュと、前記メモリセルを含むメモリコアに動作電圧を供
給する内部電源回路を停止する第1の動作モードと、全
てのメモリセルに対するリフレッシュを停止し、前記内
部電源回路を停止しない第2の動作モードと、前記メモ
リセルの一部の領域をリフレッシュする第3の動作モー
ドとを備える。これにより、各動作モードに応じた動作
と消費電流の低減が可能となる。
【0014】請求項3に記載の発明のように、該半導体
記憶装置は、前記第1のモードにおいて定期的に全ての
メモリセルをセルフリフレッシュする機能を持つ。この
ため、リフレッシュを必要としない半導体記憶装置との
置き換えが容易になる。
【0015】請求項4に記載の発明のように、前記第1
のモードと前記第2のモードの切り替えを、内部にて生
成した信号を基準にして外部端子に供給される信号の状
態に基づいて行う。非同期の内部にて生成した信号と外
部端子にきゅきゅうされる信号に基づく動作不良を防
ぐ。
【0016】請求項5に記載の発明のように、前記内部
にて生成した信号に基づいて前記外部端子に供給される
信号をラッチしてパワーダウンモード信号を出力するパ
ワーダウンモード判定回路と、前記パワーダウンモード
信号に基づいて前記複数の動作モードに対応するリフレ
ッシュ信号を生成するリフレッシュコントロール回路と
を備えた。
【0017】請求項6に記載の発明のように、前記外部
端子はモード制御のための外部専用端子である。請求項
7に記載の発明のように、前記第3の動作モードにおい
てリフレッシュする領域の設定を、前記第1のモードに
おけるスタンバイモードから移行するプログラムモード
において実施する。
【0018】請求項8に記載の発明のように、前記第1
〜第3の動作モードの選択を、前記第1のモードにおけ
るスタンバイモードから移行するプログラムモードにお
いて実施する。
【0019】請求項9に記載の発明のように、前記プロ
グラムモードは、コマンドに基づいて移行する第1のプ
ログラムモードと、外部端子に供給される信号に基づい
て移行する第2のプログラムモードの少なくとも一方を
備える。
【0020】請求項10に記載の発明のように、前記第
1のプログラムモードへの移行は、前記第1のモードに
て実行されないイリーガルコマンドに基づいて行われ
る。請求項11に記載の発明のように、前記イリーガル
コマンドを複数回入力した場合に前記第1のプログラム
モードへ移行する。このため、誤って第1のプログラム
モードへ移行することを防止する。
【0021】請求項12に記載の発明のように、前記イ
リーガルコマンドを複数回入力している間に該イリーガ
ルコマンドと異なるコマンドを入力した場合に前記イリ
ーガルコマンドのカウントをリセットする。
【0022】請求項13に記載の発明のように、前記イ
リーガルコマンドとともに前記第3の動作モードの設定
のための情報を入力する。請求項14に記載の発明のよ
うに、前記第2のプログラムモードへの移行は、外部端
子に供給される信号に基づいて行う。
【0023】請求項15に記載の発明のように、前記第
2のプログラムモードへの移行は、前記外部端子に供給
される信号のレベルが複数回変更された場合に実施す
る。請求項16に記載の発明のように、前記第3の動作
モードにおいてリフレッシュする領域を任意に設定可能
にした。
【0024】請求項17,18に記載の発明のように、
前記メモリセルの一部の領域をリフレッシュするリフレ
ッシュモードにおいて、前記全メモリセルの領域のう
ち、リフレッシュ特性の良い領域を前記リフレッシュす
る領域とした。そのため、リフレッシュ時間を長くして
消費電流が少なくなる。
【0025】請求項19に記載の発明のように、前記リ
フレッシュする前記メモリセルの一部の領域は固定され
た領域であり、前記固定された領域を示す第1のアドレ
ス情報を前記リフレッシュ特性のよい領域を指定する第
2のアドレス情報に変換するアドレススクランブル回路
を備えた。そのため、リフレッシュ時間を長くして消費
電流が少なくなる。
【0026】請求項20に記載の発明のように、半導体
装置は、請求項1〜19のうちの何れか一項に記載のデ
ータ保持動作を必要とする第1の半導体記憶装置と、デ
ータ保持動作を必要としない第2の半導体記憶装置とを
備えることで、システムのパフォーマンスと低消費電力
が実現できる。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、本発明を半導体記憶装置に
具体化した一実施の形態を図1〜図23に従って説明す
る。
【0028】本実施形態の半導体記憶装置はSRAMイ
ンタフェースを持つDRAM、即ち情報の記憶にダイナ
ミック型のメモリセルを含むメモリコア(メモリセル、
ロウデコーダ、コラムデコーダ、センスアンプを含む)
を有し、外部とのインタフェースにメモリセルに対する
リフレッシュのための信号、コマンドの入力が不要な非
同期型メモリである。このDRAMは、通常動作におい
てメモリセルの情報を保持するセルフリフレッシュ機能
を有している。従って、このDRAMは、外部にリフレ
ッシュのための回路構成を加えることなくSRAMと置
き換えが可能である。
【0029】図2は、本実施形態の半導体記憶装置(D
RAM)の状態遷移図である。また、このDRAMは、
通常の読み出し/書き込み等にかかる動作を行う通常モ
ードと、低消費電力化のためのパワーダウンモードを持
ち、そのパワーダウンモードは、複数の低消費電力モー
ドを備える。各低消費電力モードは、「スリープモー
ド」、「リフレッシュ停止モード(Napモード)」、
「部分セルフリフレッシュモード(S−Refモー
ド)」であり、デバイスの内部電源の制御とメモリコア
のリフレッシュの制御の組み合わせが相違している。
【0030】先ず、DRAMは、パワーオンによりコー
ルドスタート(CST)からパワーダウンモードの何れ
かのモード(本実施形態では「スリープモード」)を経
て通常モードのスタンバイモード(STB)へと遷移す
る。尚、経由するパワーダウンモードにおけるモード
を、「Napモード」又は「S−Refモード」にて設
定しても良い。尚、通常モードでは、自動で全メモリセ
ル領域のデータを保持するセルフリフレッシュ機能が働
いている。
【0031】スタンバイモードにおいて読み出しコマン
ドまたは書き込みコマンドを受け付けると、そのコマン
ドに応じてリードモード(RD)又はライトモード(W
R)へ移行し、読み出し動作または書き込み動作が実行
される。読み出し動作または書き込み動作の実行後は、
コマンドに応じてスタンバイモードへ移行するか、また
は各モードからアウトプットディセーブル(OD)へ移
行、又はアウトプットディセーブルを経てスタンバイモ
ードへ移行する。尚、コマンドによってリードモードか
らライトモードへ移行する(リードアフタライトコマン
ド)場合もある。
【0032】スタンバイモード中にプログラムコマンド
を受け付けると、第1のプログラムモード(PRO)へ
移行する。また、スタンバイモード中に後述するプログ
ラムモード信号/PEの状態を検出して第2のプログラ
ムモード(PE)へ移行する。尚、その第1または第2
のプログラムモードにおいて、DRAMは、外部から入
力される設定コードに基づいてパワーダウンモードが有
する複数のモードのうちの1つを選択し、その選択した
モードに対する設定を詳細設定コードに基づいて行う。
その設定を終了すると、DRAMは、自動的にスタンバ
イモードへ移行する。
【0033】スタンバイモード中に所定の信号の状態を
検出して直ちにパワーダウンモードに移行する。尚、本
実施形態では、後述するチップイネーブル信号CE2を
受けてパワーダウンモード(選択した低消費電力モー
ド)に移行する。各低消費電力モードは、それぞれ消費
電力量、パワーダウンモードから通常モードへ移行した
ときの待ち時間が異なる。従って、複数の低消費電力モ
ードから1つを選択することで、容易に複数の低消費電
力化の要望に対応することができる。また、通常モード
から移行する低消費電力モードは、予め通常モード(プ
ログラムモード)において設定されているため、チップ
イネーブル信号CE2が変更されてから短時間で低消費
電力モードに移行することができる。
【0034】図3は、モードに対する内部電源とリフレ
ッシュ動作の状態を示す説明図である。DRAMは、各
低消費電力モードに対応して内部電源回路、リフレッシ
ュ動作の状態を変更する。
【0035】モード端子に高レベル(Hレベル)のチッ
プイネーブル信号CE2が供給される時、DRAMは通
常モードにて動作する。この通常モードにおいて、DR
AMは、全ての低消費電力モードにおいて内部電源回路
を活性化し、メモリコアの全領域をセルフリフレッシュ
する。
【0036】DRAM内には複数の内部電源回路が存在
する。第1の内部電源回路は、メモリセルを含むメモリ
コアに電源を供給する。第2の内部電源回路は、メモリ
コアを駆動する周辺回路に電源を供給する。第3の内部
電源回路は、外部とのインタフェースに電源を供給す
る。第4の内部電源回路は、パワーダウンモード等を判
断する回路に電源を供給する。第5の内部電源回路は、
基板に負電位や昇圧電位を供給する。尚、これら以外の
内部電源回路が存在しても良い。
【0037】一方、モード端子に低レベル(Lレベル)
のチップイネーブル信号CE2が供給される時、DRA
Mは、各低消費電力モードにて動作する。DRAMは上
記第3及び第4の内部電源回路以外を、「スリープモー
ド」の時に停止し、「Napモード」又は「S−Ref
モード」の時に活性化する。また、DRAMはメモリコ
アのリフレッシュを、「スリープモード」又は「Nap
モード」の時に停止し、「S−Refモード」の時に予
めプログラムした状態に基づいて選択リフレッシュを実
行する。
【0038】これら動作により、DRAMは、「スリー
プモード」の時に一部の内部電源回路及びリフレッシュ
動作を停止することで、消費電力を大きく低減する。し
かし、このモードから通常モードに移行させた場合、メ
モリコアに対して読み出し/書き込みが可能になるまで
の時間(内部電源回路を活性化して所定電圧の内部電源
をメモリコアなどに供給するまでの第1の待ち時間)が
必要である。また、DRAMへ必要なデータを書き込む
時間(第2の待ち時間)が必要である。
【0039】また、DRAMは、「Napモード」の時
にリフレッシュ動作を停止することで、消費電力を低減
する。この場合、内部電源回路が活性化しているため、
上記第1の待ち時間は必要がない。従って、第2の待ち
時間のみでDRAMを再び使用することができるように
なる。
【0040】一方、DRAMは、「S−Refモード」
の時に設定された領域のみセルフリフレッシュを行うこ
とで、全領域をリフレッシュする場合に比べて消費電力
を低減する。この場合、システムは、予めプログラム設
定したパワーダウン時にセルフリフレッシュされる領域
に必要なデータを格納しておくことで、直ちにDRAM
のアクセスが可能となる。
【0041】次に、本実施形態のDRAMのパワーダウ
ンモードに係る構成の概略を図1に従って説明する。
尚、図1には、本実施形態で説明するDRAM10のパ
ワーダウンモードに関する回路、信号が示されている。
【0042】DRAM10は、コマンドデコーダ11、
外部信号エントリ回路12、エントリコントロール回路
13、モード設定アドレスバッファ14、モードラッチ
回路15、バッファ16、パワーダウンモード判定回路
17、リフレッシュ動作判定回路18、セルフリフレッ
シュ用発振器19、リフレッシュコントロール回路2
0、ロウ系制御回路21、内部電源回路22、DRAM
コア23を備えている。
【0043】DRAMコア23は、複数のワード線と複
数のビット線との交点にメモリセルがマトリクス状に接
続されたメモリセルアレイと、ビット線を選択するため
のコラム系制御回路、メモリセルに対するデータの入出
力(I/O)回路を含む。
【0044】コマンドデコーダ11には、外部から第1
のチップイネーブル信号/CE1、ライトイネーブル信
号/WE、アウトプットイネーブル信号/OE、上位ビ
ット信号/UB、下位ビット信号/LBが供給される。
尚、符号先頭の”/”は、その信号が負論理の信号であ
ることを示す。
【0045】第1のチップイネーブル信号/CE1は、
読み出し動作及び書き込み動作等を実行するときにLレ
ベルにされ、DRAM10を活性化する信号である。ラ
イトイネーブル信号/WEは、書き込み動作を実行する
ときにLレベルにされ、データの書き込みを可能にする
信号である。アウトプットイネーブル信号/OEは、読
み出し動作を実行するときにLレベルにされ、データ出
力を可能にする信号である。上位及び下位ビット信号/
UB,/LBは、入出力データをマスクする信号であ
る。
【0046】コマンドデコーダ11は、これら信号をデ
コードしてコマンドを生成する。そして、コマンドデコ
ーダ11は、そのコマンドが通常動作のためのコマンド
の場合、そのコマンドに対応して生成した信号をロウ系
制御回路21に出力する。この信号には、読み出し/書
き込みのためのコマンドに対応して生成されたリード/
ライト信号RD/WRを含み、コマンドデコーダ11は
そのリード/ライト信号RD/WRをエントリコントロ
ール回路13にも出力する。
【0047】また、コマンドデコーダ11は、コマンド
がパワーダウンモード設定のためのコマンドの場合、そ
のコマンドに対応して第1のプログラムモード信号Pr
oをエントリコントロール回路13に出力する。及びリ
ード/ライト信号RD/WRをエントリコントロール回
路13に出力する。この第1のプログラムモード信号P
roは、外部コマンドによってDRAM10がエントリ
するモードを設定するための信号である。
【0048】尚、パワーダウンモード設定のためのコマ
ンドは、動作不能または通常の動作にとって意味をなさ
ない各信号/CE1,/WE,/OE,/UB,/LB
の組み合わせ(イリーガルパターン)が使用される。こ
の組み合わせのコマンドをイリーガルコマンドと呼ぶ。
【0049】外部信号エントリ回路12は、第1のチッ
プイネーブル信号/CE1に基づいて通常動作を行わな
いときに、外部から入力される第2のプログラムモード
信号/PEを増幅してエントリコントロール回路13に
出力する。詳しくは、外部信号エントリ回路12は、第
1のチップイネーブル信号/CE1がHレベルの時に、
第2のプログラムモード信号/PEを出力する。この第
2のプログラムモード信号/PEは、外部信号によって
DRAM10がエントリするモードを設定するための信
号である。
【0050】従って、本実施形態のDRAM10は、通
常モードからパワーダウンモードへ移行するときに、そ
のパワーダウンモードが持つ複数の低消費電力モードの
何れに移行するかが外部コマンドによるモード設定サイ
クル、又は外部信号によって設定される。
【0051】エントリコントロール回路13は、第1の
プログラムモード信号Proとリード/ライト信号RD
/WRに応答して生成した第1のアドレスイネーブル信
号proaddz 及び第1のエントリ信号proentz をモード設
定アドレスバッファ14とモードラッチ回路15に出力
する。詳述すると、エントリコントロール回路13は、
第1のプログラムモード信号Proの入力回数をカウン
トしたカウント値が規定回数に到達すると第1のアドレ
スイネーブル信号proaddz 及び第1のエントリ信号proe
ntz を生成する。一方、そのカウント値が規定回数に到
達する前にリード/ライト信号RD/WRを入力する
と、エントリコントロール回路13はカウント値をクリ
アする。
【0052】従って、エントリコントロール回路13
は、第1のプログラムモード信号Proを規定回数連続
して入力する、即ちコマンドデコーダ11がイリーガル
コマンドを規定回数連続して受け付けたときのみ、第1
のアドレスイネーブル信号proaddz 及び第1のエントリ
信号proentz を出力する。この動作によって、ノイズ等
の影響により誤ってプログラムモードにエントリする
(移行する)ことを防いでいる。
【0053】尚、コマンドデコーダ11がイリーガルコ
マンドを規定回数連続して受け付けたときに第1のプロ
グラムモード信号Proを出力する構成とし、エントリ
コントロール回路13はそのプログラムモード信号Pr
oに応答して第1のアドレスイネーブル信号proaddz 及
び第1のエントリ信号proentz を出力するようにしても
よい。
【0054】また、エントリコントロール回路13は、
第2のプログラムモード信号/PEに応答して生成した
第2のアドレスイネーブル信号peaddz及び第2のエント
リ信号peentzをモード設定アドレスバッファ14とモー
ドラッチ回路15に出力する。詳述すると、エントリコ
ントロール回路13は、第2のプログラムモード信号/
PEが所定のパターンにて変化したことを検知して第2
のプログラムモード信号/PEを出力する。本実施形態
では、第2のプログラムモード信号/PEは通常Hレベ
ルであり、この信号/PEがH→L→Hと変化した時に
第2のアドレスイネーブル信号peaddz及び第2のエント
リ信号peentzを出力する。この動作により、外部入力信
号によるプログラムモードへのエントリを可能にしてい
る。
【0055】従って、本実施形態のDRAM10は、外
部コマンド又は専用端子からの外部信号によりプログラ
ムモードPRO,PEにエントリするように構成されて
いる。この構成により、異なるユーザの要望に対応して
いる。
【0056】モード設定アドレスバッファ14は、外部
から入力されるアドレス信号ADDのうちモード設定に
必要なビットを、第1又は第2のアドレスイネーブル信
号proaddz ,peaddzに応答してモードラッチ回路15に
出力する。本実施形態のアドレスバッファ16は、モー
ドの設定のために複数ビット(本実施形態では4ビッ
ト)のアドレス信号A<0:3> を出力する。尚、符号A<
0:3> は、A0〜A3を示している。
【0057】モードラッチ回路15は、第1及び第2の
アドレスイネーブル信号proaddz ,peaddz、第1及び第
2のエントリ信号proentz ,peentzに基づいてアドレス
信号A<0:3> をラッチしてリフレッシュアドレス信号pa
z<0:3>をリフレッシュコントロール回路20に出力す
る。リフレッシュアドレス信号paz<0:3>は、「S−Re
fモード」において、選択リフレッシュを実行する領域
の情報を含む。
【0058】更に、モードラッチ回路15は、リフレッ
シュアドレス情報paz<0:3>をデコードしてリフレッシュ
停止モード信号(Napモード信号)napz、選択リフレ
ッシュモード信号(S−Refモード信号)srefz ,ス
リープモード信号sleepzを生成する。
【0059】詳しくは、モードラッチ回路15は、第1
又は第2のアドレスイネーブル信号proaddz ,peaddzに
応答してアドレス信号A<0:3> をコード(Code)と
してラッチする。このコードには、エントリするモード
の情報と、そのエントリしたモードにおける動作を設定
する情報(選択リフレッシュモードにおける領域選択情
報)とを含む。
【0060】本実施形態では、アドレス信号A0,A1
はモード選択情報であり、アドレス信号A2,A3は領
域選択情報である。従って、本実施形態のDRAM10
は、「S−Refモード」において、DRAMコア23
を4つの領域に分割し、アドレス信号A2,A3に基づ
く1つの領域を選択的にリフレッシュする。
【0061】モードラッチ回路15は、コードの情報
(モード選択情報)に基づいて上記したNapモード信
号napz、S−Refモード信号srefz ,スリープモード
信号sleepzの何れかをアサート(本実施形態ではHレベ
ルに)する。
【0062】そして、モードラッチ回路15は、Nap
モード信号napzとS−Refモード信号srefz をリフレ
ッシュコントロール回路20に出力し、スリープモード
信号sleepzを内部電源回路22に出力する。
【0063】バッファ16は、外部から入力される第2
のチップイネーブル信号CE2を増幅してパワーダウン
モード判定回路17に出力する。第2のチップイネーブ
ル信号CE2は、通常モードとパワーダウンモードとを
切り替えるための信号である。
【0064】パワーダウンモード判定回路17には、リ
フレッシュ動作判定回路18からリフレッシュ要求信号
psrtz が入力される。リフレッシュ動作判定回路18
は、セルフリフレッシュ用発振器19からのクロック信
号CLKに基づいてリフレッシュ要求信号psrtzを生成
する。
【0065】セルフリフレッシュ用発振器19は、所定
の周波数を持つクロック信号CLKを生成し、それをリ
フレッシュ動作判定回路18に出力する。リフレッシュ
動作判定回路18は、クロック信号CLKを分周または
カウントして所定の周期を持つリフレッシュ(REF)
要求信号psrtz を発生させる。このリフレッシュ要求信
号psrtz の周期は、DRAMコア23が持つ全てのメモ
リセルの情報を正しくリフレッシュするのに必要な時間
に応じて設定されている。そして、リフレッシュ動作判
定回路18は、発生したリフレッシュ要求信号psrtz を
パワーダウンモード判定回路17とリフレッシュコント
ロール回路20に出力する。
【0066】尚、後述するS−Refモード時には、選
択リフレッシュを行うメモリセル領域の情報維持特性に
合わせてリフレッシュ要求信号を変化させても良い。更
に、後述するようにアドレススクランブルした場合にも
同様である。
【0067】パワーダウンモード判定回路17は、第2
のチップイネーブル信号CE2に応答してその時々のモ
ードを判定し、リフレッシュ要求信号psrtz に同期して
パワーダウン(PD)モード信号pdmodez のレベルをそ
の時々のモードに対応するレベルに変更する。例えば、
通常モード(第2のチップイネーブル信号CE2がHレ
ベル)からパワーダウンモード(信号CE2がLレベ
ル)へ切り替えられると、パワーダウンモード判定回路
17はリフレッシュ要求信号psrtz の立ち下がりエッジ
に応答してHレベルのPDモード信号pdmodez を出力す
る。同様に、パワーダウンモードから通常モードへ切り
替えられると、パワーダウンモード判定回路17は、リ
フレッシュ要求信号psrtz の立ち下がりエッジに応答し
てLレベルのPDモード信号pdmodez を出力する。
【0068】この動作は、内部的に生成される(外部と
は非同期の)リフレッシュ要求信号psrtz に対して、非
同期に入力される第2のチップイネーブル信号CE2に
より実行中のセルフリフレッシュ動作が停止されてメモ
リセルの情報が破壊されるのを防ぐ。
【0069】リフレッシュコントロール回路20は、パ
ワーダウンモード信号pdmodez に応答して通常モードの
時にはリフレッシュ要求信号psrtz と実質的に同一のパ
ルスを有するリフレッシュ信号srtzをロウ系制御回路2
1に出力する。
【0070】ロウ系制御回路21は、リフレッシュコン
トロール回路からパルスを有するリフレッシュ信号srtz
に応答して図示しないリフレッシュアドレスカウンタの
出力により選択されたDRAMコア23のワード線を活
性化する。この動作により、活性化したワード線に接続
されたメモリセルの情報がリフレッシュされる。
【0071】一方、リフレッシュコントロール回路20
は、パワーダウンモード信号pdmodez に応答してパワー
ダウンモードの時には、Napモード信号napz、S−R
efモード信号srefz 及びリフレッシュアドレス信号pa
z<0:3>に基づいて、リフレッシュ要求信号psrtz から生
成したリフレッシュ信号srtzを出力する。
【0072】詳述すると、リフレッシュコントロール回
路20は、Napモード信号napzがHレベルの場合、そ
のNapモード信号napzがHレベルである期間Lレベル
のリフレッシュ信号srtzを出力する。ロウ系制御回路2
1は、Lレベルのリフレッシュ信号srtzに応答してワー
ド線を活性化しない。従って、Napモード信号napzが
Hレベル、即ち「Napモード」の場合、DRAMコア
23のリフレッシュが停止される。
【0073】リフレッシュコントロール回路20は、S
−Refモード信号srefz がHレベルの場合、リフレッ
シュアドレス信号paz<0:3>の領域情報に基づいて部分的
にパルスを有するリフレッシュ信号srtzを生成する。詳
しくは、リフレッシュアドレスカウンタの出力、即ちリ
フレッシュしようとするDRAMコア23のアドレスが
リフレッシュアドレス信号PAZ<0:3>の領域情報(アドレ
ス信号A2,A3)と一致する時にリフレッシュ要求信
号psrtz と実質的に同一のパルスを有するリフレッシュ
信号srtzを出力し、ロウ系制御回路21はそのリフレッ
シュ信号srtzに応答してワード線を活性化する。この動
作によって領域情報(アドレス信号A2,A3)により
示される領域のメモリセルがリフレッシュされる。
【0074】内部電源回路22は、DRAMコア23を
含む回路に対する電源の供給を制御するための回路であ
る。内部電源回路22は、入力されるスリープモード信
号sleepzに応答して活性化/非活性化する。活性化した
内部電源回路22は、DRAMコア23を含む回路に供
給する内部電圧を生成する。非活性化した内部電源回路
22は、内部電圧の発生を停止する。
【0075】尚、図ではスリープモード信号sleepzで制
御される内部電源回路22を示したが、スリープモード
信号sleepzで制御されない内部電源回路もDRAM10
には搭載されている。
【0076】図4は、上記のように構成されたDRAM
10を携帯電話に使用した例を示すブロック図である。
この携帯電話30は、回路基板上にCPU31とMCP
32を搭載している。MCP32は、本実施形態のDR
AM10とフラッシュメモリ33とを備えている。MC
Pとは、DRAMとフラッシュメモリのように異なる機
能のチップをスタックして1つのパッケージにしたマル
チチップパッケージである。従来では、回路基板上にC
PUとSRAM又はフラッシュメモリのみが搭載されて
いた。
【0077】CPU31は、DRAM10及びフラッシ
ュメモリ33に対するデータの読み書きを制御してい
る。DRAM10はワークメモリとして使用され、フラ
ッシュメモリ33は携帯電話のオフ時及び待ち状態時の
バックアップメモリとして使用されている。
【0078】図5は、図4の携帯電話30の使用状態を
示す説明図である。この例では、CPU31は、携帯電
話30の電源オフ時にDRAM10から必要なデータを
フラッシュメモリ33に転送する。
【0079】携帯電話30は、電源がオンされると待ち
状態になる。この時、DRAM10は、CPU31の制
御により設定された複数の低消費電力モードうちの何れ
かになっている。DRAM10が「スリープモード」の
時、DRAM10の消費電力は、フラッシュメモリ33
のスタンバイ時の消費電力と同程度である。必要なデー
タは、フラッシュメモリ33に保持されている。
【0080】この後、携帯電話30が待ち状態から通話
状態になると、CPU31は、図4に示したチップイネ
ーブル信号CE2をHレベルにする。CPU31は、D
RAM10がスタンバイモード(図2)になった後、フ
ラッシュメモリ33に保持されているデータをDRAM
10に転送する。ここで、通話状態とは、データの伝送
を含んでいる。
【0081】通話状態から待ち状態になると、CPU3
1は、DRAM10のデータのうち保持の必要なデータ
をフラッシュメモリ33に退避する。この後、CPU3
1は、チップイネーブル信号CE2をLレベルにし、D
RAM10をパワーダウンモードに移行させる。DRA
M10は、パワーダウンモードにおいて「スリープモー
ド」又は「Napモード」に設定されている場合はリフ
レッシュ動作を行わないため、全てのデータが消失す
る。一方、DRAM10は、「S−Refモード」に設
定されている場合は一部の領域(選択メモリ)のみに対
してリフレッシュ動作を行うため必要なデータが保持さ
れ、不要なデータは消失する。
【0082】このような動作によって、携帯電話の待ち
状態における消費電力がパワーダウンモードにおける複
数の低消費電力モードに応じて低減される。この後、携
帯電話30が待ち状態から通話状態になると、CPU3
1は、図4に示したチップイネーブル信号CE2をHレ
ベルにする。その信号CE2に応答したDRAM10は
スタンバイモード(図2)になる。この時、「スリープ
モード」から「通常モード」へ移行した場合、DRAM
10は、先ず内部電源回路22を活性化させてDRAM
コアに電源の供給を再開する。そして、t1時間経過
後、CPU31は、フラッシュメモリ33に保持されて
いるデータをDRAM10に転送する(図5、上段)。
このデータ転送に上記と同様にt2時間かかる。従っ
て、「スリープモード」に設定されている場合、待ち状
態から通話可能な状態になるまでにt1+t2時間必要
である。しかし、内部電源回路22が停止されているた
め、極めて高いレベルで消費電力が低減される。
【0083】「Napモード」から「通常モード」に移
行した場合、内部電源回路22は活性化しているので、
CPU31は、直ちにフラッシュメモリ33に保持され
ているデータをDRAM10に転送する(図5、中
段)。このデータ転送に上記と同様にt2時間かかる。
従って、「Napモード」に設定されている場合、DR
AM10の全データを保持する場合に比べて消費電力が
低減され、「スリープモード」に比べて時間t1だけ携
帯電話のパフォーマンスが向上する。
【0084】「S−Refモード」から「通常モード」
に移行した場合、DRAM10には必要なデータのみが
保持されているため、直ちに通話可能になる(図5,下
段)。従って、「S−Refモード」に設定されている
場合、待ち状態から通話可能な状態になるまでの待ち時
間がない(又はほぼゼロ)ため、携帯電話30のパフォ
ーマンスはほとんど低下しない。システムは、複数の低
消費電力モードを場合によって使い分ける。
【0085】なお、DRAM10及びフラッシュメモリ
33の制御はCPU31ではなく、専用のメモリコント
ローラ等を使用して行っても良い。また、データの転送
は、待ち状態と通話状態の切り替え時に限らず、通話中
に必要に応じて行っても良い。更に、データのバックア
ップ用のメモリは、フラッシュメモリ33に限らずSR
AMでもよい。データを携帯電話の基地局等のサーバに
退避しても良い。
【0086】図6は、モードの切替えを説明する波形図
である。DRAM10は、モード端子(第2のチップイ
ネーブル信号CE2)によって通常動作とパワーダウン
モードの切り替えを制御する。通常動作時に予め次のパ
ワーダウンモード時のモードを設定しておくことで、通
常動作からパワーダウンモードに移行するときに要する
時間(移行時間)を短縮する。
【0087】DRAM10は、リフレッシュ要求信号ps
rtz の立ち下がりをトリガとしてモード判定を行う。こ
れは、第2のチップイネーブル信号CE2とリフレッシ
ュ要求信号psrtzとが互いに非同期であることに起因す
るリフレッシュ不良を防ぐためである。即ち、通常動作
に置いてリフレッシュ要求信号psrtzに基づいてDRA
Mコアのリフレッシュを行っている時にパワーダウンモ
ードに切り替えると、その切り替えられたモードがリフ
レッシュを実行しないモード(またはリフレッシュしな
い領域)の場合には途中でリフレッシュが打ち切られ情
報が破壊する場合があるからである。
【0088】DRAM10は、モード設定情報をパワー
ダウンモードイクジット(パワーダウンモードから脱
出)するときに保持する。この保持によって、通常動作
におけるモード設定を1度行うだけでよく、再設定の手
間を省くことができる。尚、モード設定をイクジット時
にデフォルト値に自動設定する、又はデフォルト値を変
更可能にするようにしても良い。このようにすること
で、システムが一時的に低消費電力モードを変更した場
合に、元のモードに設定し直す手間を省くことができ
る。
【0089】図7は、モード設定サイクルを説明する波
形図である。DRAM10は、モード設定用の専用端子
を備え、その専用端子からパワーダウン時に必要な情報
を取り込むことで、通常動作の安全動作を保証する。
【0090】即ち、DRAM10は、第1のチップイネ
ーブル信号/CE1がHレベルの時に通常動作を行わな
い。この期間に、専用端子から入力される第2のプログ
ラムモード信号/PEに応答してアドレス信号ADDに
基づくアドレスコードCodeを取り込む。詳しくは、
DRAM10は、第2のプログラムモード信号/PEの
立ち下がりでアドレスコードの入力を活性化し、同信号
/PEの立ち上がりでアドレスコード情報をラッチす
る。
【0091】一方、DRAM10は、第1のチップイネ
ーブル信号/CE1がLレベルの時、リードコマンドに
応答してアドレス信号ADDを取り込む。尚、図中t1
〜t5は外部仕様タイミング条件である。
【0092】尚、図のタイミングにおいて、第2のプロ
グラムモード信号/PEの立ち下がりで外部専用端子の
入力回路を活性化し、アドレス信号に対するデコード動
作を開始する。そして、第2のプログラムモード信号/
PEの立ち上がりでデコード結果を確定し、前記入力回
路を非活性化する。この動作によって、消費電力の低減
を図ることができる。
【0093】上記したモード設定サイクルにおいて、第
2のプログラムモード信号/PEの論理を反転してもよ
い。また、アドレスコードはデータ端子(DQ)から入
力しても良い。
【0094】図8は、コマンドの説明図である。コマン
ド1〜6,8〜10は通常動作にて用いられるコマンド
であり、コマンド7,11は通常動作では意味をなさな
いコマンドである。コマンド7は、ライト(WR)動作
であるが信号/LB,/UBがHレベルであるためデー
タを入力しない(マスクされている)。コマンド11
は、リード(RD)動作であるが、同様に信号/LB,
/IBによりマスクされているためデータを出力しな
い。
【0095】このように、通常動作に用いないコマンド
(イリーガルコマンド)をパワーダウンモード時に必要
な情報を取り込むことで、専用端子を設けることなく情
報の設定を行うことができる。
【0096】図9は、モード設定サイクルを説明する波
形図であり、図8のコマンド11を複数継続して入力す
ることでモード設定に必要な情報をアドレスコードとし
て取り込む場合を示す。
【0097】DRAM10は、コマンド11に応答して
アドレス信号ADDをアドレスコードCodeとして取
り込む。この動作をN回繰り返す。1回目からN回目ま
でコマンド11に対応して取り込んだN個のアドレスコ
ードCodeが全て一致する場合に、そのアドレスコー
ドCodeを有効にしてモード設定を行う。
【0098】尚、コマンド11がN−1回一致した場合
に、N回目のコマンド11に対応して取り込んだアドレ
スコードCodeに基づいてモード設定を行うようにし
てもよい。また、アドレスコードCodeの取り込みを
任意のサイクル(例えば1回目)に変更して実施しても
良い。他にも種々の応用が展開できる。
【0099】図10は、モードを設定するアドレスコー
ドの説明図である。この例は、アドレス信号A0〜A3
をアドレスコードCodeとして取り込み、そのコード
に基づいてモード設定を行う。
【0100】DRAM10は、アドレスコードCode
として取り込んだアドレス信号A0,A1に基づいて低
消費電力モードを選択し、アドレス信号A2,A3に基
づいてそのモードにおける動作(S−Refモードにお
いてリフレッシュするブロック領域)を設定する。
【0101】詳しくは、アドレス信号A0,A1が共に
Lレベル(”0”)の場合にNapモード、アドレス信
号A0Lレベルかつアドレス信号A1がHレベル(”
1”)の場合にS−Refモード、アドレス信号A0,
A1が共にHレベルの場合にスリープモードに設定す
る。更に、S−Refモードに設定する場合、アドレス
信号A2,A3が共にLレベルの場合にはブロック領域
#00、アドレス信号A2がLレベルかつアドレス信号
A3がHレベルの場合にはブロック領域#10、アドレ
ス信号A2がHレベルかつアドレス信号A3がLレベル
の場合にはブロック領域#01、アドレス信号A2,A
3が共にHレベルの場合にはブロック領域#11を設定
する。
【0102】尚、ブロック領域は1/4に限られるもの
ではなく、1/2,1/8の領域など適宜領域の大きさ
を変更可能に構成してもよい。更に複数の領域を指定可
能に構成してもよい。例えば1/2の領域をリフレッシ
ュする設定とともに、1/4の領域を2カ所(領域を1
/4ずつ2回に分けて)設定する。このように構成する
ことで、種々の要望に対応してシステムのパフォーマン
スを向上させることができる。
【0103】次に、図1のエントリコントロール回路1
3、モードラッチ回路15、パワーダウンモード判定回
路17、リフレッシュコントロール回路20の構成の一
例と動作を図11〜図23に従って説明する。
【0104】図11は、エントリコントロール回路の一
例を示す回路図である。エントリコントロール回路13
は、第1及び第2エントリ回路13a,13bを含む。
第1エントリ回路13aは第1のプログラムモード信号
PRO及びリード/ライト信号RD/WRに応答して第
1のアドレスイネーブル信号proaddz 及び第1のエント
リ信号proentz を生成する回路である。第2のエントリ
回路13bは第2のプログラムモード信号/PEに応答
して第2のアドレスイネーブル信号peaddz及び第2のエ
ントリ信号peentzを生成する回路である。
【0105】第1エントリ回路13aは、カウンタ回路
41、パルス生成回路42、インバータ回路43,4
4,45、ノア回路46から構成されている。第1のプ
ログラムモード信号PROはカウンタ回路41とパルス
生成回路42に入力される。
【0106】パルス生成回路42は、インバータ回路4
7とナンド回路48とから構成されている。第1のプロ
グラムモード信号PROはインバータ回路47とナンド
回路48の一方の入力端子に入力されインバータ回路4
7の出力信号はナンド回路48の他方の入力端子に入力
される。尚、インバータ回路の段数は奇数段であればよ
い。
【0107】このように構成されたパルス生成回路42
は、第1のプログラムモード信号PROの立ち上がりエ
ッジに応答して所定のパルス幅を持つLレベルの1ショ
ットパルス信号を出力する。インバータ回路43はその
パルス信号を論理反転した信号をカウンタ回路41に出
力する。
【0108】カウンタ回路41は、本実施形態では、4
つのフリップフロップ回路41a,41b,41c,4
1dから構成されている。各段のフリップフロップ回路
41a〜41cの出力端子は後段のフリップフロップ回
路41b〜41dのデータ入力端子に接続されている。
初段のフリップフロップ回路41aのデータ入力端子に
は第1のプログラムモード信号PROが入力される。各
段のフリップフロップ回路41a〜41dのクロック端
子にはインバータ回路43の出力端子が供給される。そ
して、3段目のフリップフロップ回路41cの出力端子
から第1のアドレスイネーブル信号proaddz が出力さ
れ、最終段(4段目)のフリップフロップ回路41dの
出力端子から第1のエントリ信号proentz が出力され
る。
【0109】その第1のエントリ信号proentz はインバ
ータ回路44,45を介してノア回路46の一方の入力
端子に入力され、ノア回路46の他方の入力端子にはリ
ード/ライト信号RD/WRが入力される。そして、ノ
ア回路46の出力信号は、各段のフリップフロップ回路
41a〜41dのクリア端子に出力される。
【0110】第2エントリ回路13bは、インバータ回
路51,52とパルス生成回路53から構成されてい
る。外部端子54に供給される第2のプログラムモード
信号/PEは、インバータ回路51とパルス生成回路5
3に供給される。尚、この図では、図1の外部信号エン
トリ回路12を省略してある。
【0111】インバータ回路51は第2のプログラムモ
ード信号/PEを論理反転して第2のアドレスイネーブ
ル信号peaddzを出力する。パルス生成回路53は上記の
パルス生成回路42と同様に構成され、第2のプログラ
ムモード信号/PEの立ち上がりエッジに応答して所定
のパルス幅を持つ1ショットパルス信号をインバータ回
路52に出力し、インバータ回路52はそのパルス信号
を論理反転して第2のエントリ信号peentzを出力する。
【0112】図15は、プログラムモード設定回路であ
るエントリコントロール回路13(第1エントリ回路1
3a)の動作波形図である。図15(a)に示すよう
に、第1エントリ回路13aは、3回目のサイクルでH
レベルの第1のアドレスイネーブル信号proaddz を出力
し、4回目のサイクルで第1のエントリ信号proentz を
出力する。そして、第1エントリ回路13aは、第1の
アドレスイネーブル信号proaddz 及び第1のエントリ信
号proentz を同時にリセットする。
【0113】図15(b)に示すように、第1エントリ
回路13aは、カウントの途中でリードコマンドRD
(リード/ライト信号RD/WR)を受け付けるとカウ
ントをリセットするため、第1のアドレスイネーブル信
号proaddz 及びイネーブル信号proaddz をLレベルに保
持する。
【0114】図16は、プログラムモード設定回路であ
るエントリコントロール回路13(第2エントリ回路1
3b)の動作波形図である。第2エントリ回路13b
は、Lレベルの第2のプログラムモード信号/PEに応
答してHレベルの第2のアドレスイネーブル信号peaddz
を出力した後、Hレベルの第2のプログラムモード信号
/PEに応答してHレベルの第2のイネーブル信号pead
dzを出力する。
【0115】図12は、モードラッチ回路の一例を示す
回路図である。モードラッチ回路15は、合成エントリ
信号生成回路15a、モード設定用アドレスバッファ1
5b、モード設定用アドレスラッチ15c、モード設定
用デコーダ15dを含む。
【0116】合成エントリ信号生成回路15aは、ノア
回路61とインバータ回路62から構成されている。ノ
ア回路61には、第1のエントリ信号proentz と第2の
エントリ信号peentzが入力され、出力端子はインバータ
回路62の入力端子に接続され、そのインバータ回路6
2から合成信号entzを出力する。
【0117】図17は、合成エントリ信号生成回路の動
作波形図である。図17(a)に示すように、信号生成
回路15aは、第1のエントリ信号proentz に応答して
合成信号entzを出力する。また、図17(b)に示すよ
うに、信号生成回路15aは、第2のエントリ信号peen
tzに応答して合成信号entzを出力する。
【0118】図12のモード設定用アドレスバッファ1
5bはナンド回路63,64,65から構成されてい
る。第1ナンド回路63には第1のアドレスイネーブル
信号proaddz と外部端子66に供給されるアドレス信号
A<0:3> が入力される。第2ナンド回路64にはアドレ
ス信号A<0:3> と第2のアドレスイネーブル信号peaddz
とが入力される。第1及び第2ナンド回路63,64の
出力信号は第3ナンド回路65に入力され、その第3ナ
ンド回路65からアドレス信号az<0:3> が出力される。
尚、このモード設定用アドレスバッファ15bは、図1
のモード設定アドレスバッファ14に対応する。
【0119】図18は、モード設定用アドレスバッファ
の動作波形図である。アドレスバッファ15bは、Hレ
ベルの第2のアドレスイネーブル信号peaddzに応答して
入力回路を活性化してアドレス信号az<0:3> を出力す
る。尚、第1のアドレスイネーブル信号proaddz に応答
して同様に動作する。
【0120】図12のモード設定用アドレスラッチ15
cはアドレス信号az<0:3> のビット数に対応する数のフ
リップフロップ回路67(図では1つのフリップフロッ
プ回路として示す)から構成されている。フリップフロ
ップ回路67のデータ端子にはアドレス信号az<0:3> が
入力され、クロック端子には合成信号entzが入力され、
クリア端子にはクリア信号pcrzが入力される。従って、
フリップフロップ回路67は合成信号entzに応答してア
ドレス信号az<0:3> をラッチし、リフレッシュアドレス
信号paz<0:3>を出力する。
【0121】図19は、モード設定用アドレスラッチの
動作波形図である。アドレスラッチ15cは、Hレベル
の第2のアドレスイネーブル信号peaddzに応答して出力
されたアドレス信号az<0:3> を合成信号entzに応答して
ラッチしたコードCodeをリフレッシュアドレス信号
paz<0:3>として出力する。尚、第1のアドレスイネーブ
ル信号proaddz に応答して同様に動作する。
【0122】図12のモード設定用デコーダ15dは、
リフレッシュアドレス信号paz<0:3>をデコードしてNa
pモード信号napz、S−Refモード信号srefz 、スリ
ープモード信号sleepzを出力する。
【0123】図20は、モード設定用デコーダの動作波
形図である。デコーダ15dは、リフレッシュアドレス
信号paz<0:3>をデコードして複数のモード信号sleepz,
napz,srefz のうちの1つ(図ではスリープモード信号
sleepz)を選択してそれをHレベルにする。
【0124】図13は、パワーダウンモード判定回路の
一例を示す回路図である。パワーダウンモード判定回路
17は、パルス生成回路71とフリップフロップ回路7
2を含む。パルス生成回路71は図11のパルス生成回
路42と同様に構成され、リフレッシュ要求信号psrtz
の立ち下がりエッジに応答して所定のパルス幅を持つH
レベルの1ショットパルス信号を出力する。
【0125】フリップフロップ回路72はデータ入力端
子に外部端子73に供給される第2のチップイネーブル
信号CE2が入力される。尚、この図では、図1のバッ
ファ回路16を省略してある。
【0126】フリップフロップ回路72は、パルス生成
回路71からの信号に応答して第2のチップイネーブル
信号CE2をラッチして出力端子からパワーダウンモー
ド信号pdmodez を出力する。
【0127】図21は、パワーダウンモード判定回路の
動作波形図である。パワーダウンモード判定回路17
は、リフレッシュ要求信号psrtz の立ち下がりで第2の
チップイネーブル信号CE2の状態をラッチし、パワー
ダウンモード信号pdmodez を出力する。
【0128】図14は、リフレッシュコントロール回路
の一例を示す回路図である。リフレッシュコントロール
回路20は、EOR回路81,82、ノア回路83、ナ
ンド回路84、インバータ回路85,86、セレクタ8
7を含む。EOR回路81にはリフレッシュアドレス信
号paz<1>とリフレッシュアドレスカウンタ信号rfaz<1>
が入力され、EOR回路82にはリフレッシュアドレス
信号paz<0>とリフレッシュアドレスカウンタ信号rfaz<0
> が入力される。両EOR回路81,82の出力端子は
ノア回路83の2つの入力端子に接続されている。従っ
て、EOR回路81,82は、それぞれリフレッシュア
ドレス信号paz<1>とリフレッシュアドレスカウンタ信号
rfaz<1> 、リフレッシュアドレス信号paz<0>とリフレッ
シュアドレスカウンタ信号rfaz<0> とが一致する場合に
Hレベルの信号を出力する。
【0129】ノア回路83の出力端子はナンド回路84
の入力端子に接続されている。ナンド回路84は3入力
素子であり、リフレッシュ要求信号psrtz とS−Ref
信号srefz が入力される。ナンド回路84の出力端子は
インバータ回路85の入力端子に接続され、インバータ
回路85の出力端子はセレクタ87の入力端子Bに接続
されている。セレクタ87の入力端子Aにはリフレッシ
ュ要求信号psrtz が入力される。セレクタ87は、選択
端子に入力されるパワーダウンモード信号pdmodez に応
答してリフレッシュ要求信号psrtz 又はインバータ回路
85の出力信号を反転してインバータ回路86に出力す
る。インバータ回路86は入力信号を論理反転してリフ
レッシュ信号srtzを出力する。
【0130】図22は、リフレッシュコントロール回路
の動作波形図である。Hレベルの第2のチップイネーブ
ル信号CE2が入力されるとパワーダウンモード信号pd
modez がLレベルとなる。リフレッシュコントロール回
路20はリフレッシュ要求信号psrtz と同じ波形を持つ
リフレッシュ信号srtzを出力する。この動作によってD
RAMコア23の全メモリがリフレッシュされる。
【0131】Lレベルの第2のチップイネーブル信号C
E2が入力されるとパワーダウンモード信号pdmodez が
Hレベルとなる。スリープモードを選択した状態では、
リフレッシュコントロール回路20はLレベルのリフレ
ッシュ信号srtz(Sleep) を出力する。この動作によって
DRAMコア23の全てのメモリがリフレッシュされな
い。このスリープモードにおいて図1の内部電源回路2
2は非活性化している。従って、通常動作に移行した
時、内部電源回路22の動作によって所定の動作電圧が
供給された後、メモリのリフレッシュが再開される。
【0132】Napモードを選択した状態では、リフレ
ッシュコントロール回路20はLレベルのリフレッシュ
信号srtz(Nap) を出力する。この動作によってDRAM
コア23の全てのメモリがリフレッシュされない。この
Napモードにおいて図1の内部電源回路22は活性化
した状態にある。従って、通常動作に移行した時、直ち
にメモリのリフレッシュが再開される。
【0133】S−Refモードを選択した状態では、リ
フレッシュコントロール回路20は、リフレッシュアド
レスカウント信号rfaz<0:1> とリフレッシュアドレス信
号paz<0:1>とを比較判定する。そして、図23に示すよ
うに、それらが一致した場合にのみリフレッシュ要求信
号psrtz と同じ波形を持つリフレッシュ信号srtz(S-Re
f) を出力する。この動作によって、DRAMコア23
の所定の領域のメモリがリフレッシュされる。
【0134】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 (1)DRAM10は、パワーダウンモードにメモリセ
ルを含むメモリコアに供給する動作電圧の制御とメモリ
コアに対するリフレッシュの制御を組み合わせた「スリ
ープモード」、「リフレッシュ停止モード(Napモー
ド)」、「部分セルフリフレッシュモード(S−Ref
モード)」を備えた。これらモードを適宜選択可能にす
ることで、低消費電力化とパフォーマンスの向上に容易
に対応することができる。
【0135】(2)「スリープモード」、「Napモー
ド」、「S−Refモード」への移行の選択は通常モー
ドにて行い、第2のチップイネーブル信号CE2の変化
に応じて直ちに選択されたモードへ移行するようにし
た。その結果、移行する際にその移行するモードを判別
する必要がないため、移行に要する時間を短くすること
ができる。
【0136】(3)「スリープモード」、「Napモー
ド」、「S−Refモード」への移行の選択は外部コマ
ンド又は第2のプログラムモード信号/PEに基づいて
行うようにした。その結果、ユーザの要望(コマンド、
信号変化)に容易に対応することができる。
【0137】(4)「スリープモード」、「Napモー
ド」、「S−Refモード」の選択を行うプログラムモ
ードProへの移行はイリーガルコマンドを複数連続し
て入力することで行うようにした。その結果、誤ってプ
ログラムモードへ移行することを防止することができ
る。
【0138】(5)DRAM10は、通常モードにおい
てセルフリフレッシュを行う機能を有している。従っ
て、DRAM10は、外部にリフレッシュのための回路
構成を加えることなくSRAMと置き換えが可能である
ため、回路(CPU31との接続)を大幅に変更する必
要が無く、設計変更の手間とコストを削減することがで
きる。
【0139】尚、前記実施形態は、以下の態様に変更し
てもよい。 ・S−Refモード時に路フレッシュする領域を任意に
設定したが、外部使用上で領域を固定して実施しても良
い。その際、内部でリフレッシュ特性の良い(一般的に
は、メモリセルからの電荷のリークが少ない)メモリブ
ロックをリフレッシュする領域とする。これにより、リ
フレッシュ間隔を長くしてS−Refモードにおける消
費電力を更に低減することができる。
【0140】リフレッシュ特性の良い領域をリフレッシ
ュ領域に設定するためにはアドレススクランブルを用い
る。図24はアドレススクランブル回路90の一例を示
すブロック回路図である。このアドレススクランブル回
路90は、アドレスバッファ91とアドレスデコーダ9
2との間に設けられる。
【0141】アドレススクランブル回路90は、インバ
ータ回路93,94、ENOR回路95〜98、フュー
ズ回路99を含む。アドレス信号A0を増幅するアドレ
スバッファ91aの出力信号はインバータ回路93とE
NOR回路95に入力され、インバータ回路93の出力
信号はENOR回路96に入力される。アドレス信号A
1を増幅するアドレスバッファ91bの出力信号はイン
バータ回路94とENOR回路97に入力され、インバ
ータ回路94の出力信号はENOR回路98に入力され
る。
【0142】ENOR回路95,96にはフューズ回路
99からフューズ信号f<0>が入力され、ENOR回路9
7,98にはフューズ回路99からフューズ信号f<1>が
入力される。各ENOR回路95〜98の出力信号はデ
コーダ92に入力され、そのデコーダ92からDRAM
コアのブロックを選択するための信号(#00〜#1
1)が出力される。
【0143】フューズ回路99は、不揮発性素子、例え
ばレーザ等により切断可能なフューズ素子から構成され
ている。尚、フューズ回路99をPROM等の不揮発性
素子により構成しても良い。
【0144】フューズ回路99には、予めテスト回路1
00によるメモリの特性試験によって得られたフューズ
情報が格納され、その情報に基づいてフューズ信号f<0:
1>が出力される。
【0145】このように構成されたアドレススクランブ
ル回路90は、フューズ信号f<0:1>とアドレス信号A
0,A1のEOR論理(排他的論理和)をとり、アドレ
ス信号A0,A1に基づくブロックをフューズ信号f<0:
1>に基づくブロック番号に内部的に置き換える。図25
は、フューズ信号f<0:1>とアドレス信号A0,A1の対
応を示す図である。
【0146】フューズ信号f<0:1>がLレベルの時にはア
ドレス信号A0,A1に基づいてブロックが選択され
る。例えば、アドレス信号A0,A1が共にLレベルの
場合にはブロック#00が選択される。
【0147】一方、フューズ信号f<0:1>の少なくとも一
方がHレベルの場合、そのフューズ信号f<0:1>とアドレ
ス信号A0,A1に基づいてブロックが選択される。例
えば、フューズ信号f<0:1>が(L,H)レベルの場合、
共にLレベルのアドレス信号A0,A1に基づいてブロ
ック#01が選択される。
【0148】尚、フューズ回路99に記憶したフューズ
情報を読み出した信号S1、もしくはスクランブル後の
アドレス情報(信号S2)を外部に出力する(例えば、
テスト回路100により読み出して出力する)構成とし
ても良い。この構成により、メモリエリアの置き換えを
外部から確認することができる。
【0149】図26は、アドレススクランブルの説明図
である。メモリアレイ110は4つのサブアレイ11
1,112,113,114から構成され、各サブアレ
イは外部アドレスにてブロック#00,#01,#1
0,#11に定義されている。特性試験の結果、各ブロ
ック#00〜#11のリフレッシュ特性(tREF)
は、それぞれ400ms、800ms、1.2s、60
0msである。これら特性から、一般的に通常モードに
おけるメモリアレイ110のセルフリフレッシュ周期
は、ブロック#00のリフレッシュ特性により400m
sに設定される。
【0150】今、DRAMのS−Refモードにおける
リフレッシュ領域は、ブロック#00に設定されてい
る。しかし、上記のメモリアレイ110を持つDRAM
では、ブロック#10の方がリフレッシュ特性がよい。
従って、アドレススクランブルにより、外部仕様に基づ
く論理的なS−Ref領域を、物理的なS−Ref領域
に置き換える。このようなアドレススクランブルによ
り、S−Refモードにおけるリフレッシュ間隔は、物
理的にブロック#00を選択する場合に比べて3倍の間
隔となる。
【0151】このように、アドレススクランブルを行う
S−Refモードにおける消費電力は、アドレススクラ
ンブルを行わない場合に比べて少なくなる。そして、そ
の消費電力は、メモリアレイ110全体をリフレッシュ
する場合に比べて1/4以下になる。
【0152】・上記実施形態では「S−Refモード」
においてDRAMコア23を4つの領域に分割したが、
分割数を適宜変更して実施してもよい。また、コードと
して受け取るアドレス信号に、分割数を変更する情報を
付加して実施してもよい。
【0153】・上記実施形態では、プログラムサイクル
によるエントリと外部専用端子によるエントリとを行う
ようにしたが、何れか一方によりパワーダウンモードに
エントリする半導体記憶装置に具体化しても良い。
【0154】・上記実施形態はDRAM10に適用した
例を説明したが、FCRAM(FastCycle RAM)等に適用
して実施してもよい。 ・上記実施形態のDRAM10の製造プロセスは、CM
OSプロセスに限られず、Bi−CMOSプロセスでも
よい。
【0155】以上の様々な実施の形態をまとめると、以
下のようになる。 (付記1) 記憶保持のためにメモリセルのリフレッシ
ュを定期的に実施する半導体記憶装置であって、メモリ
セルに対して通常動作を行う第1のモードと、消費電力
を削減する第2のモードとを備え、前記第2のモード
は、デバイスの内部電源の制御と前記リフレッシュの制
御を組み合わせた複数の動作モードを有することを特徴
とする半導体記憶装置。 (付記2) 前記複数の動作モードは、全てのメモリセ
ルに対するリフレッシュと、前記メモリセルを含むメモ
リコアに動作電圧を供給する内部電源回路を停止する第
1の動作モードと、全てのメモリセルに対するリフレッ
シュを停止し、前記内部電源回路を停止しない第2の動
作モードと、前記メモリセルの一部の領域をリフレッシ
ュする第3の動作モードとを備えることを特徴とする付
記1記載の半導体記憶装置。 (付記3) 該半導体記憶装置は、前記第1のモードに
おいて定期的に全てのメモリセルをセルフリフレッシュ
する機能を持つことを特徴とする付記1記載の半導体記
憶装置。 (付記4) 前記第1のモードと前記第2のモードの切
り替えを、内部にて生成した信号を基準にして外部端子
に供給される信号の状態に基づいて行うことを特徴とす
る付記1〜3のうちの何れか1つに記載の半導体記憶装
置。 (付記5) 前記内部にて生成した信号に基づいて前記
外部端子に供給される信号をラッチしてパワーダウンモ
ード信号を出力するパワーダウンモード判定回路と、前
記パワーダウンモード信号に基づいて前記複数の動作モ
ードに対応するリフレッシュ信号を生成するリフレッシ
ュコントロール回路とを備えたことを特徴とする付記4
記載の半導体記憶装置。 (付記6) 前記外部端子はモード制御のための外部専
用端子であることを特徴とする付記4又は5記載の半導
体記憶装置。 (付記7) 前記第3の動作モードにおいてリフレッシ
ュする領域の設定を、前記第1のモードにおけるスタン
バイモードから移行するプログラムモードにおいて実施
することを特徴とする付記2〜6のうちの何れか1つに
記載の半導体記憶装置。 (付記8) 前記第1〜第3の動作モードの選択を、前
記第1のモードにおけるスタンバイモードから移行する
プログラムモードにおいて実施することを特徴とする付
記2〜6のうちの何れか1つに記載の半導体記憶装置。 (付記9) 前記プログラムモードは、コマンドに基づ
いて移行する第1のプログラムモードと、外部端子に供
給される信号に基づいて移行する第2のプログラムモー
ドの少なくとも一方を備えることを特徴とする付記7又
は8記載の半導体記憶装置。 (付記10) 前記第1のプログラムモードへの移行
は、前記第1のモードにて実行されないイリーガルコマ
ンドに基づいて行われることを特徴とする付記9記載の
半導体記憶装置。 (付記11) 前記イリーガルコマンドを複数回入力し
た場合に前記第1のプログラムモードへ移行することを
特徴とする付記10記載の半導体記憶装置。 (付記12) 前記イリーガルコマンドを複数回入力し
ている間に該イリーガルコマンドと異なるコマンドを入
力した場合に前記イリーガルコマンドのカウントをリセ
ットすることを特徴とする付記11記載の半導体記憶装
置。 (付記13) 前記イリーガルコマンドとともに前記第
3の動作モードの設定のための情報を入力することを特
徴とする付記10〜12のうちの何れか1つに記載の半
導体記憶装置。 (付記14) 前記第2のプログラムモードへの移行
は、外部端子に供給される信号に基づいて行うことを特
徴とする付記9記載の半導体記憶装置。 (付記15) 前記第2のプログラムモードへの移行
は、前記外部端子に供給される信号のレベルが複数回変
更された場合に実施することを特徴とする付記14記載
の半導体記憶装置。 (付記16) 前記第3の動作モードにおいてリフレッ
シュする領域を任意に設定可能にしたことを特徴とする
付記2〜15のうちの何れか1つに記載の半導体記憶装
置。 (付記17) 前記第3の動作モードにおいてリフレッ
シュする領域の容量を任意に設定可能にしたことを特徴
とする付記2〜16のうちの何れか1つに記載の半導体
記憶装置。 (付記18) 前記第3の動作モードにおいてリフレッ
シュする領域は、前記全メモリセルの領域のうち、リフ
レッシュ特性の良い領域であることを特徴とする付記2
〜17のうちの何れか1つに記載の半導体記憶装置。 (付記19) メモリセルの記憶保持のために定期的に
リフレッシュを必要とする半導体記憶装置であって、前
記メモリセルの一部の領域をリフレッシュするリフレッ
シュモードを備え、前記全メモリセルの領域のうち、リ
フレッシュ特性の良い領域を前記リフレッシュする領域
としたことを特徴とする半導体記憶装置。 (付記20) 前記リフレッシュする前記メモリセルの
一部の領域は固定された領域であり、前記固定された領
域を示す第1のアドレス情報を前記リフレッシュ特性の
よい領域を指定する第2のアドレス情報に変換するアド
レススクランブル回路を備えたことを特徴とする付記1
8又は19記載の半導体記憶装置。 (付記21) 前記第1のアドレス情報を前記第2のア
ドレス情報に変換するための変換情報は不揮発性素子に
記憶されていることを特徴とする付記20記載の半導体
記憶装置。 (付記22) 前記変換情報を外部へ出力するための手
段を有することを特徴とする付記21記載の半導体記憶
装置。 (付記23) 付記1〜22のうちの何れか1つに記載
の半導体記憶装置と、データ保持動作を必要としない半
導体記憶装置とを備えたことを特徴とする半導体装置。 (付記24) 記憶保持のためにメモリセルのリフレッ
シュを定期的に実施し、メモリセルに対して通常動作を
行う第1のモードと、消費電力を削減する第2のモード
とを備える半導体記憶装置において、複数の外部制御ピ
ンの状態を入力して少なくとも第1の情報と第2の情報
を出力するコマンドデコーダと、前記コマンドデコーダ
の第1の情報をカウンタに入力するエントリコントロー
ル回路とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。 (付記25) 前記カウンタのリセットを前記第2の情
報に基づいて行うことを特徴とする付記24に記載の半
導体記憶装置。 (付記26) 記憶保持のためにメモリセルのリフレッ
シュを定期的に実施し、メモリセルに対して通常動作を
行う第1のモードと、消費電力を削減する複数の動作モ
ードを持つ第2のモードとを備える半導体記憶装置にお
いて、外部とは非同期に発生されるリフレッシュ要求信
号と、前記複数の動作モードのうちの1つに対応するリ
フレッシュ動作モード信号と、前記第2のモード時で且
つ前記リフレッシュ動作モード信号がイネーブルの時
に、リフレッシュ領域の設定アドレスとリフレッシュカ
ウンタアドレスとが一致したら、前記リフレッシュ要求
信号をメモリ制御回路に伝えるリフレッシュコントロー
ル回路とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。
【0156】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
携帯システムの消費電力とパフォーマンスの向上に対応
することができる半導体記憶装置及び半導体装置を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 一実施形態の半導体記憶装置のブロック回路
図である。
【図2】 半導体記憶装置の状態遷移図である。
【図3】 モードに対する内部電源とリフレッシュ動作
の状態を示す説明図である。
【図4】 一実施形態の半導体記憶装置を携帯電話に使
用した例を示すブロック図である。
【図5】 携帯電話の使用状態を示す説明図である。
【図6】 モードの切替えを説明する波形図である。
【図7】 モード設定サイクルを説明する波形図であ
る。
【図8】 コマンドの説明図である。
【図9】 モード設定サイクルを説明する波形図であ
る。
【図10】 モードを設定するアドレスコードの説明図
である。
【図11】 エントリコントロール回路の回路図であ
る。
【図12】 モードラッチ回路の回路図である。
【図13】 パワーダウンモード判定回路の回路図であ
る。
【図14】 リフレッシュコントロール回路の回路図で
ある。
【図15】 プログラムモード設定回路の動作波形図で
ある。
【図16】 プログラムモード設定回路の動作波形図で
ある。
【図17】 合成エントリ信号生成回路の動作波形図で
ある。
【図18】 モード設定用アドレスバッファの動作波形
図である。
【図19】 モード設定用アドレスラッチの動作波形図
である。
【図20】 モード設定用デコーダの動作波形図であ
る。
【図21】 パワーダウンモード判定回路の動作波形図
である。
【図22】 リフレッシュコントロール回路の動作波形
図である。
【図23】 リフレッシュコントロール回路の動作波形
図である。
【図24】 アドレススクランブルを説明する回路図で
ある。
【図25】 アドレススクランブルの説明図である。
【図26】 アドレススクランブルの説明図である。
【符号の説明】
11 コマンドデコーダ 12 外部信号エントリ回路 13 エントリコントロール回路 14 モード設定アドレスバッファ 15 モードラッチ回路 17 パワーダウンモード判定回路 18 リフレッシュ動作判定回路 20 リフレッシュコントロール回路 22 内部電源回路 23 DRAMコア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 光徳 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 川本 悟 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA01 BA21 BA29 DA14 DA18 5L106 AA01 CC04 CC09 CC13 CC16 CC21 CC32 GG07

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記憶保持のためにメモリセルのリフレッ
    シュを定期的に実施する半導体記憶装置であって、 メモリセルに対して通常動作を行う第1のモードと、 消費電力を削減する第2のモードとを備え、 前記第2のモードは、デバイスの内部電源の制御と前記
    リフレッシュの制御を組み合わせた複数の動作モードを
    有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記複数の動作モードは、 全てのメモリセルに対するリフレッシュと、前記メモリ
    セルを含むメモリコアに動作電圧を供給する内部電源回
    路を停止する第1の動作モードと、 全てのメモリセルに対するリフレッシュを停止し、前記
    内部電源回路を停止しない第2の動作モードと、 前記メモリセルの一部の領域をリフレッシュする第3の
    動作モードとを備えることを特徴とする請求項1記載の
    半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 該半導体記憶装置は、前記第1のモード
    において定期的に全てのメモリセルをセルフリフレッシ
    ュする機能を持つことを特徴とする請求項1記載の半導
    体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記第1のモードと前記第2のモードの
    切り替えを、内部にて生成した信号を基準にして外部端
    子に供給される信号の状態に基づいて行うことを特徴と
    する請求項1〜3のうちの何れか一項に記載の半導体記
    憶装置。
  5. 【請求項5】 前記内部にて生成した信号に基づいて前
    記外部端子に供給される信号をラッチしてパワーダウン
    モード信号を出力するパワーダウンモード判定回路と、 前記パワーダウンモード信号に基づいて前記複数の動作
    モードに対応するリフレッシュ信号を生成するリフレッ
    シュコントロール回路とを備えたことを特徴とする請求
    項4記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記外部端子はモード制御のための外部
    専用端子であることを特徴とする請求項4又は5記載の
    半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記第3の動作モードにおいてリフレッ
    シュする領域の設定を、前記第1のモードにおけるスタ
    ンバイモードから移行するプログラムモードにおいて実
    施することを特徴とする請求項2〜6のうちの何れか一
    項に記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記第1〜第3の動作モードの選択を、
    前記第1のモードにおけるスタンバイモードから移行す
    るプログラムモードにおいて実施することを特徴とする
    請求項2〜6のうちの何れか一項に記載の半導体記憶装
    置。
  9. 【請求項9】 前記プログラムモードは、コマンドに基
    づいて移行する第1のプログラムモードと、外部端子に
    供給される信号に基づいて移行する第2のプログラムモ
    ードの少なくとも一方を備えることを特徴とする請求項
    7又は8記載の半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 前記第1のプログラムモードへの移行
    は、前記第1のモードにて実行されないイリーガルコマ
    ンドに基づいて行われることを特徴とする請求項9記載
    の半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 前記イリーガルコマンドを複数回入力
    した場合に前記第1のプログラムモードへ移行すること
    を特徴とする請求項10記載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 前記イリーガルコマンドを複数回入力
    している間に該イリーガルコマンドと異なるコマンドを
    入力した場合に前記イリーガルコマンドのカウントをリ
    セットすることを特徴とする請求項11記載の半導体記
    憶装置。
  13. 【請求項13】 前記イリーガルコマンドとともに前記
    第3の動作モードの設定のための情報を入力することを
    特徴とする請求項10〜12のうちの何れか一項に記載
    の半導体記憶装置。
  14. 【請求項14】 前記第2のプログラムモードへの移行
    は、外部端子に供給される信号に基づいて行うことを特
    徴とする請求項9記載の半導体記憶装置。
  15. 【請求項15】 前記第2のプログラムモードへの移行
    は、前記外部端子に供給される信号のレベルが複数回変
    更された場合に実施することを特徴とする請求項14記
    載の半導体記憶装置。
  16. 【請求項16】 前記第3の動作モードにおいてリフレ
    ッシュする領域を任意に設定可能にしたことを特徴とす
    る請求項2〜15のうちの何れか一項に記載の半導体記
    憶装置。
  17. 【請求項17】 前記第3の動作モードにおいてリフレ
    ッシュする領域は、前記全メモリセルの領域のうち、リ
    フレッシュ特性の良い領域であることを特徴とする請求
    項2〜16のうちの何れか一項に記載の半導体記憶装
    置。
  18. 【請求項18】 メモリセルの記憶保持のために定期的
    にリフレッシュを必要とする半導体記憶装置であって、
    前記メモリセルの一部の領域をリフレッシュするリフレ
    ッシュモードを備え、前記全メモリセルの領域のうち、
    リフレッシュ特性の良い領域を前記リフレッシュする領
    域としたことを特徴とする半導体記憶装置。
  19. 【請求項19】 前記リフレッシュする前記メモリセル
    の一部の領域は固定された領域であり、前記固定された
    領域を示す第1のアドレス情報を前記リフレッシュ特性
    のよい領域を指定する第2のアドレス情報に変換するア
    ドレススクランブル回路を備えたことを特徴とする請求
    項17又は18記載の半導体記憶装置。
  20. 【請求項20】 請求項1〜19のうちの何れか一項に
    記載の半導体記憶装置と、データ保持動作を必要としな
    い半導体記憶装置とを備えたことを特徴とする半導体装
    置。
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