JPH09236436A - 角速度センサの自己診断方法 - Google Patents
角速度センサの自己診断方法Info
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- JPH09236436A JPH09236436A JP8045035A JP4503596A JPH09236436A JP H09236436 A JPH09236436 A JP H09236436A JP 8045035 A JP8045035 A JP 8045035A JP 4503596 A JP4503596 A JP 4503596A JP H09236436 A JPH09236436 A JP H09236436A
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- velocity sensor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
Abstract
(57)【要約】
【課題】高度の信頼性を有する車両制御用の角速度セン
サの自己診断方法。 【解決手段】直交座標系第２軸方向に、振動質量を振動
駆動することにより機能を診断するか、または、振動質
量に直交座標系第１軸方向の駆動振幅を可変とすること
により機能を診断するか、または、振動質量に直交座標
系第３軸方向の力を印加し、振動質量の可動支持状態を
診断する自己診断方法。
サの自己診断方法。 【解決手段】直交座標系第２軸方向に、振動質量を振動
駆動することにより機能を診断するか、または、振動質
量に直交座標系第１軸方向の駆動振幅を可変とすること
により機能を診断するか、または、振動質量に直交座標
系第３軸方向の力を印加し、振動質量の可動支持状態を
診断する自己診断方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動状態の振動質
量に対して回転運動を与えた場合に、駆動方向と直交方
向に発生するコリオリ力を検出し前記回転の角速度を検
出する角速度センサに関する。
量に対して回転運動を与えた場合に、駆動方向と直交方
向に発生するコリオリ力を検出し前記回転の角速度を検
出する角速度センサに関する。
【０００２】
〈従来技術の構成〉従来、半導体を用いた角速度センサ
は、ＩＥＥＥ Micro Erectro MechanicalSystems,Flori
da(1993),p143〜p148に開示されており、これは、図１
９（ａ）、（ｂ）に示すような構成を有するものであ
る。以下、この構成について図１９を用いて説明する。
本従来技術は振動子は絶縁膜６を有するシリコン基板７
上に構成されている。振動系は振動質量１及び支持体２
から構成されている。振動質量１及び支持体２は結晶シ
リコン（またはポリシリコン）または鍍金法により堆積
した金属により構成されている。支持体２はアンカー部
３によってシリコン基板７に固定されている。またアン
カー部３において振動質量１及び支持体２への電気的接
続部が構成されている。図面の簡略化のため電気配線は
図示していない。振動質量１の側面には静電引力で振動
質量１を駆動するための櫛場電極５が構成されている。
振動質量１の直下には振動質量１のｙ軸方何の変位を静
電容量の変化として検出するための電極８が構成されて
いる。振動質量１は静電引力により駆動される。図１９
中の各電圧端子には例えば、図２０のタイムチャートに
示されるような電圧が印加される。その結果２つの振動
質量は基板面と平行なｘ軸方向に、逆位相で駆動され
る。この状態で振動質量１及び支持部２より構成される
振動系をｚ軸方向に角速度Ωで回転すると、振動質量１
にはｙ軸方向にコリオリ力が発生する。それぞれの振動
質量１に発生するコリオリ力は（数１）式で表わされ
る。
は、ＩＥＥＥ Micro Erectro MechanicalSystems,Flori
da(1993),p143〜p148に開示されており、これは、図１
９（ａ）、（ｂ）に示すような構成を有するものであ
る。以下、この構成について図１９を用いて説明する。
本従来技術は振動子は絶縁膜６を有するシリコン基板７
上に構成されている。振動系は振動質量１及び支持体２
から構成されている。振動質量１及び支持体２は結晶シ
リコン（またはポリシリコン）または鍍金法により堆積
した金属により構成されている。支持体２はアンカー部
３によってシリコン基板７に固定されている。またアン
カー部３において振動質量１及び支持体２への電気的接
続部が構成されている。図面の簡略化のため電気配線は
図示していない。振動質量１の側面には静電引力で振動
質量１を駆動するための櫛場電極５が構成されている。
振動質量１の直下には振動質量１のｙ軸方何の変位を静
電容量の変化として検出するための電極８が構成されて
いる。振動質量１は静電引力により駆動される。図１９
中の各電圧端子には例えば、図２０のタイムチャートに
示されるような電圧が印加される。その結果２つの振動
質量は基板面と平行なｘ軸方向に、逆位相で駆動され
る。この状態で振動質量１及び支持部２より構成される
振動系をｚ軸方向に角速度Ωで回転すると、振動質量１
にはｙ軸方向にコリオリ力が発生する。それぞれの振動
質量１に発生するコリオリ力は（数１）式で表わされ
る。
【０００３】 Ｆｃ(t)≒２ｍ・Ｖｍ(t)・Ω …（数１） ここで、ｍは振動質量１個当りの質量、Ｖｍ(t)静電引
力により駆動される振動質量１の速度である。Ｖｍ(t)
は各々の振動質量で常に逆符号であるため、発生するコ
リオリ力も各々の振動質量で常に逆符号となる。従って
各々の振動質量１と検出電極８間の静電容量値の差動値
より角速度Ωを検出する。
力により駆動される振動質量１の速度である。Ｖｍ(t)
は各々の振動質量で常に逆符号であるため、発生するコ
リオリ力も各々の振動質量で常に逆符号となる。従って
各々の振動質量１と検出電極８間の静電容量値の差動値
より角速度Ωを検出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】角速度センサを車載電
子システムに適用する場合には、小型、軽量、廉価で、
故障を未然に検知することができ、他の電子システムに
悪影響を及ぼさないことが重要である。上記従来技術は
小型で廉価の条件を一応備えているが、例えば、車載電
子システムとして角速度入力による車両の運動制御シス
テムを考えると、常時、角速度について入力を監視する
必要がある。従って前記のシステム動作時に角速度セン
サの故障が発生すると対処不可能となる。従って、角速
度センサの故障によるシステムへの悪影響を回避するた
めには、車両の停止時に角速度センサの自己診断を行な
い故障を未然に検知し、運転者に警告する必要がある。
子システムに適用する場合には、小型、軽量、廉価で、
故障を未然に検知することができ、他の電子システムに
悪影響を及ぼさないことが重要である。上記従来技術は
小型で廉価の条件を一応備えているが、例えば、車載電
子システムとして角速度入力による車両の運動制御シス
テムを考えると、常時、角速度について入力を監視する
必要がある。従って前記のシステム動作時に角速度セン
サの故障が発生すると対処不可能となる。従って、角速
度センサの故障によるシステムへの悪影響を回避するた
めには、車両の停止時に角速度センサの自己診断を行な
い故障を未然に検知し、運転者に警告する必要がある。
【０００５】前記従来技術の振動ジャイロにおける角速
度の検出は、振動質量の駆動軸方向の振動状態におい
て、検出軸方向に発生するコリオリ力による振動を検出
するものである。従って、駆動軸方向の振動振幅を監視
することにより、振動質量の動作が阻害される異常は直
ちに検出可能である。しかし、駆動軸方向には所定の振
幅で振動しているが、検出軸方向は、振動質量と基坂間
への可動ゴミの侵入などにより、所定振幅以上の振動が
阻害される場合は、従来の振動ジャイロでは容易に異常
状態を検出することは困難である。また、検出軸以外の
２軸方向の振動質量の振動範囲の直近に振動を阻害する
可動ゴミが存在する場合でも、角速度センサの故障を引
き起こす可能性がある。本発明は、上記のような状況を
直ちに検出し、角速度センサの故障を未然に検知可能な
角速度センサの自己診断方法を提供することを目的とし
てなされたものである。
度の検出は、振動質量の駆動軸方向の振動状態におい
て、検出軸方向に発生するコリオリ力による振動を検出
するものである。従って、駆動軸方向の振動振幅を監視
することにより、振動質量の動作が阻害される異常は直
ちに検出可能である。しかし、駆動軸方向には所定の振
幅で振動しているが、検出軸方向は、振動質量と基坂間
への可動ゴミの侵入などにより、所定振幅以上の振動が
阻害される場合は、従来の振動ジャイロでは容易に異常
状態を検出することは困難である。また、検出軸以外の
２軸方向の振動質量の振動範囲の直近に振動を阻害する
可動ゴミが存在する場合でも、角速度センサの故障を引
き起こす可能性がある。本発明は、上記のような状況を
直ちに検出し、角速度センサの故障を未然に検知可能な
角速度センサの自己診断方法を提供することを目的とし
てなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、振動質量のコリオリ力の検出軸方向の振動振幅を
所定の値に制御、または駆動振幅を動作時とは異なる値
に制御または振動質量の角速度入力軸方向に疑似力を印
加することにより、その電気機械系の機能診断を図るも
のである。すなわち本発明は、振動質量と、前記振動質
量を支持する支持部と、前記振動質量と静電的に結合し
た対向電極とを有し、前記振動質量を直交座標系第１軸
方向に駆動し、前記直交座標系第３軸方向の角速度が印
加された場合に、前記直交座標系第２軸方向に発生する
コリオリ力を検出する角速度センサにおいて、前記直交
座標系第２軸方向に、前記振動質量を振動駆動すること
により機能を診断するか、または、前記振動質量の前記
直交座標系第１軸方向の駆動振幅値を可変とすることに
より機能を診断するか、または、前記振動質量に前記直
交座標系第３軸方向の力を印加し、前記振動質量が可動
状態で支持されていることを診断することにより角速度
センサの自己診断を行なうものである。上記の構成によ
り、前記のようなゴミが侵入したとしても、支持体やア
ンカ部にマイクロクラックが発生したり、動作中に振動
系を破壊させることもなく、機能上の不具合を未然に検
知することができる。
めに、振動質量のコリオリ力の検出軸方向の振動振幅を
所定の値に制御、または駆動振幅を動作時とは異なる値
に制御または振動質量の角速度入力軸方向に疑似力を印
加することにより、その電気機械系の機能診断を図るも
のである。すなわち本発明は、振動質量と、前記振動質
量を支持する支持部と、前記振動質量と静電的に結合し
た対向電極とを有し、前記振動質量を直交座標系第１軸
方向に駆動し、前記直交座標系第３軸方向の角速度が印
加された場合に、前記直交座標系第２軸方向に発生する
コリオリ力を検出する角速度センサにおいて、前記直交
座標系第２軸方向に、前記振動質量を振動駆動すること
により機能を診断するか、または、前記振動質量の前記
直交座標系第１軸方向の駆動振幅値を可変とすることに
より機能を診断するか、または、前記振動質量に前記直
交座標系第３軸方向の力を印加し、前記振動質量が可動
状態で支持されていることを診断することにより角速度
センサの自己診断を行なうものである。上記の構成によ
り、前記のようなゴミが侵入したとしても、支持体やア
ンカ部にマイクロクラックが発生したり、動作中に振動
系を破壊させることもなく、機能上の不具合を未然に検
知することができる。
【０００７】
【発明の効果】本発明に係る角速度センサの自己診断を
実施することにより、予想される故障を未然に検出する
ことができるという効果が得られる。
実施することにより、予想される故障を未然に検出する
ことができるという効果が得られる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。 〈実施の形態１〉本実施の形態は、請求項１、請求項
４、及び、請求項６〜請求項１１に関連するものであ
る。
に基づいて説明する。 〈実施の形態１〉本実施の形態は、請求項１、請求項
４、及び、請求項６〜請求項１１に関連するものであ
る。
【０００９】図１、図２は、薄膜構造材で形成した角速
度センサの振動質量と対向電極部を示す平面模式図であ
る。図１、図２において、１６は振動質量で、後述する
ような支持部（図示せず）により支持され、振動質量１
６は、この支持部を介して共通電位に接続されている。
２０は振動質量の側面から延設した櫛歯電極である。櫛
歯電極２０には両側面に、それぞれ対向電極１８、１９
が、所定の電極間ギャップを隔てて対設されている。図
１では１本の櫛歯電極２０の両側面にそれぞれ対向電極
ｌ８、１９が対設されている。図２では１本の櫛歯電極
２０の一方の側面に対向電極１８、または１９が対向し
て一対で構成されている。対向電極１８、１９は接続部
１７において引き出し電極２１により周辺回路（図示せ
ず）に接続されている。対向電極１８、１９は、電気的
にそれぞれ独立しており、振動質量１６との間において
静電容量を構成している。図示したような振動質量１６
及び対向電極は、公知の技術により結晶シリコンまたは
多結晶シリコンを用いて形成可能である。通常、振動質
量及び対向電極の厚さは数μｍ程度である。
度センサの振動質量と対向電極部を示す平面模式図であ
る。図１、図２において、１６は振動質量で、後述する
ような支持部（図示せず）により支持され、振動質量１
６は、この支持部を介して共通電位に接続されている。
２０は振動質量の側面から延設した櫛歯電極である。櫛
歯電極２０には両側面に、それぞれ対向電極１８、１９
が、所定の電極間ギャップを隔てて対設されている。図
１では１本の櫛歯電極２０の両側面にそれぞれ対向電極
ｌ８、１９が対設されている。図２では１本の櫛歯電極
２０の一方の側面に対向電極１８、または１９が対向し
て一対で構成されている。対向電極１８、１９は接続部
１７において引き出し電極２１により周辺回路（図示せ
ず）に接続されている。対向電極１８、１９は、電気的
にそれぞれ独立しており、振動質量１６との間において
静電容量を構成している。図示したような振動質量１６
及び対向電極は、公知の技術により結晶シリコンまたは
多結晶シリコンを用いて形成可能である。通常、振動質
量及び対向電極の厚さは数μｍ程度である。
【００１０】図３及び図４は、薄膜構造材で形成した振
動質量２２の支持状態を示す平面図である。図３及び図
４では、図１に示した対向電極構造について例示した
が、図２の電極構造についても、同様に実現可能であ
る。振動質量２２は、四隅においても同じく薄膜構造材
で形成され、図３では、等しいバネ定数を有する支持部
２３によりｘ、ｙ両軸方向に接続されており、ｘ−ｙ平
面方向に変位可能で、かつ同じ共振周波数を有するよう
に構成されている。支持部２３はｘ、ｙ両軸に対して対
称に配置されている。支持部２３の振動質量２２と反対
側の端部は、固定部２４において基板に固定されると共
に、図示しない導電材と配線により電気的に接続されて
いる。図４の場合には支持部２６は、ｘ−ｙ平面内で変
位可能な複数の弾性構造体を、ｘ軸とｙ軸のなす角度を
２等分する軸方向に対称に配置して構成されている。こ
のような弾性構造体を備えるため、支持部２６は両軸方
向に等しいバネ定数を有し、支持された振動質量２２は
ｘ軸及びｙ軸方向に変位可能で、かつ同じ共振周波数を
有する。
動質量２２の支持状態を示す平面図である。図３及び図
４では、図１に示した対向電極構造について例示した
が、図２の電極構造についても、同様に実現可能であ
る。振動質量２２は、四隅においても同じく薄膜構造材
で形成され、図３では、等しいバネ定数を有する支持部
２３によりｘ、ｙ両軸方向に接続されており、ｘ−ｙ平
面方向に変位可能で、かつ同じ共振周波数を有するよう
に構成されている。支持部２３はｘ、ｙ両軸に対して対
称に配置されている。支持部２３の振動質量２２と反対
側の端部は、固定部２４において基板に固定されると共
に、図示しない導電材と配線により電気的に接続されて
いる。図４の場合には支持部２６は、ｘ−ｙ平面内で変
位可能な複数の弾性構造体を、ｘ軸とｙ軸のなす角度を
２等分する軸方向に対称に配置して構成されている。こ
のような弾性構造体を備えるため、支持部２６は両軸方
向に等しいバネ定数を有し、支持された振動質量２２は
ｘ軸及びｙ軸方向に変位可能で、かつ同じ共振周波数を
有する。
【００１１】次に、検出回路構成を図５によって説明す
る。図５において、図３、図４に示した独立した対向電
極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2と振動質量２２間の静電容量
をそれぞれＣＲ1、ＣＲ2、ＣＬ1、ＣＬ2とし、図５にお
ける点線で囲まれた部分２７は、振動質量を示し、ＣＲ
1、ＣＲ2、ＣＬ1、ＣＬ2の接続されたノ−ドが振動質量
の電位を表わし、支持部を介してこれを共通電位に接続
している。対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2はそれぞれ
等しいＤＣバイアス値Ｖbiasに保持される。図５では省
略したが、実際には図７に示すように、参照容量とＣＲ
1、ＣＲ2、ＣＬ1、ＣＬ2それぞれに平行に抵抗を接続し
て出力電圧のＤＣバイアス値を安定化させる。図７では
４つの容量のうち、１つによって模式的に示されてい
る。さらに対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2にはそれぞ
れ参照電気容量Ｃrefが接続されており、ＣＲ1、ＣＲ
2、ＣＬ1、ＣＬ2には参照電気容量Ｃrefを介して駆動電
圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-が印加される。従って対向電極
端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2にはＤＣバイアス値Ｖbiasと参
照電気容量Ｃrefを介した駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2
-の和が印加される。対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2
の電圧は、バッフア３０に入力されインピ−ダンス変換
を行なった後信号処理を行なう。
る。図５において、図３、図４に示した独立した対向電
極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2と振動質量２２間の静電容量
をそれぞれＣＲ1、ＣＲ2、ＣＬ1、ＣＬ2とし、図５にお
ける点線で囲まれた部分２７は、振動質量を示し、ＣＲ
1、ＣＲ2、ＣＬ1、ＣＬ2の接続されたノ−ドが振動質量
の電位を表わし、支持部を介してこれを共通電位に接続
している。対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2はそれぞれ
等しいＤＣバイアス値Ｖbiasに保持される。図５では省
略したが、実際には図７に示すように、参照容量とＣＲ
1、ＣＲ2、ＣＬ1、ＣＬ2それぞれに平行に抵抗を接続し
て出力電圧のＤＣバイアス値を安定化させる。図７では
４つの容量のうち、１つによって模式的に示されてい
る。さらに対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2にはそれぞ
れ参照電気容量Ｃrefが接続されており、ＣＲ1、ＣＲ
2、ＣＬ1、ＣＬ2には参照電気容量Ｃrefを介して駆動電
圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-が印加される。従って対向電極
端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2にはＤＣバイアス値Ｖbiasと参
照電気容量Ｃrefを介した駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2
-の和が印加される。対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2
の電圧は、バッフア３０に入力されインピ−ダンス変換
を行なった後信号処理を行なう。
【００１２】Ｒ1とＲ2及びＬ1とＬ2の電圧は加算器３１
によって加算された後、減算器３２により、差を求めこ
れをバイパスフィルタ３９を介して復調器３３に入力す
る。復調器３３において発振器３６と同期検出を行なっ
た後、ローパスフルタ３４を経て、一部は振動質量の自
励発振のために発振器３５に帰還され、他の一部は再
度、復調器３３に入力し、発振器３５と同期検出を行な
った後、ローパスフィルタ３４を経て振動質量の振幅情
報として制御回路３７に入力される。
によって加算された後、減算器３２により、差を求めこ
れをバイパスフィルタ３９を介して復調器３３に入力す
る。復調器３３において発振器３６と同期検出を行なっ
た後、ローパスフルタ３４を経て、一部は振動質量の自
励発振のために発振器３５に帰還され、他の一部は再
度、復調器３３に入力し、発振器３５と同期検出を行な
った後、ローパスフィルタ３４を経て振動質量の振幅情
報として制御回路３７に入力される。
【００１３】制御回路３７からは角速度に比例した出力
と、発振器３５に同期した電圧信号が出力される。発振
器３５に同期した電圧信号は一部はインバータ３８に入
力した後、一部はそのままに加算器３１に入力し、それ
ぞれの信号は発振器３６の出力と加算され、それらの出
力は参照電気容量Ｃrefに印加され振動質量を駆動す
る。
と、発振器３５に同期した電圧信号が出力される。発振
器３５に同期した電圧信号は一部はインバータ３８に入
力した後、一部はそのままに加算器３１に入力し、それ
ぞれの信号は発振器３６の出力と加算され、それらの出
力は参照電気容量Ｃrefに印加され振動質量を駆動す
る。
【００１４】Ｌ1とＲ1及びＬ2とＲ2の電圧は加算器３１
において加算された後、減算器３２において差を求めこ
れをバイパスフィル夕３９を介して復調器３３に入力す
る。復調器３３において発振器３６と同期検出を行なっ
た後、ローパスフィルタ３４を経て、再度復調器３３に
入力し、今度は発振器３５と同期検出を行なった後、ロ
ーパスフィルタ３４を経て振動質量のコリオリ力による
変位情報として制御回路３７に入力する。制御回路３７
はコントロ−ラ４４に接続されており、コントローラ４
４からの制御用出力により自己診断を開始し、制御出力
に対する応答信号を出力する。自己診断は後述のよう
に、イグニッションキ−ＳＷと運転席側のドアＳＷによ
りコントローラ４４おいてその時期を判断する。
において加算された後、減算器３２において差を求めこ
れをバイパスフィル夕３９を介して復調器３３に入力す
る。復調器３３において発振器３６と同期検出を行なっ
た後、ローパスフィルタ３４を経て、再度復調器３３に
入力し、今度は発振器３５と同期検出を行なった後、ロ
ーパスフィルタ３４を経て振動質量のコリオリ力による
変位情報として制御回路３７に入力する。制御回路３７
はコントロ−ラ４４に接続されており、コントローラ４
４からの制御用出力により自己診断を開始し、制御出力
に対する応答信号を出力する。自己診断は後述のよう
に、イグニッションキ−ＳＷと運転席側のドアＳＷによ
りコントローラ４４おいてその時期を判断する。
【００１５】制御回路３７は、例えば図８のようにして
実現される。変位情報と振幅情報は演算器４１に入力す
る。演算器４１において、通常動作時においては変位情
報は０レベルからの偏差に、振幅情報は設定した参照レ
ベルとの偏差に応じた駆動電圧の変調量を演算する。自
己診断時においては変位情報は設定した参照レベルから
の偏差に応じた駆動電圧の変調量を演算する。通常動作
時と自己診断時における参照レベルの変換は、コントロ
ーラ４４からの制御信号により切り替わるスイッチ４５
により行なう。図中で変調量は、変位情報に対しては
ａ、振幅情報に関してはｂとして示した。変調量ａは増
幅器４３を介して入力した角速度として出力される。さ
らに変調量ａは一部はそのまま、他の一部は、インバー
夕３８により符号を反転した後、加算器３１によって変
調量ｂと加算され、駆動電圧の変調量Δ1、Δ2が算出さ
れる。すなわち Δ1＝ａ＋ｂ …（数２） Δ2＝−ａ＋ｂ …（数３） である。算出された変調量Δ1、Δ2は振幅変調器４２に
入力され発振器３５の振幅をそれぞれに応じて変調し、
駆動電圧Ｖ1d、Ｖ2dを出力する。すなゎち、発振器３
５、の振幅をＶdとすると（数４）式、（数５）式のよ
うになる。 Ｖ1d＝Ｖd（１＋Δ1） …（数４） Ｖ2d＝Ｖd（１＋Δ2） …（数５） 制御回路３７により出力されたＶ1dは加算器３１にて発
振器３６の出力と加算され、Ｖ1として参照容量を介し
て振動質量に対向する電極Ｒ1（図１、図２）に印加さ
れる。Ｖ1dはまた、インバータ３８によって符号を反転
し、加算器３１にて発振器３６の出力と加算され、Ｖ2-
として参照容量を介して振動質量に対向する電極Ｌ２に
印加される。Ｖ2dは加算器３１にて発振器３６の出力と
加算され、Ｖ2として参照容量を介して振動質量に対向
する電極Ｌ1に印加される。Ｖ2dはまたインバータ３８
にて符号を反転し、加算器３ｌにて発振器３６の出力と
加算され、Ｖ1-として参照容量を介して振動質量に対向
する電極Ｒ2に印加される。
実現される。変位情報と振幅情報は演算器４１に入力す
る。演算器４１において、通常動作時においては変位情
報は０レベルからの偏差に、振幅情報は設定した参照レ
ベルとの偏差に応じた駆動電圧の変調量を演算する。自
己診断時においては変位情報は設定した参照レベルから
の偏差に応じた駆動電圧の変調量を演算する。通常動作
時と自己診断時における参照レベルの変換は、コントロ
ーラ４４からの制御信号により切り替わるスイッチ４５
により行なう。図中で変調量は、変位情報に対しては
ａ、振幅情報に関してはｂとして示した。変調量ａは増
幅器４３を介して入力した角速度として出力される。さ
らに変調量ａは一部はそのまま、他の一部は、インバー
夕３８により符号を反転した後、加算器３１によって変
調量ｂと加算され、駆動電圧の変調量Δ1、Δ2が算出さ
れる。すなわち Δ1＝ａ＋ｂ …（数２） Δ2＝−ａ＋ｂ …（数３） である。算出された変調量Δ1、Δ2は振幅変調器４２に
入力され発振器３５の振幅をそれぞれに応じて変調し、
駆動電圧Ｖ1d、Ｖ2dを出力する。すなゎち、発振器３
５、の振幅をＶdとすると（数４）式、（数５）式のよ
うになる。 Ｖ1d＝Ｖd（１＋Δ1） …（数４） Ｖ2d＝Ｖd（１＋Δ2） …（数５） 制御回路３７により出力されたＶ1dは加算器３１にて発
振器３６の出力と加算され、Ｖ1として参照容量を介し
て振動質量に対向する電極Ｒ1（図１、図２）に印加さ
れる。Ｖ1dはまた、インバータ３８によって符号を反転
し、加算器３１にて発振器３６の出力と加算され、Ｖ2-
として参照容量を介して振動質量に対向する電極Ｌ２に
印加される。Ｖ2dは加算器３１にて発振器３６の出力と
加算され、Ｖ2として参照容量を介して振動質量に対向
する電極Ｌ1に印加される。Ｖ2dはまたインバータ３８
にて符号を反転し、加算器３ｌにて発振器３６の出力と
加算され、Ｖ1-として参照容量を介して振動質量に対向
する電極Ｒ2に印加される。
【００１６】復調器３３における発振器３６による同期
検出は、図１０に示すようにＰＬＬ素子３９を用いて信
号の周波数を検知し、その周波数で同期検出を行なうホ
モダイン方式で検出を行なってもよい。また、復調器３
３において発振器３５で同期検出した信号を振幅情報、
変位情報として制御回路３７に入力しているが、これは
復調器３３を積分回路に置き換えてもよい。まず、振動
質量の駆動作用について述べる。参照電気容量Ｃrefを
介して対向電極Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2に電圧Ｖを印加する
と振動質量の駆動軸方向に（数６）式で示すような静電
引力Ｆdが発生する。
検出は、図１０に示すようにＰＬＬ素子３９を用いて信
号の周波数を検知し、その周波数で同期検出を行なうホ
モダイン方式で検出を行なってもよい。また、復調器３
３において発振器３５で同期検出した信号を振幅情報、
変位情報として制御回路３７に入力しているが、これは
復調器３３を積分回路に置き換えてもよい。まず、振動
質量の駆動作用について述べる。参照電気容量Ｃrefを
介して対向電極Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2に電圧Ｖを印加する
と振動質量の駆動軸方向に（数６）式で示すような静電
引力Ｆdが発生する。
【００１７】 Ｆd＝(−ｎ／２)・ε0・(ｔ／ｄ0)・Ｖ2 …（数６） 但し、 ｎ：振動質量の櫛歯電極に対向する電極数 ε0：誘電率 ｔ：櫛歯電極の厚さ ｄ0：電極間隔 を示し、負符号は電極の重なりが増すように駆動力が発
生することを示す。
生することを示す。
【００１８】電気容量のインビ−ダンスは（数７）式の
ように示される。
ように示される。
【００１９】 Ｚc＝(１／j)・ω・Ｃ …（数７） よって、図５のように参照容量Ｃrefを介して振動質量
にＡＣ駆動電圧を印加した場合、振動質量と対向電極間
の電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、ＣＲ2、ＣＬ2に印加されるＡ
Ｃ駆動電圧は（数８）式のように表される。
にＡＣ駆動電圧を印加した場合、振動質量と対向電極間
の電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、ＣＲ2、ＣＬ2に印加されるＡ
Ｃ駆動電圧は（数８）式のように表される。
【００２０】
【数８】
【００２１】但し Ｖ'：振動質量と対向電極間の電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、
ＣＲ2、ＣＬ2に印加されるＡＣ駆動電圧 Ｖ'drive：電気容量Ｃrefを介し印加する駆動電圧Ｖ1、
Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2- Ｃｓ：振動質量と対向電極間の電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、
ＣＲ2、ＣＬ2 従って、Ｃrefを、振動質量と対向電極間の電気容量Ｃ
Ｒ1、ＣＬ1、ＣＲ2、ＣＬ2よりを充分大きくすれば、駆
動電圧のＣrefにおける損失は殆ど無視することができ
る。また振動駆動により電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、ＣＲ
2、ＣＬ2が変化しても、印加されるＡＣ駆動電圧は、電
気容量Ｃrefを介したＡＣ駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2
-に比例する。実際上のＣＲ1、ＣＬ1、ＣＲ2、ＣＬ2の
値は〜ｐＦ程度であるので同一基板上においてもＣref
は容易に実現する。Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-に印加される
ＡＣ駆動電圧は、図５、図８に示したように、振動質量
の共振周波数と一致した周期を有する発振器３５の出力
を変調した信号と発振器３５より充分高い周期で、かつ
出力振幅の小さい発振器３６の出力の和を用いる。ＡＣ
駆動電圧の模式図を図１０に示す。
ＣＲ2、ＣＬ2に印加されるＡＣ駆動電圧 Ｖ'drive：電気容量Ｃrefを介し印加する駆動電圧Ｖ1、
Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2- Ｃｓ：振動質量と対向電極間の電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、
ＣＲ2、ＣＬ2 従って、Ｃrefを、振動質量と対向電極間の電気容量Ｃ
Ｒ1、ＣＬ1、ＣＲ2、ＣＬ2よりを充分大きくすれば、駆
動電圧のＣrefにおける損失は殆ど無視することができ
る。また振動駆動により電気容量ＣＲ1、ＣＬ1、ＣＲ
2、ＣＬ2が変化しても、印加されるＡＣ駆動電圧は、電
気容量Ｃrefを介したＡＣ駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2
-に比例する。実際上のＣＲ1、ＣＬ1、ＣＲ2、ＣＬ2の
値は〜ｐＦ程度であるので同一基板上においてもＣref
は容易に実現する。Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-に印加される
ＡＣ駆動電圧は、図５、図８に示したように、振動質量
の共振周波数と一致した周期を有する発振器３５の出力
を変調した信号と発振器３５より充分高い周期で、かつ
出力振幅の小さい発振器３６の出力の和を用いる。ＡＣ
駆動電圧の模式図を図１０に示す。
【００２２】振動質量に対向する電極Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、
Ｌ2に印加される電圧ＶＲ1、ＶＲ2、ＶＬ1、ＶＬ2はＤ
Ｃデバイス電圧と前述のＡＣ駆動電圧の和となり、それ
ぞれ（数９）式〜（数１２）式のように示される。
Ｌ2に印加される電圧ＶＲ1、ＶＲ2、ＶＬ1、ＶＬ2はＤ
Ｃデバイス電圧と前述のＡＣ駆動電圧の和となり、それ
ぞれ（数９）式〜（数１２）式のように示される。
【００２３】 ＶＲ1＝Ｖbias＋Ｃ・[Ｖd(1＋a＋b)・sinω1t＋Ｖc・sinω2t] …（数９） ＶＲ2＝Ｖbias＋Ｃ・[Ｖd(1−a＋b)・sinω2t＋Ｖc・sinω2t］ …（数１０） ＶＬ1＝Ｖbias＋Ｃ・[−Ｖd(1−a＋b)・sinω1t＋Ｖc・sinω2t] …（数１１） ＶＬ2＝Ｖbias＋Ｃ・[−Ｖd(1＋a＋b)・sinω1t＋Ｖc・sinω2t] …（数１２） 但し、Ｖbias：対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2のＤＣ
バイアス電圧 ω1：発振器３５の発振周波数 Ｖd：発振器３５の出力に比例する振幅 ω2：発振器３６の発振周波数 Ｖc：発振器３６の出力振幅 Ｃ ：参照容量Ｃrefによる駆動電圧降下を示す係数 （数９）式〜（数１２）式を（数６）式に代入して得ら
れる静電引力はＲ1及びＲ2と、Ｌ1及びＬ2とは互いに逆
方向となり、結果として、振動質量には（数１３）式に
示されるような静電駆動力が発生する。
バイアス電圧 ω1：発振器３５の発振周波数 Ｖd：発振器３５の出力に比例する振幅 ω2：発振器３６の発振周波数 Ｖc：発振器３６の出力振幅 Ｃ ：参照容量Ｃrefによる駆動電圧降下を示す係数 （数９）式〜（数１２）式を（数６）式に代入して得ら
れる静電引力はＲ1及びＲ2と、Ｌ1及びＬ2とは互いに逆
方向となり、結果として、振動質量には（数１３）式に
示されるような静電駆動力が発生する。
【００２４】 Ｆdrive∝Ｖbias・Ｖd・(１＋b)・sinω1t …（数１３） 但し、ω1より高周波数を有する駆動力は、ω1付近に共
振周波数を有する振動系に影響を与えないので無視し
た。（数１３）式から、変調量ｂにより駆動力の調整が
可能であることがわかる。
振周波数を有する振動系に影響を与えないので無視し
た。（数１３）式から、変調量ｂにより駆動力の調整が
可能であることがわかる。
【００２５】対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2と振動質
量間の静電容量をＣs、静止時の櫛歯電極の重なりを
Ｌ、櫛歯電極間隔をｄとすると、振動質量の駆動ｘ及び
コリオリ力による変位ｙによるＣsの変化は（数１４）
式のように示される。
量間の静電容量をＣs、静止時の櫛歯電極の重なりを
Ｌ、櫛歯電極間隔をｄとすると、振動質量の駆動ｘ及び
コリオリ力による変位ｙによるＣsの変化は（数１４）
式のように示される。
【００２６】
【数１４】
【００２７】但しＣｓ0：静止時の静電容量 対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2と振動質量間の静電容
量Ｃsが変化することにより、対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、
Ｌ1、Ｌ2のＡＣ電圧Ｖ'Ｒ1、Ｖ'Ｒ2、Ｖ'Ｌ1、Ｖ'Ｌ2
は、（数８）式、（数９）式〜（数１１）式、及び（数
１４）式から、それぞれ（数１５）式〜（数１８）式に
示される。但し、（ｘ／Ｌ）及び（ｙ／ｄ）の１次項の
みで展開した。
量Ｃsが変化することにより、対向電極端子Ｒ1、Ｒ2、
Ｌ1、Ｌ2のＡＣ電圧Ｖ'Ｒ1、Ｖ'Ｒ2、Ｖ'Ｌ1、Ｖ'Ｌ2
は、（数８）式、（数９）式〜（数１１）式、及び（数
１４）式から、それぞれ（数１５）式〜（数１８）式に
示される。但し、（ｘ／Ｌ）及び（ｙ／ｄ）の１次項の
みで展開した。
【００２８】 Ｖ'Ｒ1=(1/B)・[１-A・(x/L)+A・(y/d)]・[Ｖd(1+a+b)sinω1t+Ｖc・sinω2t] …（数１５） Ｖ'Ｒ2=(1/B)・[１-A・(x/L)-A・(y/d)]・[Ｖd(1-a+b)sinω1t+Ｖc・sinω2t] …（数１６） Ｖ'Ｌ1=(1/B)・[１-A・(x/L)+A・(y/d)]・[-Ｖd(1-a+b)sinω1t+Ｖc・sinω2t] …（数１７） Ｖ'Ｌ2=(1/B)・[１-A・(x/L)-A・(y/d)]・[-Ｖd(1+a+b)sinω1t+Ｖc・sinω2t] …（数１８） 但し
【００２９】
【数１９】
【００３０】
【数２０】
【００３１】Ｃr：参照容量である。
【００３２】振動質量の駆動によるＸ軸方向の変位は以
下のように求める。端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2はバッファ
３０に接続して低出力のインピーダンスとなり、それぞ
れの電圧Ｖ'Ｒ1、Ｖ'Ｒ2、Ｖ'Ｌ1、Ｖ'Ｌ2は加算器３１
にて加算の後、減算器３２により差を求める。その結果
は（数２１）式のように示される。図５ではＶ1で示し
た。Ｖ1の時間変化を図１１により模式的に示す。
下のように求める。端子Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2はバッファ
３０に接続して低出力のインピーダンスとなり、それぞ
れの電圧Ｖ'Ｒ1、Ｖ'Ｒ2、Ｖ'Ｌ1、Ｖ'Ｌ2は加算器３１
にて加算の後、減算器３２により差を求める。その結果
は（数２１）式のように示される。図５ではＶ1で示し
た。Ｖ1の時間変化を図１１により模式的に示す。
【００３３】 (Ｖ'Ｒ1＋Ｖ'Ｒ2)−(Ｖ'Ｌ1＋Ｖ'Ｌ2) ＝(4/B)・[Ｖd(1＋b)sinω1t−A・(x/L)Ｖc・sinω2t] …（数２１） 第１項はバイパスフィルタ３９を介して除去する。第１
項除去後における信号の模式図を図１２に示す。図５で
はｖ2で示した。ｖ2は復調器３３に入力し復調器３３に
て発振器３６と同期検出を行なう。同期検出後の信号を
図１３に示す。図５ではｖ3で示した。ｖ3はさらにロー
パスフィルタ３４にて平滑化を行なう。平滑化された信
号は発振器３５と同じ周期を有し、振幅は振動質量の駆
動振幅に比例した信号である。この信号を発振器３５に
帰還し自励発振させる。同時にＡＧＣ機能実現のため再
度、復調器３３にて発振器３５と同期検出を行なった
後、ローパスフィルタ３４にて平滑化を行ない、駆動電
圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の振幅を制御する制御回路３７
に入力する。振動質量のコリオリ力による変位ｙは以下
のように求める。発生するコリオリ力は（数１）式に示
すように、振動質量の振動速度に比例するため、本実施
の形態の場合、発振器３５と同じ周期で、信号の振幅は
コリオリ力による変位に比例する。
項除去後における信号の模式図を図１２に示す。図５で
はｖ2で示した。ｖ2は復調器３３に入力し復調器３３に
て発振器３６と同期検出を行なう。同期検出後の信号を
図１３に示す。図５ではｖ3で示した。ｖ3はさらにロー
パスフィルタ３４にて平滑化を行なう。平滑化された信
号は発振器３５と同じ周期を有し、振幅は振動質量の駆
動振幅に比例した信号である。この信号を発振器３５に
帰還し自励発振させる。同時にＡＧＣ機能実現のため再
度、復調器３３にて発振器３５と同期検出を行なった
後、ローパスフィルタ３４にて平滑化を行ない、駆動電
圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の振幅を制御する制御回路３７
に入力する。振動質量のコリオリ力による変位ｙは以下
のように求める。発生するコリオリ力は（数１）式に示
すように、振動質量の振動速度に比例するため、本実施
の形態の場合、発振器３５と同じ周期で、信号の振幅は
コリオリ力による変位に比例する。
【００３４】端子Ｒ1、Ｌ1、Ｒ2、Ｌ2は、バッファ３０
に接続して低出力インピーダンス化し、それぞれの電圧
Ｖ'Ｒ1とＶ'Ｌ1及びＶ'Ｒ2とＶ'Ｌ2を加算器３１にて加
算し減算器３２にて差を求める。その結果は（数２２）
式のように示される。
に接続して低出力インピーダンス化し、それぞれの電圧
Ｖ'Ｒ1とＶ'Ｌ1及びＶ'Ｒ2とＶ'Ｌ2を加算器３１にて加
算し減算器３２にて差を求める。その結果は（数２２）
式のように示される。
【００３５】 (Ｖ'Ｒ1＋Ｖ'Ｌ1)−(Ｖ'Ｒ2＋Ｖ'Ｌ2) ＝(4/B)・[Ｖd・a・sinω1t＋A・(y/d)・Ｖc・sinω2t] …（数２２） 第１項はハイパスフィルタ３９を介して除去する。第１
項除去後の信号の模式図を図１４に示す。図５ではｖ4
で示した。ｖ4は復調器３３にて発振器３６と同期検出
を行なう。同期検出後の信号を図１５に示す。図５では
ｖ5で示した。ｖ5はさらにローパスフィルタ３４にて平
滑化を行なう。平滑化された信号は発振器３５と同じ周
期で、振幅はコリオリ力による変位に比例した信号とな
る。再度、復調器３３に入力し、今度は発振器３５と同
期検出を行った後、ローパスフィルタ３４にて平滑化を
行なう。平滑化された信号はコリオリ力による振動質量
の変位に比例した信号となり、駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1
-、Ｖ2-の変調のため制御回路３７に入力される。復調
器３３における発振器３６による同期検出において図６
に示すようにＰＬＬ素子３９を用いて信号の周波数を検
知し、その周波数で同期検出を行なうホモダイン検出を
行なうことにより、より高精度な復調が可能となる。
項除去後の信号の模式図を図１４に示す。図５ではｖ4
で示した。ｖ4は復調器３３にて発振器３６と同期検出
を行なう。同期検出後の信号を図１５に示す。図５では
ｖ5で示した。ｖ5はさらにローパスフィルタ３４にて平
滑化を行なう。平滑化された信号は発振器３５と同じ周
期で、振幅はコリオリ力による変位に比例した信号とな
る。再度、復調器３３に入力し、今度は発振器３５と同
期検出を行った後、ローパスフィルタ３４にて平滑化を
行なう。平滑化された信号はコリオリ力による振動質量
の変位に比例した信号となり、駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1
-、Ｖ2-の変調のため制御回路３７に入力される。復調
器３３における発振器３６による同期検出において図６
に示すようにＰＬＬ素子３９を用いて信号の周波数を検
知し、その周波数で同期検出を行なうホモダイン検出を
行なうことにより、より高精度な復調が可能となる。
【００３６】次に、駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の変
調による振動質量の駆動振幅一定制御及びコリオリ力の
補償の方法について述べる。変調された駆動電圧Ｖ1、
Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の印加により振動質量と対向電極間に
は図１、図２の検出軸方向、すなわちｙ軸方向に数（２
３）式〜（数２６）式で示すような静電引力が発生す
る。
調による振動質量の駆動振幅一定制御及びコリオリ力の
補償の方法について述べる。変調された駆動電圧Ｖ1、
Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の印加により振動質量と対向電極間に
は図１、図２の検出軸方向、すなわちｙ軸方向に数（２
３）式〜（数２６）式で示すような静電引力が発生す
る。
【００３７】 ＦsVR1＝ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・(ＶＲ1)2 …（数２３） ＦsVR2＝−ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・(ＶＲ2)2 …（数２４） ＦsVL1＝ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・(ＶＬ1)2 …（数２５） ＦsVL2＝−ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・(ＶＬ2)2 …（数２６） 但し、 ｍ：対向電極対数 ε0：誘電率 Ｌ：電極の対向する長さ ｔ：電極の厚さ （数８）式〜（数１１）式を代入すると、ｙ軸方向に発
生する静電引力は（数２７）式のようになる。
生する静電引力は（数２７）式のようになる。
【００３８】ＦsTotal≒ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・Ｖbias・Ｃ・
Ｖd・４a・sinω1t …（数２７）また、駆動軸方向、す
なわちＸ軸方向に発生する駆動力は、前述の（数１３）
式を書き下すと（数２８）式のようになる。
Ｖd・４a・sinω1t …（数２７）また、駆動軸方向、す
なわちＸ軸方向に発生する駆動力は、前述の（数１３）
式を書き下すと（数２８）式のようになる。
【００３９】 Ｆdrive≒ε0ｍ・(t／d0)・Ｖbias・Ｃ・４Ｖd(1＋b） …（数２８） 駆動軸方向及び検出軸方向ともに共振状態であれば、発
生するコリオリ力と（数２７）式による静電引力は同位
相となり、変調量ａの調整のみでコリオリ力の補償が可
能である。また、振動質量の駆動振幅が外乱入力等の影
響により変化が発生した場合は、変調量ｂにより（数２
８）式のように駆動力を変化させ、振幅をコントロール
することができる。
生するコリオリ力と（数２７）式による静電引力は同位
相となり、変調量ａの調整のみでコリオリ力の補償が可
能である。また、振動質量の駆動振幅が外乱入力等の影
響により変化が発生した場合は、変調量ｂにより（数２
８）式のように駆動力を変化させ、振幅をコントロール
することができる。
【００４０】さらに、（数２７）、（数２８）式より明
らかなように、コリオリ力の補償と振動質量の駆動振幅
一定制御は、それぞれ変調量ａ、ｂの調整によりそれぞ
れ独立に実行可能である。
らかなように、コリオリ力の補償と振動質量の駆動振幅
一定制御は、それぞれ変調量ａ、ｂの調整によりそれぞ
れ独立に実行可能である。
【００４１】制御回路３７においては、振動質量の振幅
情報とコリオリ力による変位情報を同時に入力すること
により、前述の駆動電圧変調を行ない、駆動振幅の均一
化とコリオリ力の補償を同時に実現することができ、簡
易な構造の角速度センサでより高精度な検出が可能であ
る。
情報とコリオリ力による変位情報を同時に入力すること
により、前述の駆動電圧変調を行ない、駆動振幅の均一
化とコリオリ力の補償を同時に実現することができ、簡
易な構造の角速度センサでより高精度な検出が可能であ
る。
【００４２】角速度センサの自己診断は、運転者が車両
を停止している状態から始動を開始する時点で実行され
る。車両停止の判断は、例えば、イグニッションキーが
ロック位置で、かつ、運転席のドアロックＳＷがオフで
あることから判断される。従って自己診断は、図１８に
示すように、イグニッションキーがロック位置で、かつ
運転席のドアロックＳＷがオフからオンに変化する時点
で実行すればよく、図８におけるコントローラ４４で判
断される。自己診断時の制御回路３７における駆動電圧
Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の変調は以下のようにして行なわ
れる。自己診断時にはコントローラ４４の制御入力によ
り、スイッチ４５の切り替えを行ない、演算器４１にお
いて変位情報は、設定した参照レベルからの偏差に応じ
た駆動電圧の変調量ａ'を演算する。
を停止している状態から始動を開始する時点で実行され
る。車両停止の判断は、例えば、イグニッションキーが
ロック位置で、かつ、運転席のドアロックＳＷがオフで
あることから判断される。従って自己診断は、図１８に
示すように、イグニッションキーがロック位置で、かつ
運転席のドアロックＳＷがオフからオンに変化する時点
で実行すればよく、図８におけるコントローラ４４で判
断される。自己診断時の制御回路３７における駆動電圧
Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の変調は以下のようにして行なわ
れる。自己診断時にはコントローラ４４の制御入力によ
り、スイッチ４５の切り替えを行ない、演算器４１にお
いて変位情報は、設定した参照レベルからの偏差に応じ
た駆動電圧の変調量ａ'を演算する。
【００４３】従って（数９）式〜（数１２〕式に示した
ように駆動電圧を変調し、変調ａ'を印加することによ
り、（数２９）式に示すように振動質量の駆動振幅に影
響を与えることなく静電引力よる疑似コリオリ力Ｆ'cを
発生することができる。 Ｆ'c≒ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・Ｖbias・Ｃ・Ｖd・４a'・sinω1t …（数２９） 自己診断時の出力は、変調量ａ'に比例した出力とな
る。出力は演算器で設定した参照レベルにより決定する
ので、出力をモニタすることにより検出軸方向の電気−
機械振動系及び検出回路の機能を診断することができ
る。機能の診断はコントローラ４４で行ない、その結果
は判定出力として出力される。さらに参照レベルを複数
設定すれば、各レベルをコントローラ４４からの制御出
力により切り替え、それぞれの出力をモニタすることに
より、より高精度の自己診断機能を実現することができ
る。
ように駆動電圧を変調し、変調ａ'を印加することによ
り、（数２９）式に示すように振動質量の駆動振幅に影
響を与えることなく静電引力よる疑似コリオリ力Ｆ'cを
発生することができる。 Ｆ'c≒ε0ｍ・(Ｌt／d0 2)・Ｖbias・Ｃ・Ｖd・４a'・sinω1t …（数２９） 自己診断時の出力は、変調量ａ'に比例した出力とな
る。出力は演算器で設定した参照レベルにより決定する
ので、出力をモニタすることにより検出軸方向の電気−
機械振動系及び検出回路の機能を診断することができ
る。機能の診断はコントローラ４４で行ない、その結果
は判定出力として出力される。さらに参照レベルを複数
設定すれば、各レベルをコントローラ４４からの制御出
力により切り替え、それぞれの出力をモニタすることに
より、より高精度の自己診断機能を実現することができ
る。
【００４４】以上述べたように本実施の形態において
は、新たに構造を付加することなく、駆動電圧を変調す
るコリオリ力の補償機能を用いて、検出軸正負方向の疑
似コリオリ力を発生し、これに相当する出力をモニタす
ることにより、角速度センサの自己診断機能を実現する
ことができる。また、疑似入力の値を任意の値に設定す
ることにより、所望の範囲で振動質量の検出軸方向の変
位が確保されていることを確認できる。
は、新たに構造を付加することなく、駆動電圧を変調す
るコリオリ力の補償機能を用いて、検出軸正負方向の疑
似コリオリ力を発生し、これに相当する出力をモニタす
ることにより、角速度センサの自己診断機能を実現する
ことができる。また、疑似入力の値を任意の値に設定す
ることにより、所望の範囲で振動質量の検出軸方向の変
位が確保されていることを確認できる。
【００４５】〈実施の形態２〉本実施の形態は、請求項
２、請求項５、請求項６〜請求項１１に関連するもので
ある。角速度センサの構成は実施の形態１と同一であ
る。検出回路構成は、制御回路３７のみが実施の形態１
と相違しており、図８に示した実施の形態１と相違する
部分のみについて記述する。実施の形態２における制御
回路３７は、例えば、図９のようにして実現する。変位
情報と振幅情報は演算器４１に入力する。演算器４１に
おいて、通常動作時においては変位情報は０レベルから
の偏差に、振動質量の駆動振幅情報は設定した参照レベ
ルとの偏差に応じた駆動電圧の変調量を演算する。自己
診断時においては、振動質量の駆動振幅情報は、別に設
定した参照レベルからの偏差に応じた駆動電圧の変調量
を演算する。また、コリオリ力補償のための変調量ａを
出力１（応答１）として、振動振幅制御のための変調量
ｂを出力２（応答２）として出力する。
２、請求項５、請求項６〜請求項１１に関連するもので
ある。角速度センサの構成は実施の形態１と同一であ
る。検出回路構成は、制御回路３７のみが実施の形態１
と相違しており、図８に示した実施の形態１と相違する
部分のみについて記述する。実施の形態２における制御
回路３７は、例えば、図９のようにして実現する。変位
情報と振幅情報は演算器４１に入力する。演算器４１に
おいて、通常動作時においては変位情報は０レベルから
の偏差に、振動質量の駆動振幅情報は設定した参照レベ
ルとの偏差に応じた駆動電圧の変調量を演算する。自己
診断時においては、振動質量の駆動振幅情報は、別に設
定した参照レベルからの偏差に応じた駆動電圧の変調量
を演算する。また、コリオリ力補償のための変調量ａを
出力１（応答１）として、振動振幅制御のための変調量
ｂを出力２（応答２）として出力する。
【００４６】実施の形態１と同様に、角速度センサの自
己診断は、運転者が車両を停止している状態から始動を
開始する時点で実行される。自己診断時の制御回路３７
における駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の変調は以下の
ようにして行なわれる。自己診断時にはコントローラ４
４の制御入力により、スイッチ４５の切り替えを行な
い、演算器４１において振動質量の駆動振幅情報は、動
作時とは別に設定した参照レベルからの偏差に応じた駆
動電圧の変調量ｂ'を演算する。変調量ｂ'により、（数
９）式〜（数１２）式に示したように駆動電圧を変調し
変調量ｂ'を印加することにより（数３０）式のよう
に、振動質量に検出軸力方向の静電力を発生することな
く駆動力を変化させ、振幅を動作時とは別の振幅にコン
トロ−ルすることができる。 Ｆ'drive≒ε0ｍ・(t／d0)・Ｖbias・Ｃ・４Ｖd（１＋ｂ） …（数３０） 自己診断時の出力２は変調量ｂ'に比例した出力とな
る。出力は演算器で設定した参照レベルにより決定する
ので、出力をモニタすることにより駆動軸方向の電気−
機械振動系及び検出回路の機能を診断することができ
る。機能の診断はコントローラに４４で行ない、その結
果は判定出力として出力される。さらに参照レベルを複
数設定にすれば、各レベルをコントローラ４４からの制
御出力により切り替え、各々の出力をモニタすることに
より、より高度の自己診断機能が実現できる。
己診断は、運転者が車両を停止している状態から始動を
開始する時点で実行される。自己診断時の制御回路３７
における駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-の変調は以下の
ようにして行なわれる。自己診断時にはコントローラ４
４の制御入力により、スイッチ４５の切り替えを行な
い、演算器４１において振動質量の駆動振幅情報は、動
作時とは別に設定した参照レベルからの偏差に応じた駆
動電圧の変調量ｂ'を演算する。変調量ｂ'により、（数
９）式〜（数１２）式に示したように駆動電圧を変調し
変調量ｂ'を印加することにより（数３０）式のよう
に、振動質量に検出軸力方向の静電力を発生することな
く駆動力を変化させ、振幅を動作時とは別の振幅にコン
トロ−ルすることができる。 Ｆ'drive≒ε0ｍ・(t／d0)・Ｖbias・Ｃ・４Ｖd（１＋ｂ） …（数３０） 自己診断時の出力２は変調量ｂ'に比例した出力とな
る。出力は演算器で設定した参照レベルにより決定する
ので、出力をモニタすることにより駆動軸方向の電気−
機械振動系及び検出回路の機能を診断することができ
る。機能の診断はコントローラに４４で行ない、その結
果は判定出力として出力される。さらに参照レベルを複
数設定にすれば、各レベルをコントローラ４４からの制
御出力により切り替え、各々の出力をモニタすることに
より、より高度の自己診断機能が実現できる。
【００４７】以上述べたように本実施の形態において
は、動作時とは異なった振幅に振動質量の駆動振幅を制
御、特に動作時より大きい振幅に制御することにより、
振動質量の周辺の振動を妨げる障害物の存在を未然に検
出することができる。例えば、角速度センサを車両用に
適用する場合、本実施の形態による自己診断をエンジン
始動直後に実施すれば、車両の走行開始前にその機能の
診断ができ角速度センサの信頼性をより一層向上させる
ことができる。
は、動作時とは異なった振幅に振動質量の駆動振幅を制
御、特に動作時より大きい振幅に制御することにより、
振動質量の周辺の振動を妨げる障害物の存在を未然に検
出することができる。例えば、角速度センサを車両用に
適用する場合、本実施の形態による自己診断をエンジン
始動直後に実施すれば、車両の走行開始前にその機能の
診断ができ角速度センサの信頼性をより一層向上させる
ことができる。
【００４８】〈実施の形態３〉本実施の形態は、特に請
求項３に関連する。角速度センサの構成については、平
面図は実施の形態１、実施の形態２と概ね同様である
が、断面図のみ一部相違するのでこれを図１６に示す。
１６は振動質量で、１７、１８は対向電極である。振動
質量１６は基板７上に、所定間隔を隔てて図示しない支
持部に支持されている。基板７表面には絶縁膜４７が形
成されおり、絶縁膜上に疑似力印加用電極４６が形成さ
れている。
求項３に関連する。角速度センサの構成については、平
面図は実施の形態１、実施の形態２と概ね同様である
が、断面図のみ一部相違するのでこれを図１６に示す。
１６は振動質量で、１７、１８は対向電極である。振動
質量１６は基板７上に、所定間隔を隔てて図示しない支
持部に支持されている。基板７表面には絶縁膜４７が形
成されおり、絶縁膜上に疑似力印加用電極４６が形成さ
れている。
【００４９】検出回路構成は実施の形態１、実施の形態
２（図５）と同じであるが、自己診断時には一部信号処
理を追加する。自己診断時の信号処理回路を図１７に示
し、同図の点線部分により、図５との差異についてのみ
述べる。自己診断は発振器３５の出力をオフにして実行
する。従って駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-は発振器３
６の出力のみになる。対向電極Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2の電
圧ＶＲ1、ＶＲ2、ＶＬ1、ＶＬ2を全て加算器３１にて加
算する。その後この信号をバイパスフイルタ３９を介し
て復調器３３に入力し、発振器３６と同期した復調を行
なう。復調信号はローパスフィルタを介してコントロ−
ラ４４に入力する。コントローラ４４からは疑似入力印
加用電極４６への電圧も出力される。
２（図５）と同じであるが、自己診断時には一部信号処
理を追加する。自己診断時の信号処理回路を図１７に示
し、同図の点線部分により、図５との差異についてのみ
述べる。自己診断は発振器３５の出力をオフにして実行
する。従って駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-は発振器３
６の出力のみになる。対向電極Ｒ1、Ｒ2、Ｌ1、Ｌ2の電
圧ＶＲ1、ＶＲ2、ＶＬ1、ＶＬ2を全て加算器３１にて加
算する。その後この信号をバイパスフイルタ３９を介し
て復調器３３に入力し、発振器３６と同期した復調を行
なう。復調信号はローパスフィルタを介してコントロ−
ラ４４に入力する。コントローラ４４からは疑似入力印
加用電極４６への電圧も出力される。
【００５０】角速度センサの自己診断は、実施の形態１
と同様に車両が停止している状態から始動を開始する時
点で実行され、自己診断は発振器３５の出力をオフにし
て実行する。コントローラ４４からは、疑似入力印加用
電極４６へ電圧印加することにより、振動質量１６には
図１６（ａ）、（ｂ）に示すように、静電引力が印加さ
れて振動質量は基板方向に変位する。この結果、対向電
極１７、１８と振動質量の櫛歯電極２０の対向電極が振
動質量の変位に応じて変化し、電気容量ＣＲ1、ＣＲ2、
ＣＬ1、ＣＬ2は減少する。電気容量ＣＲ1、ＣＲ2、ＣＬ
1、ＣＬ2の減少量は、駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-に
発振器３６の出力を印加し、ＶＲ1、ＶＲ2、ＶＬ1、Ｖ
Ｌ2を発振器３６と同期して復調することにより得られ
る。したがって、復調量から振動質量の変位量が求めら
れる。よってコントロ−ラで印加電圧と変位量を監視す
ることにより、振動質量が支持体に可動状態で支持され
ているかの診断ができる。以上述べたように、本実施の
形態においては、振動質量がｘ、ｙ、ｚ軸の３軸方向に
変位可能であるため、発振器３５の出力をオフの状態、
すなわち振動質量が振動していない状態でも支持状態の
診断が可能である。また、比較的簡単な回路により、支
持状態が確認できるため製造工程時の検査手法としても
応用が可能である。
と同様に車両が停止している状態から始動を開始する時
点で実行され、自己診断は発振器３５の出力をオフにし
て実行する。コントローラ４４からは、疑似入力印加用
電極４６へ電圧印加することにより、振動質量１６には
図１６（ａ）、（ｂ）に示すように、静電引力が印加さ
れて振動質量は基板方向に変位する。この結果、対向電
極１７、１８と振動質量の櫛歯電極２０の対向電極が振
動質量の変位に応じて変化し、電気容量ＣＲ1、ＣＲ2、
ＣＬ1、ＣＬ2は減少する。電気容量ＣＲ1、ＣＲ2、ＣＬ
1、ＣＬ2の減少量は、駆動電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ1-、Ｖ2-に
発振器３６の出力を印加し、ＶＲ1、ＶＲ2、ＶＬ1、Ｖ
Ｌ2を発振器３６と同期して復調することにより得られ
る。したがって、復調量から振動質量の変位量が求めら
れる。よってコントロ−ラで印加電圧と変位量を監視す
ることにより、振動質量が支持体に可動状態で支持され
ているかの診断ができる。以上述べたように、本実施の
形態においては、振動質量がｘ、ｙ、ｚ軸の３軸方向に
変位可能であるため、発振器３５の出力をオフの状態、
すなわち振動質量が振動していない状態でも支持状態の
診断が可能である。また、比較的簡単な回路により、支
持状態が確認できるため製造工程時の検査手法としても
応用が可能である。
【００５１】本発明においては、振動質量と、前記振動
質量を支持する支持部と、前記振動質量に対向した対向
電極とを有し、前記振動質量を直交座標系第１軸方向に
駆動し、前記直交座標系の第３軸方向の角速度が印加さ
れた場合に、前記直交座標系第２軸方何に発生するコリ
オリ力を検出する角速度センサにおいて、前記直交座標
系第２軸方向に前記振勧質量を振動駆動することにより
機能を診断するか、または、前記振動質量の前記直交座
標系第ｌ軸方向の駆動振幅値を可変とすることにより、
機能を診断するか、または、前記振動質量に前記直交座
標系第３軸方向の力を印加し、前記振動質量が可動状態
で支持されていることを診断することにより角速度セン
サの自己診断機能を実現している。
質量を支持する支持部と、前記振動質量に対向した対向
電極とを有し、前記振動質量を直交座標系第１軸方向に
駆動し、前記直交座標系の第３軸方向の角速度が印加さ
れた場合に、前記直交座標系第２軸方何に発生するコリ
オリ力を検出する角速度センサにおいて、前記直交座標
系第２軸方向に前記振勧質量を振動駆動することにより
機能を診断するか、または、前記振動質量の前記直交座
標系第ｌ軸方向の駆動振幅値を可変とすることにより、
機能を診断するか、または、前記振動質量に前記直交座
標系第３軸方向の力を印加し、前記振動質量が可動状態
で支持されていることを診断することにより角速度セン
サの自己診断機能を実現している。
【図１】本発明に係る実施の形態１の角速度センサ
（ａ）を示す平面図である。
（ａ）を示す平面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態１の角速度センサ
（ｂ）を示す平面図である。
（ｂ）を示す平面図である。
【図３】本発明に係る実施の形態１の角速度センサの支
持平面図（ａ）である。
持平面図（ａ）である。
【図４】本発明に係る実施の形態１の角速度センサの支
持平面図（ｂ）である。
持平面図（ｂ）である。
【図５】本発明に係る実施の形態１の角速度センサの検
出回路を示す図である。
出回路を示す図である。
【図６】本発明に係るＰＬＬ素子によるホモダイン検出
方式を示す図である。
方式を示す図である。
【図７】本発明に係る検出電極の等価回路図である。
【図８】本発明に係る角速度センサの自己診断回路の実
施の形態１を示す図である。
施の形態１を示す図である。
【図９】本発明に係る角速度センサの自己診断回路の実
施の形態２を示す図である。
施の形態２を示す図である。
【図１０】本発明に係る振動質量の駆動電圧の発生を示
す図である。
す図である。
【図１１】図５のＶ1における信号の時間変化を示す模
式図である。
式図である。
【図１２】図５のＶ2における信号の時間変化を示す模
式図である。
式図である。
【図１３】図５のＶ3における信号の時間変化を示す模
式図である。
式図である。
【図１４】図５のＶ4における信号の時間変化を示す模
式図である。
式図である。
【図１５】図５のＶ5における信号の時間変化を示す模
式図である。
式図である。
【図１６】本発明に係る角速度センサの実施の形態３の
断面模式図である。
断面模式図である。
【図１７】本発明に係る角速度センサの自己診断回路の
実施の形態３を示す図である。
実施の形態３を示す図である。
【図１８】自己診断の実行夕イミングを示す図である。
【図１９】従来の角速度センサの平面模式図（ａ）、同
断面模式図（ｂ）である。
断面模式図（ｂ）である。
【図２０】図１９の端子における信号の時間変化を示す
模式図である。
模式図である。
１…振動質量 ２…支持体 ３…アンカー部 ６…絶縁膜 ５、１８、１９、２０…櫛歯電極 ７…基板 ８…検出電極 １６、２７…振動質量 １７…接続部 ２１…引き出し電極 ２２…振動質量 ２３、２６…支持部 ２４…固定部 ２５…電極部 ２８…検出電気容量 ２９…参照電気容量 ３０…バッファ ３１…加算器 ３２…減算器 ３３…復調器 ３４…ローパスフィルタ ３５、３６…発振器 ３７…制御回路 ３８…インバー夕 ３９…バイパスフィルタ ４０…理想ダイオ−
ド回路 ４１…演算器 ４２…振幅変調器 ４３…増幅器 ４４…コントロ−ラ ４５…スイッチ ４６…疑似力印加電極 ４７…絶縁膜
ド回路 ４１…演算器 ４２…振幅変調器 ４３…増幅器 ４４…コントロ−ラ ４５…スイッチ ４６…疑似力印加電極 ４７…絶縁膜
Claims (11)
- 【請求項１】振動質量と、前記振動質量を支持する支持
部と、前記振動質量と静電的に結合した対向電極とを有
し、前記振動質量を直交座標系の第１軸方向に駆動し、
前記直交座標系の第３軸まわりの角速度が印加された場
合に、前記直交座標系の第２軸方向に発生するコリオリ
力を検出する角速度センサにおいて、 前記直交座標系の第２軸軸方向に、前記振動質量を振動
駆動することにより、前記角速度センサの機能診断を行
なうことを特徴とする角速度センサの自己診断方法。 - 【請求項２】前記振動質量の前記直交座標系の第１軸方
向の駆動振幅を可変とすることにより、前記角速度セン
サの機能を診断することを特徴とする請求項１記載の角
速度センサの自己診断方法。 - 【請求項３】前記振動質量に前記直交座標系の第３軸方
向の力を印加し、前記振動質量の可動支持状態を診断す
ることを特徴とする請求項１記載の角速度センサの自己
診断方法。 - 【請求項４】前記振動質量を直交座標系の第１軸方向に
一定振幅で振動の駆動制御を行なう駆動制御手段と、 前記直交座標系の第３軸まわりの角速度が印加された場
合に、前記直交座標系の第２軸方向に発生するコリオリ
力を補償する補償手段と、 前記コリオリ力を補償する補償量から角速度を検出する
手段を有し、 前記コリオリ力の補償手段を用いて、前記直交座標系の
第２軸方向に、前記振動質量を一定振幅に振動駆動制御
することにより、前記角速度センサの機能を診断するこ
とを特徴とする請求項１記載の角速度センサの自己診断
方法。 - 【請求項５】前記振動質量を直交座標系の第１軸方向に
一定振幅で振動の駆動制御を行なう駆動制御手段と、 前記直交座標系の第３軸まわりの角速度が印加された場
合に、前記直交座標系の第２軸方向に発生するコリオリ
力を補償する補償手段と、 前記コリオリ力を補償する補償量から角速度を検出する
手段を有し、 前記振動質量の前記直交座標系の第１軸方向に駆動制御
される前記駆動振幅を可変とすることにより、前記角速
度センサの機能を診断することを特徴とする請求項１記
載の角速度センサの自己診断方法。 - 【請求項６】前記振動質量と前記支持部は、共通電位に
接続され、 前記コリオリ力を補償する補償手段は、静電引力を用い
ることを特徴とする請求項４〜請求項５の何れか１項に
記載の角速度センサの自己診断方法。 - 【請求項７】前記振動質量と前記支持部は、共通電位に
接続され、 前記振動質量の駆動は、静電引力を用いることを特徴と
する請求項４〜請求項５の何れか１項に記載の角速度セ
ンサの自己診断方法。 - 【請求項８】前記支持部は、前記直交座標系の第１軸と
第２軸の方向に対称に配置され、前記第１軸方向並びに
第２軸方向に対し、等しいバネ定数を有する少なくとも
２つの支持体によって形成されていることを特徴とする
請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の角速度センサ
の自己診断方法。 - 【請求項９】前記支持部は、半導体の基板主面内で変位
変形可能であり、 前記基板主面内の前記第１軸と第２軸のなす角度を２等
分する軸に関して対称な構造を有し、 前記第１軸及び第２軸方向に対して等しいバネ定数を有
することを特徴とする請求項８記載の角速度センサの自
己診断方法。 - 【請求項１０】前記対向電極は、電気的に独立した少な
くとも４つの電極で構成され、これら電極のうち少なく
とも２つの電極に同時に駆動電圧Ｖ1、Ｖ2を印加して前
記対向電極と前記振動質量間に生じる静電引力により前
記第１軸方向に駆動させ、 前記対向電極を構成する電極と前記振動質量間の静電容
量のうち、少なくとも２つの静電容量Ｃ1とＣ2の和か
ら、振動質量の第１軸方向の振動振幅に関する情報を検
出し、 前記静電容量Ｃ1とＣ2の差から、前記振動質量のコリオ
リ力による第２軸方向の変位に関する情報を検出するこ
とを特徴とする請求項４〜請求項９の何れか１項記載の
角速度センサの自己診断方法。 - 【請求項１１】前記振動質量の前記第１軸方向の振動振
幅の制御または前記振動質量に発生する前記第２軸方向
のコリオリ力の補償は、 前記対向電極を構成する電極のうち、少なくとも２つの
電極に同時に印加する駆動電圧Ｖ1、Ｖ2の振幅をそれぞ
れ調整することにより行なうことを特徴とする請求項１
０記載の角速度センサの自己診断方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04503596A JP3409565B2 (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 角速度センサの自己診断方法 |
| US08/811,464 US5908986A (en) | 1996-03-01 | 1997-03-03 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04503596A JP3409565B2 (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 角速度センサの自己診断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236436A true JPH09236436A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3409565B2 JP3409565B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=12708100
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04503596A Expired - Fee Related JP3409565B2 (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 角速度センサの自己診断方法 |
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|---|---|
| US (1) | US5908986A (ja) |
| JP (1) | JP3409565B2 (ja) |
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