JP2011247629A - 角速度検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】C/V変換回路23は、可動電極に搬送波信号Vsが印加され、固定電極に駆動信号Vsv+、Vsv-が印加されるコンデンサCs1〜Cs4の静電容量を変換した電圧Vcvを出力する。判定ロジック25は、コンパレータ24を通じて電圧Vcvをレベル変換した電圧Vcmpに基づいて、サーボ制御を行うための駆動信号Vsv+、Vsv-を回路チップ3側からセンサチップ2側に伝達する接続ラインL1〜L4の断線を判定する。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1の実施形態について図1〜図3を参照しながら説明する。
図1は、ヨーレートセンサなどの角速度検出装置の構成を概略的に示している。図1に示す角速度検出装置1は、センサチップ2(第1半導体チップに相当)と、回路チップ3(第2半導体チップに相当)と、センサチップ2および回路チップ3を電気的に接続する接続部4(接続手段に相当)とを備えている。
上記構成の角速度検出装置1では、角速度を検出する通常動作が行われる場合、振動信号生成部14により生成された振動信号Vv1〜Vv4が振動部9に供給される。これによって、コンデンサCv1〜Cv4が振動子6、7をX軸方向に変位させる静電気力を発生し、振動子6、7が所定の振幅および周波数でX軸方向に振動する。なお、通常動作時には、断線検出回路19は非動作状態とされる。また、この通常動作時には、切替回路16のスイッチS1〜S4は全てオンされ、切替回路17のスイッチS5〜S8は全てオフされる。これにより、制御回路15から出力される駆動信号Vsv+、Vsv-は、接続部4の接続ラインL1〜L4などを介してセンサチップ2の振動補正部10に供給され、コンデンサCs1〜Cs4の固定電極に印加される。また、制御回路15は、振動子6、7がX軸方向に振動した状態における出力部11のコンデンサCd1〜Cd4の静電容量の変化に基づいて、振動子6、7のY軸方向の振動成分を表すY軸振動信号を出力する。出力回路18は、このY軸振動信号に基づいて、Z軸を中心とした回転の角速度を表す出力信号SYAWを出力する。
角速度検出装置1は、サーボ制御を行うための駆動信号Vsv+、Vsv-を回路チップ3側からセンサチップ2側に伝達するための接続部4の接続ラインL1〜L4の断線を検出する第1および第2の断線検出動作を実行可能に構成されている。そして、第2の断線検出動作において、C/V変換回路23は、搬送波信号Vsを用いてコンデンサCs1〜Cs4の静電容量を変換した電圧Vcvを出力し、判定ロジック25がこの電圧Vcvに基づいて断線の判定を行う。このため、振動子6、7が理想的な状態であり、いわゆる斜め振動が発生しない状態であっても、接続部4の接続ラインL1〜L4の断線の有無を判定することができる。
以下、本発明の第2の実施形態について図4を参照しながら説明する。
図4は、第1の実施形態における図1相当図であり、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。図4に示す角速度検出装置31は、図1に示した角速度検出装置1に対し、回路チップ3側に新たに検査回路32を設けた点が異なっている。
なお、本発明は上記し且つ図面に記載した各実施形態に限定されるものではなく、次のような変形または拡張が可能である。
判定ロジック25は、電圧Vcmpの電圧値に基づいて断線の判定を行ってもよい。すなわち、電圧Vcmpが所定値未満であれば断線していると判定し、所定値以上であれば断線していないと判定すればよい。この場合、コンパレータ24の出力電圧Vcmpをローパスフィルタなどにより平滑化し、その平滑化した出力電圧の電圧値に基づいて断線の判定を行うとよい。
判定ロジック25による断線検出の判定精度に問題がなければ、コンパレータ24は設けなくてもよい。その場合、判定ロジック25は、C/V変換回路23の出力電圧Vcvに基づいて断線を判定すればよい。
第1の断線検出動作は必要に応じて実行すればよい。
接続部4の接続ラインL1〜L4は、ワイヤであってもよい。すなわち、センサチップ2と回路チップ3とをワイヤボンディング接続する構成であってもよい。
Claims (6)
- 互いに直交する第1軸および第2軸の方向に変位可能な可動部を備えたセンサ部と、前記センサ部を駆動して前記第1軸および前記第2軸のそれぞれに直交する第3軸を中心とした回転の角速度を検出する検出部と、前記センサ部および前記検出部を電気的に接続する接続手段とを備えた角速度検出装置であって、
前記センサ部は、前記検出部から与えられる振動信号に基づいて前記可動部を前記第1軸方向に振動する振動手段と、前記検出部から与えられる駆動信号に基づいて前記可動部を前記第2軸方向に変位する振動補正手段と、前記可動部の前記第2軸方向の振動に応じた検出信号を出力する出力部とを備え、
前記振動補正手段は、前記可動部に設けられ搬送波信号が印加された可動電極と、前記駆動信号が印加されることにより前記可動電極との間に前記可動部を前記第2軸方向に変位させる静電気力を発生する駆動電極とを備え、
前記接続手段は、前記駆動信号を伝達する駆動信号伝達線を備え、
前記検出部は、前記振動手段に前記振動信号を供給する振動信号供給手段と、前記振動補正手段に前記駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、前記可動部が前記第1軸方向に振動した状態で前記出力部から出力される検出信号に基づいて前記可動部の前記第2軸方向の振動成分を表す第2軸振動信号を出力する第2軸振動抽出手段と、前記第2軸振動信号に基づいて前記角速度を検出する角速度検出手段と、前記第2軸振動信号に基づいて前記可動部の前記第2軸方向の振動を抑制するように前記駆動信号供給手段を制御する第2軸振動抑制手段と、前記駆動信号の供給を停止した状態で前記駆動信号伝達線を介して前記可動電極と駆動電極との間の静電容量を入力して電圧に変換するC/V変換回路と、前記C/V変換回路の出力電圧に基づいて前記接続手段の前記駆動信号伝達線が断線しているか否かを判定する判定手段とを備えていることを特徴とする角速度検出装置。 - 前記センサ部は、第1半導体チップ上に形成され、
前記検出部は、第2半導体チップ上に形成され、
前記接続手段は、前記第1半導体チップおよび前記第2半導体チップをフリップチップ接続するものであることを特徴とする請求項1に記載の角速度検出装置。 - 前記検出部は、前記C/V変換回路の出力電圧と所定の基準電圧とを比較するコンパレータを備え、
前記判定手段は、前記コンパレータの出力電圧に基づいて前記駆動信号伝達線の断線を判定することを特徴とする請求項1または2に記載の角速度検出装置。 - 前記判定手段は、前記C/V変換回路の出力電圧の立ち上がりエッジの数または立ち下りエッジの数をカウントし、前記カウント値が所定のしきい値未満である場合に前記駆動信号伝達線が断線していると判定することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の角速度検出装置。
- 前記接続手段は、前記駆動信号伝達線を複数備え、
前記判定手段は、前記複数の駆動信号伝達線のうち、どの駆動信号伝達線が断線したかを表す断線情報を記憶可能に構成されるとともに、その記憶した断線情報を外部に出力可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の角速度検出装置。 - 前記検出部は、前記C/V変換回路に対して前記静電容量の変化に相当する検査信号を入力する検査回路を備え、
前記判定手段は、前記接続手段を介して前記センサ部および前記検出部を電気的に接続しない状態であり且つ前記検査回路が動作した状態で、前記C/V変換回路の出力電圧に基づいて前記駆動信号伝達線の断線を判定するための各機能が正常に動作可能か否かを判定することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の角速度検出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118305A JP5390468B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | 角速度検出装置 |
DE102011076208.6A DE102011076208B4 (de) | 2010-05-24 | 2011-05-20 | Winkelgeschwindigkeitssensorsystem |
US13/113,234 US8573055B2 (en) | 2010-05-24 | 2011-05-23 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118305A JP5390468B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | 角速度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011247629A true JP2011247629A (ja) | 2011-12-08 |
JP5390468B2 JP5390468B2 (ja) | 2014-01-15 |
Family
ID=44900626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010118305A Expired - Fee Related JP5390468B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | 角速度検出装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8573055B2 (ja) |
JP (1) | JP5390468B2 (ja) |
DE (1) | DE102011076208B4 (ja) |
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-
2010
- 2010-05-24 JP JP2010118305A patent/JP5390468B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-05-20 DE DE102011076208.6A patent/DE102011076208B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-23 US US13/113,234 patent/US8573055B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102011076208B4 (de) | 2014-01-16 |
JP5390468B2 (ja) | 2014-01-15 |
DE102011076208A1 (de) | 2011-11-24 |
US20110283793A1 (en) | 2011-11-24 |
US8573055B2 (en) | 2013-11-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131030 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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