DE60033643T2 - Spannungsarme chipanbringung - Google Patents

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Duli Sugar Land YU
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    • H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Offenbarung betrifft allgemein ein Verfahren zum Anbringen einer Masse an einer Packung und insbesondere das Anbringen einer Masse an einer Packung, um Spannungen zu minimieren.
  • Beim Anbringen einer Masse an einer Packung werden thermisch induzierte Kontraktions- und Expansionswirkungen in der Masse sowie andere Packungsspannungswirkungen erzeugt. Elastomer- oder epoxidharzbasierte Anbringungsmaterialien minimieren thermisch induzierte Kontraktions- und Expansionswirkungen, begrenzen jedoch die Schockwiderstandsfähigkeit der Masse und können die Vakuumdichtung infolge von Ausgasen nicht erleichtern. Mechanische Anbringungsprozesse minimieren in der Masse erzeugte thermisch induzierte Kontraktions- und Expansionswirkungen, sind jedoch komplex.
  • Die vorliegende Erfindung strebt an, die thermisch induzierten Kontraktions- und Expansionsspannungen zusammen mit anderen Spannungswirkungen in der Masse und im Gehäuse zu minimieren, während eine gute Herstellbarkeit be reitgestellt wird und ein Vakuumdichtungsprozess ermöglicht wird.
  • In US-A-5 375 469 ist ein kapazitiver Beschleunigungssensor beschrieben, und die unabhängigen Ansprüche sind über dieses Dokument gekennzeichnet.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung nach Anspruch 1 vorgesehen.
  • Die Vorrichtung beinhaltet eine Packung, eine mit der Packung verbundene Masse und eine oder mehrere elastische Verbindungen zum Anbringen der Masse an der Packung.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren nach Anspruch 23 vorgesehen.
  • Das Verfahren zum Verbinden einer Masse mit einer Packung beinhaltet das elastische Anbringen der Masse an der Packung an einer oder mehreren verschiedenen Stellen.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnung
  • 1A ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 1B ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Vorrichtung aus 1A.
  • 1C ist eine Bodenansicht einer Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 1A.
  • 1D ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 1A.
  • 1E ist eine detaillierte Ansicht der Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 1D.
  • 1F ist eine Bodenansicht einer alternativen Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 1A.
  • 1G ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1H ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1J ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1K ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1L ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1M ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1N ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1P ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 1A.
  • 1Q ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 1A.
  • 1R ist eine detaillierte Ansicht der alternativen Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 1Q.
  • 1S ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 1T ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 1S.
  • 1U ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 1S.
  • 1V ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 1S.
  • 1W ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 1S.
  • 2A ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 2B ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Vorrichtung aus 2A.
  • 2C ist eine Bodenansicht einer Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 2A.
  • 2D ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 2A.
  • 2E ist eine detaillierte Ansicht der Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 2D.
  • 2F ist eine Bodenansicht einer alternativen Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 2A.
  • 2G ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2H ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2J ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2K ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2L ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2M ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2N ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2P ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 2A.
  • 2Q ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 2A.
  • 2R ist eine detaillierte Ansicht der alternativen Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 2Q.
  • 2S ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 2T ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 2S.
  • 2U ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 2S.
  • 2V ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 2S.
  • 2W ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 2S.
  • 3A ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 3B ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Vorrichtung aus 3A.
  • 3C ist eine Bodenansicht einer Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 3A.
  • 3D ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 3A.
  • 3E ist eine detaillierte Ansicht der Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 3D.
  • 3F ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 3G ist eine Bodenansicht einer alternativen Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 3A.
  • 3H ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 3A.
  • 3J ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 3A.
  • 3K ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 3A.
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  • 3W ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 3T.
  • 3X ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 3T.
  • 4A ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 4B ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Vorrichtung aus 4A.
  • 4C ist eine Bodenansicht einer Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 4A.
  • 4D ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 4A.
  • 4E ist eine detaillierte Ansicht der Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 4D.
  • 4F ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 4G ist eine Bodenansicht einer alternativen Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 4A.
  • 4H ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 4A.
  • 4J ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 4A.
  • 4K ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 4A.
  • 4L ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 4A.
  • 4M ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Verbindungsstelle der Vorrichtung aus 4A.
  • 4R ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 4A.
  • 4S ist eine detaillierte Ansicht der alternativen Ausführungsform der elastischen Verbindung aus 4R.
  • 4T ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
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  • 5A ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 5B ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Vorrichtung aus 5A.
  • 5C ist eine Bodenansicht einer Ausführungsform der Masse der Vorrichtung aus 5A.
  • 5D ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der ersten elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 5A.
  • 5E ist eine detaillierte Ansicht der Ausführungsform der ersten elastischen Verbindung aus 5D.
  • 5F ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der zweiten elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 5A.
  • 5G ist eine detaillierte Ansicht der Ausführungsform der zweiten elastischen Verbindung aus 5F.
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  • 6V ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der zweiten elastischen Verbindung der Vorrichtung aus 6A.
  • 6W ist eine detaillierte Ansicht der alternativen Ausführungsform der zweiten elastischen Verbindung aus 6V.
  • 6X ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum elastischen Anbringen einer Masse an einer Packung.
  • 6Y ist eine Draufsicht einer Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 6X.
  • 6Z ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 6X.
  • 6AA ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 6X.
  • 6BB ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Gleitlager der Vorrichtung aus 6X.
  • 7A ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Vorrichtung aus 1A.
  • 7B ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform der Vorrichtung aus 1A.
  • 7C ist eine Draufsicht einer alternativen Ausführungsform der Vorrichtung aus 1A.
  • 7D ist eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform der Vorrichtung aus 1A.
  • Detaillierte Beschreibung der erläuternden Ausführungsformen
  • Zunächst mit Bezug auf die 1A bis 1E sei bemerkt, dass eine Ausführungsform eines Systems 100 zum elastischen Verbinden einer Masse mit einer Packung vorzugsweise eine Packung 102, eine Masse 104, eine oder mehrere Verbindungsstellen 106, eine oder mehrere elastische Verbindungen 108 und eine oder mehrere elektrische Verbindungen 112 aufweist.
  • Die Packung 102 ist vorzugsweise mit den elastischen Verbindungen 108 und den elektrischen Verbindungen 112 verbunden. Die Packung 102 kann beispielsweise ein Gehäuse oder ein Substrat sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Packung 102 ein Gehäuse zum optimalen Bereitstellen einer oberflächenmontierten Komponente. Die Packung 102 weist vorzugsweise eine obere parallele ebene Fläche 114 und einen Hohlraum 116 auf. Der Hohlraum 116 weist vorzugsweise eine erste Wand 118, eine zweite Wand 120, eine dritte Wand 122 und eine vierte Wand 124 auf. Die erste Wand 118 und die dritte Wand 122 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 120 und die vierte Wand 124 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 120 und die vierte Wand 124 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 118 und zur dritten Wand 122. Der Hohlraum 116 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 126 auf. Die Packung 102 kann aus einer beliebigen Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Gehäuse aus Keramik, Metall oder Kunststoff bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Packung 102 aus Keramik, um optimal eine Vakuumdichtung der Masse 104 innerhalb der Packung 102 bereitzustellen.
  • Die Masse 104 wird vorzugsweise durch die elastischen Verbindungen 108 elastisch an der Packung 102 angebracht und elektrisch durch die elektrischen Verbindungen 112 mit der Packung 102 verbunden. Die Masse 104 hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Masse 104 ein mikrobearbeiteter Sensor, der im Wesentlichen jenem entspricht, der im anhängigen US-Patent US-A-6 871 544 offenbart ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Masse 104 eine obere parallele ebene Fläche 128 und eine untere parallele ebene Fläche 130 auf. Die untere parallele ebe ne Fläche 130 der Masse 104 weist vorzugsweise eine erste Seite 132, eine zweite Seite 134, eine dritte Seite 136 und eine vierte Seite 138 auf. Die erste Seite 132 und die dritte Seite 136 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Seite 134 und die vierte Seite 138 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander und vorzugsweise nahezu senkrecht zur ersten Seite 132 und zur dritten Seite 136. Die Masse 104 weist vorzugsweise einen passiven Bereich 140 an einem Ende und einen aktiven Bereich 146 am entgegengesetzten Ende auf.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die untere parallele ebene Fläche 130 der Masse 104 die Verbindungsstellen 106 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 106 im passiven Bereich 140 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104. Die Verbindungsstellen 106 können sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 132 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104 befinden und sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 134 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 106 in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 132 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und sie befinden sich in senkrechten Abständen von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 134 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Verbindungsstellen 106 können beispielsweise für ein Verbinden mit Lötmittel, leitfähigem Epoxidharz, nicht leitfähigem Epoxidharz oder Glasfritte verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 106 für das Lötmittelverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die Kontaktfläche der Verbindungsstellen 106 maximiert, um die Schocktoleranz der Masse 104 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Verbindungsstellen 106 minimale Diskontinuitäten auf, um die Verteilung thermischer Spannungen in der Masse 104 zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl von Verbindungsstellen 106, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 104 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige Verbindungsstelle 106a. Die Verbindungsstelle 106a weist vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform auf. Die Länge L106a der Verbindungsstelle 106a kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L106a der Verbindungsstelle 106a von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W106a der Verbindungsstelle 106a kann beispielsweise von etwa 0,381 bis 0,635 mm (15 bis 25 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W106a der Verbindungsstelle 106a von etwa 18 bis 22 Millizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106a der Verbindungsstelle 106a kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106a der Verbindungsstelle 106a von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 108 befestigen die Verbindungsstellen 106 vorzugsweise elastisch an der Packung 102. Die elastischen Verbindungen 108 sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 126 des Hohlraums 116 der Packung 102 verbunden. Die elastischen Verbindungen 108 sind Lötvorformen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 108 eine in etwa rechteckige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 108 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl elastischer Verbindungen 108, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 104 zu optimieren. Die elastischen Verbindungen 108 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 108 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die elastischen Verbindungen 108 können sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise 5 bis 25 Millizoll von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die elastischen Verbindungen 108 in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elastische Verbindung 108. Die Länge L108 der elastischen Verbindung 108 kann beispielsweise von etwa 5,08 bis 6,35 mm (200 bis 250 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L108 der elastischen Verbindung 108 von etwa 5,715 bis 5,969 mm (225 bis 235 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W108 der elastischen Verbindung 108 kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W108 der elastischen Verbindung 108 von etwa 0,508 bis 0,889 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H100 der elastischen Verbindung 108 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H108 der elastischen Verbindung 108 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die elastischen Verbindungen 108 weiter einen oder mehrere erste Puffer 142 und einen oder mehrere zweite Puffer 144 zum gleitenden Lagern der Masse 104 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 142 auf einer Seite der Verbindungsstellen 106 und die zweiten Puffer 144 auf einer anderen Seite der Verbindungsstellen 106. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 142 und die zweiten Puffer 144 in der Nähe der Verbindungsstellen 106. Die Breite W142 der ersten Puffer 142 kann beispielsweise von etwa 2 bis 6 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W142 der ersten Puffer 142 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen zu minimieren. Die Breite W144 der zweiten Puffer 144 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W144 der zweiten Puffer 144 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 108 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 106 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 108 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 126 des Hohlraums 116 der Packung 102 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen ersten Puffer 142 und einen einzigen zweiten Puffer 144.
  • Die elektrischen Verbindungen 112 verbinden die Masse 104 vorzugsweise elektrisch mit der Packung 102. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elektrische Verbindung 112. Die elektrische Verbindung 112 verbindet die obere parallele ebene Fläche 114 der Packung 102 vorzugsweise elektrisch mit der oberen parallelen ebenen Fläche 128 der Masse 104. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die elektrische Verbindung 112 eine Drahtverbindung. Die elektrische Verbindung 112 kann eine beliebige einer Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Drahtverbindungen, beispielsweise vom Aluminium- oder Gold-Typ, sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die elektrische Verbindung 112 aus Gold, um eine optimale Kompatibilität mit der Packung 102 und der Metallisierung der Masse 104 bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elektrische Verbindung 112 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Packung 102 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elektrische Verbindung 112 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Masse 104 verbunden.
  • In 1F sind gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste Verbindungsstelle 148a und eine zweite Verbindungsstelle 148b vorgesehen, deren Größe im Wesentlichen gleich ist und die horizontal nahe beieinander liegen. Die Verbindungsstellen 148a und 148b können beispielsweise für das Verbinden mit Lötmittel, leitfähigem Epoxidharz, nicht leitfähigem Epoxidharz oder Glasfritte verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 148a und 148b für das Lötmittelverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die Verbindungsstellen 148a und 148b haben vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L148 der Verbindungsstellen 148a und 148b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L148 der Verbindungsstellen 148a und 148b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu mini mieren. Die Breite W148 der Verbindungsstellen 148a und 148b kann beispielsweise von etwa 0,254 bis 0,508 mm (10 bis 20 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W148 der Verbindungsstellen 148a und 148b von etwa 0,3302 bis 0,4572 mm (13 bis 18 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H148 der Verbindungsstellen 148a und 148b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 μm reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H148 der Verbindungsstellen 148a und 148b von etwa 0,24 bis 0,72 μm, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 148a befindet sich vorzugsweise im passiven Bereich 140 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104. Die erste Verbindungsstelle 148a kann sich in einem senkrechten Abstand von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 132 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 134 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104 befinden. Die erste Verbindungsstelle 148a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 132 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 134 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 148b befindet sich vorzugsweise im passiven Bereich 140 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104. Die zweite Verbindungsstelle 148b kann sich in einem senkrechten Abstand von etwa 0,381 bis 1,143 mm (15 bis 45 Millizoll) von der ersten Seite 132 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 134 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104 befinden. Die zweite Verbindungsstelle 148b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,762 mm (20 bis 30 Millizoll) von der ersten Seite 132 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 134 der unteren parallelen ebenen Fläche 130 der Masse 104, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1G sei bemerkt, dass es gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 106b gibt. Die Verbindungsstelle 106b kann eine nahezu ovale Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstelle 106b kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 106b eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 192,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1H sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 106c und eine Verbindungsstelle 106d vorliegen. Die Verbindungsstellen 106c und 106d weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf, liegen vertikal dicht beieinander und haben eine nahezu ovale Querschnittsform. Die Verbindungsstellen 106c und 106d können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 106c und 106d eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106c und 106d kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106c und 106d von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1J sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 106e vorliegt. Die Verbindungsstelle 106e hat eine nahezu tri-ovale Querschnittsform. Die Verbindungsstelle 106e kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 106e eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um minimale thermische Spannungen optimal bereitzustellen. Die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106e kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106e von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1K sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 106f vorliegt. Die Verbindungsstelle 106f kann eine nahezu oct-ovale Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstelle 106f kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 4000 bis 8750 Quadratmillizoll aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 106f eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106f kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106f von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1L sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 106g und eine Verbindungsstelle 106h vorliegen. Die Verbindungsstellen 106g und 106h weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf, liegen vertikal dicht beieinander und haben eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Verbindungsstellen 106g und 106h können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 106g und 106h eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106g und 106h kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106g und 106h von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1M sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 106i, eine Verbindungsstelle 106j und eine Verbindungsstelle 106k vorliegen. Die Verbindungsstellen 106i, 106j und 106k weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf, liegen vertikal dicht beieinander und haben eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Verbindungsstellen 106i, 106j und 106k können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 106i, 106j und 106k eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106i, 106j und 106k kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106i, 106j und 106k von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1N sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 106l vorliegt. Die Verbindungsstelle 106l kann eine nahezu wellenseitig rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstelle 106l kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 106l eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 5625 bis 7050 Quadratmillizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106l kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstelle 106l von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 1P sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 106m und eine Verbindungsstelle 106n vorliegen. Die Verbindungsstellen 106m und 106n liegen horizontal dicht beieinander und haben eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Verbindungsstelle 106m ist etwas kleiner als die Verbindungsstelle 106n. Die Verbindungsstellen 106m und 106n können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 106m und 106n eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106m und 106n kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H106 der Verbindungsstellen 106m und 106n von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 1Q und 1R sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste elastische Verbindung 150a und eine zweite elastische Verbindung 150b vorliegen. Die elastischen Verbindungen 150a und 150b sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 150a und 150b liegen vertikal nahe beieinander und haben im Wesentlichen die gleiche Größe. Die elastischen Verbindungen 150a und 150b können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 150a und 150b ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die Länge L150 der elastischen Verbindungen 150a und 150b kann beispielsweise von etwa 90 bis 120 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L150 der elastischen Verbindungen 150a und 150b von etwa 2,5654 bis 2,8448 mm (101 bis 112 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W150 der elastischen Verbindungen 150a und 150b kann bei spielsweise von etwa 20 bis 35 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W150 der elastischen Verbindungen 150a und 150b von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H150 der elastischen Verbindungen 150a und 150b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H150 der elastischen Verbindungen 150a und 150b von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 150a und 150b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 126 des Hohlraums 116 der Packung 102 verbunden.
  • Die erste elastische Verbindung 150a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 150a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 150b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,667 bis 3,683 mm (105 bis 145 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 150b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 112 bis 127 Millizoll von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die elastischen Verbindungen 150a und 150b weiter einen oder mehrere erste Puffer 152 zum gleitenden Lagern der Masse 104 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 152 auf einer Seite der Verbindungsstellen 106. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 152 in der Nähe der Verbindungsstellen 106. Die Breite W152 der ersten Puffer 152 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W152 der ersten Puffer 152 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die elastischen Verbindungen 150a und 150b weiter einen oder mehrere zweite Puffer 154 zum gleitenden Lagern der Masse 104 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 154 auf einer anderen Seite der Verbindungsstellen 106 entgegengesetzt zu den Puffern 152. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 154 in der Nähe der Verbindungsstellen 106. Die Breite W154 der zweiten Puffer 154 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W154 der zweiten Puffer 154 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 1S bis 1W sei bemerkt, dass das System 100 weiter ein oder mehrere Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h zum gleitenden Lagern der Masse 104 aufweist. Die Anzahl der Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h hängt vorzugsweise davon ab, ob eine ausreichende Anzahl der Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h, um die Masse 104 optimal gleitend zu lagern, vorhanden ist. Die Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h sind vorzugsweise mit der unteren Fläche 126 des Hohlraums 116 der Packung 102 verbunden.
  • Die Gleitlager 110e können eine nahezu quadratische Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 110f können eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 110g können eine nahezu dreieckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 110h können eine nahezu kreis förmige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h können eine individuelle genäherte Querschnittsfläche von etwa 400 bis 1600 Quadratmillizoll aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h eine individuelle genäherte Querschnittsfläche von etwa 15,875 bis 31,115 mm2 (625 bis 1225 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H110 der Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h kann beispielsweise von etwa 0,0127 bis 0,0762 mm (0,5 bis 3 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H110 der Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h von etwa 0,0254 bis 0,0381 mm (1 bis 1,5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h aus Wolfram, um eine Standardpackungsprozedur optimal bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Gleitlager 110e, 110f, 110g oder 110h unter Verwendung herkömmlicher Mittel zum Integrieren der Gleitlager 110 in die Packung 102 mit der Bodenfläche 126 des Hohlraums 116 der Packung 102 verbunden.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es ein erstes Gleitlager 110ea, ein zweites Gleitlager 110eb, ein drittes Gleitlager 110ec und ein viertes Gleitlager 110ed. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Gleitlager 110ea, 110eb, 110ec und 110ed eine nahezu qua dratische Querschnittsform. Das erste Gleitlager 110ea kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das erste Gleitlager 110ea in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das zweite Gleitlager 110eb kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das zweite Gleitlager 110eb in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das dritte Gleitlager 110ec kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das dritte Gleitlager 110ec in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das vierte Gleitlager 110ed kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das vierte Gleitlager 110ed in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 118 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 120 des Hohlraums 116 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 108 auch die Masse 104 elektrisch mit der Packung 102 verbinden.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 150a und 150b auch die Masse 104 elektrisch mit der Packung 102 verbinden.
  • Mit Bezug auf die 2A bis 2E sei bemerkt, dass eine Ausführungsform eines Systems 200 zum elastischen Verbinden einer Masse mit einer Packung vorzugsweise eine Packung 202, eine Masse 204, eine oder mehrere Verbindungsstellen 206, eine oder mehrere elastische Verbindungen 208 und eine oder mehrere elektrische Verbindungen 212 aufweist.
  • Die Packung 202 ist vorzugsweise mit den elastischen Verbindungen 208 und den elektrischen Verbindungen 212 verbunden. Die Packung 202 kann beispielsweise ein Gehäuse oder ein Substrat sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Packung 202 ein Gehäuse, um eine oberflächenmontierte Komponente optimal bereitzustellen. Die Packung 202 weist vorzugsweise eine erste parallele ebene Fläche 214, eine zweite parallele ebene Fläche 216 und einen Hohlraum 218 auf. Der Hohlraum 218 weist vorzugsweise eine erste Wand 220, eine zweite Wand 222, eine dritte Wand 224 und eine vierte Wand 226 auf. Die erste Wand 220 und die dritte Wand 224 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 222 und die vierte Wand 226 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 222 und die vierte Wand 226 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 220 und zur dritten Wand 224. Der Hohlraum 218 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 228 auf. Die Packung 202 kann aus einer beliebigen Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Gehäuse aus Keramik, Metall oder Kunststoff bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Packung 202 aus Keramik, um eine Vakuumdichtung der Masse 204 in der Packung 202 optimal bereitzustellen.
  • Die Masse 204 ist vorzugsweise durch die elastischen Verbindungen 208 elastisch an der Packung 202 angebracht und durch die elektrischen Verbindungen 212 elektrisch mit der Packung 202 verbunden. Die Masse 204 hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Masse 204 hat vorzugsweise einen passiven Bereich 250 an einem Ende und einen aktiven Bereich 256 am entgegengesetzten Ende. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Masse 204 ein erstes Element 230, ein zweites Element 232 und ein drittes Element 234 auf. Das erste Element 230 befindet sich vorzugsweise auf dem zweiten Element 232, und das zweite Element 232 befindet sich vorzugsweise auf dem dritten Element 234. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind das erste Element 230, das zweite Element 232 und das dritte Element 234 ein mikrobearbeiteter Sensor, wie im Wesentlichen im anhängigen US-Patent US-A-6 871 544 offenbart ist. Das erste Element 230 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das erste Element eine obere parallele ebene Fläche 236 auf. Das zweite Element 232 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das zweite Element 232 eine mittlere parallele ebene Fläche 238 auf. Das dritte Element 234 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das dritte Element 234 eine untere parallele ebene Fläche 240 auf. Die untere parallele ebene Fläche 240 der Masse 204 weist vorzugsweise eine erste Seite 242, eine zweite Seite 244, eine dritte Seite 246 und eine vierte Seite 248 auf. Die erste Seite 242 und die dritte Seite 246 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Seite 244 und die vierte Seite 248 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander und vorzugsweise nahezu senkrecht zur ersten Seite 242 und zur dritten Seite 246.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die untere parallele ebene Fläche 240 der Masse 204 die Verbindungsstellen 206 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 206 im passiven Bereich 250 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204. Die Verbindungsstellen 206 können sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 242 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204 befinden und sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 244 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 206 in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 242 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und sie befinden sich in senkrechten Abständen von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 244 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Verbindungsstellen 206 können beispielsweise für ein Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 206 für das Lötmittelverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die Kontaktfläche der Verbindungsstellen 206 maximiert, um die Schocktoleranz der Masse 204 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Verbindungsstellen 206 minimale Diskontinuitäten auf, um die Verteilung thermischer Spannungen in der Masse 204 zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl von Verbindungsstellen 206, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 204 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige Verbindungsstelle 206a. Die Verbindungsstelle 206a weist vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform auf. Die Länge L206a der Verbindungsstelle 206a kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L206a der Verbindungsstelle 206a von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W206a der Verbindungsstelle 206a kann beispielsweise von etwa 0,381 bis 0,635 mm (15 bis 25 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W206a der Verbindungsstelle 206a von etwa 0,4572 bis 0,5588 mm (18 bis 22 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206a der Verbindungsstelle 206a kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206a der Verbindungsstelle 206a von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 208 befestigen die Verbindungsstellen 206 vorzugsweise elastisch an der Packung 202. Die elastischen Verbindungen 208 sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 228 des Hohlraums 218 der Packung 202 verbunden. Die elastischen Verbindungen 208 sind Lötvorformen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 208 eine in etwa rechteckige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 208 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl elastischer Verbindungen 208, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 204 zu optimieren. Die elastischen Verbindungen 208 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 208 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die elastischen Verbindungen 208 können sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die elastischen Verbindungen 208 in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elastische Verbindung 208. Die Länge L208 der elastischen Verbindung 208 kann beispielsweise von etwa 5,08 bis 6,35 mm (200 bis 250 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L208 der elastischen Verbindung 208 von etwa 5,715 bis 5,969 mm (225 bis 235 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W208 der elastischen Verbindung 208 kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W208 der elastischen Verbindung 208 von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H208 der elastischen Verbindung 208 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H208 der elastischen Verbindung 208 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die elastischen Verbindungen 208 weiter einen oder mehrere erste Puffer 252 und einen oder mehrere zweite Puffer 254 zum gleitenden Lagern der Masse 204 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 252 auf einer Seite der Verbindungsstellen 206 und die zweiten Puffer 254 auf einer anderen Seite der Verbindungsstellen 206. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 252 und die zweiten Puffer 254 in der Nähe der Verbindungsstellen 206. Die Breite W252 der ersten Puffer 252 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W252 der ersten Puffer 252 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W254 der zweiten Puffer 254 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W254 der zweiten Puffer 254 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 208 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 206 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 208 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 228 des Hohlraums 218 der Packung 202 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen ersten Puffer 252 und einen einzigen zweiten Puffer 254.
  • Die elektrischen Verbindungen 212 verbinden die Masse 204 vorzugsweise elektrisch mit der Packung 202. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elektrischen Verbindungen 212 Drahtverbindungen. Die elektrischen Verbindungen 212 können beliebige einer Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Drahtverbindungen, beispielsweise vom Gold- oder Aluminium-Typ, sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die elektrischen Verbindungen 212 aus Gold, um eine optimale Kompatibilität mit der Packung 202 und der Metallisierung der Masse 204 bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elektrische Verbindung 212a und eine zweite elektrische Verbindung 212b. Die erste elektrische Verbindung 212a verbindet die erste parallele ebene Fläche 214 der Packung 202 vorzugsweise elektrisch mit der oberen parallelen ebenen Fläche 236 der Masse 204. Die zweite elektrische Verbindung 212b verbindet die zweite parallele ebene Fläche 216 der Packung 202 vorzugsweise elektrisch mit der mittleren parallelen ebenen Fläche 238 der Masse 204. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elektrischen Verbindungen 212 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Packung 202 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elektrischen Verbindungen 212 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Masse 204 verbunden.
  • In 2F sind gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 258a und eine Verbindungsstelle 258b vorgesehen, deren Größe im Wesentlichen gleich ist und die horizontal nahe beieinander liegen. Die Verbindungsstellen 258a und 258b können beispielsweise für das Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 258a und 258b für das Lötmittelverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die Verbindungsstellen 258a und 258b haben vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L258 der Verbindungsstellen 258a und 258b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L258 der Verbindungsstellen 258a und 258b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W258 der Verbindungsstellen 258a und 258b kann beispielsweise von etwa 0,254 bis 0,508 mm (10 bis 20 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W258 der Verbindungsstellen 258a und 258b von etwa 0,3302 bis 0,4572 mm (13 bis 18 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H258 der Verbindungsstellen 258a und 258b kann beispielsweise von etwa 0,00254 bis 0,0254 mm (0,1 bis 1 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H258 der Verbindungsstellen 258a und 258b von etwa 0,006096 bis 0,018288 mm (0,24 bis 0,72 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 258a befindet sich vorzugsweise im passiven Bereich 250 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204. Die erste Verbindungsstelle 258a kann sich in einem senkrechten Abstand von etwa 5 bis 25 Millizoll von der ersten Seite 242 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 244 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204 befinden. Die erste Verbindungsstelle 258a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 242 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 244 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 258b befindet sich vorzugsweise im passiven Bereich 250 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204. Die zweite Verbindungsstelle 258b kann sich in einem senkrechten Abstand von etwa 0,381 bis 1,143 mm (15 bis 45 Millizoll) von der ersten Seite 242 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 244 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204 befinden. Die zweite Verbindungsstelle 258b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,762 mm (20 bis 30 Millizoll) von der ersten Seite 242 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 244 der unteren parallelen ebenen Fläche 240 der Masse 204, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2G sei bemerkt, dass es gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 206b gibt. Die Verbindungsstelle 206b kann eine nahezu ovale Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstelle 206b kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 206b eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2H sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste Verbindungsstelle 206c und eine zweite Verbindungsstelle 206d vorliegen. Die Verbindungsstellen 206c und 206d weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf, liegen vertikal dicht beieinander und haben eine nahezu ovale Querschnittsform. Die Verbindungsstellen 206c und 206d können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 206c und 206d eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206c und 206d kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206c und 206d von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2J sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 206e vorliegt. Die Verbindungsstelle 206e hat eine nahezu tri-ovale Querschnittsform. Die Verbindungsstelle 206e kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 206e eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206e kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206e von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2K sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 206f vorliegt. Die Verbindungsstelle 206f kann eine nahezu oct-ovale Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstelle 206f kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 206f eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206f kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206f von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2L sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 206g und eine Verbindungsstelle 206h vorliegen. Die Verbindungsstellen 206g und 206h weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf, liegen vertikal dicht beieinander und haben eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Verbindungsstellen 206g und 206h können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 206g und 206h eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206g und 206h kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206g und 206h von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2M sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 206i, eine Verbindungsstelle 206j und eine Verbindungsstelle 206k vorliegen. Die Verbindungsstellen 206i, 206j und 206k weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf, liegen vertikal dicht beieinander und haben eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Verbindungsstellen 206i, 206j und 206k können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 206i, 206j und 206k eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206i, 206j und 206k kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206i, 206j und 206k von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2N sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 206l vorliegt. Die Verbindungsstelle 206l kann eine nahezu wellenseitig rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstelle 206l kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 206l eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206l kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstelle 206l von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 2P sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 206m und eine Verbindungsstelle 206n vorliegen. Die Verbindungsstellen 206m und 206n liegen horizontal dicht beieinander und haben eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Verbindungsstelle 206m ist etwas kleiner als die Verbindungsstelle 206n. Die Verbindungsstellen 206m und 206n können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 206m und 206n eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206m und 206n kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H206 der Verbindungsstellen 206m und 206n von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 2Q und 2R sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste elastische Verbindung 260a und eine zweite elastische Verbindung 260b vorliegen. Die elastischen Verbindungen 260a und 260b sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 260a und 260b liegen vertikal nahe beieinander und haben im Wesentlichen die gleiche Größe. Die ela stischen Verbindungen 260a und 260b können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 260a und 260b ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die Länge L260 der elastischen Verbindungen 260a und 260b kann beispielsweise von etwa 2,286 bis 3,048 mm (90 bis 120 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L260 der elastischen Verbindungen 260a und 260b von etwa 2,5654 bis 2,8448 mm (101 bis 112 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W260 der elastischen Verbindungen 260a und 260b kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W260 der elastischen Verbindungen 260a und 260b von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H260 der elastischen Verbindungen 260a und 260b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H260 der elastischen Verbindungen 260a und 260b von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 260a und 260b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 228 des Hohlraums 218 der Packung 202 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elastischen Verbindungen 260a und 260b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 206 verbunden.
  • Die erste elastische Verbindung 260a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 260a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 260b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 105 bis 145 Millizoll von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 260b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 2,8448 bis 3,2258 mm (112 bis 127 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die elastischen Verbindungen 260a und 260b weiter einen oder mehrere erste Puffer 262 zum gleitenden Lagern der Masse 204 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 262 auf einer Seite der Verbindungsstellen 206. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 262 in der Nähe der Verbindungsstellen 206. Die Breite W262 der ersten Puffer 262 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W262 der ersten Puffer 262 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist ein einziger erster Puffer 262 vorhanden.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die elastischen Verbindungen 260a und 260b weiter einen oder mehrere zweite Puffer 264 zum gleitenden Lagern der Masse 204 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 264 auf einer anderen Seite der Verbindungsstellen 206 entgegengesetzt zu den ersten Puffern 262. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform liegen die zweiten Puffer 264 in der Nähe der Verbindungsstellen 206. Die Breite W264 der zweiten Puffer 264 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W264 der zweiten Puffer 264 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen zweiten Puffer 264.
  • Mit Bezug auf die 2S bis 2W sei bemerkt, dass das System 200 weiter ein oder mehrere Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h aufweist. Die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h lagern die Masse 204 gleitend. Die Anzahl der Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h hängt vorzugsweise davon ab, ob eine ausreichende Anzahl der Gleitlager, um die Masse 204 optimal gleitend zu lagern, vorhanden ist. Die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h sind vorzugsweise mit der unteren Fläche 228 des Hohlraums 218 der Packung 202 verbunden. Die Gleitlager 210e können eine nahezu quadratische Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 210f können eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 210g können eine nahezu dreieckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 210h können eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h aus Wolfram, um einen Standardverpackungsprozess optimal bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h unter Verwendung herkömmlicher Mittel zum Integrieren der Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h in die Packung 202 mit der Bodenfläche 228 des Hohlraums 218 der Packung 202 verbunden.
  • Die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h können individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 10,16 bis 40,64 mm2 (400 bis 1600 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 15,875 bis 31,115 mm2 (625 bis 1225 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H210 der Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h kann beispielsweise von etwa 0,0127 bis 0,0762 mm (0,5 bis 3 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H210 der Gleitlager 210e, 210f, 210g oder 210h von etwa 0,0254 bis 0,0381 mm (1 bis 1,5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es ein erstes Gleitlager 210ea, ein zweites Gleitlager 210eb, ein drittes Gleitlager 210ec und ein viertes Gleitlager 210ed. Das erste Gleitlager 210ea kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das erste Gleitlager 210ea in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das zweite Gleitlager 210eb kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 45 bis 75 Millizoll von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 15 bis 30 Millizoll von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das zweite Gleitlager 210eb in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 102, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das dritte Gleitlager 210ec kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 85 bis 115 Millizoll von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 15 bis 30 Millizoll von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das dritte Gleitlager 210ec in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das vierte Gleitlager 210ed kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 85 bis 115 Millizoll von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das vierte Gleitlager 210ed in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 220 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 222 des Hohlraums 218 der Packung 202, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 208 auch die Masse 204 elektrisch mit der Packung 202 verbinden.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 260a und 260b auch die Masse 204 elektrisch mit der Packung 202 verbinden.
  • Mit Bezug auf die 3A bis 3E sei bemerkt, dass eine Ausführungsform eines Systems 300 zum elastischen Verbinden einer Masse mit einer Packung vorzugsweise eine Packung 302, eine Masse 304, eine oder mehrere Verbindungsstellen 306, eine oder mehrere elastische Verbindungen 308 und eine oder mehrere elektrische Verbindungen 310 aufweist.
  • Die Packung 302 ist mit den elastischen Verbindungen 308 und den elektrischen Verbindungen 310 verbunden. Die Packung 302 kann beispielsweise ein Gehäuse oder ein Substrat sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Packung 302 ein Gehäuse, um eine oberflächenmontierte Komponente optimal bereitzustellen. Die Packung 302 weist vorzugsweise eine obere parallele ebene Fläche 312 und einen Hohlraum 314 auf. Der Hohlraum 314 weist vorzugsweise eine erste Wand 316, eine zweite Wand 318, eine dritte Wand 320 und eine vierte Wand 322 auf. Die erste Wand 316 und die dritte Wand 320 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 318 und die vierte Wand 322 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 318 und die vierte Wand 322 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 316 und zur dritten Wand 320. Der Hohlraum 314 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 324 auf. Die Packung 302 kann aus einer beliebigen Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Gehäuse beispielsweise aus Keramik, Metall oder Kunststoff bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Packung 302 aus Keramik, um optimal eine Vakuumdichtung der Masse 304 innerhalb der Packung 302 bereitzustellen.
  • Die Masse 304 wird vorzugsweise durch die elastischen Verbindungen 308 elastisch an der Packung 302 angebracht und elektrisch durch die elektrischen Verbindungen 310 mit der Packung 302 verbunden. Die Masse 304 hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Masse 304 weist vorzugsweise alle aktiven Bereiche auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Masse 304 ein mikrobearbeiteter Sensor, der im Wesentlichen jenem entspricht, der im anhängigen US-Patent US-A-6 871 544 offenbart ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Masse 304 eine obere parallele ebene Fläche 338 und eine untere parallele ebene Fläche 340 auf. Die untere parallele ebene Fläche 340 der Masse 304 weist vorzugsweise eine erste Seite 342, eine zweite Seite 344, eine dritte Seite 346 und eine vierte Seite 348 auf. Die erste Seite 342 und die dritte Seite 346 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Seite 344 und die vierte Seite 348 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander und vorzugsweise nahezu senkrecht zur ersten Seite 342 und zur dritten Seite 346.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die untere parallele ebene Fläche 340 der Masse 304 die Verbindungsstellen 306 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 306 im Wesentlichen in der Mitte der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304. Die Verbindungsstellen 306 können sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 80 bis 100 Millizoll von der ersten Seite 342 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304 befinden und sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der zweiten Seite 344 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 306 in einem senkrechten Abstand von etwa 85 bis 95 Millizoll von der ersten Seite 342 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und sie befinden sich in senkrechten Abständen von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der zweiten Seite 344 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Verbindungsstellen 306 können beispielsweise für ein Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 306 für das Lötmittelverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die Kontaktfläche der Verbindungsstellen 306 maximiert, um die Schocktoleranz der Masse 304 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Verbindungsstellen 306 minimale Diskontinuitäten auf, um die Verteilung thermischer Spannungen in der Masse 304 zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl von Verbindungsstellen 306, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 304 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige Verbindungsstelle 306a. Die Verbindungsstelle 306a weist vorzugsweise eine nahezu kreisförmige Querschnittsform auf. Der Durchmesser D306a der Verbindungsstelle 306a kann beispielsweise von etwa 50 bis 100 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungs form reicht der Durchmesser D306a der Verbindungsstelle 306a von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H306a der Verbindungsstelle 306 kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H306a der Verbindungsstelle 306 von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 308 befestigen die Verbindungsstellen 306 vorzugsweise elastisch an der Packung 302. Die elastischen Verbindungen 308 sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 324 des Hohlraums 314 verbunden. Die elastischen Verbindungen 308 sind Lötvorformen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 308 eine in etwa kreisförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 308 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl elastischer Verbindungen 308, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 304 zu optimieren. Die elastischen Verbindungen 308 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 308 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die elastischen Verbindungen 308 können sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohl raums 314 der Packung 302 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die elastischen Verbindungen 308 in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elastische Verbindung 308. Der Durchmesser D308 der elastischen Verbindung 308 kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Durchmesser D308 der elastischen Verbindung 308 von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H308 der elastischen Verbindung 308 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H308 der elastischen Verbindung 308 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die elastische Verbindung 308 weiter einen oder mehrere Puffer 350 zum gleitenden Lagern der Masse 304 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen Puffer 350. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat der Puffer 350 eine nahezu ringförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform umgibt der Puffer 350 die Verbindungsstellen 306. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Puffer 350 in der Nähe der Verbindungsstellen 306. Die Breite W350 des Puffers 350 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W350 des Puffers 350 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 308 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der Verbindungsstelle 306 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 308 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 324 des Hohlraums 314 der Packung 302 verbunden.
  • Die elektrischen Verbindungen 310 verbinden die Masse 304 vorzugsweise elektrisch mit der Packung 302. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elektrische Verbindung 310. Die elektrische Verbindung 310 verbindet die obere parallele ebene Fläche 312 der Packung 302 vorzugsweise elektrisch mit der oberen parallelen ebenen Fläche 338 der Masse 304. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die elektrische Verbindung 310 eine Drahtverbindung. Die elektrische Verbindung 310 kann eine beliebige einer Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Drahtverbindungen, beispielsweise vom Gold- oder Aluminium-Typ, sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die elektrische Verbindung 310 aus Gold, um eine optimale Kompatibilität mit der Packung 302 und der Metallisierung der Masse 304 bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elektrische Verbindung 310 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Packung 302 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elektrische Verbindung 310 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Masse 304 verbunden.
  • Mit Bezug auf 3F sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Bodenfläche 324 der Packung 302 weiter eine Vertiefung 326 zum Aufnehmen der elastischen Verbindung 308 aufweist. Die Vertiefung 326 kann kreisförmig oder quadratisch sein. Die Vertiefung 326 weist vorzugsweise eine erste Wand 328, eine zweite Wand 330, eine dritte Wand 332 und eine vierte Wand 334 auf. Die erste Wand 328 und die dritte Wand 332 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 330 und die vierte Wand 334 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 330 und die vierte Wand 334 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 328 und zur dritten Wand 332. Die Vertiefung 326 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 336 auf. Die Länge L326 der Vertiefung 326 kann beispielsweise von etwa 2,794 bis 3,302 mm (110 bis 130 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L326 der Vertiefung 326 von etwa 2,921 bis 3,175 mm (115 bis 125 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W326 der Vertiefung 326 kann beispielsweise von etwa 2,794 bis 3,302 mm (110 bis 130 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W326 der Vertiefung 326 von etwa 2,921 bis 3,175 mm (115 bis 125 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H326 der Vertie fung 326 kann beispielsweise von etwa 0,0254 bis 0,0508 mm (1 bis 2 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H326 der Vertiefung 326 von etwa 0,03175 bis 0,04445 mm (1,25 bis 1,75 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die Vertiefung 326 im Wesentlichen in der Mitte der Bodenfläche 324 der Packung 302. Die erste Wand 328 der Vertiefung 326 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Wand 328 der Vertiefung 326 in einem senkrechten Abstand von 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die zweite Wand 330 der Vertiefung 326 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Wand 330 der Vertiefung 326 in einem senkrechten Abstand von 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die elastische Verbindung 308 in der Vertiefung 326. Die elastische Verbindung 308 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,0508 bis 0,1778 mm (2 bis 7 Millizoll) von der ersten Wand 328 der Vertiefung 326 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,0508 bis 0,1778 mm (2 bis 7 Millizoll) von der zweiten Wand 330 der Vertiefung 326 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die elastische Verbindung 308 in einem senkrechten Abstand von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll) von der ersten Wand 328 der Vertiefung 326 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll) von der zweiten Wand 330 der Vertiefung 326 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elastische Verbindung 308 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der Bodenfläche 324 der Vertiefung 326 verbunden.
  • Mit Bezug auf 3G sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste Verbindungsstelle 360a und eine zweite Verbindungsstelle 360b vorliegen, die im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen und vertikal nahe beieinander liegen. Die Verbindungsstellen 360a und 360b können beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 360a und 360b zum Lötverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die Verbindungsstellen 360a und 360b haben vorzugsweise eine nahezu kreisförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D360 der Verbindungsstellen 360a und 360b kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D360 der Verbindungsstellen 360a und 360b von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H360 der Verbindungsstellen 360a und 360b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H360 der Verbindungsstellen 360a und 360b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 360a befindet sich vorzugsweise im Wesentlichen in der Mitte der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304. Die erste Verbindungsstelle 360a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Seite 342 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,016 bis 1,27 mm (40 bis 50 Millizoll) von der zweiten Seite 344 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304 befinden. Die erste Verbindungsstelle 360a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Seite 342 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 43 bis 47 Millizoll von der zweiten Seite 344 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 360b befindet sich vorzugsweise im Wesentlichen in der Mitte der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304. Die zweite Verbindungs stelle 360 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 80 bis 100 Millizoll von der ersten Seite 342 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 135 bis 165 Millizoll von der zweiten Seite 344 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304 befinden. Die zweite Verbindungsstelle 360 befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Seite 342 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 3,6322 bis 3,9878 mm (143 bis 157 Millizoll) von der zweiten Seite 344 der unteren parallelen ebenen Fläche 340 der Masse 304, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 3H sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 306 vorliegt. Die Verbindungsstelle 306 kann eine nahezu oct-kuchenkeilförmige Querschnittsform aufweisen. Der Gesamtdurchmesser D306b der Verbindungsstelle 306 kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D306b der Verbindungsstelle 306 von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306 kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306 von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 3J sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 306c vorliegt. Die Verbindungsstelle 306c kann eine nahezu hohle oct-kuchenkeilförmige Querschnittsform aufweisen. Der Gesamtdurchmesser D306c der Verbindungsstelle 306c kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D306c der Verbindungsstelle 306c von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306c kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306c von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 3K sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 306d vorliegt. Die Verbindungsstelle 306d hat eine nahezu neun-kreisförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D306d der Verbindungsstelle 306d kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D306d der Verbindungsstelle 306d von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306d kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306d von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 3L sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 306e vorliegt. Die Verbindungsstelle 306e hat eine nahezu sternstrahlförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D306e der Verbindungsstelle 306e kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D306e der Verbindungsstelle 306e von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306e kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306e von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 3M sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 306f vorliegt. Die Verbindungsstelle 306f hat eine nahezu sonnenstrahlförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D306f der Verbindungsstelle 306f kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D306f der Verbindungsstelle 306f von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306f kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H306 der Verbindungsstelle 306f von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 3R und 3S sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste elastische Verbindung 362a und eine zweite elastische Verbindung 362b vorliegen. Die elastischen Verbindungen 362a und 362b sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 362a und 362b liegen vertikal nahe beieinander und haben im Wesentlichen die gleiche Größe. Die elastischen Verbindungen 362a und 362b können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 362a und 362b ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Der Gesamtdurchmesser D362 der elastischen Verbindungen 362a und 362b kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D362 der elastischen Verbindungen 362a und 362b von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H362 der elastischen Verbindungen 362a und 362b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H362 der elastischen Verbindungen 362a und 362b von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 362a und 362b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 324 des Hohlraums 314 der Packung 302 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 362a und 362b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 306 verbunden.
  • Die erste elastische Verbindung 362a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,016 bis 1,27 mm (40 bis 50 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 362a in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 1,0922 bis 1,1938 mm (43 bis 47 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste elastische Verbindung 362a weist weiter einen oder mehrere Puffer 364 zum gleitenden Lagern der Masse 304 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen Puffer 364. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat der Puffer 364 eine nahezu ringförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Puffer 364 in der Nähe der Verbindungsstellen 306. Die Breite W364 des Puffers 364 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W364 des Puffers 364 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 362b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 3,429 bis 4,191 mm (135 bis 165 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 362b in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 3,7338 bis 3,9878 mm (147 bis 157 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 362b weist weiter einen oder mehrere Puffer 366 zum gleitenden Lagern der Masse 304 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen Puffer 366. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat der Puffer 366 eine nahezu ringförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Puffer 366 in der Nähe der Verbindungsstellen 306. Die Breite W350 des Puffers 366 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W366 des Puffers 366 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 3T bis 3X sei bemerkt, dass das System 300 weiter ein oder mehrere Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d aufweist. Die Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d lagern die Masse 304 gleitend. Die Anzahl der Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d hängt vorzugsweise davon ab, ob eine ausreichende Anzahl der Gleitlager, um die Masse 304 optimal gleitend zu lagern, vorhanden ist. Die Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d sind vorzugsweise mit der unteren Fläche 324 des Hohlraums 314 der Packung 302 verbunden. Die Gleitlager 354a können eine nahezu quadratische Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 354b können eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 354c können eine nahezu dreieckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 354d können eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d aus Wolfram, um einen Standardverpackungsprozess optimal bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Gleitlager 354 unter Verwendung herkömmlicher Mittel zum Integrieren der Gleitlager 310 in die Packung 302 mit der Bodenfläche 324 des Hohlraums 314 der Packung 302 verbunden.
  • Die Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d können individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 10,16 bis 40,64 mm2 (400 bis 1600 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 15,875 bis 31,115 mm2 (625 bis 1225 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H354 der Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d kann beispielsweise von etwa 0,0127 bis 0,0762 mm (0,5 bis 3 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H354 der Gleitlager 354a, 354b, 354c oder 354d von etwa 0,0254 bis 0,0381 mm (1 bis 1,5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es ein erstes Gleitlager 354aa, ein zweites Gleitlager 354ab, ein drittes Gleitlager 354ac und ein viertes Gleitlager 354ad. Das erste Gleitlager 354aa kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das erste Gleitlager 354aa in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 90 bis 105 Millizoll von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das zweite Gleitlager 354ab kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das zweite Gleitlager 354ab in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 20 bis 25 Millizoll von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das dritte Gleitlager 354ac kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 15 bis 30 Millizoll von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das dritte Gleitlager 354ac in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das vierte Gleitlager 354ad kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das vierte Gleitlager 354ad in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 316 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 318 des Hohlraums 314 der Packung 302, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 308 auch die Masse 304 elektrisch mit der Packung 302 verbinden.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 362a und 362b auch die Masse 304 elektrisch mit der Packung 302 verbinden.
  • Mit Bezug auf die 4A bis 4E sei bemerkt, dass eine Ausführungsform eines Systems 400 zum elastischen Ver binden einer Masse mit einer Packung vorzugsweise eine Packung 402, eine Masse 404, eine oder mehrere Verbindungsstellen 406, eine oder mehrere elastische Verbindungen 408 und eine oder mehrere elektrische Verbindungen 410 aufweist.
  • Die Packung 402 ist mit den elastischen Verbindungen 408 und den elektrischen Verbindungen 410 verbunden. Die Packung 402 kann beispielsweise ein Gehäuse oder ein Substrat sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Packung 402 ein Gehäuse, um eine oberflächenmontierte Komponente optimal bereitzustellen. Die Packung 402 weist vorzugsweise eine erste parallele ebene Fläche 412, eine zweite parallele ebene Fläche 414 und einen Hohlraum 416 auf. Der Hohlraum 416 weist vorzugsweise eine erste Wand 418, eine zweite Wand 420, eine dritte Wand 422 und eine vierte Wand 424 auf. Die erste Wand 418 und die dritte Wand 422 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 420 und die vierte Wand 424 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 422 und die vierte Wand 424 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 418 und zur dritten Wand 422. Der Hohlraum 416 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 426 auf. Die Packung 402 kann aus einer beliebigen Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Gehäuse beispielsweise aus Keramik, Metall oder Kunststoff bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Packung 402 aus Keramik, um optimal eine Vakuumdichtung der Masse 404 innerhalb der Packung 402 bereitzustellen.
  • Die Masse 404 wird vorzugsweise durch die elastischen Verbindungen 408 elastisch an der Packung 402 angebracht und elektrisch durch die elektrischen Verbindungen 410 mit dem Gehäuse verbunden. Die Masse 404 hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Masse 404 weist vorzugsweise alle aktiven Bereiche auf.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Masse 404 ein erstes Element 440, ein zweites Element 442 und ein drittes Element 444 auf. Das erste Element 440 befindet sich vorzugsweise auf dem zweiten Element 442, und das zweite Element 442 befindet sich vorzugsweise auf dem dritten Element 444. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind das erste Element 440, das zweite Element 442 und das dritte Element 444 ein mikrobearbeiteter Sensor, wie im Wesentlichen im anhängigen US-Patent US-A-6 871 544 offenbart ist. Das erste Element 440 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das erste Element 440 eine obere parallele ebene Fläche 446 auf. Das zweite Element 442 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das zweite Element 442 eine mittlere parallele ebene Fläche 448 auf. Das dritte Element 444 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das dritte Element 444 eine untere parallele ebene Fläche 450 auf. Die untere parallele ebene Fläche 450 der Masse 404 weist vorzugsweise eine erste Seite 452, eine zweite Seite 454, eine dritte Seite 456 und eine vierte Seite 458 auf. Die erste Seite 452 und die dritte Seite 456 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Seite 454 und die vierte Seite 458 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander und vorzugsweise nahezu senkrecht zur ersten Seite 452 und zur dritten Seite 456.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die untere parallele ebene Fläche 450 der Masse 404 die Verbindungsstellen 406 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 406 im Wesentlichen in der Mitte der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404. Die Verbindungsstellen 406 können sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Seite 452 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404 befinden und sich in einem senkrechten Abstand, beispielsweise von etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der zweiten Seite 454 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Verbindungsstellen 406 in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Seite 452 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und sie befinden sich in senkrechten Abständen von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der zweiten Seite 454 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Verbindungsstellen 406 können beispielsweise für ein Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 406 für das Lötmittelverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Gemäß einer be vorzugten Ausführungsform wird die Kontaktfläche der Verbindungsstellen 406 maximiert, um die Schocktoleranz der Masse 404 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Verbindungsstellen 406 minimale Diskontinuitäten auf, um die Verteilung thermischer Spannungen in der Masse 404 zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl von Verbindungsstellen 406, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 404 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige Verbindungsstelle 406a. Die Verbindungsstelle 406a weist vorzugsweise eine nahezu kreisförmige Querschnittsform auf. Der Durchmesser D406a kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Durchmesser D406a der Verbindungsstelle 406a von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406a kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406a von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 408 befestigen die Verbindungsstellen 406 vorzugsweise elastisch an der Packung 402. Die elastischen Verbindungen 408 sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 426 des Hohlraums 416 verbunden. Die elastischen Verbindungen 408 sind Lötvorformen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 408 eine in etwa kreisförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 408 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl elastischer Verbindungen 408, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 404 zu optimieren. Die elastischen Verbindungen 408 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 408 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die elastischen Verbindungen 408 können sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 80 bis 100 Millizoll von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die elastischen Verbindungen 408 in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elastische Verbindung 408. Der Durchmesser D408 der elastischen Verbindung 408 kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Durchmesser D408 der elastischen Verbindung 408 von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H408 der elastischen Verbindung 408 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H408 der elastischen Verbindung 408 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die elastische Verbindung 408 weiter einen oder mehrere Puffer 460 zum gleitenden Lagern der Masse 404 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen Puffer 460. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat der Puffer 460 eine nahezu ringförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform umgibt der Puffer 460 die Verbindungsstellen 406. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Puffer 460 in der Nähe der Verbindungsstellen 406. Die Breite W460 des Puffers 460 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W460 des Puffers 460 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 408 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der Verbindungsstelle 406 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 408 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 426 des Hohlraums 416 der Packung 402 verbunden.
  • Die elektrischen Verbindungen 410 verbinden die Masse 404 vorzugsweise elektrisch mit der Packung 402. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elektrischen Verbindungen 410 Drahtverbindungen. Die elektrischen Verbindungen 410 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Drahtverbindungen, beispielsweise vom Gold- oder Aluminium-Typ, sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die elektrischen Verbindungen 410 aus Gold, um eine optimale Kompatibilität mit der Packung und der Metallisierung der Masse 404 bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elektrische Verbindung 410a und eine zweite elektrische Verbindung 410b. Die erste elektrische Verbindung 410a verbindet die erste parallele ebene Fläche 412 der Packung 402 vorzugsweise elektrisch mit der oberen parallelen ebenen Fläche 446 der Masse 404. Die zweite elektrische Verbindung 410b verbindet die zweite parallele ebene Fläche 414 der Packung 402 vorzugsweise elektrisch mit der mittleren parallelen ebenen Fläche 448 der Masse 404. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elektrischen Verbindungen 410 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Packung 402 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elektrischen Verbindungen 410 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Masse 404 verbunden.
  • Mit Bezug auf 4F sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Bodenfläche 426 der Packung 402 weiter eine Vertiefung 428 aufweist. Die Vertiefung 428 kann kreisförmig oder rechteckig sein. Die Vertiefung 428 weist vorzugsweise eine erste Wand 430, eine zweite Wand 432, eine dritte Wand 434 und eine vierte Wand 436 auf. Die erste Wand 430 und die dritte Wand 434 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 432 und die vierte Wand 436 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 432 und die vierte Wand 436 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 430 und zur dritten Wand 434. Die Vertiefung 428 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 438 auf. Die Länge L428 der Vertiefung 428 kann beispielsweise von etwa 2,794 bis 3,302 mm (110 bis 130 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L428 der Vertiefung 428 von etwa 2,921 bis 3,175 mm (115 bis 125 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W428 der Vertiefung 428 kann beispielsweise von etwa 2,794 bis 3,302 mm (110 bis 130 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W428 der Vertiefung 428 von etwa 2,921 bis 3,175 mm (115 bis 125 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H428 der Vertiefung 428 kann beispielsweise von etwa 0,0254 bis 0,0508 mm (1 bis 2 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H428 der Vertiefung 428 von etwa 0,03175 bis 0,04445 mm (1,25 bis 1,75 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die Vertiefung 428 im Wesentlichen in der Mitte der Bodenfläche 426 der Packung 402. Die erste Wand 430 der Vertiefung 428 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Wand 430 der Vertiefung 428 in einem senk rechten Abstand von 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die zweite Wand 432 der Vertiefung 428 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise 80 bis 100 Millizoll von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Wand 432 der Vertiefung 428 in einem senkrechten Abstand von 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die elastische Verbindung 408 in der Vertiefung 428. Die elastische Verbindung 408 kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,0508 bis 0,1778 mm (2 bis 7 Millizoll) von der ersten Wand 430 der Vertiefung 428 des Hohlraums 416 der Packung 402 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2 bis 7 Millizoll von der zweiten Wand 432 der Vertiefung 428 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die elastische Verbindung 408 in einem senkrechten Abstand von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll) von der ersten Wand 430 der Vertiefung 428 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll) von der zweiten Wand 432 der Vertiefung 428 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elastische Verbindung 408 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der Bodenfläche 438 der Vertiefung 428 verbunden.
  • Mit Bezug auf 4G sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste Verbindungsstelle 468a und eine zweite Verbindungsstelle 468b vorliegen, die im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen und vertikal nahe beieinander liegen. Die Verbindungsstellen 468a und 468b können beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 468 zum Lötverbinden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die Verbindungsstellen 468 haben vorzugsweise eine nahezu kreisförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D468 der Verbindungsstellen 468a und 468b kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D468 der Verbindungsstellen 468a und 468b von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H468 der Verbindungsstellen 468a und 468b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H468 der Verbindungsstellen 468a und 468b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 468a befindet sich vorzugsweise im Wesentlichen in der Mitte der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404. Die erste Verbindungs stelle 468a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Seite 452 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,016 bis 1,27 mm (40 bis 50 Millizoll) von der zweiten Seite 454 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404 befinden. Die erste Verbindungsstelle 468a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Seite 452 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 43 bis 47 Millizoll von der zweiten Seite 454 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 468b befindet sich vorzugsweise im Wesentlichen in der Mitte der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404. Die zweite Verbindungsstelle 468b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Seite 452 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 3,429 bis 4,191 mm (135 bis 165 Millizoll) von der zweiten Seite 454 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404 befinden. Die zweite Verbindungsstelle 468b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Seite 452 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404, um thermische Spannungen optimal zu minimie ren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 3,7338 bis 3,9878 mm (147 bis 157 Millizoll) von der zweiten Seite 454 der unteren parallelen ebenen Fläche 450 der Masse 404, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 4H sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 406b vorliegt. Die Verbindungsstelle 406b kann eine nahezu oct-kuchenkeilförmige Querschnittsform aufweisen. Der Durchmesser D406b der Verbindungsstelle 406b kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Durchmesser D406b der Verbindungsstelle 406b von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 4J sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 406c vorliegt. Die Verbindungsstelle 406c kann eine nahezu hohle oct-kuchenkeilförmige Querschnittsform aufweisen. Der Durchmesser D406c der Verbindungsstelle 406c kann beispielsweise von etwa 50 bis 100 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Durchmesser D406c der Verbindungsstelle 406c von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H406 der Verbindungsstel le 406c kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406c von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 4K sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 406d vorliegt. Die Verbindungsstelle 406d hat eine nahezu neun-kreisförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D406d der Verbindungsstelle 406d kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D406d der Verbindungsstelle 406d von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406d kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406d von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 4L sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 406e vorliegt. Die Verbindungsstelle 406e hat eine nahezu sternstrahlförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D406e der Verbindungsstelle 406e kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D406e der Verbindungsstelle 406e von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406e kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406e von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 4M sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine einzige Verbindungsstelle 406f vorliegt. Die Verbindungsstelle 406f hat eine nahezu sonnenstrahlförmige Querschnittsform. Der Gesamtdurchmesser D406f der Verbindungsstelle 406f kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D406f der Verbindungsstelle 406f von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406f kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H406 der Verbindungsstelle 406f von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 4R und 4S sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine erste elastische Verbindung 470a und eine zweite elastische Verbindung 470b vorliegen. Die elastischen Verbindungen 470a und 470b sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 470a und 470b können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 470a und 470b ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Der Gesamtdurchmesser D470 der elastischen Verbindungen 470a und 470b kann beispielsweise von etwa 1,27 bis 2,54 mm (50 bis 100 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht der Gesamtdurchmesser D470 der elastischen Verbindungen 470a und 470b von etwa 1,778 bis 2,032 mm (70 bis 80 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H470 der elastischen Verbindungen 470a und 470b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H470 der elastischen Verbindungen 470a und 470b von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 470a und 470b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 426 des Hohlraums 416 der Packung 402 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 470a und 470b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der Verbindungsstelle 406 verbunden.
  • Die erste elastische Verbindung 470a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,016 bis 1,27 mm (40 bis 50 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 470a in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 1,0922 bis 1,1938 mm (43 bis 47 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste elastische Verbindung 470a weist weiter einen oder mehrere Puffer 472 zum gleitenden Lagern der Masse 404 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen Puffer 472. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat der Puffer 472 eine nahezu ringförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Puffer 472 in der Nähe der Verbindungsstellen 406. Die Breite W472 des Puffers 472 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W472 des Puffers 472 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 470b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,032 bis 2,54 mm (80 bis 100 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 3,429 bis 4,191 mm (135 bis 165 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer be vorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 470b in einem senkrechten Abstand von etwa 2,159 bis 2,413 mm (85 bis 95 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 147 bis 157 Millizoll von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 470b weist weiter einen oder mehrere Puffer 474 zum gleitenden Lagern der Masse 404 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es einen einzigen Puffer 474. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat der Puffer 474 eine nahezu ringförmige Querschnittsform. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Puffer 474 in der Nähe der Verbindungsstellen 406. Die Breite W474 des Puffers 474 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W474 des Puffers 474 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 4T bis 4X sei bemerkt, dass das System 400 weiter ein oder mehrere Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d aufweist. Die Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d lagern die Masse 404 gleitend. Die Anzahl der Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d hängt vorzugsweise davon ab, ob eine ausreichende Anzahl der Gleitlager, um die Masse 404 optimal gleitend zu lagern, vorhanden ist. Die Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d sind vorzugs weise mit der unteren Fläche 426 des Hohlraums 416 der Packung 402 verbunden. Die Gleitlager 462a können eine nahezu quadratische Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 462 können eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 462c können eine nahezu dreieckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 462d können eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d aus Wolfram, um einen Standardverpackungsprozess optimal bereitzustellen. Die Gesamtquerschnittsfläche der Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d kann beispielsweise individuell von etwa 10,16 bis 40,64 mm2 (400 bis 1600 Quadratmillizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Gesamtquerschnittsfläche der Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d individuell von etwa 15,875 bis 31,115 mm2 (625 bis 1225 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H462 der Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d kann beispielsweise von etwa 0,5 bis 3 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H462 der Gleitlager 462a, 462b, 462c oder 462d von etwa 1 bis 1,5 Millizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es ein erstes Gleitlager 462aa, ein zweites Gleitlager 462ab, ein drittes Gleitlager 462ac und ein viertes Gleitlager 462ad. Das erste Gleitlager 462aa kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das erste Gleitlager 462aa in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das zweite Gleitlager 462ab kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das zweite Gleitlager 462ab in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das dritte Gleitlager 462ac kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das dritte Gleitlager 462ac in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das vierte Gleitlager 462ad kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das vierte Gleitlager 462ad in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 418 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 420 des Hohlraums 416 der Packung 402, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 408 auch die Masse 404 elektrisch mit der Packung 402 verbinden.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 470a und 470b auch die Masse 404 elektrisch mit der Packung 402 verbinden.
  • Mit Bezug auf die 5A bis 5G sei bemerkt, dass eine alternative Ausführungsform eines Systems 500 zum elastischen Verbinden einer Masse mit einer Packung vorzugsweise eine Packung 502, eine Masse 504, eine oder mehrere Verbindungsstellen 506, eine oder mehrere elastische Verbindungen 508 und eine oder mehrere elektrische Verbindungen 510 aufweist.
  • Die Packung 502 ist mit den elastischen Verbindungen 508 und den elektrischen Verbindungen 510 verbunden. Die Packung 502 kann beispielsweise ein Gehäuse oder ein Substrat sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Packung 502 ein Gehäuse, um eine oberflächenmontierte Komponente optimal bereitzustellen. Die Packung 502 weist vorzugsweise eine obere parallele ebene Fläche 512 und einen Hohlraum 514 auf. Der Hohlraum 514 weist vorzugsweise eine erste Wand 516, eine zweite Wand 518, eine dritte Wand 520 und eine vierte Wand 522 auf. Die erste Wand 516 und die dritte Wand 520 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 518 und die vierte Wand 522 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 518 und die vierte Wand 522 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 516 und zur dritten Wand 520. Der Hohlraum 514 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 524 auf. Die Packung 502 kann aus einer beliebigen Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Gehäuse beispielsweise aus Metall, Kunststoff oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Packung 502 aus Keramik, um optimal eine Vakuumdichtung der Masse 504 in der Packung 502 bereitzustellen.
  • Die Masse 504 wird vorzugsweise durch die elastischen Verbindungen 508 elastisch an der Packung 502 angebracht und elektrisch durch die elektrischen Verbindungen 510 mit der Packung 502 verbunden. Die Masse 504 hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Masse 504 hat vorzugsweise einen passiven Bereich 538 an einem Ende und einen aktiven Bereich 540 am entgegengesetzten Ende. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Masse 504 ein mikrobearbeiteter Sensor, der im Wesentlichen jenem entspricht, der im anhängigen US-Patent US-A-6 871 544 offenbart ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Masse 504 eine obere parallele ebene Fläche 526 und eine untere parallele ebene Fläche 528 auf. Die untere parallele ebene Fläche 528 der Masse 504 weist vorzugsweise eine erste Seite 530, eine zweite Seite 532, eine dritte Seite 534 und eine vierte Seite 536 auf. Die erste Seite 530 und die dritte Seite 534 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Seite 532 und die vierte Seite 536 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander und vor zugsweise nahezu senkrecht zur ersten Seite 530 und zur dritten Seite 534.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die untere parallele ebene Fläche 528 der Masse 504 die Verbindungsstellen 506 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Kontaktfläche der Verbindungsstellen 506 maximiert, um die Schocktoleranz der Masse 504 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 506 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen in der Masse 504 zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl von Verbindungsstellen 506, um die Verringerung der thermischen Spannungen in der Masse 504 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste Verbindungsstelle 506a und eine zweite Verbindungsstelle 506b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Verbindungsstelle 506a in dem passiven Bereich 538 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504. Die erste Verbindungsstelle 506a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 530 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 und einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Verbindungsstelle 506a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 530 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimie ren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 506b in dem aktiven Bereich 540 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504. Die zweite Verbindungsstelle 506b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Seite 534 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 und einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 506b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Seite 534 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 506a kann beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die erste Verbindungsstelle 506a zum Lötbonden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die erste Verbindungsstelle 506a hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L506a der ersten Verbindungsstelle 506a kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L506a der ersten Verbindungsstelle 506a von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W506a der ersten Verbindungsstelle 506a kann beispielsweise von etwa 0,381 bis 0,635 mm (15 bis 25 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W506a der ersten Verbindungsstelle 506a von etwa 0,4572 bis 0,5588 mm (18 bis 22 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506a der ersten Verbindungsstelle 506a kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506a der ersten Verbindungsstelle 506a von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 506b kann beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die zweite Verbindungsstelle 506b zum Lötbonden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die zweite Verbindungsstelle 506b hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L506b der zweiten Verbindungsstelle 506b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L506b der zwei ten Verbindungsstelle 506b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W506b der zweiten Verbindungsstelle 506b kann beispielsweise von etwa 0,381 bis 0,635 mm (15 bis 25 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W506b der zweiten Verbindungsstelle 506b von etwa 0,4572 bis 0,5588 mm (18 bis 22 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506b der zweiten Verbindungsstelle 506b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506b der zweiten Verbindungsstelle 506b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 508 befestigen die Verbindungsstellen 506 vorzugsweise elastisch an der Packung 502. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 508 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl elastischer Verbindungen 508, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 504 zu optimieren. Die elastischen Verbindungen 508 sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine in etwa rechteckige Querschnittsform haben. Die elastischen Verbindungen 508 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 508 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen.
  • Die elastischen Verbindungen 508 sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 524 des Hohlraums 514 verbunden.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elastische Verbindung 508a und eine zweite elastische Verbindung 508b. Die Länge L508a der ersten elastischen Verbindung 508a kann beispielsweise von etwa 5,08 bis 6,35 mm (200 bis 250 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L508a der ersten elastischen Verbindung 508a von etwa 5,715 bis 5,969 mm (225 bis 235 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W508a der ersten elastischen Verbindung 508a kann beispielsweise von etwa 20 bis 35 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W508a der ersten elastischen Verbindung 508a von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H508a der ersten elastischen Verbindung 508a kann beispielsweise von etwa 2 bis 4 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H508a der ersten elastischen Verbindung 508a von etwa 2,5 bis 3 Millizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die Länge L508b der zweiten elastischen Verbindung 508b kann beispielsweise von etwa 200 bis 250 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L508b der zweiten elastischen Verbindung 508b von etwa 5,715 bis 5,969 mm (225 bis 235 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W508b der zweiten elastischen Verbindung 508b kann beispiels weise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W508b der zweiten elastischen Verbindung 508b von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H508b der zweiten elastischen Verbindung 508b kann beispielsweise von etwa 2 bis 4 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H508b der zweiten elastischen Verbindung 508b von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste elastische Verbindung 508a kann sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 508a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 508b kann sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Wand 520 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 508b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Wand 520 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die erste elastische Verbindung 508a weiter einen ersten Puffer 542 und einen zweiten Puffer 544 zum gleitenden Lagern der Masse 504 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 542 der ersten elastischen Verbindung 508a auf einer Seite der ersten Verbindungsstelle 506a und der zweite Puffer 544 der ersten elastischen Verbindung 508a auf einer anderen Seite der ersten Verbindungsstelle 506a. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 542 der ersten elastischen Verbindung 508a und der zweite Puffer 544 der ersten elastischen Verbindung 508a in der Nähe der ersten Verbindungsstelle 506a. Die Breite W542 des ersten Puffers 542 der ersten elastischen Verbindung 508a kann beispielsweise von etwa 2 bis 6 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W542 des ersten Puffers 542 der ersten elastischen Verbindung 508a von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W544 des zweiten Puffers 544 der ersten elastischen Verbindung 508a kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W544 des zweiten Puffers 544 der ersten elastischen Verbindung 508a von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die zweite elastische Verbindung 508b weiter einen ersten Puffer 546 und einen zweiten Puffer 548 zum gleitenden Lagern der Masse 504 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 546 der zweiten elastischen Verbindung 508b auf einer Seite der zweiten Verbindungsstelle 506b und der zweite Puffer 548 der zweiten elastischen Verbindung 508b auf einer anderen Seite der zweiten Verbindungsstelle 506b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 546 der zweiten elastischen Verbindung 508b und der zweite Puffer 548 der zweiten elastischen Verbindung 508b in der Nähe der zweiten Verbindungsstelle 506b. Die Breite W546 des ersten Puffers 546 der zweiten elastischen Verbindung 508b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W546 des ersten Puffers 546 der zweiten elastischen Verbindung 508b von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W548 des zweiten Puffers 548 der zweiten elastischen Verbindung 508b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungs form reicht die Breite W548 des zweiten Puffers 548 der zweiten elastischen Verbindung 508b von etwa 3 bis 5 Millizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 508a und 508b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 506 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 508a und 508b unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 524 des Hohlraums 514 der Packung 502 verbunden.
  • Die elektrischen Verbindungen 510 verbinden die Masse 504 vorzugsweise elektrisch mit der Packung 502. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine einzige elektrische Verbindung 510. Die elektrische Verbindung 510 verbindet die obere parallele ebene Fläche 512 der Packung 502 vorzugsweise elektrisch mit der oberen parallelen ebenen Fläche 526 der Masse 504. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die elektrische Verbindung 512 eine Drahtverbindung. Die elektrische Verbindung 512 kann eine beliebige einer Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Drahtverbindungen, beispielsweise vom Gold- oder Aluminium-Typ, sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die elektrische Verbindung 512 aus Gold, um eine optimale Kompatibilität mit der Packung 502 und der Metallisierung der Masse 504 bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elektrische Verbindung 512 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Packung 502 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die elektrische Verbindung 512 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Masse 504 verbunden.
  • Mit Bezug auf 5H sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Masse 504 weiter einen zweiten passiven Bereich 552 an dem vom passiven Bereich 538 aus betrachtet entgegengesetzten Ende der unteren parallelen ebenen Fläche der Masse 504 aufweist. Der aktive Bereich 540 befindet sich vorzugsweise zwischen dem passiven Bereich 538 und dem zweiten passiven Bereich 552. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 506b in dem zweiten passiven Bereich 552.
  • Mit Bezug auf 5J sei bemerkt, dass es gemäß einer alternativen Ausführungsform eine oder mehrere Verbindungsstellen 562 und eine oder mehrere Verbindungsstellen 564 gibt. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste Verbindungsstelle 562a und eine zweite Verbindungsstelle 562b. Die Verbindungsstellen 562a und 562b weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf und liegen vertikal horizontal nahe beieinander. Die Verbindungsstellen 562a und 562b können beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 562a und 562b zum Bereitstellen einer guten Herstellbarkeit für das Lötverbinden verwendet. Die Verbindungsstellen 562a und 562b weisen vorzugsweise einen nahezu rechteckigen Querschnitt auf. Die Länge L562 der Verbindungsstellen 562a und 562b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L562 der Verbindungsstellen 562a und 562b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W562 der Verbindungsstellen 562a und 562b kann beispielsweise von etwa 0,254 bis 0,508 mm (10 bis 20 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W562 der Verbindungsstellen 562a und 562b von etwa 0,3302 bis 0,4572 mm (13 bis 18 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H562 der Verbindungsstellen 562a und 562b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H562 der Verbindungsstellen 562a und 562b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Verbindungsstelle 562a vorzugsweise in dem passiven Bereich 538 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504. Die erste Verbindungsstelle 562a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 530 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 530 der Masse 504 befinden. Die erste Verbindungsstelle 562a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 530 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen opti mal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 562b in dem passiven Bereich 538 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504. Die zweite Verbindungsstelle 562b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 1,143 mm (15 bis 45 Millizoll) von der ersten Seite 530 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 befinden. Die zweite Verbindungsstelle 562b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,762 mm (20 bis 30 Millizoll) von der ersten Seite 530 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine dritte Verbindungsstelle 564a und eine vierte Verbindungsstelle 564b. Die Verbindungsstellen 564a und 564b können zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwen det werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 564 zum Lötbonden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die Verbindungsstellen 564a und 564b haben vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L564 der Verbindungsstellen 564a und 564b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L564 der Verbindungsstellen 564a und 564b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W564 der Verbindungsstellen 564a und 564b kann beispielsweise von etwa 0,254 bis 0,508 mm (10 bis 20 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W564 der Verbindungsstellen 564a und 564b von etwa 0,3302 bis 0,4572 mm (13 bis 18 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H564 der Verbindungsstellen 564a und 564b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H564 der Verbindungsstellen 564a und 564b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die dritte Verbindungsstelle 564a in dem aktiven Bereich 540 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504. Die dritte Verbindungsstelle 564a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 1,143 mm (15 bis 45 Millizoll) von der dritten Seite 534 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 befinden. Die dritte Verbindungsstelle 564a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,762 mm (20 bis 30 Millizoll) von der dritten Seite 534 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die vierte Verbindungsstelle 564b befindet sich vorzugsweise im aktiven Bereich 540 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504. Die vierte Verbindungsstelle 564b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,835 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Seite 534 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504 befinden. Die vierte Verbindungsstelle 564b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Seite 534 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der zweiten Seite 532 der unteren parallelen ebenen Fläche 528 der Masse 504, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform befinden sich die dritte Verbindungsstelle 564a und die vierte Verbindungsstelle 564b in dem zweiten passiven Bereich 552 der Masse 504.
  • Mit Bezug auf die 5K bis 5S sei bemerkt, dass gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen eine Verbindungsstelle 506c, ein Paar von Verbindungsstellen 506d und 506e, eine Verbindungsstelle 506f, eine Verbindungsstelle 506g, ein Paar von Verbindungsstellen 506h und 506i, ein Trio von Verbindungsstellen 506j, 506k und 506l, eine Verbindungsstelle 506m und ein Paar von Verbindungsstellen 506n und 506o im Wesentlichen jede der vorstehend mit Bezug auf 5A beschriebenen Verbindungsstellen 506a und 506b ersetzen können.
  • Mit Bezug auf 5K sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 506c eine nahezu ovale Querschnittsform aufweisen kann. Die Verbindungsstelle 506c kann individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 506 eine genäherte Querschnittsfläche, die individuell von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll) reicht, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506c kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506c von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5L sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 506d und 506e im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen, vertikal nahe beieinander liegen und eine nahezu ovale Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstellen 506d und 506e können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 4000 bis 8750 Quadratmillizoll aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 506d und 506e eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506d und 506e kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506d und 506e von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5M sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 506f gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu tri-ovale Querschnittsform aufweist. Die Verbindungsstelle 506f kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 506f eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 222,25 mm2 (5625 bis 8750 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506f kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506f von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5N sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 506g gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu oct-ovale Querschnittsform aufweist. Die Verbindungsstelle 506g kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 506g eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506g kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506g von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5P sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 506h und 506i im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen, vertikal nahe beieinander liegen und eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstellen 506h und 506i können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 506h und 506i eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 222,25 mm2 (5625 bis 8750 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506h und 506i kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506h und 506i von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5Q sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 506j, 506k und 506l im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen, vertikal nahe beieinander liegen und eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstellen 506j, 506k und 506l können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 506j, 506k und 506l eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 222,25 mm2 (5625 bis 8750 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506j, 506k und 506l kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506j, 506k und 506l von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5R sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 506m gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu wellenseitig rechteckige Querschnittsform aufweisen kann. Die Verbindungsstelle 506m kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevor zugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 506m eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506m kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstelle 506m von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 5S sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 506n und 506o horizontal dicht beieinander liegen und eine nahezu rechteckige Querschnittsform haben. Die Verbindungsstelle 506n ist etwas kleiner als die Verbindungsstelle 506o. Die Verbindungsstellen 506n und 506o können eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 506n und 506o eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506n und 506o kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H506 der Verbindungsstellen 506n und 506o von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 5T bis 5W sei bemerkt, dass es gemäß einer alternativen Ausführungsform eine oder mehre re elastische Verbindungen 566 und eine oder mehrere elastische Verbindungen 568 gibt. Die elastischen Verbindungen 566 sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 566 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 566 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die Länge L566 der elastischen Verbindungen 566 kann beispielsweise von etwa 2,286 bis 3,048 mm (90 bis 120 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L566 der elastischen Verbindungen 566 von etwa 2,5654 bis 2,8448 mm (101 bis 112 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W566 der elastischen Verbindungen 566 kann beispielsweise von etwa 20 bis 35 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W566 der elastischen Verbindungen 566 von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H566 der elastischen Verbindungen 566 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H566 der elastischen Verbindungen 566 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 566 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 524 des Hohlraums 514 der Packung 502 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausfüh rungsform sind die elastischen Verbindungen 566 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 506 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elastische Verbindung 566a und eine zweite elastische Verbindung 566b.
  • Die erste elastische Verbindung 566a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 566a in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste elastische Verbindung 566a weist weiter einen oder mehrere erste Puffer 554 zum gleitenden Lagern der Masse 504 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 554 auf beiden Seiten der ersten Verbindungsstelle 506a. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 554 in der Nähe der ersten Verbindungsstelle 506a. Die Breite W554 der ersten Puffer 554 kann beispielsweise von etwa 2 bis 6 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausfüh rungsform reicht die Breite W554 der ersten Puffer 554 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 566b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,667 bis 3,683 mm (105 bis 145 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 566b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 112 bis 127 Millizoll von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 566b weist weiter einen oder mehrere zweite Puffer 556 zum gleitenden Lagern der Masse 504 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 556 auf einer Seite der ersten Verbindungsstelle 506a. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 556 in der Nähe der ersten Verbindungsstelle 506a. Die Breite W556 der zweiten Puffer 556 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W556 der zweiten Puffer 556 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 568 sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 568 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 568 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die Länge L568 der elastischen Verbindungen 568 kann beispielsweise von etwa 2,286 bis 3,048 mm (90 bis 120 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L568 der elastischen Verbindungen 568 von etwa 2,5654 bis 2,8448 mm (101 bis 112 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W568 der elastischen Verbindungen 568 kann beispielsweise von etwa 20 bis 35 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W568 der elastischen Verbindungen 568 von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H568 der elastischen Verbindungen 568 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H568 der elastischen Verbindungen 568 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 568 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 524 des Hohlraums 514 der Packung 502 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 568 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 506 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine dritte elastische Verbindung 568a und eine vierte elastische Verbindung 568b.
  • Die dritte elastische Verbindung 568a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Wand 520 des Hohlraums 514 der Packung 502 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die dritte elastische Verbindung 568a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Wand 520 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die dritte elastische Verbindung 568a weist weiter einen oder mehrere dritte Puffer 558 zum gleitenden Lagern der Masse 504 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die dritten Puffer 558 auf beiden Seiten der zweiten Verbindungsstelle 506b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die dritten Puffer 558 in der Nähe der zweiten Verbindungsstelle 506b. Die Brei te W558 der dritten Puffer 558 kann beispielsweise von etwa 2 bis 6 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W558 der dritten Puffer 558 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die vierte elastische Verbindung 568b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Wand 520 des Hohlraums 514 der Packung 502 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,667 bis 3,683 mm (105 bis 145 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die vierte elastische Verbindung 568b in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Wand 520 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 2,8448 bis 3,2258 mm (112 bis 127 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die vierte elastische Verbindung 568b weist weiter einen oder mehrere vierte Puffer 560 zum gleitenden Lagern der Masse 504 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die vierten Puffer 560 auf beiden Seiten der zweiten Verbindungsstelle 506b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die vierten Puffer 560 in der Nähe der zweiten Verbindungsstelle 506b. Die Breite W560 der vierten Puffer 560 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W560 der vierten Puffer 560 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 5X bis 5BB sei bemerkt, dass das System 500 weiter ein oder mehrere Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d aufweist. Die Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d lagern die Masse 504 gleitend. Die Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 524 des Hohlraums 514 der Packung 502 verbunden. Die Anzahl der Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d hängt vorzugsweise davon ab, ob eine ausreichende Anzahl der Gleitlager, um die Masse 504 optimal gleitend zu lagern, vorhanden ist. Die Gleitlager 550a können eine nahezu quadratische Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 550b können eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 550c können eine nahezu dreieckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 550d können eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d aus Wolfram, um einen Standardverpackungsprozess optimal bereitzustellen. Die Querschnittsfläche der Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d kann beispielsweise individuell von etwa 10,16 bis 40,64 mm2 (400 bis 1600 Quadratmillizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform kann die Querschnittsfläche der Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d beispielsweise individuell von etwa 15,875 bis 31,115 mm2 (625 bis 1225 Quadratmillizoll) reichen, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H550 der Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d kann beispielsweise von etwa 0,0127 bis 0,0762 mm (0,5 bis 3 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H550 der Gleitlager 550a, 550b, 550c oder 550d von etwa 0,0254 bis 0,0381 mm (1 bis 1,5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es ein erstes Gleitlager 550aa, ein zweites Gleitlager 550ab, ein drittes Gleitlager 550ac und ein viertes Gleitlager 550ad. Das erste Gleitlager 550aa kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das erste Gleitlager 550aa in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das zweite Gleitlager 550ab kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das zweite Gleitlager 550ab in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das dritte Gleitlager 550ac kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das dritte Gleitlager 550ac in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das vierte Gleitlager 550ad kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das vierte Gleitlager 550ad in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 516 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 518 des Hohlraums 514 der Packung 502, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 508 auch die Masse 504 elektrisch mit der Packung 502 verbinden.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 566 und 568 auch die Masse 504 elektrisch mit der Packung 502 verbinden.
  • Mit Bezug auf die 6A bis 6G sei bemerkt, dass eine alternative Ausführungsform eines Systems 600 zum elastischen Verbinden einer Masse mit einer Packung vorzugsweise eine Packung 602, eine Masse 604, eine oder mehrere Verbindungsstellen 606, eine oder mehrere elastische Ver bindungen 608 und eine oder mehrere elektrische Verbindungen 610 aufweist.
  • Die Packung 602 vorzugsweise ist mit den elastischen Verbindungen 608 und den elektrischen Verbindungen 610 verbunden. Die Packung 602 kann beispielsweise ein Gehäuse oder ein Substrat sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Packung 602 ein Gehäuse, um eine oberflächenmontierte Komponente optimal bereitzustellen. Die Packung 602 weist vorzugsweise eine erste parallele ebene Fläche 612, eine zweite parallele ebene Fläche 614 und einen Hohlraum 616 auf. Der Hohlraum 616 weist vorzugsweise eine erste Wand 618, eine zweite Wand 620, eine dritte Wand 622 und eine vierte Wand 624 auf. Die erste Wand 618 und die dritte Wand 622 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Wand 620 und die vierte Wand 624 verlaufen vorzugsweise nahezu parallel zueinander. Die zweite Wand 620 und die vierte Wand 624 verlaufen vorzugsweise auch senkrecht zur ersten Wand 618 und zur dritten Wand 622. Der Hohlraum 616 weist vorzugsweise eine Bodenfläche 626 auf. Die Packung 602 kann aus einer beliebigen Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Gehäuse beispielsweise aus Metall, Keramik oder Kunststoff bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Packung 602 aus Keramik, um optimal eine Vakuumdichtung der Masse 604 in der Packung 602 bereitzustellen.
  • Die Masse 604 ist vorzugsweise durch die elastischen Verbindungen 608 elastisch an der Packung 602 angebracht und durch die elektrischen Verbindungen 610 elektrisch mit der Packung 602 verbunden. Die Masse 604 hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Masse 604 weist bevorzugt einen passiven Bereich 648 an einem Ende und einen aktiven Bereich 650 am entgegengesetzten Ende auf.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Masse 604 ein erstes Element 628, ein zweites Element 630 und ein drittes Element 632 auf. Das erste Element 628 befindet sich vorzugsweise auf dem zweiten Element 630, und das zweite Element 630 befindet sich vorzugsweise auf dem dritten Element 632. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind das erste Element 628, das zweite Element 630 und das dritte Element 632 ein mikrobearbeiteter Sensor, wie im Wesentlichen im anhängigen US-Patent US-A-6 871 544 offenbart ist.
  • Das erste Element 628 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das erste Element 628 eine obere parallele ebene Fläche 634 auf. Das zweite Element 630 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das zweite Element 630 eine mittlere parallele ebene Fläche 636 auf. Das dritte Element 632 weist vorzugsweise eine oder mehrere parallele ebene Flächen auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das dritte Element 632 eine untere parallele ebene Fläche 638 auf. Die untere parallele ebene Fläche 638 der Masse 604 weist vorzugsweise eine erste Seite 640, eine zweite Seite 642, eine dritte Seite 644 und eine vierte Seite 646 auf. Die erste Seite 640 und die dritte Seite 644 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander, und die zweite Seite 642 und die vierte Seite 646 sind vorzugsweise nahezu parallel zueinander und vorzugsweise nahezu senkrecht zur ersten Seite 640 und zur dritten Seite 644.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die untere parallele ebene Fläche 638 der Masse 604 die Verbindungsstellen 606 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Kontaktfläche der Verbindungsstellen 606 maximiert, um die Schocktoleranz der Masse 604 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 606 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung thermischer Spannungen in der Masse 604 zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl von Verbindungsstellen 606, um die Verringerung thermischer Spannungen in der Masse 604 zu optimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste Verbindungsstelle 606a und eine zweite Verbindungsstelle 606b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Verbindungsstelle 606a in dem passiven Bereich 648 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604. Die erste Verbindungsstelle 606a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 640 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste Verbindungsstelle 606a in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der ersten Seite 640 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 606b in dem aktiven Bereich 650 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604. Die zweite Verbindungsstelle 606b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der dritten Seite 644 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 606b in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der dritten Seite 644 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 606a kann beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die erste Verbindungsstelle 606a zum Lötbonden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die erste Verbindungsstelle 606a hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L606a der ersten Verbindungsstelle 606a kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L606a der ersten Verbindungsstelle 606a von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W606a der ersten Verbindungsstelle 606a kann beispielsweise von etwa 0,381 bis 0,635 mm (15 bis 25 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W606a der ersten Verbindungsstelle 606a von etwa 18 bis 22 Millizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606a der ersten Verbindungsstelle 606a kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606a der ersten Verbindungsstelle 606a von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 606b kann beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die zweite Verbindungsstelle 606b zum Lötbonden verwendet, um eine optimale Lötbarkeit bereitzustellen. Die zweite Verbindungsstelle 606b hat vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L606b der zweiten Verbindungsstelle 606b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer be vorzugten Ausführungsform reicht die Länge L606b der zweiten Verbindungsstelle 606 von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W606b der zweiten Verbindungsstelle 606 kann beispielsweise von etwa 0,381 bis 0,635 mm (15 bis 25 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W606b der zweiten Verbindungsstelle 606 von etwa 0,4572 bis 0,5588 mm (18 bis 22 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606b der zweiten Verbindungsstelle 606 kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606b der zweiten Verbindungsstelle 606 von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 608 befestigen die Verbindungsstellen 606 vorzugsweise elastisch an der Packung 602. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die elastischen Verbindungen 608 minimale Diskontinuitäten, um die Verteilung der thermischen Spannungen zu optimieren. Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen gibt es eine Mehrzahl elastischer Verbindungen 608, um die Verminderung thermischer Spannungen in der Masse 604 zu optimieren. Die elastischen Verbindungen 608 sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine in etwa rechteckige Querschnittsform haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 608 mit der Bodenfläche 626 des Hohlraums 616 verbunden. Die elastischen Verbindungen 608 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 608 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elastische Verbindung 608a und eine zweite elastische Verbindung 608b. Die Länge L608a der ersten elastischen Verbindung 608a kann beispielsweise von etwa 5,08 bis 6,35 mm (200 bis 250 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L608a der ersten elastischen Verbindung 608a von etwa 5,715 bis 5,969 mm (225 bis 235 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W608a der ersten elastischen Verbindung 608a kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W608a der ersten elastischen Verbindung 608a von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H608a der ersten elastischen Verbindung 608a kann beispielsweise von etwa 2 bis 4 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H608a der ersten elastischen Verbindung 608a von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die Länge L608b der zweiten elastischen Verbindung 608b kann beispielsweise von etwa 5,08 bis 6,35 mm (200 bis 250 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L608b der zweiten elastischen Verbindung 608b von etwa 5,715 bis 5,969 mm (225 bis 235 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W608b der zweiten elastischen Verbindung 608 kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W608b der zweiten elastischen Verbindung 608 von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H608b der zweiten elastischen Verbindung 608 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H608b der zweiten elastischen Verbindung 608 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste elastische Verbindung 608a kann sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 608a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 608b kann sich in einem senkrechten Abstand beispielsweise von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Wand 622 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 608b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Wand 622 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die erste elastische Verbindung 608a weiter einen ersten Puffer 652 und einen zweiten Puffer 654 zum gleitenden Lagern der Masse 604 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 652 der ersten elastischen Verbindung 608a auf einer Seite der ersten Verbindungsstelle 606a und der zweite Puffer 654 der ersten elastischen Verbindung 608a auf einer anderen Seite der ersten Verbindungsstelle 606a. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 652 der ersten elastischen Verbindung 608a und der zweite Puffer 654 der ersten elastischen Verbindung 608a in der Nähe der ersten Verbindungsstelle 606a. Die Breite W652 des ersten Puffers 652 der ersten elastischen Verbindung 608a kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Milli zoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W652 des ersten Puffers 652 der ersten elastischen Verbindung 608a von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W654 des zweiten Puffers 654 der ersten elastischen Verbindung 608a kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W654 des zweiten Puffers 654 der ersten elastischen Verbindung 608a von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die zweite elastische Verbindung 608b weiter einen ersten Puffer 656 und einen zweiten Puffer 658 zum gleitenden Lagern der Masse 604 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 656 der zweiten elastischen Verbindung 608b auf einer Seite der zweiten Verbindungsstelle 606b und der zweite Puffer 658 der zweiten elastischen Verbindung 608b auf einer anderen Seite der zweiten Verbindungsstelle 606b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich der erste Puffer 656 der zweiten elastischen Verbindung 608b und der zweite Puffer 658 der zweiten elastischen Verbindung 608b in der Nähe der zweiten Verbindungsstelle 606b. Die Breite W656 des ersten Puffers 656 der zweiten elastischen Verbindung 608b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W656 des ersten Puffers 656 der zweiten elastischen Verbindung 608b von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannun gen optimal zu minimieren. Die Breite W658 des zweiten Puffers 658 der zweiten elastischen Verbindung 608b kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W658 des zweiten Puffers 658 der zweiten elastischen Verbindung 608b von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 608 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 606 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 608 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 626 des Hohlraums 616 der Packung 602 verbunden.
  • Die elektrischen Verbindungen 610 verbinden die Masse 604 vorzugsweise elektrisch mit der Packung 602. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elektrischen Verbindungen 610 Drahtverbindungen. Die elektrischen Verbindungen 610 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel erhältlicher Drahtverbindungen, beispielsweise vom Gold- oder Aluminium-Typ, sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die elektrischen Verbindungen 610 aus Gold, um eine optimale Kompatibilität mit der Packung 602 und der Metallisierung der Masse 604 bereitzustellen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elektrische Verbindung 610a und eine zweite elektrische Verbindung 610b. Die erste elektrische Verbindung 610a verbindet vorzugsweise die erste parallele ebene Fläche 612 der Packung 602 elektrisch mit der obe ren parallelen ebenen Fläche 634 der Masse 404. Die zweite elektrische Verbindung 610b verbindet vorzugsweise die zweite parallele ebene Fläche 614 der Packung 602 elektrisch mit der mittleren parallelen ebenen Fläche 636 der Masse 604. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elektrischen Verbindungen 610 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Packung 602 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die elektrischen Verbindungen 610 unter Verwendung herkömmlicher Drahtverbindungsgeräte und -prozesse mit der Masse 604 verbunden.
  • Mit Bezug auf 6H sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Masse 604 weiter einen zweiten passiven Bereich 662 an dem vom passiven Bereich 648 aus betrachtet entgegengesetzten Ende der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 aufweist. Der aktive Bereich 650 befindet sich vorzugsweise zwischen dem passiven Bereich 648 und dem zweiten passiven Bereich 662. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite Verbindungsstelle 606b in dem zweiten passiven Bereich 662.
  • Mit Bezug auf 6J sei bemerkt, dass es gemäß einer alternativen Ausführungsform eine oder mehrere Verbindungsstellen 672 und eine oder mehrere Verbindungsstellen 674 gibt. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste Verbindungsstelle 672a und eine zweite Verbindungsstelle 672b. Die Verbindungsstellen 672a und 672b weisen im Wesentlichen die gleiche Größe auf und liegen horizontal nahe beieinander. Die Verbindungsstellen 672a und 672b können beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, nicht leitfähigem Epoxidharz oder leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 672 zum Bereitstellen einer guten Herstellbarkeit für das Lötverbinden verwendet. Die Verbindungsstellen 672a und 672b weisen vorzugsweise einen nahezu rechteckigen Querschnitt auf. Die Länge L672 der Verbindungsstellen 672a und 672b kann beispielsweise von etwa 4,572 bis 6,096 mm (180 bis 240 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L672 der Verbindungsstellen 672a und 672b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W672 der Verbindungsstellen 672a und 672b kann beispielsweise von etwa 0,254 bis 0,508 mm (10 bis 20 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W672 der Verbindungsstellen 672a und 672b von etwa 0,3302 bis 0,4572 mm (13 bis 18 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H672 der Verbindungsstellen 672a und 672b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H672 der Verbindungsstellen 672a und 672b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste Verbindungsstelle 672a befindet sich vorzugsweise im passiven Bereich 648 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604. Die erste Verbindungsstelle 672a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Seite 640 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 befinden. Die erste Verbindungsstelle 672a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Seite 640 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite Verbindungsstelle 672b befindet sich vorzugsweise in dem passiven Bereich 648 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604. Die zweite Verbindungsstelle 672b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 15 bis 45 Millizoll von der ersten Seite 640 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 befinden. Die zweite Verbindungsstelle 672b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,762 mm (20 bis 30 Millizoll) von der ersten Seite 640 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine dritte Verbindungsstelle 674a und eine vierte Verbindungsstelle 674b. Die Verbindungsstellen 674a und 674b weisen vorzugsweise im Wesentlichen die gleiche Größe auf und liegen horizontal nahe beieinander. Die Verbindungsstellen 674a und 674b können beispielsweise zum Verbinden mit Lötmittel, Glasfritte, leitfähigem Epoxidharz oder nicht leitfähigem Epoxidharz verwendet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Verbindungsstellen 674a und 674b zum Lötbonden verwendet, um eine optimale Herstellbarkeit bereitzustellen. Die Verbindungsstellen 674a und 674b haben vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform. Die Länge L674 der Verbindungsstellen 674a und 674b kann beispielsweise von etwa 180 bis 240 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L674 der Verbindungsstellen 674a und 674b von etwa 5,08 bis 5,588 mm (200 bis 220 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W674 der Verbindungsstellen 674a und 674b kann beispielsweise von etwa 0,254 bis 0,508 mm (10 bis 20 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W674 der Verbindungsstellen 674a und 674b von etwa 0,3302 bis 0,4572 mm (13 bis 18 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H674 der Verbindungsstellen 674a und 674b kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H674 der Verbindungsstellen 674a und 674b von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die dritte Verbindungsstelle 674a befindet sich vorzugsweise im aktiven Bereich 650 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604. Die dritte Verbindungsstelle 674a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 1,143 mm (15 bis 45 Millizoll) von der dritten Seite 644 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 befinden. Die dritte Verbindungsstelle 674a befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,762 mm (20 bis 30 Millizoll) von der dritten Seite 644 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die vierte Verbindungsstelle 674b befindet sich vorzugsweise im aktiven Bereich 650 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604. Die vierte Verbindungsstelle 674b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der dritten Seite 644 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 5 bis 25 Millizoll von der zweiten Seite 642 der un teren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604 befinden. Die vierte Verbindungsstelle 674b befindet sich vorzugsweise in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der dritten Seite 644 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 7 bis 12 Millizoll von der zweiten Seite 642 der unteren parallelen ebenen Fläche 638 der Masse 604, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform befinden sich die dritte Verbindungsstelle 674a und die vierte Verbindungsstelle 674b in dem zweiten passiven Bereich 662.
  • Mit Bezug auf die 6K bis 6S sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform eine Verbindungsstelle 606c, ein Paar von Verbindungsstellen 606d und 606e, eine Verbindungsstelle 606f, eine Verbindungsstelle 606g, ein Paar von Verbindungsstellen 606h und 606i, ein Trio von Verbindungsstellen 606j, 606k und 606l, eine Verbindungsstelle 606m und ein Paar von Verbindungsstellen 606n und 606o im Wesentlichen jede der vorstehend mit Bezug auf 6A beschriebenen Verbindungsstellen 606a und 606b ersetzen können.
  • Mit Bezug auf 6K sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 606c gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu ovale Querschnittsform aufweisen kann. Die Verbindungsstelle 606c kann individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 606c eine genäherte Querschnittsfläche, die individuell von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll) reicht, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606c kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606c von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6L sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 606e und 606d im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen, vertikal nahe beieinander liegen und eine nahezu ovale Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstellen 606e und 606d können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 606e und 606d eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606e und 606d kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606e und 606d von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6M sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 606f gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu tri-ovale Querschnittsform aufweist. Die Verbin dungsstelle 606f kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 606f individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606f kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606f von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6N sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 606g gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu oct-ovale Querschnittsform aufweist. Die Verbindungsstelle 606g kann eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 606g eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606g kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606g von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6P sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 606h und 606i im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen, vertikal nahe beieinander liegen und eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstellen 606h und 606i können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 4000 bis 8750 Quadratmillizoll aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 606h und 606i eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 5625 bis 7050 Quadratmillizoll, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606h und 606i kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606h und 606i von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6Q sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 606j, 606k und 606l im Wesentlichen die gleiche Größe aufweisen, vertikal nahe beieinander liegen und eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Verbindungsstellen 606j, 606k und 606l können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 606j, 606k und 606l eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606j, 606k und 606l kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606j, 606k und 606l von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6R sei bemerkt, dass die Verbindungsstelle 606m gemäß einer alternativen Ausführungsform eine nahezu wellenseitig rechteckige Querschnittsform aufweisen kann. Die Verbindungsstelle 606m kann individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) aufweisen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform hat die Verbindungsstelle 606m individuell eine genäherte Querschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606m kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstelle 606m von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf 6S sei bemerkt, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform die Verbindungsstellen 606n und 606o horizontal dicht beieinander liegen und eine nahezu rechteckige Querschnittsform haben. Die Verbindungsstelle 606n ist etwas kleiner als die Verbindungsstelle 606o. Die Verbindungsstellen 606n und 606o können eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 101,6 bis 222,25 mm2 (4000 bis 8750 Quadratmillizoll) haben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Verbindungsstellen 606n und 606o eine genäherte Gesamtquerschnittsfläche von etwa 142,875 bis 179,07 mm2 (5625 bis 7050 Quadratmillizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606n und 606o kann beispielsweise von etwa 0,1 bis 1 Mikrometer reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H606 der Verbindungsstellen 606n und 606o von etwa 0,24 bis 0,72 Mikrometer, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 6T bis 6W sei bemerkt, dass es gemäß einer alternativen Ausführungsform eine oder mehrere elastische Verbindungen 676 und eine oder mehrere elastische Verbindungen 678 gibt. Die elastischen Verbindungen 676 sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 676 haben vorzugsweise im Wesentlichen die gleiche Größe und liegen vertikal dicht beieinander. Die elastischen Verbindungen 676 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 676 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die Länge L676 der elastischen Verbindungen 676 kann beispielsweise von etwa 2,286 bis 3,048 mm (90 bis 120 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L676 der elastischen Verbindungen 676 von etwa 2,5654 bis 2,8448 mm (101 bis 112 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W676 der elastischen Verbindungen 676 kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W676 der elastischen Verbindungen 676 von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H676 der elastischen Verbindungen 676 kann beispielsweise von etwa 2 bis 4 Millizoll reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H676 der elastischen Verbindungen 676 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 676 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 626 des Hohlraums 616 der Packung 602 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 676 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 606 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine erste elastische Verbindung 676a und eine zweite elastische Verbindung 676b.
  • Die erste elastische Verbindung 676a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die erste elastische Verbindung 676a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die erste elastische Verbindung 676a weist weiter einen oder mehrere erste Puffer 664 zum gleitenden Lagern der Masse 604 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 664 auf beiden Seiten der ersten Verbindungsstelle 606a. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die ersten Puffer 664 in der Nähe der ersten Verbindungsstelle 606a. Die Breite W664 der ersten Puffer 664 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W664 der ersten Puffer 664 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 676b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,667 bis 3,683 mm (105 bis 145 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die zweite elastische Verbindung 676b in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 2,8448 bis 3,2258 mm (112 bis 127 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die zweite elastische Verbindung 676b weist weiter einen oder mehrere zweite Puffer 666 zum gleitenden Lagern der Masse 604 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 666 auf einer Seite der ersten Verbindungsstelle 606a. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die zweiten Puffer 666 in der Nähe der ersten Verbindungsstelle 606a. Die Breite W666 der zweiten Puffer 666 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W666 der zweiten Puffer 666 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die elastischen Verbindungen 678 sind Lötvorformen, die vorzugsweise eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die elastischen Verbindungen 678 können eine beliebige Anzahl herkömmlicher im Handel verfügbarer Lötmittelvorformen des beispielsweise eutektischen oder nicht eutektischen Typs sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 678 ein eutektischer Typ, um eine optimale Dehnungsfestigkeit bei einer vernünftigen Schmelztemperatur bereitzustellen. Die Länge L678 der elastischen Verbindungen 678 kann beispielsweise von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 120 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Länge L678 der elastischen Verbindungen 678 von etwa 2,5654 bis 2,8448 mm (101 bis 112 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Breite W678 der elastischen Verbindungen 678 kann beispielsweise von etwa 0,508 bis 0,889 mm (20 bis 35 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W678 der elastischen Verbindungen 678 von etwa 0,635 bis 0,762 mm (25 bis 30 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H678 der elastischen Verbindungen 678 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1016 mm (2 bis 4 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H678 der elastischen Verbindungen 678 von etwa 0,0635 bis 0,0762 mm (2,5 bis 3 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 678 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit der unteren Fläche 626 des Hohlraums 616 der Packung 602 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die elastischen Verbindungen 678 unter Verwendung herkömmlicher Lötgeräte und -prozesse mit den Verbindungsstellen 606 verbunden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es eine dritte elastische Verbindung 678a und eine zweite elastische Verbindung 678b.
  • Die dritte elastische Verbindung 678a kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Wand 622 des Hohlraums 616 der Packung 602 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die dritte elastische Verbindung 678a in einem senkrechten Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der dritten Wand 622 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die dritte elastische Verbindung 678a weist weiter einen oder mehrere dritte Puffer 668 zum gleitenden Lagern der Masse 604 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die dritten Puffer 668 auf beiden Seiten der zweiten Verbindungsstelle 606b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die dritten Puffer 668 in der Nähe der zweiten Verbindungsstelle 606b. Die Breite W668 der dritten Puffer 668 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W668 der dritten Puffer 668 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die vierte elastische Verbindung 678b kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,127 bis 0,635 mm (5 bis 25 Millizoll) von der dritten Wand 622 des Hohlraums 616 der Packung 602 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,667 bis 3,683 mm (105 bis 145 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich die vierte elastische Verbindung 678b in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,1778 bis 0,3048 mm (7 bis 12 Milli zoll) von der dritten Wand 622 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem Abstand von etwa 2,8448 bis 3,2258 mm (112 bis 127 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Die vierte elastische Verbindung 678b weist weiter einen oder mehrere vierte Puffer 670 zum gleitenden Lagern der Masse 604 auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die vierten Puffer 670 auf einer Seite der zweiten Verbindungsstelle 606b. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befinden sich die vierten Puffer 670 in der Nähe der zweiten Verbindungsstelle 606b. Die Breite W670 der vierten Puffer 670 kann beispielsweise von etwa 0,0508 bis 0,1524 mm (2 bis 6 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Breite W670 der vierten Puffer 670 von etwa 0,0762 bis 0,127 mm (3 bis 5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Mit Bezug auf die 6X bis 6BB sei bemerkt, dass das System 600 weiter ein oder mehrere Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d aufweist. Die Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d lagern die Masse 604 gleitend. Die Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d sind vorzugsweise mit der Bodenfläche 626 des Hohlraums 616 der Packung 602 verbunden. Die Gleitlager 660a können eine nahezu quadratische Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 660b können eine nahezu rechteckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 660c können eine nahezu dreieckige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 660d können eine nahezu kreisförmige Querschnittsform aufweisen. Die Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik bestehen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d aus Wolfram, um einen Standardverpackungsprozess optimal bereitzustellen. Die Querschnittsfläche der Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d kann beispielsweise individuell von etwa 10,16 bis 40,64 mm2 (400 bis 1600 Quadratmillizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform kann die Querschnittsfläche der Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d beispielsweise individuell von etwa 625 bis 1225 Quadratmillizoll reichen, um thermische Spannungen optimal zu minimieren. Die Höhe H660 der Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d kann beispielsweise von etwa 0,0127 bis 0,0762 mm (0,5 bis 3 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform reicht die Höhe H660 der Gleitlager 660a, 660b, 660c oder 660d von etwa 0,0254 bis 0,0381 mm (1 bis 1,5 Millizoll), um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gibt es ein erstes Gleitlager 660aa, ein zweites Gleitlager 660ab, ein drittes Gleitlager 660ac und ein viertes Gleitlager 660ad. Das erste Gleitlager 660aa kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß ei ner bevorzugten Ausführungsform befindet sich das erste Gleitlager 660aa in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das zweite Gleitlager 660ab kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 1,143 bis 1,905 mm (45 bis 75 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das zweite Gleitlager 660ab in einem senkrechten Abstand von etwa 1,3208 bis 1,5748 mm (52 bis 62 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das dritte Gleitlager 660ac kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 und in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 0,381 bis 0,762 mm (15 bis 30 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das dritte Gleitlager 660ac in einem senkrechten Abstand von etwa 90 bis 105 Millizoll von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 0,508 bis 0,635 mm (20 bis 25 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Das vierte Gleitlager 660ad kann sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden und sich in einem senkrechten Abstand von beispielsweise etwa 2,159 bis 2,921 mm (85 bis 115 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602 befinden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich das vierte Gleitlager 660ad in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der ersten Wand 618 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren, und in einem senkrechten Abstand von etwa 2,286 bis 2,667 mm (90 bis 105 Millizoll) von der zweiten Wand 620 des Hohlraums 616 der Packung 602, um thermische Spannungen optimal zu minimieren.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 608 auch die Masse 604 elektrisch mit der Packung 602 verbinden.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform können die elastischen Verbindungen 676 und 678 auch die Masse 604 elektrisch mit der Packung 602 verbinden.
  • Mit Bezug auf die 7A bis 7D sei bemerkt, dass gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen die Packungen 102, 202, 302, 402, 502 und 602 ein oder mehrere Lagerelemente 702a oder 702b zum Lagern von einer oder mehreren elastischen Verbindungen 108, 150, 208, 260, 308, 363, 408, 470, 508, 566, 568, 608, 676 und 678 aufweisen. Die Lagerelemente 702a und 702b können beispielsweise aus Wolfram oder Keramik hergestellt werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Lagerelemente 702a und 702b aus Keramik hergestellt. Die Höhe H702 der Lagerelemente 702a und 702b kann beispielsweise von etwa 0 bis 0,254 mm (0 bis 10 Millizoll) reichen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die Höhe H702 der Lagerelemente 702a und 702b in etwa 0,127 mm (5 Millizoll). Das Lagerelement 702a ist vorzugsweise ein rechteckiges Lagerröhrchen. Das Lagerelement 702a weist vorzugsweise gerade Kanten auf. Gemäß einer alternativen Ausführungsform weist das Lagerelement 702b einen zylindrischen Abschnitt auf. Das Lagerelement 702b weist vorzugsweise sich verengende Seiten auf. Gemäß einer alternativen Ausführungsform weist das Lagerelement 702b gerade Seiten auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Lagerelemente 702a und 702b eine Form auf, welche die thermischen Spannungen zwischen den Lagerelementen 702a und 702b und den gelagerten elastischen Verbindungen 108, 150, 208, 260, 308, 363, 408, 470, 508, 566, 568, 608, 676 und 678 optimal minimiert.
  • Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen weisen die vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 5A und 6A beschriebenen Packungen 102, 202, 502 und 602 eine oder mehrere vorstehend mit Bezug auf 3G beschriebene Vertiefungen 326 zum Aufnehmen von einer oder mehreren vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebener elastischer Verbindungen 108, 208, 308, 408, 508 und 608 auf.
  • Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen wird durch Teilen der elastischen Anbringung der vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebenen Masse 104, 204, 304, 404, 504 und 604 an der vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebenen Packung 102, 202, 302, 402, 502 und 602 die Spannung für das Anbringen verringert.
  • Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen werden die vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebenen elastischen Verbindungen 108, 208, 308, 408, 508 und 608 durch Teilen der Lötvorform, des leitfähigen Epoxidharzes, des nicht leitfähigen Epoxidharzes oder der Glasfritte in ein oder mehrere Stücke zerlegt.
  • Gemäß mehreren alternativen Ausführungsformen werden die vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebenen Verbindungsstellen 106, 206, 306, 406, 506 und 606 durch Teilen der vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebenen Verbindungsstellen 106, 206, 306, 406, 506 und 606 unter Verwendung eines herkömmlichen Teilungsverfahrens in ein oder mehrere Stücke zerlegt.
  • Die vorstehend mit Bezug auf die 1A, 2A, 3A, 4A, 5A und 6A beschriebene Masse 104, 204, 304, 404, 504 und 604 ist eine mikrobearbeitete Vorrichtung, ein integrierter Schaltungschip oder eine optische Vorrichtung.
  • Wenngleich erläuternde Ausführungsformen der Erfindung dargestellt und beschrieben wurden, ist in der vorstehenden Offenbarung ein weiter Bereich von Modifikationen, Abänderungen und Austauschungen in einer mit dem Schutzumfang der anliegenden Ansprüche übereinstimmenden Weise vorgesehen.

Claims (35)

  1. Vorrichtung mit Wärmebelastungsschutz, mit: einer Packung (102); einer mit der Packung verbundenen Masse (104) mit einer Fläche und ferner mit einem aktiven Bereich (146), wobei die Masse (104) aus der Gruppe, bestehend aus einer mikrobearbeiteten Vorrichtung, einem integrierten Schaltungschip und einer optischen Vorrichtung, ausgewählt ist; einer oder mehreren im Wesentlichen starren Lötvorformen zum Verbinden mindestens einer Stelle auf der Fläche mit der Packung (102), um eine elastische Verbindung zwischen der Masse (104) und der Packung (102) zu schaffen, wobei mindestens ein Teil des aktiven Bereichs (146) von der mindestens eine Verbindungsstelle beabstandet ist; dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ferner umfasst: ein oder mehrere mit der Packung verbundene Gleitlager zum gleitenden Lagern der Masse.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Packung (102) einen Hohlraum zum Aufnehmen der Masse (104) aufweist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Packung (102) eine Vertiefung zum Aufnehmen der starren Lötvorformen aufweist.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Masse (104) eine oder mehrere Verbindungsfelder (106) zum Verbinden der Masse (104) mit der Packung (102) aufweist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Querschnittform der Verbindungsfelder (106) aus der Gruppe bestehend aus nahezu rechteckig, nahezu oval, nahezu tri-oval, nahezu oct-oval, nahezu wellenseitig rechteckig ("wavy sided rectangular"), nahezu oct-kuchenkeilförmig ("oct-pie-wedge"), nahezu hohl oct-kuchenkeilförmig ("oct-pie-wedge"), nahezu neun-kreisförmig ("nine-circular"), nahezu sternstrahlförmig, oder nahezu sonnenstrahlförmig ausgewählt wird.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, bei der die Masse einen oder mehrere passive Bereiche (140) aufweist; und wobei die Verbindungsfelder (106) ungefähr in den passiven Bereichen (140) angeordnet sind.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei der die Masse (104) ferner einen ersten passiven Bereich aufweist, wobei die Verbindungsfelder (106) ungefähr in dem ersten passiven Bereich angeordnet sind.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der sich der erste passive Bereich an einem Ende der Masse (104) befindet.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, bei der die Masse (104) ferner einen ersten passiven Bereich und einen zweiten passiven Bereich aufweist, und wobei die Verbindungsfelder (106) in dem ersten passiven Bereich und in dem zweiten passiven Bereich angeordnet sind.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der der erste passive Bereich an einem Ende der Masse (104) angeordnet ist und der zweite passive Bereich an dem gegenüberliegenden Ende der Masse (104) angeordnet ist.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei der die Masse (104) ferner einen ersten passiven Bereich und einen ersten aktiven Bereich aufweist, und wobei die Verbindungsfelder (106) im ersten passiven Bereich und im ersten aktiven Bereich angeordnet sind.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 11, bei der der erste passive Bereich an einem Ende der Masse (104) angeordnet ist, und der erste aktive Bereich am gegenüberliegenden Ende der Masse (104) angeordnet ist.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei der die Masse (104) ferner einen aktiven Bereich aufweist, und die Verbindungsfelder (106) ungefähr im aktiven Bereich angeordnet sind.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 13, bei der die Verbindungsfelder (106) in der ungefähren Mitte des aktiven Bereichs angeordnet sind.
  15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, bei der die starren Lötvorformen eine Querschnittsform ausgewählt aus nahezu rechteckig und nahezu kreisförmig aufweisen.
  16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, bei der die starren Lötvorformen ungefähr an einem Ende der Packung (102) angeordnet sind.
  17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, bei der die starren Lötvorformen in etwa an der ungefähren Mitte der Packung (102) angeordnet sind.
  18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, bei der die eine oder die mehreren starren Lötvorformen eine oder mehrere erste starre Lötvorformen und eine oder mehrere zweite starre Lötvorformen sind; wobei die ersten starren Lötvorformen ungefähr an einem Ende der Packung (102) angeordnet sind, und wobei die zweiten starren Lötvorformen ungefähr an dem gegenüberliegenden Ende der Packung (102) angeordnet sind.
  19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 14, bei der die Verbindungsfelder (106) aus einem Material sind, das aus der Gruppe, bestehend aus Lötmittel, leitendem Epoxid, nicht leitendem Epoxid, und Glasfritte, ausgewählt ist.
  20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, bei der die Gleitlager eine Querschnittform aufweisen, die aus der Gruppe, bestehend aus nahezu quadratisch, nahezu kreisförmig, nahezu dreieckig und nahezu rechteckig, ausgewählt ist.
  21. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Packung (102) ferner ein Lagerelement zum Lagern der starren Lötvorformen aufweist.
  22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, bei der die starren Lötvorformen derart ausgebildet sind, um die Masse (104) mit der Packung (102) elektrisch zu verbinden.
  23. Verfahren zum Verbinden einer Masse (104), die einen aktiven Bereich (146) aufweist, mit einer Packung (102), um Auswirkungen von Wärmebelastung zu reduzieren, bei dem die Masse (104) aus der Gruppe, bestehend aus einer mikrobear beiteten Vorrichtung, einem integrierten Schaltungschip und einer optischen Vorrichtung, ausgewählt wird; Verbinden mindestens einer Oberflächenstelle auf der Masse mit der Packung (102) unter Verwendung einer oder mehrerer im Wesentlichen starrer Lötvorformen, um eine elastische Verbindung zwischen der Masse (104) und der Packung (102) zu schaffen, wobei mindestens ein Teil des aktiven Bereichs (146) von der mindestens einen Verbindungsstelle beabstandet ist; gekennzeichnet durch: Verbinden einer oder mehrerer Gleitlager mit der Packung zum gleitenden Lagern der Masse (104).
  24. Verfahren nach Anspruch 23, bei dem das Anbringen bzw. Verbinden der Masse (104) das Anbringen bzw. Verbinden der Masse (104) an mehreren Stellen umfasst.
  25. Verfahren nach Anspruch 23 oder 24, bei dem die Masse (104) einen passiven Bereich (140) aufweist, und wobei das Verbinden der Masse (104) das Verbinden des passiven Bereichs mit der Packung (102) umfasst.
  26. Verfahren nach Anspruch 25, bei dem der passive Bereich (140) an einem Ende der Masse (140) angeordnet ist.
  27. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 26, wobei das Verbinden der Masse (104) das Verbinden des aktiven Bereichs mit der Packung (102) umfasst.
  28. Verfahren nach Anspruch 27, bei dem das Verbinden des aktiven Bereichs (146) das Verbinden der Packung (102) mit der ungefähren Mitte des aktiven Bereichs (146) umfasst.
  29. Verfahren nach Anspruch 23, bei dem die Masse einen ersten passiven Bereich und einen zweiten passiven Bereich aufweist; und wobei das Verbinden der Masse (104) das Verbinden des ersten passiven Bereichs mit der Packung (102) und das Verbinden des zweiten passiven Bereichs mit der Packung (102) umfasst.
  30. Verfahren nach Anspruch 29, bei dem der erste passive Bereich an einem Ende der Masse (104) angeordnet ist; und bei dem der zweite passive Bereich an einem gegenüberliegenden Ende der Masse (104) angeordnet ist.
  31. Verfahren nach Anspruch 27, bei dem der passive Bereich (140) an einem Ende der Masse (104) ist; und bei dem der aktive Bereich (146) an einem gegenüberliegenden Ende der Masse (104) ist.
  32. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 31, bei dem, beim Verbinden der Masse (104), die Masse sich ausdehnen und kontrahieren kann, ohne Spannungen in der Masse (104) zu verursachen.
  33. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 32, bei dem beim Verbinden der Masse (104) dafür gesorgt wird, dass eine Ausdehnung und eine Kontraktion der Packung (102), ohne Verursachen von Spannungen in der Masse (104), möglich ist.
  34. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 33, bei dem das Verbinden der Gleitlager mit der Packung eine gleitende Lagerung der Masse (104) an einer oder mehreren verschiedenen Stellen umfasst.
  35. Verfahren nach einem der Ansprüche 29 bis 39, das ferner ein elektrisches Verbinden der Masse (104) mit der Pac kung (102) an einer oder mehreren verschiedenen Stellen umfasst.
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WO (8) WO2000055648A1 (de)

Families Citing this family (89)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040105533A1 (en) * 1998-08-07 2004-06-03 Input/Output, Inc. Single station wireless seismic data acquisition method and apparatus
US6725164B1 (en) 1999-03-17 2004-04-20 Input/Output, Inc. Hydrophone assembly
US6347594B1 (en) * 2000-01-28 2002-02-19 Deere & Company Narrow profile opener capable of high speed operation
JP2002257847A (ja) * 2001-02-28 2002-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加速度センサ
US6814179B2 (en) * 2001-05-25 2004-11-09 Input/Output, Inc. Seismic sensing apparatus and method with high-g shock isolation
US7870788B2 (en) * 2002-01-25 2011-01-18 Kinemetrics, Inc. Fabrication process and package design for use in a micro-machined seismometer or other device
GB2395305B (en) 2002-11-15 2006-03-22 Westerngeco Seismic Holdings Processing seismic data
US20040145613A1 (en) * 2003-01-29 2004-07-29 Stavely Donald J. User Interface using acceleration for input
WO2004086094A1 (en) * 2003-03-26 2004-10-07 Westergeco Seismic Holdings Limited Processing seismic data representative of the acceleration wavefield
DE10322278B4 (de) * 2003-05-16 2014-06-18 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Sensorsimulator zum Test von Messumformern
US7310287B2 (en) 2003-05-30 2007-12-18 Fairfield Industries Incorporated Method and apparatus for seismic data acquisition
US8228759B2 (en) 2003-11-21 2012-07-24 Fairfield Industries Incorporated System for transmission of seismic data
US7124028B2 (en) 2003-11-21 2006-10-17 Fairfield Industries, Inc. Method and system for transmission of seismic data
US7225662B2 (en) * 2004-08-27 2007-06-05 Schlumberger Technology Corporation Geophone calibration technique
US20060133202A1 (en) * 2004-12-22 2006-06-22 Tenghamn Stig R L Motion sensors in a marine seismic streamer
US7026547B1 (en) * 2005-01-21 2006-04-11 Infineon Technologies Ag Semiconductor device and a method for fabricating a semiconductor device
JP2006214898A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及び電子機器
WO2006127776A1 (en) * 2005-05-25 2006-11-30 Northrop Grumman Corporation Metal electrodes for elimination of spurious charge effects in accelerometers and other mems devices
US7243544B2 (en) * 2005-06-16 2007-07-17 Honeywell International Inc. Passive and wireless acoustic wave accelerometer
US20070079656A1 (en) * 2005-10-11 2007-04-12 Honeywell International Inc. Micro-machined acoustic wave accelerometer
JP2007127607A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Mitsutoyo Corp センサブロック
GB2479490B (en) * 2006-04-13 2011-11-16 Tiax Llc An orientation sensor system
US7366055B2 (en) * 2006-05-05 2008-04-29 Optoplan As Ocean bottom seismic sensing system
US8064286B2 (en) * 2006-05-05 2011-11-22 Optoplan As Seismic streamer array
DE102006030616A1 (de) 2006-07-03 2008-01-17 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Schnittstellenvorrichtung
DE102007013413A1 (de) * 2007-03-20 2008-10-09 GeoForschungsZentrum Potsdam Stiftung des öffentlichen Rechts Seismische Quelle mit adaptiver Regelung und entsprechendes Verfahren
US8136383B2 (en) * 2007-08-28 2012-03-20 Westerngeco L.L.C. Calibrating an accelerometer
CA2996790C (en) 2007-09-21 2022-03-08 Fairfield Industries, Inc. Method and apparatus for correcting the timing function in a nodal seismic data acquisition unit
US8605543B2 (en) * 2007-09-21 2013-12-10 Fairfield Industries Incorporated Method and apparatus for correcting the timing function in a nodal seismic data acquisition unit
US20090210101A1 (en) * 2008-02-15 2009-08-20 Scott Allan Hawkins Electronic dice
CN103064109B (zh) * 2008-11-04 2017-07-18 费尔菲尔德工业公司 用于校正节点地震数据采集单元中的计时功能的方法和装置
US8131494B2 (en) * 2008-12-04 2012-03-06 Baker Hughes Incorporated Rotatable orientation independent gravity sensor and methods for correcting systematic errors
US8117888B2 (en) * 2009-02-11 2012-02-21 Perception Digital Limited Method and apparatus of improving accuracy of accelerometer
US8514655B2 (en) * 2009-11-12 2013-08-20 Schlumberger Technology Corporation Method and apparatus for measuring a hydrophone parameter
JP2011112392A (ja) * 2009-11-24 2011-06-09 Panasonic Electric Works Co Ltd 加速度センサ
US9261530B2 (en) 2009-11-24 2016-02-16 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Acceleration sensor
JP2011112390A (ja) * 2009-11-24 2011-06-09 Panasonic Electric Works Co Ltd 加速度センサ
US8614928B2 (en) * 2009-12-31 2013-12-24 Wireless Seismic, Inc. Wireless data acquisition system and method using self-initializing wireless modules
US20120002504A1 (en) * 2010-03-01 2012-01-05 Everhard Muyzert Gravity measurements in marine, land and/or seabed seismic applications
US9297923B2 (en) * 2010-03-01 2016-03-29 Westerngeco L.L.C. Gravity measurements using seismic streamers
CN102770770B (zh) * 2010-03-08 2014-10-15 阿尔卑斯电气株式会社 物理量传感器
WO2011111540A1 (ja) * 2010-03-08 2011-09-15 アルプス電気株式会社 物理量センサ
CN101793524B (zh) * 2010-03-26 2012-05-30 中北大学 一种车载mimu输出信息解算方法
US9010170B2 (en) 2010-08-16 2015-04-21 Westerngeco L.L.C. Method and apparatus to test an accelerometer
US9217805B2 (en) 2010-10-01 2015-12-22 Westerngeco L.L.C. Monitoring the quality of particle motion data during a seismic acquisition
US8639442B2 (en) 2010-11-23 2014-01-28 Westerngeco L.L.C. Identifying invalid seismic data
EP2673661B1 (de) * 2011-02-07 2022-08-03 ION Geophysical Corporation Verfahren und vorrichtung zur erfassung von unterwassersignalen
US8843345B2 (en) 2011-06-20 2014-09-23 Invensense, Inc. Motion determination
EP2726400A4 (de) * 2011-06-30 2015-03-04 Hewlett Packard Development Co Kalibrierung von mems-sensoren
US8577640B2 (en) 2011-08-17 2013-11-05 Invensense, Inc. Magnetometer bias and anomaly detector
US9683865B2 (en) 2012-01-26 2017-06-20 Invensense, Inc. In-use automatic calibration methodology for sensors in mobile devices
GB2513785B (en) 2012-03-08 2017-09-13 Shell Int Research Integrated seismic monitoring system and method
GB2514047B (en) 2012-03-08 2016-05-11 Shell Int Research Seismic cable handling system and method
DE102012014407A1 (de) * 2012-07-19 2014-01-23 Wabco Gmbh Vorrichtung zur Erfassung und Verarbeitung von Sensormesswerten und/oder zur Steuerung von Aktuatoren
EP2690468B1 (de) * 2012-07-27 2019-03-27 Sercel Schleppvorrichtung für die seismische Vorhersage mit Kippausgleich von direktionalen Sensoren
CN102830251B (zh) * 2012-09-04 2013-12-18 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估装置
US9321630B2 (en) 2013-02-20 2016-04-26 Pgs Geophysical As Sensor with vacuum-sealed cavity
US9400337B2 (en) 2013-03-15 2016-07-26 L-3 Communications Corporation Beam accelerometer
CN103278846B (zh) * 2013-06-03 2018-03-02 北京京援伟达技术有限公司 微震记录仪、微震信号采集去噪方法和微震信号采集方法
US10273147B2 (en) 2013-07-08 2019-04-30 Motion Engine Inc. MEMS components and method of wafer-level manufacturing thereof
EP3028007A4 (de) 2013-08-02 2017-07-12 Motion Engine Inc. Mems-bewegungssensor und verfahren zur herstellung
US20160229684A1 (en) * 2013-09-24 2016-08-11 Motion Engine Inc. Mems device including support structure and method of manufacturing
US9772220B1 (en) 2013-12-06 2017-09-26 Harris Corporation Hydrophone
DE102013114140A1 (de) * 2013-12-16 2015-06-18 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Messfühlergehäuse und Messfühleranordnung mit einem Messfühlergehäuse
WO2015101644A1 (en) * 2013-12-30 2015-07-09 Pgs Geophysical As Method for calibrating the far-field acoustic output of a marine vibrator
WO2015103688A1 (en) 2014-01-09 2015-07-16 Motion Engine Inc. Integrated mems system
ES2913339T3 (es) * 2014-01-31 2022-06-01 Draka Elevator Products Inc Dispositivo sensor de detección sísmica para equipo de transporte vertical
CN103852784B (zh) * 2014-03-12 2016-12-07 北京矿冶研究总院 一种提高矿用微震检波器信噪比的方法
US20170030788A1 (en) 2014-04-10 2017-02-02 Motion Engine Inc. Mems pressure sensor
WO2015184531A1 (en) 2014-06-02 2015-12-10 Motion Engine Inc. Multi-mass mems motion sensor
EP3164683B1 (de) 2014-07-02 2023-02-22 The John Hopkins University Fotodetektionsschaltung
CN105319597B (zh) * 2014-07-31 2018-05-08 中国石油化工股份有限公司 一种井中地震接收系统数据记录方法
CA3004760A1 (en) 2014-12-09 2016-06-16 Motion Engine Inc. 3d mems magnetometer and associated methods
AU2016206738A1 (en) 2015-01-14 2017-08-10 Ion Geophysical Corporation Ocean sensor system
WO2016112463A1 (en) 2015-01-15 2016-07-21 Motion Engine Inc. 3d mems device with hermetic cavity
DE102015103485A1 (de) 2015-03-10 2016-09-15 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg MEMS-Sensor, insb. Drucksensor
CN108431637B (zh) 2015-10-30 2021-04-13 离子地球物理学公司 多轴单质量体加速度计
US10161956B2 (en) 2016-04-25 2018-12-25 Honeywell International Inc. Reducing bias in an accelerometer via a pole piece
MX2019000532A (es) 2016-07-12 2019-09-13 Bp Exploration Operating Co Ltd Sistema y metodo para la correccion de respuesta del sensor sismico.
TWI639810B (zh) * 2017-09-20 2018-11-01 和碩聯合科技股份有限公司 重力感測器的校準方法
CN109669055B (zh) * 2017-10-13 2021-04-27 航天科工惯性技术有限公司 振动整流误差试验采集电路及具有其的采集系统
CN108168774B (zh) * 2017-12-27 2020-01-14 中国航发四川燃气涡轮研究院 一种空间矢量力校准方法
TWI670475B (zh) * 2018-04-11 2019-09-01 逸奇科技股份有限公司 多軸力規與其製造方法
DE102018211755A1 (de) * 2018-07-13 2020-01-16 Infineon Technologies Ag Amplitudenerfassung, amplitudenregelung und richtungserfassung einer schwingung eines schwingkörpers
GB2575694A (en) 2018-07-20 2020-01-22 Atlantic Inertial Systems Ltd Sensor packages
US11204365B2 (en) * 2018-09-13 2021-12-21 Ion Geophysical Corporation Multi-axis, single mass accelerometer
US11693020B2 (en) * 2018-11-06 2023-07-04 Rohm Co., Ltd. Accelerometer having a root-mean-square (RMS) output
US20230022244A1 (en) * 2020-12-18 2023-01-26 VK Integrated Systems, Inc. Distributed Sensor Inertial Measurement Unit
EP4080168A1 (de) * 2021-04-20 2022-10-26 Melexis Technologies NV Sensorschnittstellen für funktionelle sicherheitsanwendungen

Family Cites Families (121)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US100884A (en) * 1870-03-15 Improvement in torpedoes and cartridges
US3244099A (en) * 1963-11-12 1966-04-05 Pan American Petroleum Corp Controlled velocity explosive charge for seismic exploration
US3289583A (en) * 1965-04-21 1966-12-06 Pan American Petroleum Corp Explosive charge
GB1272804A (en) * 1969-08-13 1972-05-03 Ici Ltd Seismic prospecting
US3698316A (en) * 1970-12-18 1972-10-17 Du Pont Detonating fuse of petn-polyethylacrylate
FR2181451B1 (de) * 1972-04-25 1977-12-23 France Etat
US3863192A (en) * 1973-01-24 1975-01-28 Irving R Grey Waterproof mechanically protected sensor package and method of installation
US3877313A (en) * 1973-07-23 1975-04-15 Singer Co Electrostatic accelerometer
US4188816A (en) * 1974-11-29 1980-02-19 Sanders Associates, Inc. Apparatus and method for performing inertial measurements using translational acceleration transducers and for calibrating translational acceleration transducers
US4034801A (en) * 1975-04-14 1977-07-12 Robert J. Sigel, Inc. Optimum environmental control system for a building
JPS527676A (en) * 1975-07-08 1977-01-20 Seiko Epson Corp Semiconductor integrated circuit
US4068208A (en) * 1975-07-14 1978-01-10 Texas Instruments Incorporated Marine streamer position determination system
US4206451A (en) * 1975-11-05 1980-06-03 Honeywell Inc. Intrusion detection system
US4019094A (en) * 1975-12-19 1977-04-19 General Electric Company Static control shorting clip for semiconductor package
CA1039397A (en) * 1976-11-24 1978-09-26 Huntec (70) Limited Heave compensation system
US4210897A (en) * 1976-12-06 1980-07-01 Huntec (70) Limited Heave compensation system
US4253164A (en) * 1978-10-30 1981-02-24 Western Geophysical Co. Of America Multi-purpose seismic transducer
FR2454103A1 (fr) * 1979-04-11 1980-11-07 Sagem Perfectionnements aux accelerometres pendulaires asservis
JPS566134A (en) * 1979-06-28 1981-01-22 Nissan Motor Co Ltd Diagnostic unit of controller for car
US4284006A (en) * 1979-08-13 1981-08-18 Davis Explosive Sources, Inc. Linear explosive charge with constant detonation velocity and synchronous booster charges
FR2470501A1 (fr) * 1979-11-22 1981-05-29 France Etat Equipement d'essai de televiseur recepteur de teletexte
US4300205A (en) * 1980-04-07 1981-11-10 Acf Industries, Inc. Automative engine simulating apparatus
US4437243A (en) * 1981-02-20 1984-03-20 Amf Incorporated Gyroscopic instrument
US4437175A (en) * 1981-11-20 1984-03-13 Shell Oil Company Marine seismic system
JPS6038839A (ja) * 1983-08-12 1985-02-28 Hitachi Ltd フリツプチツプ型半導体装置
US4912471A (en) * 1983-11-03 1990-03-27 Mitron Systems Corporation Interrogator-responder communication system
US4616320A (en) * 1984-03-12 1986-10-07 Teledyne Industries Inc. Seismic strong-motion recorder
GB8410631D0 (en) * 1984-04-26 1984-05-31 Hotforge Ltd Explosive cutting device
EP0166813B1 (de) * 1984-06-29 1990-08-29 Siemens Aktiengesellschaft Überwachungseinrichtung
US4615752A (en) * 1984-11-23 1986-10-07 Ireco Incorporated Methods of pumping and loading emulsion slurry blasting compositions
FR2584235B1 (fr) * 1985-06-26 1988-04-22 Bull Sa Procede de montage d'un circuit integre sur un support, dispositif en resultant et son application a une carte a microcircuits electroniques
US4922756A (en) 1988-06-20 1990-05-08 Triton Technologies, Inc. Micro-machined accelerometer
DE3622632C2 (de) * 1986-07-05 1995-11-30 Fichtel & Sachs Ag Elektronisches Gerät zur Messung und Anzeige der Geschwindigkeit und weiterer Daten bei einem Fahrrad
US4805197A (en) * 1986-12-18 1989-02-14 Lecroy Corporation Method and apparatus for recovering clock information from a received digital signal and for synchronizing that signal
US4841772A (en) * 1987-12-03 1989-06-27 University Of Maryland, College Park Three-axis superconducting gravity gradiometer
JPH01152637A (ja) * 1987-12-09 1989-06-15 Nec Corp 半導体素子の実装方法
US4932261A (en) 1988-06-20 1990-06-12 Triton Technologies, Inc. Micro-machined accelerometer with tilt compensation
US5101669A (en) * 1988-07-14 1992-04-07 University Of Hawaii Multidimensional force sensor
US5060504A (en) * 1988-09-23 1991-10-29 Automotive Systems Laboratory, Inc. Self-calibrating accelerometer
DE68920956T2 (de) * 1988-11-15 1995-09-21 Kenwood Corp Lautsprecher-Dämpfungsanordnung.
US5228341A (en) * 1989-10-18 1993-07-20 Hitachi, Ltd. Capacitive acceleration detector having reduced mass portion
JPH03134552A (ja) * 1989-10-20 1991-06-07 Hitachi Ltd 自己較正機能付検出装置
US5294829A (en) * 1990-01-26 1994-03-15 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. IC package having direct attach backup battery
US4999735A (en) * 1990-03-08 1991-03-12 Allied-Signal Inc. Differential capacitive transducer and method of making
JP2786321B2 (ja) * 1990-09-07 1998-08-13 株式会社日立製作所 半導体容量式加速度センサ及びその製造方法
US5160925C1 (en) * 1991-04-17 2001-03-06 Halliburton Co Short hop communication link for downhole mwd system
US5267564A (en) * 1991-06-14 1993-12-07 Siemens Pacesetter, Inc. Pacemaker lead for sensing a physiologic parameter of the body
US5233873A (en) * 1991-07-03 1993-08-10 Texas Instruments Incorporated Accelerometer
DE4132232A1 (de) * 1991-09-27 1993-04-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur herstellung kapazitiver sensoren und kapazitiver sensor
JP2804196B2 (ja) * 1991-10-18 1998-09-24 株式会社日立製作所 マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム
US5245637A (en) * 1991-12-30 1993-09-14 International Business Machines Corporation Phase and frequency adjustable digital phase lock logic system
US5343766A (en) * 1992-02-25 1994-09-06 C & J Industries, Inc. Switched capacitor transducer
FR2688315B1 (fr) * 1992-03-09 1994-05-27 Sagem Capteur accelerometrique capacitif et accelerometre non asservi en comportant application.
US5273440A (en) 1992-05-19 1993-12-28 Elco Corporation Pad array socket
DE4222472C2 (de) * 1992-07-09 1998-07-02 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor
US5285559A (en) * 1992-09-10 1994-02-15 Sundstrand Corporation Method and apparatus for isolating electronic boards from shock and thermal environments
JP3138343B2 (ja) * 1992-09-30 2001-02-26 日本電信電話株式会社 光モジュールの製造方法
DE4234238A1 (de) * 1992-10-10 1994-04-14 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor
FR2698447B1 (fr) * 1992-11-23 1995-02-03 Suisse Electronique Microtech Cellule de mesure micro-usinée.
US5408440A (en) * 1993-03-19 1995-04-18 Western Atlas International, Inc. Hydrophone circuit with electrical characteristics of a geophone
US5810607A (en) 1995-09-13 1998-09-22 International Business Machines Corporation Interconnector with contact pads having enhanced durability
DE59304431D1 (de) * 1993-05-05 1996-12-12 Litef Gmbh Mikromechanische Beschleunigungsmessvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
RU2061246C1 (ru) * 1993-06-22 1996-05-27 Леонид Николаевич Солодилов Регистратор сейсмических сигналов
JP2655802B2 (ja) * 1993-06-30 1997-09-24 山一電機株式会社 コイル形接触子及びこれを用いたコネクタ
EP0633607A1 (de) * 1993-07-06 1995-01-11 Motorola Inc. Verfahren zum Befestigen einer optischen Halbleitervorrichtung an einem optischen Substrat
US5433101A (en) * 1993-07-12 1995-07-18 Ford Motor Company Method and apparatus for self-testing a single-point automotive impact sensing system
JP3019700B2 (ja) * 1993-12-16 2000-03-13 日産自動車株式会社 加速度センサー
US5369057A (en) * 1993-12-21 1994-11-29 Delco Electronics Corporation Method of making and sealing a semiconductor device having an air path therethrough
EP0660119B1 (de) * 1993-12-27 2003-04-02 Hitachi, Ltd. Beschleunigungsmessaufnehmer
US5484073A (en) 1994-03-28 1996-01-16 I/O Sensors, Inc. Method for fabricating suspension members for micromachined sensors
DE69521889T2 (de) 1994-03-28 2002-04-11 I O Sensors Inc Messaufnehmerkonstruktion mit l-förmigen federbeinen
US5777226A (en) 1994-03-28 1998-07-07 I/O Sensors, Inc. Sensor structure with L-shaped spring legs
US5446616A (en) * 1994-03-28 1995-08-29 Litton Systems, Inc. Electrode structure and method for anodically-bonded capacitive sensors
JP3216955B2 (ja) * 1994-05-31 2001-10-09 株式会社日立製作所 容量式センサ装置
DE4420562C2 (de) * 1994-06-13 1999-11-18 Busch Dieter & Co Prueftech Drehzahlmeßgerät
JP3329084B2 (ja) * 1994-08-23 2002-09-30 株式会社デンソー 静電サーボ式の加速度センサ
US5596322A (en) * 1994-10-26 1997-01-21 Lucent Technologies Inc. Reducing the number of trim links needed on multi-channel analog integrated circuits
DE4439203C2 (de) * 1994-11-03 2001-06-28 Bosch Gmbh Robert Schaltungsanordnung zur Auswertung eines Beschleunigungssensorsignals
FR2728118A1 (fr) * 1994-12-08 1996-06-14 Matra Mhs Comparateur de phase entre un signal numerique et un signal d'horloge, et boucle a verrouillage de phase correspondante
US5535626A (en) * 1994-12-21 1996-07-16 Breed Technologies, Inc. Sensor having direct-mounted sensing element
CA2166162A1 (en) * 1994-12-29 1996-06-30 John M. Loeffler Vibration sensor for vehicle transmission
US5842149A (en) * 1996-10-22 1998-11-24 Baker Hughes Incorporated Closed loop drilling system
DE19506401A1 (de) * 1995-02-23 1996-08-29 Siemens Ag Beschleunigungssensor
JPH08233848A (ja) * 1995-02-28 1996-09-13 Mitsubishi Electric Corp 半導体センサ
US5497084A (en) * 1995-03-03 1996-03-05 Honeywell Inc. Geartooth sensor with means for selecting a threshold magnitude as a function of the average and minimum values of a signal of magnetic field strength
US5834623A (en) * 1995-03-03 1998-11-10 Ignagni; Mario B. Apparatus and method to provide high accuracy calibration of machine tools
JPH08285952A (ja) * 1995-04-11 1996-11-01 Japan Aviation Electron Ind Ltd 地震計
JP3322067B2 (ja) * 1995-04-24 2002-09-09 株式会社デンソー 物理量検出装置
JP3613838B2 (ja) * 1995-05-18 2005-01-26 株式会社デンソー 半導体装置の製造方法
US5631602A (en) * 1995-08-07 1997-05-20 Delco Electronics Corporation Wheatstone bridge amplifier circuit with integrated diagnostic testing
FR2738705B1 (fr) * 1995-09-07 1997-11-07 Sagem Dispositif capteur electromecanique et procede de fabrication d'un tel dispositif
US5661240A (en) * 1995-09-25 1997-08-26 Ford Motor Company Sampled-data interface circuit for capacitive sensors
US5852242A (en) 1995-12-04 1998-12-22 I/O Sensors, Inc. Apparatus with mechanical and electric springs and method for its manufacture
US5724241A (en) 1996-01-11 1998-03-03 Western Atlas International, Inc. Distributed seismic data-gathering system
JPH09264800A (ja) * 1996-03-27 1997-10-07 Omron Corp 半導体式力学量センサ
US6077345A (en) * 1996-04-10 2000-06-20 Ebara Solar, Inc. Silicon crystal growth melt level control system and method
US5784260A (en) * 1996-05-29 1998-07-21 International Business Machines Corporation Structure for constraining the flow of encapsulant applied to an I/C chip on a substrate
US5644067A (en) * 1996-07-16 1997-07-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Apparatus and method for calibration of sensing transducers
GB9619699D0 (en) * 1996-09-20 1996-11-06 Geco Prakla Uk Ltd Seismic sensor units
JPH10104267A (ja) * 1996-09-27 1998-04-24 Hitachi Ltd 加速度センサの自己診断方法
GB9620391D0 (en) * 1996-09-30 1996-11-13 Geco Prakla Uk Ltd Land seismic data acquisition method and seismic cable and cable spool vehicle therefor
JP3145040B2 (ja) * 1996-10-18 2001-03-12 株式会社日立製作所 静電容量式加速度センサ
EP0841754A3 (de) * 1996-11-08 1998-12-16 Texas Instruments Incorporated Digital gesteuerter Oszillator
JP3446798B2 (ja) * 1996-11-29 2003-09-16 日本特殊陶業株式会社 接合バンプ付き配線基板
JP3045089B2 (ja) * 1996-12-19 2000-05-22 株式会社村田製作所 素子のパッケージ構造およびその製造方法
JPH10209220A (ja) * 1997-01-27 1998-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd プリント基板
DE19710217C1 (de) * 1997-03-12 1998-10-01 Geoforschungszentrum Potsdam Verfahren und Vorrichtung zur Seismometerprüfung
US6075754A (en) * 1997-04-08 2000-06-13 Vanzandt; Thomas R. Single-coil force balance velocity geophone
JPH1151960A (ja) * 1997-08-06 1999-02-26 Murata Mfg Co Ltd 加速度センサ
JPH1172534A (ja) 1997-08-28 1999-03-16 Mitsubishi Electric Corp テスト端子付き半導体装置およびｉｃソケット
US6035714A (en) * 1997-09-08 2000-03-14 The Regents Of The University Of Michigan Microelectromechanical capacitive accelerometer and method of making same
US6040625A (en) * 1997-09-25 2000-03-21 I/O Sensors, Inc. Sensor package arrangement
FR2769369B1 (fr) 1997-10-08 1999-12-24 Sercel Rech Const Elect Accelerometre a plaque mobile, avec moteur electrostatique de contre-reaction
US5901939A (en) * 1997-10-09 1999-05-11 Honeywell Inc. Buckled actuator with enhanced restoring force
US5993248A (en) * 1997-11-20 1999-11-30 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Battery connector
US6101864A (en) 1997-12-17 2000-08-15 I/O Sensors, Inc. Method and apparatus for generation of test bitstreams and testing of close loop transducers
US6028817A (en) * 1997-12-30 2000-02-22 Western Atlas International, Inc. Marine seismic system with independently powered tow vehicles
US6255962B1 (en) * 1998-05-15 2001-07-03 System Excelerator, Inc. Method and apparatus for low power, micro-electronic mechanical sensing and processing
GB9812006D0 (en) 1998-06-05 1998-07-29 Concept Systems Limited Sensor apparatus
US6035694A (en) 1999-03-12 2000-03-14 I/O Of Austin, Inc. Method and apparatus for calibration of stray capacitance mismatch in a closed loop electro-mechanical accelerometer
US6512980B1 (en) * 1999-10-19 2003-01-28 Westerngeco Llc Noise reference sensor for use in a dual sensor towed streamer

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Publication number Publication date
JP2002539444A (ja) 2002-11-19
EP1169657A1 (de) 2002-01-09
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EP1674873A3 (de) 2011-08-10
CA2365886A1 (en) 2000-09-21
WO2000055105A3 (en) 2001-05-31
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EP1847850A3 (de) 2010-06-16
AU3628900A (en) 2000-10-04
JP5078196B2 (ja) 2012-11-21
WO2000055646A1 (en) 2000-09-21
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US6861587B1 (en) 2005-03-01
NO20014469D0 (no) 2001-09-14
ATE374949T1 (de) 2007-10-15
EP1183555A1 (de) 2002-03-06
NO20014460D0 (no) 2001-09-14
WO2000055593A2 (en) 2000-09-21
ATE355728T1 (de) 2006-03-15
NO333754B1 (no) 2013-09-09
CA2366320A1 (en) 2000-09-21
NO20014460L (no) 2001-11-16
EP1192419A4 (de) 2004-12-08
NO20014463L (no) 2001-11-14
NO336325B1 (no) 2015-08-03
CA2366320C (en) 2010-05-11
NO20014459D0 (no) 2001-09-14
DE60034451T2 (de) 2007-08-30
DE60041253D1 (de) 2009-02-12
CA2365868C (en) 2014-11-04
EP1208385A4 (de) 2002-11-27
EP1847850B1 (de) 2013-04-24
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CA2365868A1 (en) 2000-09-21
CA2367983C (en) 2008-11-25
EP1175628B1 (de) 2008-12-31
EP1175628A1 (de) 2002-01-30
CA2366999A1 (en) 2000-09-21
EP1177451A4 (de) 2003-01-02
WO2000056132A1 (en) 2000-09-21
AU4503500A (en) 2000-10-04
JP2012004602A (ja) 2012-01-05
NO334310B1 (no) 2014-02-03
EP1208385A1 (de) 2002-05-29
JP2002539632A (ja) 2002-11-19
US6883638B1 (en) 2005-04-26
NO20014458L (no) 2001-11-09
AU3744300A (en) 2000-10-04
NO20014464L (no) 2001-11-16
NO335926B1 (no) 2015-03-23
JP2003521675A (ja) 2003-07-15
EP1169896A1 (de) 2002-01-09
EP1177451A2 (de) 2002-02-06
JP5008219B2 (ja) 2012-08-22
EP1705489A2 (de) 2006-09-27

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