EP1947251A2 - Duschvorrichtung - Google Patents
Duschvorrichtung Download PDFInfo
- Publication number
- EP1947251A2 EP1947251A2 EP08000599A EP08000599A EP1947251A2 EP 1947251 A2 EP1947251 A2 EP 1947251A2 EP 08000599 A EP08000599 A EP 08000599A EP 08000599 A EP08000599 A EP 08000599A EP 1947251 A2 EP1947251 A2 EP 1947251A2
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- shower
- rest position
- movable
- water
- shower device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E03—WATER SUPPLY; SEWERAGE
- E03C—DOMESTIC PLUMBING INSTALLATIONS FOR FRESH WATER OR WASTE WATER; SINKS
- E03C1/00—Domestic plumbing installations for fresh water or waste water; Sinks
- E03C1/02—Plumbing installations for fresh water
- E03C1/04—Water-basin installations specially adapted to wash-basins or baths
- E03C1/0408—Water installations especially for showers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
- B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
- B05B1/044—Slits, i.e. narrow openings defined by two straight and parallel lips; Elongated outlets for producing very wide discharges, e.g. fluid curtains
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/70—Arrangements for moving spray heads automatically to or from the working position
- B05B15/72—Arrangements for moving spray heads automatically to or from the working position using hydraulic or pneumatic means
- B05B15/74—Arrangements for moving spray heads automatically to or from the working position using hydraulic or pneumatic means driven by the discharged fluid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/14—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
- B05B1/16—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening having selectively- effective outlets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/14—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
- B05B1/18—Roses; Shower heads
Definitions
- the invention relates to a shower device for wall and / or ceiling mounting with at least one movable shower.
- hand showers it is well known to attach hand showers to handrails, possibly with an adjustable slider.
- the hand shower can be moved or rotated or pivoted on the attachment, that the beam direction of the hand shower can be varied.
- a shower system known with an elongated housing having a movable shower arm.
- the shower arm is articulated in the upper region of the housing about a horizontal axis and can be pivoted from a vertical, pivoted-off rest position into a horizontal active position.
- the invention has for its object to provide a shower device mentioned above, which avoids the problems of the prior art and in particular creates a shower head on a shower device that can be moved in a novel way.
- the shower is movable between a rest position and an active position. In the rest position, it is essentially recessed in the shower device or an outer surface or surface of the shower device, wherein it can also form part of the surface of the outer side, that can be approximately flat or flush with this. In the active position, it is moved out of the shower device or rotated and can survive over the outside or surface of the shower device.
- the shower device has an actuating device with which at least the shower head can be moved from the rest position into the active position, wherein the actuating device can be driven or activated by water flowing to the shower head.
- actuating device with which at least the shower head can be moved from the rest position into the active position, wherein the actuating device can be driven or activated by water flowing to the shower head.
- essentially a large part or the entire force for moving the shower is applied by the water flowing to the shower.
- the actuator may advantageously be designed so that it moves the movable shower without intermediate position directly from the rest position to the active position by the water flowing to her. End stops can be provided for a respective maximum movement in the rest position and in the active position. This can ensure that the movable shower is either always in the rest position or in the active position except for a short phase of the movement itself. Intermediate positions with not exactly defined jet direction or application of the water can thus be safely avoided.
- the shower is first brought to almost or almost in the active position and then actually exiting water from her, whereby the defined beam direction can be particularly well ensured.
- the actuating device is designed so that the shower automatically moves from the active position to the rest position when stopping inflowing water, so to speak, is deactivated.
- a restoring force or return spring can be provided, the spring force moves the shower.
- the return spring may advantageously be provided outside a region through which water flows, ie in the dry state.
- it is designed as a plastic spring, particularly advantageous Alternatively, a provision can also be made by gravity in a deflected shower.
- the movement of the shower between the rest position and the active position as well as back a pivoting movement can pass the outlet nozzles of the shower, whereby it is particularly well possible to arrange the outlet nozzles in the rest position deeper in the shower device than in the active position. It is possible to direct the water flowing to the shower substantially along the pivot axis.
- a pipe or a conduit form the pivot axis, to which the shower is substantially fixed.
- a sealed feed can be provided with a seal between a supply line in the shower device and the pipe or line into the showerhead, which serve for pivoting.
- a pivoting movement between the rest position and the active position may advantageously have a pivot angle of about 5 ° to 45 °, ie a relatively small pivoting movement. But it can also have a larger tilt angle.
- the movable showerhead can be moved out of the shower apparatus substantially linearly by the build-up water pressure of the inflowing water.
- a supply can be made for example via a flexible hose.
- a feed line may be formed as a telescopic tube. This can be prolonged in building up the pressure of the inflowing water and move by this movement, as will generally be explained in more detail below, the shower.
- the shower head or its outlet surface or outlet nozzles in the rest position form part of a surface or outside of the shower device, wherein preferably the surface or outside of the shower device is substantially smooth or flat.
- the shower or the outlet nozzles are at least partially accessible or visible, so slightly set back or pivoted. This has, for example, the advantage that the outlet nozzles, which are now very often made of elastic material such as silicone, can be achieved for cleaning purposes even in the deactivated state. Alternatively, although they may be visible but sunk into the surface or outside of the shower device, so to speak, moved into it.
- the shower or its outlet nozzles are in turn sunk into the rest position in the shower device, but they are not visible from the outside here or can not be readily achieved.
- the surface or outside of the shower device is substantially closed in the region of the shower when the shower is in the rest position.
- the shower can be arranged either alone or together with other movable showers on a shower carrier.
- This shower carrier in turn is movably attached to the shower device and causes the shower to be moved between the rest position and the active position. If several showers are arranged on such a shower carrier, then this is advantageously in a straight line side by side, in particular in a line parallel to an aforementioned pivot axis during a pivoting movement. On the entire shower device, a single or possibly several such shower brackets may be provided. Furthermore, it is possible that such a shower carrier in the direction of the pivot axis is considerably longer than in a direction transverse thereto, especially if it has several showers. In this way, the pivoting movement for the movable shower heads is the same.
- the actuating device may be designed so that water flowing to the shower exerts pressure on a wall of a chamber located in the inlet within an inlet in the actuating device and thus this chamber wall is moved.
- the chamber wall moves the shower head, in particular via articulation means.
- the chamber is advantageously designed so that the movable chamber wall is not flowed around or flowed behind by the water flowing to the shower, the chamber remains so to speak, even in the region of the movable chamber wall tight.
- the chamber wall may be a movable separate part, which is sealed against the other chamber.
- the chamber wall may be movable in the manner of a projection or move a projection and thus move or swivel the shower.
- a shower unit mounted on the ceiling, it can press from above against a shower support in order to pivot it downwards or to swivel out a shower arranged on the shower support from the shower unit.
- an aforementioned restoring force or return spring can return the shower carrier back to the rest position and thereby also move back the chamber wall.
- the actuating device may have an entrainment body in an inlet for water towards the shower head.
- the water flowing to the shower flows past or flows around it and moves it from a standing position to a working position.
- the driving body is operatively connected to the shower or moves it over articulation that the shower moves as he, in particular at least from the rest position to the active position.
- the driving body is thus fully in the water flow and may be formed, for example, as a ball or elongated rounded shape. In particular, it can also substantially seal a feed in the rest position and is moved when the water flows to the shower.
- the shower device can also have other shower devices in addition to the movable shower. These can be fixed or immovable and how the movable shower can be controlled via setting or mixing fittings.
- a movable shower is relatively small with a diameter of for example 3 cm to 10 cm. It may have few outlet nozzles, for example two to ten or fifteen outlet nozzles.
- an aforementioned shower carrier has a plurality of movable showers next to one another, for example four showers.
- a shower device 11 according to the invention is shown from below, which is flat and large area formed with a housing 12 and a housing bottom 13.
- a connection 14 for mounting in a wall high above a shower or just below the ceiling provided so that the housing bottom 13 extends substantially horizontally.
- a plurality of shower devices are provided, namely a round shower 16 with a plurality of outlet nozzles, a surge shower 17 in the manner of a very long slot and a movable shower device 19 in between.
- the movable shower device 19 has four movable showers 20 each with nine outlet nozzles 21, which together on a movable or pivotable shower brackets 23 are mounted. All shower devices 16, 17 and 19 allow the water to emerge substantially downwards or at least obliquely downward.
- Fig. 2 is a section through the longitudinal axis of the shower holder 23 and the shower device 11 shown at this point. It can be seen that the movable showerheads 20 or their outlet nozzles 21 do not protrude, or only insignificantly, beyond the underside of the housing 13, and thus are not invisible, but are at least recessed. It can also be seen how feeds 25 are provided to the left and right of the shower carrier 23 for supplying water to the respective leftmost and rightmost movable showerheads 20. The further inlets 26 to the adjacent showerhead 20 are provided inwards. The feeds 25 are located in pipe sections 28, each sealed in both the shower device 11 and the housing 12 and in the shower holder 23 sit. The pipe sections 28 serve as pivot axes for the shower carrier 23 and thus have the dual function of both an inlet 25 and just the mechanical pivot axis.
- pivoting movement is on the 3 and 4 directed.
- an enlargement with a view along the pivoting direction or along the axes of the pipe sections 28 is shown.
- the pivot axis 29 is symbolically extending into the plane in Fig. 3 and in Fig. 4 shown.
- a chamber 31 is provided in a supply line 30 for water to flow to the movable showers 20, a chamber 31 is provided. This has on its underside or as a bottom to a piston 32 which is sealed in the housing 12 upwardly and downwardly movable. For precise guidance of this movement, the piston 32 upwards guided in the housing guide plunger 34 and down a wide and slightly shorter projection 35. This projection 35 abuts an upper left edge of the shower holder 23.
- the beam direction can thereby be changed from a vertically downward direction to an oblique direction.
- the swing angle is here about 15 °, but it can also be less or stronger.
- a return spring for a restoring force of the showers 20 and the shower holder 23 from the active position according to Fig. 4 in the rest position according to Fig. 3 is not shown here. However, it is easy for the skilled and readily provided. Furthermore, it is possible to provide the pivot axis 29 slightly to the left of the center of gravity of the shower carrier 23, so that when the water inlet is stopped, gravity causes the shower carrier 23 to swing back from the active position to the rest position with simultaneous pushing up of the piston 32 in the chamber 31.
- a movable piston 32 according to Fig. 3 undergoes a longer actuation path and causes a significantly larger tilt angle of the shower holder 23 and the movable shower 20. It is even conceivable that these showers are swiveled through 180 ° and thus in the rest position has a smooth side to the outside, so that the housing bottom of the shower device acts as closed. In the active position, the outlet nozzles are visible and the water exits the shower device.
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Public Health (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Bathtubs, Showers, And Their Attachments (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Duschvorrichtung zur Wand- und/oder Deckenmontage mit mindestens einer bewegbaren Brause.
- Es ist allgemein bekannt, Handbrausen an Haltestangen zu befestigen, eventuell mit einem verstellbaren Schieber. Dabei kann die Handbrause so an der Befestigung bewegt bzw. gedreht oder geschwenkt werden, dass die Strahlrichtung der Handbrause variiert werden kann.
- Aus der
DE 208 13 597 U1 ist ein Duschsystem bekannt mit einem langgestreckten Gehäuse, das einen bewegbaren Duscharm aufweist. Der Duscharm ist im oberen Bereich des Gehäuses um eine horizontale Achse angelenkt und kann aus einer senkrechten, abgeschwenkten Ruhestellung in eine waagerechte Aktivstellung geschwenkt werden. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Duschvorrichtung zu schaffen, die Probleme des Standes der Technik vermeidet und insbesondere eine Brause an einer Duschvorrichtung schafft, die auf neuartige Weise bewegt werden kann.
- Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Duschvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
- Die Brause ist bewegbar zwischen einer Ruhestellung und einer Aktivstellung. In der Ruhestellung ist sie im Wesentlichen in der Duschvorrichtung oder einer Außenseite bzw. Oberfläche der Duschvorrichtung versenkt, wobei sie auch einen Teil der Oberfläche der Außenseite bilden kann, also in etwa eben oder bündig mit dieser sein kann. In der Aktivstellung ist sie aus der Duschvorrichtung herausbewegt bzw. verdreht und kann dabei über die Außenseite bzw. Oberfläche der Duschvorrichtung überstehen. Erfindungsgemäß weist die Duschvorrichtung eine Betätigungseinrichtung auf, mit der zumindest die Brause aus der Ruhestellung in die Aktivstellung bewegt werden kann, wobei die Betätigungseinrichtung durch Wasser, das zu der Brause strömt, angetrieben bzw. dadurch aktiviert werden kann. Vorteilhaft wird im Wesentlichen ein Großteil oder die gesamte Kraft zum Bewegen der Brause von dem zu der Brause strömenden Wasser aufgebracht. Durch eine derartige, sozusagen sich selbst in Aktivstellung bringende oder aktivierende Brause braucht eine Bedienperson nicht einzugreifen. Es reicht, wenn eine üblicherweise für die Duschvorrichtung vorgesehene Armatur, insbesondere eine Umstellarmatur zwischen sonstigen Brauseeinheiten der Duschvorrichtung und der bewegbaren Brause, entsprechend betätigt wird und dann die bewegbare Brause nicht nur Wasser abgibt, sondern eben auch in die Aktivstellung bewegt wird. Details zur Art der Bewegung sowie dazu, wie die Ruhestellung und die Aktivstellung genau ausgebildet sein können, werden nachfolgend noch näher beschrieben.
- Die Betätigungseinrichtung kann vorteilhaft so ausgebildet sein, dass sie durch das zu ihr strömende Wasser die bewegbare Brause ohne Zwischenstellung direkt aus der Ruhestellung in die Aktivstellung bewegt. Dabei können Endanschläge für eine jeweils maximale Bewegung in die Ruhestellung und in die Aktivstellung vorgesehen sein. Dadurch kann sichergestellt werden, dass sich die bewegbare Brause bis auf eine kurze Phase der Bewegung selber entweder immer in der Ruhestellung oder in der Aktivstellung befindet. Zwischenstellungen mit nicht genau definierter Strahlrichtung bzw. Ausbringung des Wassers, können somit sicher vermieden werden. In besonderer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass bei Beginn des Zustroms von Wasser zu der bewegbaren Brause die Brause zuerst bis ganz oder nahezu in die Aktivstellung gebracht wird und dann tatsächlich Wasser aus ihr austritt, wodurch die definierte Strahlrichtung besonders gut gewährleistet werden kann.
- In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Betätigungseinrichtung so ausgebildet ist, dass sich beim Stoppen von zuströmendem Wasser die Brause selbsttätig von der Aktivstellung in die Ruhestellung bewegt, also sozusagen deaktiviert wird. Für diese Bewegung zurück kann eine Rückstellkraft bzw. Rückstellfeder vorgesehen sein, deren Federkraft die Brause bewegt. Bei der Bewegung von der Ruhestellung in die Aktivstellung wird diese Kraft durch das zuströmende Wasser bzw. die Betätigungseinrichtung überwunden. Die Rückstellfeder kann vorteilhaft außerhalb eines von zuströmendem Wasser durchströmten Bereichs vorgesehen sein, also zusagen im Trockenen. Vorteilhaft ist sie als Kunststofffeder ausgebildet, besonders vorteilhaft als eine Art Blattfeder odgl.. Alternativ kann eine Rückstellung auch durch Schwerkraft erfolgen bei einer ausgelenkten Brause.
- Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist die Bewegung der Brause zwischen der Ruhestellung und der Aktivstellung sowie auch zurück eine Schwenkbewegung. Eine Schwenkachse dieser Schwenkbewegung kann an den Austrittsdüsen der Brause vorbeilaufen, wodurch es besonders gut möglich ist, die Austrittsdüsen in der Ruhestellung tiefer in der Duschvorrichtung anzuordnen als in der Aktivstellung. Dabei ist es möglich, das zu der Brause strömende Wasser im Wesentlichen entlang der Schwenkachse zu leiten. Dabei kann beispielsweise ein Rohr oder eine Leitung die Schwenkachse bilden, an der die Brause im Wesentlichen befestigt ist. In einem solchen Fall kann mit einer Dichtung zwischen einer Zuleitung in der Duschvorrichtung und dem Rohr oder der Leitung in die Brause, die zur Verschwenkung dienen, eine gedichtete Zuführung geschaffen werden.
- Eine Schwenkbewegung zwischen der Ruhestellung und der Aktivstellung kann vorteilhaft einen Schwenkwinkel von etwa 5° bis 45° aufweisen, also eine relativ geringe Schwenkbewegung. Sie kann aber auch einen größeren Schwenkwinkel aufweisen.
- In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung kann die bewegbare Brause durch den sich aufbauenden Wasserdruck des zuströmenden Wassers im Wesentlichen linear aus der Duschvorrichtung herausbewegt werden. Hier kann eine Zuleitung beispielsweise über einen flexiblen Schlauch erfolgen. In einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung kann eine Zuleitung als teleskopartiges Rohr ausgebildet sein. Dieses kann sich bei Aufbau des Drucks des zuströmenden Wassers verlängern und durch diese Bewegung, wie nachfolgend allgemein noch näher erläutert wird, die Brause bewegen.
- Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung bilden die Brause bzw. sind deren Austrittsfläche oder deren Austrittsdüsen in der Ruhestellung einen Teil einer Oberfläche oder Außenseite der Duschvorrichtung, wobei vorzugsweise die Oberfläche oder Außenseite der Duschvorrichtung im wesentlichen glatt bzw. eben ist. Dabei sind die Brause bzw. die Austrittsdüsen zumindest teilweise zugänglich bzw. sichtbar, also etwas zurückversetzt oder eingeschwenkt. Dies weist beispielsweise den Vorteil auf, dass die Austrittsdüsen, welche mittlerweile sehr häufig aus elastischem Material wie Silikon hergestellt sind, zu Reinigungszwecken auch im deaktivierten Zustand erreicht werden können. Alternativ können sie zwar sichtbar sein aber in die Oberfläche oder Außenseite der Duschvorrichtung versenkt sein, also sozusagen in diese hinein bewegt.
- Gemäß einer nochmals anderen Ausgestaltung der Erfindung sind die Brause bzw. deren Austrittsdüsen wiederum in der Ruhestellung in die Duschvorrichtung hinein versenkt, allerdings sind sie hier von außen nicht sichtbar bzw. können nicht ohne weiteres erreicht werden. Insbesondere kann hier vorgesehen sein, dass die Oberfläche oder Außenseite der Duschvorrichtung bei in der Ruhestellung befindlicher Brause im Wesentlichen geschlossen ist im Bereich der Brause. Dies weist den Vorteil auf, dass die bewegbare Brause auf den ersten Blick nicht auffällig ist bzw. nicht gesehen wird und nach Aktivierung sozusagen unvorhergesehen erscheint bzw. sich aus der Duschvorrichtung heraus bewegt. So kann vor allem eine aus hygienischen Gründen geschlossene und aus Gestaltungsgründen puristische Gestaltung geschaffen werden.
- Die Brause kann entweder alleine oder zusammen mit weiteren bewegbaren Brausen an einem Brausenträger angeordnet sein. Dieser Brausenträger wiederum ist bewegbar an der Duschvorrichtung angebracht und bewirkt, dass die Brause daran zwischen der Ruhestellung und der Aktivstellung bewegt werden kann. Sind an einem solchen Brausenträger mehrere Brausen angeordnet, so ist dies vorteilhaft in gerader Linie nebeneinander, insbesondere in einer Linie parallel zu einer vorgenannten Schwenkachse bei einer Schwenkbewegung. An der gesamten Duschvorrichtung können ein einziger oder eventuell auch mehrere derartige Brausenträger vorgesehen sein. Des Weiteren ist es möglich, dass ein solcher Brausenträger in Richtung der Schwenkachse erheblich länger ist als in einer Richtung quer dazu, vor allem dann, wenn er mehrere Brausen aufweist. Auf diese Art und Weise ist die Schwenkbewegung für die bewegbaren Brausen gleich.
- Einerseits kann die Betätigungseinrichtung so ausgebildet sein, dass Wasser, das zu der Brause strömt, innerhalb eines Zulaufs in der Betätigungseinrichtung Druck auf eine Wand einer im Zulauf befindlichen Kammer ausübt und so diese Kammerwand bewegt wird. Gleichzeitig bewegt die Kammerwand die Brause, insbesondere über Anlenkmittel. Des Weiteren ist die Kammer vorteilhaft so ausgebildet, dass die bewegbare Kammerwand nicht von dem zu der Brause strömenden Wasser umströmt bzw. hinterströmt wird, die Kammer bleibt also sozusagen auch im Bereich der bewegbaren Kammerwand dicht. Hier kann die Kammerwand ein bewegliches separates Teil sein, welches gegen die sonstige Kammer abgedichtet ist. Die Kammerwand kann nach Art eines Vorsprungs bewegbar sein oder einen Vorsprung bewegen und so die Brause bewegen oder schwenken. Beispielsweise kann sie bei einer an der Decke montierten Duschvorrichtung von oben gegen einen Brausenträger drücken um diesen nach unten zu schwenken bzw. eine an dem Brausenträger angeordnete Brause aus der Duschvorrichtung herauszuschwenken. Nach Stoppen des Zustroms von Wasser kann eine vorgenannte Rückstellkraft oder Rückstellfeder den Brausenträger wieder in die Ruhestellung zurückschwenken und dabei auch die Kammerwand wieder zurückbewegen.
- Andererseits kann die Betätigungseinrichtung in einem Zulauf für Wasser zu der Brause hin einen Mitnahmekörper aufweisen. An diesem Mitnahmekörper strömt das zu der Brause strömende Wasser vorbei bzw. umströmt diesen und bewegt ihn von einer Standstellung in eine Arbeitsstellung. Der Mitnahmekörper ist derart mit der Brause wirkverbunden oder bewegt diese über Anlenkmittel, dass sich die Brause genauso bewegt wie er, insbesondere zumindest von der Ruhestellung in die Aktivstellung. Der Mitnahmekörper befindet sich also voll im Wasserstrom und kann beispielsweise als Kugel oder längliche abgerundete Form ausgebildet sein. Insbesondere kann er auch einen Zulauf in der Ruhestellung im Wesentlichen abdichten und wird bewegt, wenn das Wasser zu der Brause strömt.
- Die Duschvorrichtung kann neben der bewegbaren Brause auch noch weitere Brausevorrichtungen aufweisen. Diese können fest oder unbeweglich ausgebildet sein und wie die bewegbare Brause über Einstell- oder Mischarmaturen angesteuert werden.
- In Ausgestaltung der Erfindung ist eine bewegbare Brause relativ klein mit einem Durchmesser von beispielsweise 3 cm bis 10 cm. Sie kann wenige Austrittsdüsen aufweisen, beispielsweise zwei bis zehn oder fünfzehn Austrittsdüsen. Vorteilhaft weist ein vorgenannter Brausenträger mehrere bewegbare Brausen nebeneinander auf, beispielsweise vier Brausen.
- Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischen-Überschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen schematisch dargestellt und wird im Folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:
- Fig. 1
- eine Ansicht einer erfindungsgemäßen Duschvorrichtung von unten, wie sie an einer Decke oder nahe an einer Decke montiert werden kann,
- Fig. 2
- einen vergrößerten Schnitt durch die Duschvorrichtung aus
Fig. 1 im Seitenquerschnitt durch bewegbare Brausen, - Fig. 3
- einen vergrößerten Ausschnitt aus einem Längsquerschnitt der Darstellung aus
Fig. 1 mit einer Brause in der Ruhestellung und - Fig. 4
- die Brause aus
Fig. 3 nach dem Schwenken in die Aktivstellung. - In
Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Duschvorrichtung 11 von unten dargestellt, die flach und großflächig ausgebildet ist mit einem Gehäuse 12 und einer Gehäuseunterseite 13. Links an der Duschvorrichtung 11 ist ein Anschluss 14 zur Montage in einer Wand hoch über einer Dusche bzw. knapp unterhalb der Decke vorgesehen, so dass die Gehäuseunterseite 13 im wesentlichen horizontal verläuft. - An der Gehäuseunterseite 13 der Duschvorrichtung 11 sind mehrere Brausevorrichtungen vorgesehen, nämlich eine Rundbrause 16 mit einer Vielzahl von Austrittsdüsen, einer Schwallbrause 17 nach Art eines sehr langen Schlitzes und eine bewegbare Brausevorrichtung 19 dazwischen. Die bewegbare Brausevorrichtung 19 weist vier bewegbare Brausen 20 auf mit jeweils neun Austrittsdüsen 21, die gemeinsam an einem bewegbaren bzw. schwenkbaren Brausenträger 23 angebracht sind. Sämtliche Brausevorrichtungen 16, 17 und 19 lassen das Wasser im wesentlichen nach unten oder zumindest schräg nach unten austreten.
- In
Fig. 2 ist ein Schnitt durch die Längsachse des Brausenträgers 23 bzw. der Duschvorrichtung 11 an dieser Stelle dargestellt. Es ist zu erkennen, dass die bewegbaren Brausen 20 bzw. deren Austrittsdüsen 21 nicht oder nur unwesentlich über die Gehäuseunterseite 13 überstehen, somit also zwar nicht unsichtbar sind, aber zumindest versenkt sind. Es ist auch zu erkennen, wie zur Wasserversorgung Zuläufe 25 links und rechts von dem Brausenträger 23 vorgesehen sind an die jeweils ganz linke und die ganz rechte bewegbare Brause 20. Nach innen zu sind die weiteren Zuläufe 26 zu der benachbarten Brause 20 vorgesehen. Die Zuläufe 25 befinden sich dabei in Rohrabschnitten 28, die jeweils abgedichtet sowohl in der Duschvorrichtung 11 bzw. dem Gehäuse 12 als auch in dem Brausenträger 23 sitzen. Die Rohrabschnitte 28 dienen als Schwenkachsen für den Brausenträger 23 und haben somit die Doppelfunktion sowohl eines Zulaufs 25 als auch eben der mechanischen Schwenkachse. - Zur Veranschaulichung der Schwenkbewegung wird auf die
Fig. 3 und 4 verwiesen. Hier ist in Vergrößerung ein Ausschnitt mit Blickrichtung entlang der Schwenkrichtung bzw. entlang der Achsen der Rohrabschnitte 28 dargestellt. Die Schwenkachse 29 ist symbolisch in die Zeichenebene hineinverlaufend inFig. 3 und inFig. 4 dargestellt. - In einer Zuleitung 30 für Wasser, das zu den bewegbaren Brausen 20 strömen soll, ist eine Kammer 31 vorgesehen. Diese weist an ihrer Unterseite bzw. als Boden einen Kolben 32 auf, der abgedichtet in dem Gehäuse 12 nach oben und nach unten bewegbar ist. Zur genauen Führung dieser Bewegung weist der Kolben 32 nach oben einen in dem Gehäuse geführten Führungsstößel 34 auf und nach unten einen breiten und etwas kürzeren Vorsprung 35. Dieser Vorsprung 35 liegt an einer oberen linken Kante des Brausenträgers 23 an.
- Strömt nun Wasser durch die Zuleitung 30, welches durch die bewegbaren Brausen 20 und deren Austrittsdüsen 21 austreten soll, so läuft es in die Kammer 31 hinein. Durch den Wasserdruck wird der Kolben 32 nach unten gedrückt, wobei hier zu beachten ist, dass er an seinen Außenseiten stets dichtend mit dem Gehäuse 12 verbunden ist und hier kein Wasser durchtreten kann. Durch die Bewegung des Kolbens 32 und somit auch des Vorsprungs 35 nach unten wird der Brausenträger 23 verschwenkt, wie es im Vergleich in
Fig. 4 dargestellt ist. Hier ist der Kolben 32 in der Kammer 31 maximal weit nach unten bewegt und außerdem schlägt der Brausenträger 23 auch am Gehäuse 12 an, was also seine Schwenkbewegung begrenzt und somit die Aktivstellung definiert. Die Ruhestellung ist inFig. 3 dargestellt. Durch die Schwenkbewegung um die Schwenkachse 29 ragen zumindest die inFig. 4 links dargestellten Austrittsdüsen 21 der bewegbaren Brausen 20 sowie auch ein Teil der Brausen 20 selber über die Gehäuseunterseite 13 über. Dadurch treten sie optisch in Erscheinung und es ist erkennbar, dass sie ihre Funktion aufgenommen haben. Des Weiteren kann dadurch die Strahlrichtung von einer senkrecht nach unten gerichteten in eine schräge Richtung geändert werden. Der Schwenkwinkel beträgt hier etwa 15°, er kann jedoch auch geringer oder stärker sein. - In Ausgestaltung der Erfindung ist es möglich, insbesondere angesichts der beiden gemäß
Fig. 2 angedeuteten Zuläufe 25 einmal von links und einmal von rechts, zwei separate Zuläufe vorzusehen, von denen ein Zulauf 25 die Betätigungseinrichtung 37 gemäßFigur 3 und 4 durchläuft und so eine Schwenkbewegung der bewegbaren Brausen 20 bewirkt beim Zustrom von Wasser und der andere Zulauf 25 ohne Betätigungseinrichtung 37 direkt in die Brausen 20 führt. Die beiden Zuläufe könnten durch unterschiedliche Einstellungen an einer Armatur im Weg zum Anschluss 14 hin mit Wasser versorgt werden. - Anhand der
Fig. 3 und 4 ist leicht ersichtlich, dass durch Verlegen der Schwenkachse 29 ein noch stärkeres Herausschwenken der bewegbaren Brausen 20 bzw. der Austrittsdüsen 21 erfolgen kann oder aber ein Herausschwenken völlig unterbleibt. - Eine Rückstellfeder für eine Rückstellkraft der Brausen 20 bzw. des Brausenträgers 23 von der Aktivstellung gemäß
Fig. 4 in die Ruhestellung gemäßFig. 3 ist hier nicht dargestellt. Sie ist jedoch für den Fachmann leicht und ohne weiteres vorzusehen. Des Weiteren ist es möglich, die Schwenkachse 29 etwas links vom Schwerpunkt oder Mittelpunkt des Brausenträgers 23 vorzusehen, sodass bei Stopp des Wasserzulaufs die Schwerkraft ein Zurückschwenken des Brausenträgers 23 von der Aktivstellung in die Ruhestellung bewirkt mit gleichzeitigem Hochdrücken des Kolbens 32 in der Kammer 31. - In aufgrund der
Fig. 3 und 4 leicht vorstellbarer Abwandlung ist es möglich, den Kolben in der Kammer mit Ausnehmungen zu versehen, sodass er zwar von durchströmendem Wasser mit diesem bewegt wird, er aber gleichzeitig im Strömungsweg zu den bewegbaren Brausen sitzt. Dann jedoch muss sich an den Kolben unten ein Zulauf oder eine Zuleitung zu den Brausen anschließen, was etwas größeren Aufwand bei der Abdichtung verursacht, gleichzeitig jedoch durchaus noch praktikabel realisiert werden kann. - Über eine Übersetzung mit Umlenkung ist es auch vorstellbar, dass ein bewegbarer Kolben 32 gemäß
Fig. 3 einen längeren Betätigungsweg durchläuft und einen erheblich größeren Schwenkwinkel des Brausenträgers 23 und der bewegbaren Brausen 20 bewirkt. Es ist sogar vorstellbar, dass diese Brausen um 180° geschwenkt werden und somit in der Ruhestellung eine glatte Seite nach außen weist, damit die Gehäuseunterseite der Duschvorrichtung wie verschlossen wirkt. In der Aktivstellung sind die Austrittsdüsen sichtbar und das Wasser tritt aus der Duschvorrichtung aus.
Claims (15)
- Duschvorrichtung (11) zur Wand- und/oder Deckenmontage mit mindestens einer bewegbaren Brause (20), wobei die Brause (20) bewegbar ist zwischen einer Ruhestellung, bei der sie im wesentlichen einen Teil der Oberfläche einer Außenseite (13) der Duschvorrichtung (11) bildet oder darin versenkt ist, und einer Aktivstellung, in der sie aus der Duschvorrichtung (11) herausbewegt ist bzw. verdreht ist und ggf. über die Außenseite (13) übersteht, gekennzeichnet durch eine Betätigungseinrichtung (37) zumindest für das Bewegen der Brause (20) aus der Ruhestellung in die Aktivstellung, wobei die Betätigungseinrichtung (37) durch zu der Brause (20) strömendes Wasser angetrieben ist bzw. aktivierbar ist.
- Duschvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungseinrichtung (37) so ausgebildet ist, dass sie durch zu der Brause (20) strömendes Wasser angetrieben bzw. aktiviert die Brause (20) ohne Zwischenstellung aus der Ruhestellung direkt in die Aktivstellung bewegt, wobei insbesondere jeweils Endanschläge für eine maximale Bewegung vorgesehen sind.
- Duschvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungseinrichtung (37) so ausgebildet ist, dass sich die Brause (20) nach Stopp des zu der Brause strömenden Wassers selbsttätig von der Aktivstellung in die Ruhestellung bewegt, insbesondere angetrieben durch die Federkraft einer Rückstellfeder.
- Duschvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückstellfeder außerhalb eines von Wasser durchströmten Bereichs vorgesehen ist.
- Duschvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung der Brause (20) zwischen der Ruhestellung und der Aktivstellung eine Schwenkbewegung ist, vorzugsweise um eine an Austrittsdüsen (21) der Brause (20) vorbeilaufende Schwenkachse (29), wobei insbesondere das zu der Brause (20) strömende Wasser im wesentlichen entlang der Schwenkachse (29) geführt ist, vorzugsweise durch ein die Schwenkachse (29) bildendes Rohr (28).
- Duschvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Brause (20) bzw. eine Austrittsfläche (21) der Brause (20) in der Ruhestellung einen Teil einer ebenen Oberfläche oder Außenseite (13) der Duschvorrichtung (11) bildet.
- Duschvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Brause (20) bzw. eine Austrittsfläche (21) der Brause (20) in der Ruhestellung unter einer Oberfläche oder Außenseite (13) der Duschvorrichtung (11) versenkt sind und zumindest teilweise zugänglich bzw. sichtbar sind.
- Duschvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Brause (20) bzw. Austrittsdüsen (21) der Brause (20) in der Ruhestellung unter einer Oberfläche oder Außenseite (13) der Duschvorrichtung (11) versenkt sind und nicht zugänglich bzw. unsichtbar sind, wobei vorzugsweise in der Ruhestellung die Oberfläche bzw. Außenseite (13) der Duschvorrichtung (11) im wesentlichen geschlossen ist im Bereich der Brause (20).
- Duschvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Brause (20) an einem Brausenträger (23) angeordnet ist und dieser Brausenträger (23) bewegbar an der Duschvorrichtung (11) vorgesehen ist für die Bewegung zwischen der Ruhestellung und der Aktivstellung, wobei insbesondere an dem Brausenträger (23) mehrere Brausen (20) vorgesehen sind, vorzugsweise in gerader Linie nebeneinander.
- Duschvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Brausenträger (23) entlang der Schwenkachse (29) erheblich länger ist als in einer Richtung quer dazu, wobei vorzugsweise mehrere Brausen (20) parallel zur Schwenkachse (29) nebeneinander vorgesehen sind.
- Duschvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zu der Brause (20) strömendes Wasser innerhalb eines Zulaufs (30) in der Betätigungseinrichtung (37) Druck auf eine Wand (32) einer Kammer (31) in dem Zulauf (30) ausübt und diese Kammerwand (32) bewegt, wobei die Bewegung dieser Kammerwand (32) die Brause (20) bewegt und wobei das strömende Wasser die bewegbare Kammerwand (32) nicht umströmt.
- Duschvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Kammerwand (32) ein gegen die sonstige Kammer (31) abgedichtetes bewegliches separates Teil ist, das nach Art eines Vorsprungs (35) bewegbar ist und bei der Bewegung die Brause (20) bewegt bzw. schwenkt, vorzugsweise von oben gegen einen Brausenträger (23) drückt zum Schwenken desselben.
- Duschvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Zulauf (30) für zu der Brause (20) strömendes Wasser in der Betätigungseinrichtung (37) ein Mitnahmekörper vorgesehen ist zur Bewegung des Mitnahmekörpers durch daran vorbeiströmendes Wasser von einer Standstellung in eine Arbeitsstellung, und wobei der Mitnahmekörper derart mit der Brause (20) wirkverbunden ist, dass er die Brause (20) durch seine eigene Bewegung bewegt.
- Duschvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch weitere daran installierte Brausevorrichtungen (16, 17), insbesondere feste bzw. unbewegliche Brausevorrichtungen, wobei vorzugsweise zulaufendes Wasser von einer Einstellarmatur aufteilbar ist zwischen der bewegbaren Brause (20) und verschiedenen anderen Brausevorrichtungen (16, 17).
- Duschvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegbare Brause (20) relativ klein ist mit wenigen Austrittsdüsen (21), vorzugsweise 2 bis 15 Austrittsdüsen (21).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007003416A DE102007003416A1 (de) | 2007-01-16 | 2007-01-16 | Duschvorrichtung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP1947251A2 true EP1947251A2 (de) | 2008-07-23 |
EP1947251A3 EP1947251A3 (de) | 2009-05-06 |
EP1947251B1 EP1947251B1 (de) | 2014-04-30 |
Family
ID=39273340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP08000599.4A Not-in-force EP1947251B1 (de) | 2007-01-16 | 2008-01-14 | Duschvorrichtung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8196234B2 (de) |
EP (1) | EP1947251B1 (de) |
CN (1) | CN101229025B (de) |
DE (1) | DE102007003416A1 (de) |
ES (1) | ES2480946T3 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITMI20110542A1 (it) * | 2011-04-01 | 2012-10-02 | Calflex S R L | Soffione multigetto per doccia |
RU2687330C1 (ru) * | 2017-03-09 | 2019-05-14 | Хансгрое СЕ | Поворотное душевое устройство с запорным клапаном |
Families Citing this family (361)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
DE102010023686A1 (de) * | 2010-06-14 | 2011-12-15 | Grohe Ag | Brausevorrichtung |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US9793148B2 (en) | 2011-06-22 | 2017-10-17 | Asm Japan K.K. | Method for positioning wafers in multiple wafer transport |
US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
US8946830B2 (en) | 2012-04-04 | 2015-02-03 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal oxide protective layer for a semiconductor device |
US9558931B2 (en) | 2012-07-27 | 2017-01-31 | Asm Ip Holding B.V. | System and method for gas-phase sulfur passivation of a semiconductor surface |
US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
US9021985B2 (en) | 2012-09-12 | 2015-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor |
US9324811B2 (en) | 2012-09-26 | 2016-04-26 | Asm Ip Holding B.V. | Structures and devices including a tensile-stressed silicon arsenic layer and methods of forming same |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
US9640416B2 (en) | 2012-12-26 | 2017-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Single-and dual-chamber module-attachable wafer-handling chamber |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
US8993054B2 (en) | 2013-07-12 | 2015-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system to reduce outgassing in a reaction chamber |
US9018111B2 (en) | 2013-07-22 | 2015-04-28 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor reaction chamber with plasma capabilities |
US9793115B2 (en) | 2013-08-14 | 2017-10-17 | Asm Ip Holding B.V. | Structures and devices including germanium-tin films and methods of forming same |
US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
US9556516B2 (en) | 2013-10-09 | 2017-01-31 | ASM IP Holding B.V | Method for forming Ti-containing film by PEALD using TDMAT or TDEAT |
US10179947B2 (en) | 2013-11-26 | 2019-01-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming conformal nitrided, oxidized, or carbonized dielectric film by atomic layer deposition |
USD732644S1 (en) * | 2014-02-04 | 2015-06-23 | Asm Ip Holding B.V. | Top plate |
USD732145S1 (en) * | 2014-02-04 | 2015-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD724701S1 (en) * | 2014-02-04 | 2015-03-17 | ASM IP Holding, B.V. | Shower plate |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US9447498B2 (en) | 2014-03-18 | 2016-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for performing uniform processing in gas system-sharing multiple reaction chambers |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
US9404587B2 (en) | 2014-04-24 | 2016-08-02 | ASM IP Holding B.V | Lockout tagout for semiconductor vacuum valve |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9543180B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-01-10 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for transporting wafers between wafer carrier and process tool under vacuum |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
KR102300403B1 (ko) | 2014-11-19 | 2021-09-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US9868125B2 (en) | 2015-01-19 | 2018-01-16 | Moen Incorporated | Multifunction pivoting body spray |
US9478415B2 (en) | 2015-02-13 | 2016-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming film having low resistance and shallow junction depth |
USD767717S1 (en) * | 2015-03-06 | 2016-09-27 | Grohe Ag | Shower head |
US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
KR101683225B1 (ko) * | 2015-06-02 | 2016-12-07 | 하기호 | 모듈 타입의 샤워기 헤드 어셈블리 |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
US9899291B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-02-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film |
US10043661B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-08-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film |
US10083836B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-09-25 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of boron-doped titanium metal films with high work function |
US10087525B2 (en) | 2015-08-04 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | Variable gap hard stop design |
US9647114B2 (en) | 2015-08-14 | 2017-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming highly p-type doped germanium tin films and structures and devices including the films |
US9711345B2 (en) | 2015-08-25 | 2017-07-18 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming aluminum nitride-based film by PEALD |
US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
US9909214B2 (en) | 2015-10-15 | 2018-03-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing dielectric film in trenches by PEALD |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
US9455138B1 (en) | 2015-11-10 | 2016-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming dielectric film in trenches by PEALD using H-containing gas |
US9905420B2 (en) | 2015-12-01 | 2018-02-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming silicon germanium tin films and structures and devices including the films |
US9607837B1 (en) | 2015-12-21 | 2017-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon oxide cap layer for solid state diffusion process |
US9627221B1 (en) | 2015-12-28 | 2017-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Continuous process incorporating atomic layer etching |
US9735024B2 (en) | 2015-12-28 | 2017-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using functional group-containing fluorocarbon |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
US9754779B1 (en) | 2016-02-19 | 2017-09-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
US10087522B2 (en) | 2016-04-21 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
USD785766S1 (en) | 2016-06-15 | 2017-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
CN105877566B (zh) * | 2016-06-21 | 2019-02-05 | 龙岩学院 | 一种浴室内的老人防摔装置 |
US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
USD829306S1 (en) | 2016-07-06 | 2018-09-25 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US9793135B1 (en) | 2016-07-14 | 2017-10-17 | ASM IP Holding B.V | Method of cyclic dry etching using etchant film |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US10177025B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-01-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US10090316B2 (en) | 2016-09-01 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | 3D stacked multilayer semiconductor memory using doped select transistor channel |
US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
US9916980B1 (en) | 2016-12-15 | 2018-03-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
KR102700194B1 (ko) | 2016-12-19 | 2024-08-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
DE102017203945B3 (de) * | 2017-03-09 | 2018-03-29 | Hansgrohe Se | Schwenkbrause mit fluiddruckgetriebenem Schwenkkörper |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
US10103040B1 (en) | 2017-03-31 | 2018-10-16 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for manufacturing a semiconductor device |
USD830981S1 (en) | 2017-04-07 | 2018-10-16 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate processing apparatus |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
US12040200B2 (en) | 2017-06-20 | 2024-07-16 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and methods for calibrating a semiconductor processing apparatus |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
US10236177B1 (en) | 2017-08-22 | 2019-03-19 | ASM IP Holding B.V.. | Methods for depositing a doped germanium tin semiconductor and related semiconductor device structures |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR102401446B1 (ko) | 2017-08-31 | 2022-05-24 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
JP7214724B2 (ja) | 2017-11-27 | 2023-01-30 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置 |
WO2019103610A1 (en) | 2017-11-27 | 2019-05-31 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus including a clean mini environment |
US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
CN111630203A (zh) | 2018-01-19 | 2020-09-04 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法 |
TWI799494B (zh) | 2018-01-19 | 2023-04-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
JP7124098B2 (ja) | 2018-02-14 | 2022-08-23 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 周期的堆積プロセスにより基材上にルテニウム含有膜を堆積させる方法 |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
TWI843623B (zh) | 2018-05-08 | 2024-05-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
US12025484B2 (en) | 2018-05-08 | 2024-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Thin film forming method |
KR20190129718A (ko) | 2018-05-11 | 2019-11-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 피도핑 금속 탄화물 막을 형성하는 방법 및 관련 반도체 소자 구조 |
DE102018208124A1 (de) * | 2018-05-23 | 2019-11-28 | Hansgrohe Se | Fluidauslaufvorrichtung mit Teleskoprohrauslauf |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
TWI840362B (zh) | 2018-06-04 | 2024-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 水氣降低的晶圓處置腔室 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
WO2020003000A1 (en) | 2018-06-27 | 2020-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material |
TW202409324A (zh) | 2018-06-27 | 2024-03-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於形成含金屬材料之循環沉積製程 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
KR102686758B1 (ko) | 2018-06-29 | 2024-07-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102707956B1 (ko) | 2018-09-11 | 2024-09-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
TWI844567B (zh) | 2018-10-01 | 2024-06-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材保持裝置、含有此裝置之系統及其使用之方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US12040199B2 (en) | 2018-11-28 | 2024-07-16 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
JP7504584B2 (ja) | 2018-12-14 | 2024-06-24 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム |
TWI819180B (zh) | 2019-01-17 | 2023-10-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
JP2020136678A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置 |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
TWI845607B (zh) | 2019-02-20 | 2024-06-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備 |
TWI842826B (zh) | 2019-02-22 | 2024-05-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材處理設備及處理基材之方法 |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
KR20200116033A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
KR20200123380A (ko) | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 층 형성 방법 및 장치 |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
KR20200141003A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템 |
KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
TWI839544B (zh) | 2019-07-19 | 2024-04-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成形貌受控的非晶碳聚合物膜之方法 |
KR20210010817A (ko) | 2019-07-19 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법 |
CN112309843A (zh) | 2019-07-29 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN118422165A (zh) | 2019-08-05 | 2024-08-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
KR20210042810A (ko) | 2019-10-08 | 2021-04-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
TWI846953B (zh) | 2019-10-08 | 2024-07-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理裝置 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
KR20210050453A (ko) | 2019-10-25 | 2021-05-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
KR20210065848A (ko) | 2019-11-26 | 2021-06-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법 |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP7527928B2 (ja) | 2019-12-02 | 2024-08-05 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
TW202125596A (zh) | 2019-12-17 | 2021-07-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成氮化釩層之方法以及包括該氮化釩層之結構 |
US11527403B2 (en) | 2019-12-19 | 2022-12-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures |
KR20210089079A (ko) | 2020-01-06 | 2021-07-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 채널형 리프트 핀 |
TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
KR102675856B1 (ko) | 2020-01-20 | 2024-06-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
US11781243B2 (en) | 2020-02-17 | 2023-10-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon |
TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
KR20210128343A (ko) | 2020-04-15 | 2021-10-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조 |
US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
JP2021172884A (ja) | 2020-04-24 | 2021-11-01 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化バナジウム含有層を形成する方法および窒化バナジウム含有層を含む構造体 |
TW202146831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法 |
KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
TW202147543A (zh) | 2020-05-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 半導體處理系統 |
KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
TW202146699A (zh) | 2020-05-15 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統 |
KR20210143653A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
KR102702526B1 (ko) | 2020-05-22 | 2024-09-03 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202212620A (zh) | 2020-06-02 | 2022-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
KR102707957B1 (ko) | 2020-07-08 | 2024-09-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
TW202219628A (zh) | 2020-07-17 | 2022-05-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於光微影之結構與方法 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
US12040177B2 (en) | 2020-08-18 | 2024-07-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes |
KR20220027026A (ko) | 2020-08-26 | 2022-03-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
TW202229601A (zh) | 2020-08-27 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成圖案化結構的方法、操控機械特性的方法、裝置結構、及基板處理系統 |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
KR20220045900A (ko) | 2020-10-06 | 2022-04-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치 |
CN114293174A (zh) | 2020-10-07 | 2022-04-08 | Asm Ip私人控股有限公司 | 气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备 |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
KR20220053482A (ko) | 2020-10-22 | 2022-04-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
TW202235649A (zh) | 2020-11-24 | 2022-09-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 填充間隙之方法與相關之系統及裝置 |
TW202235675A (zh) | 2020-11-30 | 2022-09-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 注入器、及基板處理設備 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3716192A (en) | 1971-05-27 | 1973-02-13 | Moist O Matic Division Of Toro | Extended range sprinkler head |
DE29813597U1 (de) | 1998-07-17 | 1998-10-22 | Schönborn, Klaus, 42579 Heiligenhaus | Duschsystem |
US20010022006A1 (en) | 2000-03-14 | 2001-09-20 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Sanitary washing device having automatic nozzle pipe washer |
DE20211120U1 (de) | 2002-07-23 | 2002-10-24 | Wanger, Michael, 80687 München | Drehbare Duschvorrichtung |
EP1695766A2 (de) | 2005-02-25 | 2006-08-30 | American Standard Europe SPRL | Brausevorrichtung |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3600322A1 (de) * | 1986-01-08 | 1987-07-09 | Robert Lukesch | Duschkabine zur unterstuetzung der koerperpflege |
JPH03110228A (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-10 | Takagi Ind Co Ltd | 湯水混合噴出装置 |
US5205490A (en) * | 1991-11-08 | 1993-04-27 | Kohler Co. | Body spray nozzle |
US5321860A (en) * | 1991-11-08 | 1994-06-21 | Kohler Co. | Shower enclosure assembly |
US6134722A (en) * | 1994-07-13 | 2000-10-24 | Kohler Co. | Recirculating bath fixture |
US5678258A (en) * | 1995-09-29 | 1997-10-21 | Healy; Thomas K. | Multiple showerhead apparatus |
EP0898498B1 (de) * | 1996-05-13 | 2003-01-15 | Giovanni Luigi Sartor | Dusche mit oszillierendem brausekopf |
CA2192601C (fr) | 1996-12-11 | 1997-03-24 | Denis Carrier | Douche therapeutique a effet enveloppant |
US5774907A (en) * | 1997-05-05 | 1998-07-07 | Doggwiler; Marc | Shower wall back scrubber and massager |
US6042027A (en) * | 1998-12-18 | 2000-03-28 | Sandvik; Arne Paul | Shower head |
JP3747893B2 (ja) * | 2002-02-06 | 2006-02-22 | 東陶機器株式会社 | シャワー装置 |
DE10253849A1 (de) * | 2002-11-15 | 2004-06-03 | Hansgrohe Ag | Duschanordnung |
US6973682B2 (en) * | 2003-04-19 | 2005-12-13 | Eli Zhadanov | Device for showering and the like |
CN1565751A (zh) * | 2003-06-20 | 2005-01-19 | 林夏斌 | 墙壁式双旋转升降淋浴花洒 |
CN2691713Y (zh) * | 2004-04-23 | 2005-04-13 | 曾宪平 | 多功能洗浴喷头 |
PT1811884T (pt) * | 2004-10-21 | 2018-03-20 | Bullfrog Int L C | Resumo |
US7455247B2 (en) * | 2005-03-01 | 2008-11-25 | Kohler Co. | Bodyspray having adjustable spray orientation |
US20060218719A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-10-05 | Alsons Corporation | Spine shaped shower unit |
US7219376B1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-05-22 | Zhou Huasong | Automatic elevating shower |
DE202006010115U1 (de) | 2006-06-29 | 2006-10-05 | Zhou, Huasong, Xiamen | Automatische Hebe- und Senkvorrichtung für Duschsäule oder Wasserhahn |
-
2007
- 2007-01-16 DE DE102007003416A patent/DE102007003416A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-01-11 US US12/013,152 patent/US8196234B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-01-14 EP EP08000599.4A patent/EP1947251B1/de not_active Not-in-force
- 2008-01-14 ES ES08000599.4T patent/ES2480946T3/es active Active
- 2008-01-16 CN CN2008100095557A patent/CN101229025B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3716192A (en) | 1971-05-27 | 1973-02-13 | Moist O Matic Division Of Toro | Extended range sprinkler head |
DE29813597U1 (de) | 1998-07-17 | 1998-10-22 | Schönborn, Klaus, 42579 Heiligenhaus | Duschsystem |
US20010022006A1 (en) | 2000-03-14 | 2001-09-20 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Sanitary washing device having automatic nozzle pipe washer |
DE20211120U1 (de) | 2002-07-23 | 2002-10-24 | Wanger, Michael, 80687 München | Drehbare Duschvorrichtung |
EP1695766A2 (de) | 2005-02-25 | 2006-08-30 | American Standard Europe SPRL | Brausevorrichtung |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITMI20110542A1 (it) * | 2011-04-01 | 2012-10-02 | Calflex S R L | Soffione multigetto per doccia |
RU2687330C1 (ru) * | 2017-03-09 | 2019-05-14 | Хансгрое СЕ | Поворотное душевое устройство с запорным клапаном |
DE102017203946B4 (de) * | 2017-03-09 | 2019-11-07 | Hansgrohe Se | Schwenkbrause mit Absperrventil |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101229025B (zh) | 2012-12-12 |
US8196234B2 (en) | 2012-06-12 |
EP1947251B1 (de) | 2014-04-30 |
DE102007003416A1 (de) | 2008-07-17 |
ES2480946T3 (es) | 2014-07-29 |
US20080168601A1 (en) | 2008-07-17 |
CN101229025A (zh) | 2008-07-30 |
EP1947251A3 (de) | 2009-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1947251B1 (de) | Duschvorrichtung | |
DE102006043879B4 (de) | Vorrichtung zum absperren und steuern des wasserauslasses auseinem sprenger sowie betätigungsanordnung hierfür | |
EP1928609B1 (de) | Duschkopf | |
EP2938791B1 (de) | Unterdusche | |
DE112008001260B4 (de) | Durchflussregelventilanordnung mit geringer Geräuschentwicklung | |
EP1759770B1 (de) | Brause | |
EP3113887B1 (de) | Verlängerungsvorrichtung für spritzapparate und spritzapparat | |
WO2013010930A1 (de) | Selbstreinigende düse | |
EP3031531B1 (de) | Flüssigkeitsstrahl-verschlussdüse | |
DE3124125C2 (de) | ||
EP2422884B1 (de) | Brause mit einem Gelenk | |
WO2006094593A1 (de) | Sanitäre wasserauslaufarmatur mit strahlrichtungsgeber zum ablenken des austretenden wasserstrahls | |
DE2412748B2 (de) | Beregnungsvorrichtung | |
EP2280783B1 (de) | Handbrause mit einem an einem handgriff angeordneten brausekopf | |
EP1954867B1 (de) | Bügeleisen mit einer sprühvorrichtung | |
DE7730965U1 (de) | Hahn fuer spuelkaesten | |
EP2312056B1 (de) | Vorrichtung zum Erzeugen von aus vielen einzelnen Markierungsmaterialportionen bestehenden Markierungslinien | |
DE2626612A1 (de) | Traenkvorrichtung bzw. -ventil fuer vieh | |
DE19941573A1 (de) | Flüssigkeitsabgabeeinrichtung, insbesondere handgehaltene Spritz-Gießbrause für den Haus- und Gartenbereich | |
AT11729U1 (de) | Austragsvorrichtung, insbesondere düse für feststoffe und fluide enthaltende materialströme | |
DE102019105620A1 (de) | Vorrichtung zur Aufbringung eines Materials auf ein Substrat | |
EP1921360A1 (de) | Sanitäre Armaturvorrichtung | |
DE102015205121B4 (de) | Milchschäumer für Heißgetränkegeräte und Heißgetränkegerät mit einem Milchschäumer | |
DE2041037C (de) | Anfahrsicherung fur hydraulischen Full rohrantrieb | |
DE10254869A1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung eines gerichteten Druckstrahls aus Dampf oder dergleichen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A2 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: AL BA MK RS |
|
PUAL | Search report despatched |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A3 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: AL BA MK RS |
|
17P | Request for examination filed |
Effective date: 20091102 |
|
AKX | Designation fees paid |
Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR |
|
17Q | First examination report despatched |
Effective date: 20100721 |
|
GRAP | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1 |
|
INTG | Intention to grant announced |
Effective date: 20131203 |
|
RAP1 | Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred) |
Owner name: HANSGROHE SE |
|
GRAS | Grant fee paid |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3 |
|
GRAA | (expected) grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: B1 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: GB Ref legal event code: FG4D Free format text: NOT ENGLISH Ref country code: CH Ref legal event code: EP |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: AT Ref legal event code: REF Ref document number: 665275 Country of ref document: AT Kind code of ref document: T Effective date: 20140515 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: IE Ref legal event code: FG4D Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R096 Ref document number: 502008011662 Country of ref document: DE Effective date: 20140612 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: ES Ref legal event code: FG2A Ref document number: 2480946 Country of ref document: ES Kind code of ref document: T3 Effective date: 20140729 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: NV Representative=s name: DR. LUSUARDI AG, CH |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: LT Ref legal event code: MG4D |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: NL Ref legal event code: VDEP Effective date: 20140430 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CY Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: NL Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: BG Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140730 Ref country code: IS Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140830 Ref country code: NO Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140730 Ref country code: GR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140731 Ref country code: LT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: HR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: PL Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: LV Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: SE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: PT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140901 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: SK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: EE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: RO Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 Ref country code: CZ Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R097 Ref document number: 502008011662 Country of ref document: DE |
|
PLBE | No opposition filed within time limit |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT |
|
26N | No opposition filed |
Effective date: 20150202 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R097 Ref document number: 502008011662 Country of ref document: DE Effective date: 20150202 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: BE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20150131 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: SI Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LU Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20150114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: MC Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: IE Ref legal event code: MM4A |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 9 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20150114 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: AT Ref legal event code: MM01 Ref document number: 665275 Country of ref document: AT Kind code of ref document: T Effective date: 20150114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: AT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20150114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: MT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 10 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: HU Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO Effective date: 20080114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: TR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20140430 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 11 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FI Payment date: 20200121 Year of fee payment: 13 Ref country code: ES Payment date: 20200219 Year of fee payment: 13 Ref country code: IT Payment date: 20200122 Year of fee payment: 13 Ref country code: GB Payment date: 20200127 Year of fee payment: 13 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CH Payment date: 20200127 Year of fee payment: 13 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Payment date: 20200123 Year of fee payment: 13 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Payment date: 20201218 Year of fee payment: 14 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FI Ref legal event code: MAE |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: PL |
|
GBPC | Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee |
Effective date: 20210114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210131 Ref country code: FI Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LI Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210131 Ref country code: GB Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210114 Ref country code: CH Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210131 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: ES Ref legal event code: FD2A Effective date: 20220422 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210114 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: ES Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210115 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R119 Ref document number: 502008011662 Country of ref document: DE |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20220802 |