JPH10104267A - 加速度センサの自己診断方法 - Google Patents
加速度センサの自己診断方法Info
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- JPH10104267A JPH10104267A JP8255814A JP25581496A JPH10104267A JP H10104267 A JPH10104267 A JP H10104267A JP 8255814 A JP8255814 A JP 8255814A JP 25581496 A JP25581496 A JP 25581496A JP H10104267 A JPH10104267 A JP H10104267A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
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Abstract
(57)【要約】
【課題】センサの増幅回路のゲインがばらついても、診
断特性のばらつきが小さく、正確なセンサの自己診断を
可能とし、常に高い信頼性を確保することが可能な加速
度センサを提供する。 【解決手段】ゲイン調整値（増幅率）と連動して自己診
断電圧が変えるよう、また、少なくとも一つのゲイン調
整値（増幅率）を基準に、自己診断電圧を変えるように
した。
断特性のばらつきが小さく、正確なセンサの自己診断を
可能とし、常に高い信頼性を確保することが可能な加速
度センサを提供する。 【解決手段】ゲイン調整値（増幅率）と連動して自己診
断電圧が変えるよう、また、少なくとも一つのゲイン調
整値（増幅率）を基準に、自己診断電圧を変えるように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車の衝突を検
出し、エアバッグを開いて搭乗者の身体を保護するエア
バッグシステムに係り、特に、自動車の衝突を検出する
加速度センサの自己診断方法に関する。
出し、エアバッグを開いて搭乗者の身体を保護するエア
バッグシステムに係り、特に、自動車の衝突を検出する
加速度センサの自己診断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、エアバッグシステムのキーセ
ンサである種々の加速度センサ、及びその自己診断の方
法が知られている。
ンサである種々の加速度センサ、及びその自己診断の方
法が知られている。
【０００３】例えば、センサの構造や特性に関しては、
特開平6−148234 号公報や、特開平6−281667 号公報が
ある。これらは、センサ自身を診断する自己診断機能を
有することが記載されている。
特開平6−148234 号公報や、特開平6−281667 号公報が
ある。これらは、センサ自身を診断する自己診断機能を
有することが記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のエアバッグシス
テムのキーセンサである、加速度センサの自己診断方法
としては、センサが動作しているか否かの診断にとどま
っていた。例えば、検出部の製造上のばらつきにより、
増幅回路部にてゲイン（増幅率）を調整する。この場
合、増幅率を変えれば、診断特性はばらつき、正確さに
ついて考慮されていなかった。つまり、診断特性の信頼
性に課題があった。
テムのキーセンサである、加速度センサの自己診断方法
としては、センサが動作しているか否かの診断にとどま
っていた。例えば、検出部の製造上のばらつきにより、
増幅回路部にてゲイン（増幅率）を調整する。この場
合、増幅率を変えれば、診断特性はばらつき、正確さに
ついて考慮されていなかった。つまり、診断特性の信頼
性に課題があった。
【０００５】本発明の目的は、センサの増幅回路のゲイ
ン（増幅率）がばらついても、診断特性のばらつきが小
さく、正確なセンサの自己診断を可能とし、常に高い信
頼性を確保することが可能な加速度センサを提供するこ
とにある。
ン（増幅率）がばらついても、診断特性のばらつきが小
さく、正確なセンサの自己診断を可能とし、常に高い信
頼性を確保することが可能な加速度センサを提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はゲイン調整値（増幅率）と連動して自己診
断電圧を変えるように構成した。
に、本発明はゲイン調整値（増幅率）と連動して自己診
断電圧を変えるように構成した。
【０００７】また、少なくとも一つのゲイン調整値（増
幅率）を基準に、自己診断電圧を変えるように構成し
た。
幅率）を基準に、自己診断電圧を変えるように構成し
た。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して説明する。図１は、本発明の加速度センサのブ
ロック図である。図２はゲイン調整値（増幅率）と自己
診断電圧との関係を表す説明図。
参照して説明する。図１は、本発明の加速度センサのブ
ロック図である。図２はゲイン調整値（増幅率）と自己
診断電圧との関係を表す説明図。
【０００９】半導体容量式加速度センサ１は、加速度検
出部２，カスタムＩＣ２１，ハイブリッドＩＣ２２より
構成される。さらに、カスタムＩＣ２１は、容量検出部
３，増幅部４，制御部５より構成される。ハイブリッド
ＩＣ２２には、加速度検出部２，カスタムＩＣ２１がマ
ウントされ、さらに、コンデンサＣａ，Ｃｂ，Ｃｃ，Ｃ
ｄが半田付けにより配置される。
出部２，カスタムＩＣ２１，ハイブリッドＩＣ２２より
構成される。さらに、カスタムＩＣ２１は、容量検出部
３，増幅部４，制御部５より構成される。ハイブリッド
ＩＣ２２には、加速度検出部２，カスタムＩＣ２１がマ
ウントされ、さらに、コンデンサＣａ，Ｃｂ，Ｃｃ，Ｃ
ｄが半田付けにより配置される。
【００１０】この時、コンデンサＣａ，Ｃｂは回路動作
の他に、図示のように、加速度検出部２の位置決め用と
しても使用される。コンデンサＣａ，Ｃｂは半田の電極
パターンにより位置が決まる。図示の場合、Ｃａにより
加速度検出部２の側面の位置が決まり、Ｃｂにより下部
の位置が決まる。
の他に、図示のように、加速度検出部２の位置決め用と
しても使用される。コンデンサＣａ，Ｃｂは半田の電極
パターンにより位置が決まる。図示の場合、Ｃａにより
加速度検出部２の側面の位置が決まり、Ｃｂにより下部
の位置が決まる。
【００１１】加速度検出部２は、ガラス，シリコン，ガ
ラスの三層サンドイッチ構造よりなる。中央のシリコン
層６には重錘の機能を有する可動電極７と、これを支持
するシリコンカンチレバー８が、シリコンを両面からエ
ッチングして一体形成される。このシリコンカンチレバ
ー８は単数、または、複数で構成される。一方、両側の
ガラス層９，１０には、可動電極７に対向して上下に一
対の固定電極１１，１２を配置している。固定電極１
１，１２は、アルミニウム等の金属材よりなり、それぞ
れ、ガラス層９，１０に蒸着その他適宜の方法により形
成される。
ラスの三層サンドイッチ構造よりなる。中央のシリコン
層６には重錘の機能を有する可動電極７と、これを支持
するシリコンカンチレバー８が、シリコンを両面からエ
ッチングして一体形成される。このシリコンカンチレバ
ー８は単数、または、複数で構成される。一方、両側の
ガラス層９，１０には、可動電極７に対向して上下に一
対の固定電極１１，１２を配置している。固定電極１
１，１２は、アルミニウム等の金属材よりなり、それぞ
れ、ガラス層９，１０に蒸着その他適宜の方法により形
成される。
【００１２】そして、このような加速度検出部２を構成
する場合には、ガラス層９，１０に設けた固定電極１
１，１２と可動電極７とを位置合わせして、ガラス層
９，１０にシリコン層６を介して平行配置し、ガラス層
９，１０の各々とシリコン層６を陽極接合する。このよ
うにして、可動電極７を介在させた状態で、固定電極１
１，１２が対向配置されるが、可動電極７と各固定電極
１１，１２間には初期ギャップｄｏが確保される。
する場合には、ガラス層９，１０に設けた固定電極１
１，１２と可動電極７とを位置合わせして、ガラス層
９，１０にシリコン層６を介して平行配置し、ガラス層
９，１０の各々とシリコン層６を陽極接合する。このよ
うにして、可動電極７を介在させた状態で、固定電極１
１，１２が対向配置されるが、可動電極７と各固定電極
１１，１２間には初期ギャップｄｏが確保される。
【００１３】可動電極７、及び固定電極１１，１２は、
容量検出部３と電気的に接続されている。図示しない車
両に加わる加速度の大きさと方向に応じて、図示の例で
は上下方向に加速度が加わると、可動電極７は慣性力に
よって加速度と逆方向に移動する。例えば、可動電極７
が下側に移動したとすると、可動電極７と固定電極１１
間の静電容量Ｃ１は小さくなり、反対の可動電極７と固
定電極１２間の静電容量Ｃ２は大きくなる。
容量検出部３と電気的に接続されている。図示しない車
両に加わる加速度の大きさと方向に応じて、図示の例で
は上下方向に加速度が加わると、可動電極７は慣性力に
よって加速度と逆方向に移動する。例えば、可動電極７
が下側に移動したとすると、可動電極７と固定電極１１
間の静電容量Ｃ１は小さくなり、反対の可動電極７と固
定電極１２間の静電容量Ｃ２は大きくなる。
【００１４】図３は可動電極７の変位に対する静電容量
Ｃ１，Ｃ２及びＣ１とＣ２の差分△Ｃの関係を示す特性
図である。横軸に可動電極７の変位Ｘを示し、初期ギャ
ップｄｏを保持する中立点を零とし、正方向の変位は可
動電極７が固定電極１１側に移動した状態を、負方向の
変位は可動電極７が固定電極１２側に移動した状態を表
す。
Ｃ１，Ｃ２及びＣ１とＣ２の差分△Ｃの関係を示す特性
図である。横軸に可動電極７の変位Ｘを示し、初期ギャ
ップｄｏを保持する中立点を零とし、正方向の変位は可
動電極７が固定電極１１側に移動した状態を、負方向の
変位は可動電極７が固定電極１２側に移動した状態を表
す。
【００１５】図３からも明かなように、可動電極７が固
定電極１１側に移動する程、静電容量Ｃ１が大きくな
り、逆に固定電極１２側に移動する程、静電容量Ｃ２が
大きくなる。また、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分△Ｃもこ
れに対して、中立点を零とし、それぞれ正方向，負方向
に大きくなる。つまり、Ｃ１，Ｃ２，△Ｃのいずれか一
つを検出することにより可動電極７の変位、言い替えれ
ば、加速度を知ることができる。但し、このＣ１，Ｃ
２，△Ｃのいずれも非線形特性（非直線性）を有する。
定電極１１側に移動する程、静電容量Ｃ１が大きくな
り、逆に固定電極１２側に移動する程、静電容量Ｃ２が
大きくなる。また、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分△Ｃもこ
れに対して、中立点を零とし、それぞれ正方向，負方向
に大きくなる。つまり、Ｃ１，Ｃ２，△Ｃのいずれか一
つを検出することにより可動電極７の変位、言い替えれ
ば、加速度を知ることができる。但し、このＣ１，Ｃ
２，△Ｃのいずれも非線形特性（非直線性）を有する。
【００１６】加速度検出部２の構造、特に可動電極７と
各固定電極１１，１２間の初期ギャップｄｏ，可動電極
７の質量，可動電極７の面積のばらつきにより、この非
線形特性の大きさ（直線性の大きさ）は、ばらつく。こ
の初期ギャップｄｏ，可動電極７の質量，可動電極７の
面積は製造上ばらつきを有する。
各固定電極１１，１２間の初期ギャップｄｏ，可動電極
７の質量，可動電極７の面積のばらつきにより、この非
線形特性の大きさ（直線性の大きさ）は、ばらつく。こ
の初期ギャップｄｏ，可動電極７の質量，可動電極７の
面積は製造上ばらつきを有する。
【００１７】次に、容量検出部３の動作について図４，
図５に基づき説明する。図４は容量検出部３の詳細回
路、図５は容量検出部３の動作を示すタイムチャートで
ある。図５中、（イ)〜(ホ）はそれぞれの動作を示す動
作波形である。これらの波形は制御部５で制御される。
図５に基づき説明する。図４は容量検出部３の詳細回
路、図５は容量検出部３の動作を示すタイムチャートで
ある。図５中、（イ)〜(ホ）はそれぞれの動作を示す動
作波形である。これらの波形は制御部５で制御される。
【００１８】スイッチ１５は通常オン状態（φＲ）にあ
り、容量Ｃｆであるコンデンサ１６を放電させ、演算増
幅器１７の出力ＶｃをＶＲ１にする。固定電極１１に印
加する第一の矩形波Ｖ１の立ち上がり、固定電極１２に
印加する第二の矩形波Ｖ２の立ち下がりにほぼ同期して
スイッチ１５がオフ状態になる。すると、Ｃ１は充電さ
れＣ２は放電される。この時、Ｃ１からＣｆに移動する
電荷Ｑ１（充放電時に流れる電流により電荷が移動する
ように見える）、及びＣ２からＣｆに移動する電荷Ｑ２
は次式のようになる。
り、容量Ｃｆであるコンデンサ１６を放電させ、演算増
幅器１７の出力ＶｃをＶＲ１にする。固定電極１１に印
加する第一の矩形波Ｖ１の立ち上がり、固定電極１２に
印加する第二の矩形波Ｖ２の立ち下がりにほぼ同期して
スイッチ１５がオフ状態になる。すると、Ｃ１は充電さ
れＣ２は放電される。この時、Ｃ１からＣｆに移動する
電荷Ｑ１（充放電時に流れる電流により電荷が移動する
ように見える）、及びＣ２からＣｆに移動する電荷Ｑ２
は次式のようになる。
【００１９】
【数１】 Ｑ１＝Ｃ１＊ＶＲ１ …（数１）
【００２０】
【数２】 Ｑ２＝−Ｃ２＊ＶＲ１ …（数２） ここで、ＶＲ１は第一の矩形波Ｖ１，第二の矩形波Ｖ２
の振幅値である。また、容量Ｃｆに蓄えられる電荷Ｑｆ
は、Ｑ１，Ｑ２の和になるから次式となる。
の振幅値である。また、容量Ｃｆに蓄えられる電荷Ｑｆ
は、Ｑ１，Ｑ２の和になるから次式となる。
【００２１】
【数３】 Ｑｆ＝Ｑ１＋Ｑ２ …（数３） さらに、容量Ｃｆの両端の電圧Ｖｆ，演算増幅器１７の
出力Ｖｃは次式となる。
出力Ｖｃは次式となる。
【００２２】
【数４】
【００２３】
【数５】
【００２４】この電圧Ｖｃを、サンプルホールド回路１
８のスイッチ１９を一定時間オン（φＳ）にし、コンデ
ンサ２０に充電し、演算増幅器１７の出力Ｖｃをサンプ
リングすることにより、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分△Ｃ
を電圧Ｖｓとして検出する。このことにより、加速度検
出部２に作用する加速度を電気的に検出することができ
る。さらに、電圧Ｖｓを増幅部４に入力し、オフセット
調整回路１０１，ゲイン調整回路１００で、所定の電圧
値Ｖｏに調整する。
８のスイッチ１９を一定時間オン（φＳ）にし、コンデ
ンサ２０に充電し、演算増幅器１７の出力Ｖｃをサンプ
リングすることにより、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分△Ｃ
を電圧Ｖｓとして検出する。このことにより、加速度検
出部２に作用する加速度を電気的に検出することができ
る。さらに、電圧Ｖｓを増幅部４に入力し、オフセット
調整回路１０１，ゲイン調整回路１００で、所定の電圧
値Ｖｏに調整する。
【００２５】なお、このような構成にすることにより、
加速度検出部２は、高加速度（例えば、±５０Ｇ：１Ｇ
＝９.８ｍ／ｓ２)を、高周波（例えば、２ｋＨｚ）まで
検出できる。また、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分を検出す
るため、加速度に比例し、温度特性に優れた出力電圧Ｖ
ｏを得ることができる。
加速度検出部２は、高加速度（例えば、±５０Ｇ：１Ｇ
＝９.８ｍ／ｓ２)を、高周波（例えば、２ｋＨｚ）まで
検出できる。また、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分を検出す
るため、加速度に比例し、温度特性に優れた出力電圧Ｖ
ｏを得ることができる。
【００２６】つまり、自動車の衝突によって生じる急激
な衝突加速度を検出することで自動車の衝突を検出でき
る。
な衝突加速度を検出することで自動車の衝突を検出でき
る。
【００２７】次に、半導体容量式加速度センサ１の自己
診断動作について図１，図２，図６，図７を基に説明す
る。図６は自己診断電圧Ｖｄを加速度検出部２へ印加し
た状態を示す。図７は加速度Ｇと自己診断電圧Ｖｄの関
係を示す特性図である。
診断動作について図１，図２，図６，図７を基に説明す
る。図６は自己診断電圧Ｖｄを加速度検出部２へ印加し
た状態を示す。図７は加速度Ｇと自己診断電圧Ｖｄの関
係を示す特性図である。
【００２８】加速度検出部２の可動電極７と固定電極１
２間へある自己診断電圧Ｖｄ１を印加すると、静電気力
により可動電極７は移動する。これは、加速度検出部２
へ加速度Ｇ１が加わった状態に等しくなる。また、自己
診断電圧Ｖｄ１を可動電極７と固定電極１１間へ印加す
れば、前述の加速度Ｇ１をプラスの加速度とすれば、マ
イナスの加速度−Ｇ１が加わった状態に等しくなる。
２間へある自己診断電圧Ｖｄ１を印加すると、静電気力
により可動電極７は移動する。これは、加速度検出部２
へ加速度Ｇ１が加わった状態に等しくなる。また、自己
診断電圧Ｖｄ１を可動電極７と固定電極１１間へ印加す
れば、前述の加速度Ｇ１をプラスの加速度とすれば、マ
イナスの加速度−Ｇ１が加わった状態に等しくなる。
【００２９】つまり、可動電極７と固定電極１２間と可
動電極７と固定電極１１間へ交互に自己診断電圧Ｖｄを
印加し、半導体容量式加速度センサ１の出力電圧Ｖｏを
モニタすることにより正負の加速度に対し自己診断をす
ることが可能となる。
動電極７と固定電極１１間へ交互に自己診断電圧Ｖｄを
印加し、半導体容量式加速度センサ１の出力電圧Ｖｏを
モニタすることにより正負の加速度に対し自己診断をす
ることが可能となる。
【００３０】ここで、図２を基に、ゲイン調整値（増幅
率）と自己診断電圧との関係を説明する。電圧制御部１
０２にて、ゲイン調整回路１００のゲイン調整値（増幅
率）Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３に対応した、自己診断電圧Ｖｄを
それぞれ、Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３に制御する。本実施
例の場合、増幅率が大きくなるほど自己診断電圧Ｖｄの
値を小さくする。
率）と自己診断電圧との関係を説明する。電圧制御部１
０２にて、ゲイン調整回路１００のゲイン調整値（増幅
率）Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３に対応した、自己診断電圧Ｖｄを
それぞれ、Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３に制御する。本実施
例の場合、増幅率が大きくなるほど自己診断電圧Ｖｄの
値を小さくする。
【００３１】一方、半導体容量式加速度センサ１の、通
常の加速度検出を検出するモードと自己診断モードの切
り替えは、図１に示すように、制御信号Ｓ１で与えられ
る。例えば、制御信号Ｓ１がローレベルの時は、スイッ
チＳＷ１をオンし、可動電極７と固定電極１１，１２間
へ交互に自己診断電圧Ｖｄを印加し、自己診断モードに
する。自己診断電圧Ｖｄは、可動電極７が十分応答する
低周波の矩形波信号の振幅値である。この場合、低周波
の矩形波信号は外部からクロック信号Ｓ２として入力さ
れる。制御信号Ｓ１がハイレベルの時は、スイッチＳＷ
１をオフし、比較的高周波の矩形波信号を固定電極１
１，１２に印加し、通常の加速度検出を検出するモード
にする。
常の加速度検出を検出するモードと自己診断モードの切
り替えは、図１に示すように、制御信号Ｓ１で与えられ
る。例えば、制御信号Ｓ１がローレベルの時は、スイッ
チＳＷ１をオンし、可動電極７と固定電極１１，１２間
へ交互に自己診断電圧Ｖｄを印加し、自己診断モードに
する。自己診断電圧Ｖｄは、可動電極７が十分応答する
低周波の矩形波信号の振幅値である。この場合、低周波
の矩形波信号は外部からクロック信号Ｓ２として入力さ
れる。制御信号Ｓ１がハイレベルの時は、スイッチＳＷ
１をオフし、比較的高周波の矩形波信号を固定電極１
１，１２に印加し、通常の加速度検出を検出するモード
にする。
【００３２】これらの動作から、加速度検出部２に直接
加速度を加えなくても、静電気力により強制的に可動電
極に変位を与え、等価的な加速度印加状態を得ることが
できる。よって、等価的な加速度とセンサの出力特性の
関係がもとまる。
加速度を加えなくても、静電気力により強制的に可動電
極に変位を与え、等価的な加速度印加状態を得ることが
できる。よって、等価的な加速度とセンサの出力特性の
関係がもとまる。
【００３３】ここで、コンデンサＣａ，Ｃｃは、ノイズ
キラーやフィルタ用、Ｃｂは、ローパスフィルタ用、Ｃ
ｄは、昇圧電圧用である。これらのコンデンサは、通常
電気回路として使用しているものである。
キラーやフィルタ用、Ｃｂは、ローパスフィルタ用、Ｃ
ｄは、昇圧電圧用である。これらのコンデンサは、通常
電気回路として使用しているものである。
【００３４】さらに、半導体容量式加速度センサ１は、
電源供給用の電源Ｖｃｃ，出力電圧Ｖｏ，回路のグラン
ドＧＮＤ，制御信号Ｓ１，クロック信号Ｓ２用のそれぞ
れの端子を備える。
電源供給用の電源Ｖｃｃ，出力電圧Ｖｏ，回路のグラン
ドＧＮＤ，制御信号Ｓ１，クロック信号Ｓ２用のそれぞ
れの端子を備える。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、ゲイン調整値（増幅
率）と連動して自己診断電圧を変えるように構成したた
め、自己診断特性のばらつきが小さく、正確なセンサの
自己診断を可能とし、常に高い信頼性を確保することが
可能となる。
率）と連動して自己診断電圧を変えるように構成したた
め、自己診断特性のばらつきが小さく、正確なセンサの
自己診断を可能とし、常に高い信頼性を確保することが
可能となる。
【図１】本発明の加速度センサのブロック図。
【図２】ゲイン調整値と自己診断電圧との関係を表す説
明図。
明図。
【図３】可動電極の変位に対する静電容量Ｃ１，Ｃ２及
びＣ１とＣ２の差分△Ｃの関係を示す特性図。
びＣ１とＣ２の差分△Ｃの関係を示す特性図。
【図４】容量検出部の回路図。
【図５】容量検出部の動作を示すタイミングチャート。
【図６】自己診断電圧Ｖｄを加速度検出部へ印加した状
態を示す説明図。
態を示す説明図。
【図７】加速度Ｇと自己診断電圧Ｖｄの関係を示す特性
図。
図。
１…半導体容量式加速度センサ、２…加速度検出部、３
…容量検出部、４…増幅部、５…制御部、７…可動電
極、８…シリコンカンチレバー、１１，１２…固定電
極、２１…カスタムＩＣ、２２…ハイブリッドＩＣ、１
００…ゲイン調整回路、１０１…オフセット調整回路、
１０２…電圧制御部。
…容量検出部、４…増幅部、５…制御部、７…可動電
極、８…シリコンカンチレバー、１１，１２…固定電
極、２１…カスタムＩＣ、２２…ハイブリッドＩＣ、１
００…ゲイン調整回路、１０１…オフセット調整回路、
１０２…電圧制御部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 仲沢 照美 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内 (72)発明者 松本 昌大 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 半沢 恵二 茨城県ひたちなか市高場2477番地 株式会 社日立カーエンジニアリング内
Claims (3)
- 【請求項１】センサのゲイン調整回路を備え、上記セン
サ自身の自己診断機能を有する加速度センサにおいて、
ゲイン調整値と連動して自己診断電圧を変えるように構
成したことを特徴とする加速度センサの自己診断方法。 - 【請求項２】センサのゲイン調整回路を備え、上記セン
サ自身の自己診断機能を有する加速度センサにおいて、
少なくとも一つのゲイン調整値を基準に、自己診断電圧
を変えるように構成したことを特徴とする加速度センサ
の自己診断方法。 - 【請求項３】請求項１または２において、上記自己診断
電圧は、上記センサ自身の自己診断に使用する加速度セ
ンサの自己診断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8255814A JPH10104267A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 加速度センサの自己診断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8255814A JPH10104267A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 加速度センサの自己診断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10104267A true JPH10104267A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17284004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8255814A Pending JPH10104267A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 加速度センサの自己診断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10104267A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521675A (ja) * | 1999-03-17 | 2003-07-15 | インプット／アウトプット，インコーポレーテッド | センサ |
| JP5304652B2 (ja) * | 2008-04-04 | 2013-10-02 | パナソニック株式会社 | 加速度センサ |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP8255814A patent/JPH10104267A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521675A (ja) * | 1999-03-17 | 2003-07-15 | インプット／アウトプット，インコーポレーテッド | センサ |
| JP5304652B2 (ja) * | 2008-04-04 | 2013-10-02 | パナソニック株式会社 | 加速度センサ |
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