JP2005196952A - ダイナミック半導体記憶装置及びこの装置の節電モード動作方法 - Google Patents

ダイナミック半導体記憶装置及びこの装置の節電モード動作方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ダイナミック半導体記憶装置及びこの装置の節電モード動作方法を提供する。
【解決手段】複数のワード線と複数のビット線との間に接続された複数のメモリセルを備えたメモリセルアレイ、モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定コードを入力して節電モード動作のための節電モード制御信号を発生するモード設定レジスタ、及び正常モード動作時に外部から印加されるアドレスまたはリフレッシュアドレスをデコーディングして複数のワード線の中から一つのワード線を選択し、節電モード動作時に外部から印加されるアドレスまたはリフレッシュアドレスの所定ビットを除外し、デコーディングして複数のワード線の中からの所定数のワード線を同時に選択するアドレス制御部で構成されている。従って、リフレッシュ動作時にリフレッシュ周期が伸び、リフレッシュ時間が減少することによって電力消耗を減らすことができる。
【選択図】図3

Description

本発明は、ダイナミック半導体記憶装置に係り、特に電力消耗が減少できるダイナミック半導体記憶装置及びこの装置の節電モード動作方法に関する。
一般的に、ダイナミック半導体記憶装置は、書込み及び読出し動作以外にリフレッシュ動作を必ず実行しなければならない。
ダイナミック半導体記憶装置のダイナミックメモリセルは、一つのトランジスタと一つのキャパシタとで構成されて1ビットのデータを記録する。キャパシタに記録された「ハイ」レベルのデータは時間が経過することによって消滅する。従って、キャパシタに記録された「ハイ」レベルのデータが消滅する前に周期的にリフレッシュ動作を実行してデータを保持しなければならない。
従来のダイナミック半導体記憶装置は、書込み及び読出し動作が実行されないスタンバイ状態の場合にも周期的なリフレッシュ動作を実行するために電力消耗が継続的に行われる。
特に、従来のダイナミック半導体記憶装置がバッテリを電源として使用する携帯用の移動通信機器に使用された場合、容量が大きいダイナミック半導体記憶装置のリフレッシュ動作のために電力消耗が大きく、バッテリを長時間使用することができないという問題があった。
本発明の目的は、電力消耗を減らすことのできるダイナミック半導体記憶装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、前記目的を達成するためのダイナミック半導体記憶装置の節電モード動作方法を提供することにある。
前記目的を達成するために本発明のダイナミック半導体記憶装置は、複数のワード線と複数のビット線との間に接続された複数のメモリセルを備えたメモリセルアレイ、モード設定命令に応答して節電モード制御信号を発生するモード設定手段、及び前記節電モード制御信号に応答してアドレスと関連のある所定数のワード線を同時に選択するアドレス制御手段を備えることを特徴とする。
前記他の目的を達成するために本発明のダイナミック半導体記憶装置の動作方法は、節電モード動作を定義する節電モード制御信号を発生する段階と、リフレッシュ制御信号を発生する段階と、前記節電モード信号に応答して前記リフレッシュ制御信号の周期を増加する段階と、正常モード動作時に前記リフレッシュアドレスを計数する段階と、節電モード動作時に所定数のビットの前記リフレッシュアドレスを除いたアドレスを計数する段階と、リフレッシュ命令に応答して前記入力アドレスまたは前記リフレッシュアドレスを選択する段階と、前記正常モード動作時に前記選択されたアドレスに応答して一つのワード線を選択する段階と、前記節電モード動作時に前記選択されたアドレスに応答して少なくとも一つのワード線を選択し、この選択されたワード線の数は前記所定数のビットと同じであることを特徴とする段階と、を備えることを特徴とする。
本発明のダイナミック半導体記憶装置及びこの装置の節電モード動作方法は、所定の数のワード線を同時に選択してデータを書込みし、リフレッシュ動作を実行する。従って、リフレッシュ周期が伸び、リフレッシュ時間が減少してリフレッシュ動作時に消耗される電力を減らすことができる。
このため、本発明のダイナミック半導体記憶装置は、バッテリを電源として用いる携帯用移動通信機器に適用されてバッテリの電力消耗を減少させることができる。
以下、添付した図面を参照しながら本発明のダイナミック半導体記憶装置及びこの装置の節電モード動作方法を説明する前に、従来のダイナミック半導体記憶装置及びその動作方法を説明する。
図1は、従来のダイナミック半導体記憶装置の一形態の構成を示すブロック図で、アドレス入力バッファ10、選択回路12、18、リフレッシュ周期カウンタ14、リフレッシュアドレス発生回路16、ロウアドレスデコーダ20、命令語デコーダ22、モード設定レジスタ24、コラム選択ゲート回路26、コラムアドレスデコーダ28、データ入力回路30、及びメモリセルアレイ100で構成されている。
図1に示すブロックのそれぞれの機能を次に説明する。
メモリセルアレイ100は、ワード線(WL1〜WLn)とビット線組(BL1、BL1B)〜(BLm、BLmB)との間に接続されたメモリセル(MC)で構成されてデータを記録する。アドレス入力バッファ10は、外部から印加されるアドレス(ADD)をバッファしてバッファされたアドレス(BADD)を発生する。選択回路12は、アクティブ命令(ACT)に応答してバッファされたアドレス(BADD)をバッファされたロウアドレス(RBADD1〜k)として発生し、読出し命令(RD)及び書込み命令(WR)に応答してバッファされたアドレス(BADD)をバッファされたコラムアドレス(CBADD1〜i)に発生する。リフレッシュ周期カウンタ14は、リフレッシュ命令(REF)に応答してリフレッシュ制御信号(REFC)を発生する。リフレッシュ命令(REF)は内部的に発生される。リフレッシュアドレス発生回路16は、リフレッシュ制御信号(REFC)に応答してリフレッシュアドレス(RADD1〜k)を発生する。選択回路18は、リフレッシュ命令(REF)に応答して選択回路12から出力されるバッファロウアドレス(RBADD1〜k)またはリフレッシュアドレス(RADD1〜k)を選択してアドレス(RA1〜k)として出力する。ロウアドレスデコーダ20は、選択回路18から出力されるアドレス(RA1〜k)をデコーディングしてワード線(WL1〜WLn)の中から一つのワード線を選択する。命令語デコーダ22は、外部から印加される命令語(COM)をデコーディングしてアクティブ命令(ACT)、書込み命令(WR),読出し命令(RD)、及びモード設定命令(MRS)を発生する。モード設定レジスタ24は、モード設定命令(MRS)に応答してモード設定コードを入力して内部の動作を制御するための制御信号を発生する。図1で、モード設定コードは、アドレス(ADD)入力端子によって入力される場合を例として示した。コラム選択ゲート回路26は、コラム選択信号(Y1〜Ym)に応答してビット線組(BL1、BL1B)〜(BLm、BLmB)の中から選択されたビット線組に/からデータ(dio)を入/出力する。コラムアドレスデコーダ28は、バッファされたコラムアドレス(CBADD1〜i)をデコーディングしてコラム選択信号(Y1〜Ym)を発生する。データ入出力回路30は、データ(DIO)をデータ(dio)として入力し、データ(dio)をデータ(DIO)として出力する。
図1に示す従来のダイナミック半導体記憶装置は、書込み及び読出しの動作時に選択された一つのワード線と所定数のビット線組との間に接続されたメモリセルに/からデータを入/出力する。リフレッシュ動作時にメモリセルアレイ100に記録されたデータをリフレッシュする。
図2は、図1に示す従来のダイナミック半導体記憶装置のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミング図である。
リフレッシュ命令(REF)に応答してリフレッシュ周期カウンタ14が周期Tを有して発するパルス幅tを有したリフレッシュ制御信号(REFC)を発生する。ここで、パルス幅tは、メモリセルアレイ100のすべてのワード線(WL1〜WLn)を選択するのに所要する時間である。すると、リフレッシュアドレス発生回路16がリフレッシュ制御信号(REFC)に応答して順次増加するリフレッシュアドレス(RADD1〜k)を発生する。リフレッシュアドレス(RADD1〜k)は、選択回路18及びロウアドレスデコーダ20によって選択されデコーディングされてワード線(WL1〜WLn)を一つずつ順次に選択しながら、選択されたワード線に接続されたメモリセル(MC)のデータをビット線組(BL1、BL1B)〜(BLm、BLmB)に読出し、ビット線センス増幅器(図示せず)によって読出されたデータを増幅した後に該当メモリセル(MC)に再び記録する。
上述した図2のタイミング図に示されたように従来のダイナミック半導体記憶装置は、リフレッシュ周期Tの間隔で、パルス幅tのリフレッシュ時間にリフレッシュ動作を実行するので、電力消耗が増加するという問題点があった。
図3は、本発明のダイナミック半導体記憶装置の一実施形態の構成を示すブロック図であり、図1に示すブロック図にプリチャージ回路40を追加し、リフレッシュ周期カウンタ14、リフレッシュアドレス発生回路16、及びモード設定レジスタ24を、それぞれのリフレッシュ周期カウンタ14′、リフレッシュアドレス発生回路16′、及びモード設定レジスタ24′に代替して構成している。
図3に示すブロックの中で、図1と同一のブロック部分は図1での説明を参照し、ここでは追加されたブロック及び代替されたブロックの機能についてのみ説明する。
モード設定レジスタ24′は、モード設定命令(MRS)に応答してモード設定コードを入力して内部の動作を制御するための制御信号、及び節電モード動作のための節電モード制御信号SVMを発生する。リフレッシュ周期カウンタ14′は、正常動作時にはリフレッシュ命令(REF)に応答して正常リフレッシュ周期及び正常パルス幅を有しているリフレッシュ制御信号REFCを発生し、節電モード動作時には節電モード制御信号SVMに応答して正常リフレッシュ周期よりも増加された周期及び正常パルス幅よりも減少されたパルス幅を有しているリフレッシュ制御信号REFCを発生する。リフレッシュアドレス発生回路16′は、正常動作時には、リフレッシュ制御信号REFCに応答してリフレッシュアドレス(RADD1〜k)を発生し、節電モード正常動作時にはリフレッシュ制御信号REFC及び節電モード制御信号SVMに応答して所定ビットの下位アドレスを除いた上位ビットのアドレスを計数してリフレッシュアドレス(RADD1〜j)を発生する。プリチャージ回路40は、節電モード制御信号SVMに応答して選択回路18によって出力される下位ビットのアドレス(RBADDj〜k)を「ハイ」レベルにプリチャージする。
図3に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置は、正常モード動作時には図1に示す従来のダイナミック半導体記憶装置と同様に一つのワード線選択して書込み、読出し及びリフレッシュ動作を実行するが、節電モード動作時には所定数のワード線を同時に選択して書込み、読出し及びリフレッシュ動作を実行する。
従って、本発明のダイナミック半導体記憶装置は、所定数のワード線が同時に選択されて所定数のメモリセルに同一のデータが書込み、読出し及びリフレッシュされるために結果的に1ビットのデータを記録するメモリセルのキャパシタンスが増加される。例を挙げて説明すると、節電モード動作時にプリチャージ回路40が選択回路18を介して出力されるバッファロウアドレス(RBADD1〜k)の中から最下位ビットアドレスを「ハイ」レベルになるように構成されているとしたら、ロウアドレスデコーダ20はバッファされたロウアドレス(RBADD1〜(k−1))と「ハイ」レベルの最下位ビットアドレス(RBADDk)をデコーディングして2個ずつのワード線(WL1〜WLn)を同時に順に選択する。そうなると、従来のダイナミック半導体記憶装置においてメモリセルのそれぞれのキャパシタンスをCであるとしたら、本発明のダイナミック半導体記憶装置でのメモリセルのそれぞれのキャパシタンスは2Cとなる。
従って、本発明のダイナミック半導体記憶装置のメモリセルのそれぞれに充電された電荷の消滅する時間が、従来のダイナミック半導体記憶装置のメモリセルのそれぞれに充電された電荷が消滅する時間に比べて2倍になり、これにより、リフレッシュ周期を2倍に伸ばすことができる。すなわち、従来のダイナミック半導体記憶装置が周期Tごとにリフレッシュ動作を実行しなければいけなかったのに対して、本発明のダイナミック半導体記憶装置は周期2Tごとにリフレッシュ動作を実行するだけで良い。
また、本発明のダイナミック半導体記憶装置は、リフレッシュ動作時に2個ずつのワード線を同時に選択するので、1回のリフレッシュ動作のために要求されるリフレッシュ時間が1/2に減少する。
従って、本発明のダイナミック半導体記憶装置は、リフレッシュ動作時にリフレッシュ周期が増加し、リフレッシュ時間が減少することによって電力消耗が減少するようになる。
図4は、図3に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置に係る節電モード動作時のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミング図で、節電モード動作時に最下位ビットのアドレス(RAk)を「ハイ」レベルにプリチャージした場合の動作を示すものである。
まず、モード設定レジスタ24′がモード設定命令(MRS)に応答して節電モードを設定するためのモード設定コードを入力して節電モード制御信号SVMを発生する。すると、リフレッシュ動作時にリフレッシュ命令(REF)に応答してリフレッシュ周期カウンタ14′がリフレッシュ周期2Tを有して発生するパルス幅t/2を有したリフレッシュ制御信号REFCを発生する。すると、リフレッシュアドレス発生回路16′がリフレッシュ制御信号(REFC)及び節電モード制御信号SVMに応答して最下位ビットを除いた上位ビットのアドレスを計数してリフレッシュアドレス(RADD1〜(k−1))を発生する。選択回路18は、リフレッシュアドレス(RADD1〜(k−1))を選択してアドレス(RA1〜(k−1))として出力する。ロウアドレスデコーダ20は、アドレス(RA1〜(k−1))と「ハイ」レベルにプリチャージされたアドレス(RAk)とをデコーディングしてワード線(WL1〜WLn)を2個ずつ同時に順に選択する。すると、メモリセルアレイ100は、選択されたワード線に連結されたメモリセル(MC)データをビット線組(BL1、BL1B)〜(BLm、BLmB)で読出し、ビット線センス増幅器(図示せず)により読出されたデータを増幅した後に該当メモリセル(MC)に再び記録するリフレッシュ動作を実行する。
図4のタイミング図からわかるように、本発明のダイナミック半導体記憶装置は、節電モード動作時にリフレッシュ制御信号REFCの周期は2Tとなり、パルス幅はt/2となってリフレッシュ動作時に消耗される電力が減少するようになる。従って、従来のダイナミック半導体記憶装置の1回のリフレッシュ動作に消耗される電力がPであるとしたら、本発明のダイナミック半導体記憶装置の1回のリフレッシュ動作に消耗される電力はP/4になる。
仮に、節電モード動作時にアドレス(RA(k−1)、RAk)を「ハイ」レベルにプリチャージするように構成されているとしたら、リフレッシュ周期が4倍と長くなり、リフレッシュ時間が1/4と短くなることによって従来のダイナミック半導体記憶装置に比べて電力消耗が1/16に減少する。
図5は、本発明のダイナミック半導体記憶装置の他の実施形態の構成を示すブロック図で、図3のリフレッシュ周期カウンタ14′及びリフレッシュアドレス発生回路16′をリフレッシュ周期カウンタ14″及びリフレッシュアドレス発生回路16″に代替して構成している。
図5に示すブロックの中で、図3に示すブロックと同一のブロックは、図3の説明で十分理解されるので、ここでは代替されたブロックの機能について説明する。
リフレッシュ周期カウンタ14″は、リフレッシュ周期カウンタ14′が正常動作時にはリフレッシュ命令(REF)に応答して正常リフレッシュ周期及び正常パルス幅を有するリフレッシュ制御信号REFCを発生し、節電モード動作時には節電モード制御信号SVMに応答して正常リフレッシュ周期よりも増加された周期を有するリフレッシュ制御信号REFCを発生する。リフレッシュアドレス発生回路16′は、リフレッシュ制御信号REFCに応答してリフレッシュアドレス(RADD1〜k)を発生する。すなわち、リフレッシュアドレス発生回路16″は図1のリフレッシュアドレス発生回路と同じ動作を実行する。
図5に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置は、節電モード動作時にリフレッシュ制御信号REFCのパルス幅を減らさず、発生周期だけを増加させた場合の構成を示すものである。
従がって、図5に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置は、図3に示すダイナミック半導体記憶装置と比べると電力消耗が2倍に増えることになるが、従来のダイナミック半導体記憶装置と比べると、電力消耗が半分になる。
図6は、図5に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置の節電モード動作時のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミング図であり、節電モード動作時に最下位1ビットのアドレス(RAk)を「ハイ」レベルにプリチャージした場合の動作を示すものである。
リフレッシュ動作時に、リフレッシュ命令(REF)に応答してリフレッシュ周期カウンタ14″が周期2Tを有して発するパルス幅tを有したリフレッシュ制御信号REFCを発生させる。すると、リフレッシュアドレス発生回路16がリフレッシュ制御信号REFC及び節電モード制御信号SVMに応答してリフレッシュアドレス(RADD1〜k)が発生する。選択回路18は、リフレッシュアドレス(RADD1〜k)をアドレス(RA1〜k)として出力する。このとき、プリチャージ回路40によってリフレッシュアドレス(RADD1〜k)の最下位ビットが「ハイ」レベルにプリチャージされることによってロウアドレスデコーダ20は、アドレス(RA1〜(k−1))と「ハイ」レベルにプリチャージされたアドレス(RAk)をデコーディングしてワード線(WL1〜WLn)を二つずつ同時に順次選択する。すると、メモリセルアレイ100は、選択されたワード線に接続されたメモリセル(MC)のデータをビット線組(BL1、BL1B)〜(BLm、BLmB)で読出し、ビット線センス増幅器(図示せず)によって読出されたデータを増幅した後、該当メモリセル(MC)に再び記録するリフレッシュ動作を実行する。
図6のタイミング図からわかるように、図5に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置は、節電モードの動作時にリフレッシュ制御信号REFCリフレッシュ周期は2Tになり、パルス幅はtとなってリフレッシュ動作時に消耗する電力が減少するようになる。仮に、従来のダイナミック半導体記憶装置において1回のリフレッシュ動作に消耗する電力がPであるとしたら、本発明のダイナミック半導体記憶装置における1回のリフレッシュ動作に消耗する電力は、P/2となる。
上述した実施の形態では、節電モード動作時に「ハイ」レベルにプリチャージされるロウアドレスのビット数が固定された構成を用いて説明したが、プリチャージされるロウアドレスのビット数が可変するように構成することもできる。
上述では、本発明の好ましい実施の形態を参照して説明したが、当該技術分野の熟練した当業者は、添付の特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しなし範囲で、本発明を多様に修正及び変更することができる。
従来のダイナミック半導体記憶装置に係る一形態の構成を示すブロック図である。 図1に示す従来のダイナミック半導体記憶装置のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミング図である。 本発明のダイナミック半導体記憶装置の一実施の形態の構成を示すブロック図である。 図3に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミング図である。 本発明のダイナミック半導体記憶装置の他の実施形態の構成を示すブロック図である。 図5に示す本発明のダイナミック半導体記憶装置のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミング図である。
符号の説明
10:アドレス入力バッファ
12:選択回路
14、14′、14″:リフラッシュ周期カウンタ
16、16′、16″:リフラッシュアドレス発生回路
18:選択回路
20:ロウアドレスデコーダ
22:命令語デコーダ
24、24′:モード設定レジスタ
26:コラム選択ゲート回路
28:コラムアドレスデコーダ
30:データ入出力回路
40:プリチャージ回路

Claims (18)

  1. 複数のワード線と複数のビット線との間に接続された複数のメモリセルを備えたメモリセルアレイと、
    モード設定命令に応答して節電モード制御信号を発生するモード設定手段と、
    前記節電モード制御信号に応答してアドレスと関連する所定数のワード線を同時に選択するアドレス制御手段と、
    を備えることを特徴とするダイナミック半導体記憶装置。
  2. 前記アドレス制御手段は、
    正常モード動作時に前記ワード線の一つを選択し、節電モード動作時に所定数のビットのアドレスを選択することを特徴とする請求項1に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  3. 前記アドレス制御手段は、
    リフレッシュ命令に応答してリフレッシュ制御信号を発生し、前記節電モード制御信号に応答して、前記リフレッシュ制御信号の発生周期を長くするリフレッシュ制御信号発生手段と、
    前記リフレッシュ制御信号に応答して前記リフレッシュアドレスを発生し、前記節電モード制御信号に応答して所定数のビットの前記リフレッシュアドレスを計数するリフレッシュアドレス発生手段と、
    前記リフレッシュ制御信号に応答して前記リフレッシュアドレスを選択して出力する選択手段と、
    前記節電モード制御信号に応答して所定数のビットのアドレスを活性化し、デコーディングするアドレスデコーディング手段と、
    を備えることを特徴とする請求項1に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  4. 前記リフレッシュ制御信号発生手段は、
    前記節電モード制御信号に応答して前記リフレッシュ制御信号のパルス幅を減少することを特徴とする請求項3に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  5. 前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスはnビットであり、
    前記リフレッシュ制御信号発生手段は、前記リフレッシュ制御信号の周期をn倍伸ばし、
    前記リフレッシュ制御信号発生手段は、前記リフレッシュ制御信号のパルス幅を正常動作のパルス幅よりも1/n倍減少することを特徴とする請求項3に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  6. 前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスは、
    下位ビットのアドレスであることを特徴とする請求項3に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  7. 前記アドレスデコーディング手段は、
    前記節電モード制御信号に応答して前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスをプリチャージするプリチャージ回路を備えることを特徴とする請求項3に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  8. 前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスはnビットであり、
    前記リフレッシュ制御信号発生手段は、前記リフレッシュ制御信号の周期をn倍伸ばすことを特徴とする請求項4に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  9. 前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスは、
    下位ビットのアドレスであることを特徴とする請求項4に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  10. 前記アドレスデコーディング手段は、
    前記節電モード制御信号に応答して前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスをプリチャージするプリチャージ回路をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載のダイナミック半導体記憶装置。
  11. 節電モード動作を定義する節電モード制御信号を発生する段階と、
    リフレッシュ制御信号を発生する段階と、
    前記節電モード信号に応答して前記リフレッシュ制御信号の周期を増加する段階と、
    正常モード動作時に前記リフレッシュアドレスを計数する段階と、
    節電モード動作時に所定計数のビットの前記リフレッシュアドレスを除いたアドレスを計数する段階と、
    リフレッシュ命令に応答して前記入力アドレスまたは前記リフレッシュアドレスを選択する段階と、
    前記正常モード動作時に前記選択されたアドレスに応答して一つのワード線を選択する段階と、
    前記節電モード動作時に前記選択されたアドレスに応答して少なくとも一つのワード線を選択し、前記選択されたワード線の数は前記所定数のビットと同一であることを特徴とする段階と、
    を備えることを特徴とするダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  12. 前記所定数のビットを除いたすべてのビットを計数する段階はnビットのリフレッシュアドレスを計数し、
    前記リフレッシュ制御信号の周期を増加段階は、前記リフレッシュ制御信号の周期をn倍増加することを特徴とする請求項11に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  13. 前記所定数のビットを除いたすべてのビットを計数する段階は、前記アドレスの下位ビットを除いたすべてのビットを計数することを特徴とする請求項11に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  14. 前記節電モード動作時に前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスをプリチャージすることを特徴とする請求項11に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  15. 前記節電モード信号に応答して前記リフレッシュ制御信号のパルス幅を減少することを特徴とする請求項11に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  16. 前記所定数のビットを除いたすべてのビットを計数する段階は、前記リフレッシュアドレスのnビットであり、
    前記リフレッシュ制御信号の周期を増加する段階は、前記リフレッシュ制御信号の周期をn倍増加し、
    前記リフレッシュ制御信号のパルス幅を減少する段階は、前記リフレッシュ制御信号のパルス幅を1/n倍減少することを特徴とする請求項15に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  17. 前記所定数のビットを除いたすべてのビットを計数する段階は、前記アドレスの下位ビットを除いたすべてのビットを計数することを特徴とする請求項15に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
  18. 前記節電モード動作時に前記所定数のビットの前記リフレッシュアドレスをプリチャージすることを特徴とする請求項15に記載のダイナミック半導体記憶装置の動作方法。
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