JP2005201652A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、音叉振動子上に特別の異常診断用信号入力電極や角速度検出の誤差を低減する為の基準電位接地電極を設けることなしに、異常診断が可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】スイッチ４５，４８を用いて出力端子４９，５０に同相の駆動信号を生じせしめることによりアーム２，３を同じＺ軸方向に撓ませ、アーム２，３上に設けられた第１０、第１２の電極２２，２５から得られる電荷を第１、第２の増幅器６２，６３により増幅し、これらの出力を差動増幅器６４に入力し、その出力と基準値発生手段８２から発せられた所定の値とを比較器８１により比較し、所定値を超える場合には異常と判断できるように構成した。
【選択図】図３

Description

本発明は、異常を検出する機能を備えた角速度センサに関するものである。

従来この種の角速度センサとしては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがあった。図４は前記特許文献１に記載された従来の角速度センサを示している。図４において、１００は圧電セラミックスからなる音叉振動子、１０１，１０２は音叉振動子１００の主面であるＸ１面に設けられた駆動する為の駆動電極、１０３，１０４は音叉振動子１００の側面であるＹ１面、Ｙ２面上にそれぞれ設けられた角速度検出電極、１０５，１０６は音叉振動子１００のアーム上のＸ１面の内側近くに設けられた異常診断用信号入力電極、１０７，１０８は音叉振動子１００のアームのＸ１面上に設けられた基準電位接地電極である。

この角速度センサにおいて、異常診断用信号を異常診断用信号入力電極１０５，１０６に入力し、容量結合により角速度検出電極１０３，１０４を介して異常診断を行っている。また、異常診断信号を異常診断入力電極１０５，１０６に入力することによる角速度検出の誤差を低減させる為に、さらに音叉振動子１００のＸ１面に基準電位接地電極を特別に設けている。
特開２０００−８８５８４号公報

しかしながら前述した従来の角速度センサにおいては、異常診断を行い、かつ、角速度検出の誤差を低減する為に音叉振動子１００のＸ１面上に異常診断用信号入力電極１０５，１０６と基準電位接地電極１０７，１０８の両方を設けなければならないという問題があった。本発明は音叉振動子上に特別の異常診断用信号入力電極や角速度検出の誤差を低減する為の基準電位接地電極を設けることなしに、異常診断が可能な角速度センサを提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の発明は、少なくとも２つのアームとこのアームを連結する少なくとも１つの基部とを有した音叉振動子と、この音叉振動子の少なくとも１つのアームの少なくとも１つの主面上に前記音叉振動子をＸ方向またはＺ方向に励振するために設けられた駆動部と、入力された角速度に対してＺ方向に振動する撓みを検出する為に前記音叉振動子の少なくとも１つのアームの少なくとも１つの主面上に設けられた検出部と、前記駆動部により前記音叉振動子をＸ方向に励振するための第１の駆動回路と、前記検出部より出力された信号を増幅し、角速度信号を得るための増幅器を有した検出回路と、前記駆動部により前記音叉振動子をＺ方向に励振するための駆動信号を供給するための第２の駆動回路と、前記第２の駆動回路により前記駆動部に駆動信号を印加した時、前記増幅器の出力を基準値と比較し、所定値が得られない場合は異常と判断する自己診断回路とを備えた角速度センサであり、音叉振動子上に特別の異常診断用信号入力電極や角速度検出の誤差を低減する為の基準電位接地電極を設けることなしに、異常診断が可能であるという作用効果を奏する。

請求項２に記載の発明は、電源がオンになると最初に第２の駆動回路が作動し、自己診断回路により診断を行い、次に所定の角速度検出を行うために第１の駆動回路が作動するモードに移行するように構成されるか、前記第１の駆動回路が作動し角速度検出を所定時間行った後に前記第２の駆動回路が作動し、前記自己診断回路により自己診断を行い、再び前記第１の駆動回路が作動し、角速度検出が行われるように構成されるか、または、車速がゼロになったことを検出すると前記第２の駆動回路が作動し、前記自己診断回路により自己診断が行われるように構成されるかの少なくともいずれか１つである請求項１に記載の角速度センサであり、所望のタイミングで角速度センサの異常診断が可能であるという作用効果を奏する。

請求項３に記載の発明は、音叉振動子は非圧電材料からなり、駆動部は前記音叉振動子の２つのアームの各々の主面上の中心線より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第１、第２、第３、第４の電極と前記第１、第２、第３、第４の電極上に設けられた第１、第２、第３、第４の圧電薄膜と前記第１、第２、第３、第４の圧電薄膜上に設けられた第５、第６、第７、第８の電極よりなり、前記第５、第６、第７、第８の電極には第２の駆動回路により同相の駆動信号が印加され、検出部は前記アームの一方の主面上に前記第１、第２の電極に対して離間するように設けられた第９の電極とこの第９の電極上に設けられた第５の圧電薄膜とこの第５の圧電薄膜上に設けられた第１０の電極と前記アームの他方の主面上に前記第３、第４の電極に対して離間するように設けられた第１１の電極とこの第１１の電極上に設けられた第６の圧電薄膜とこの第６の圧電薄膜上に設けられた第１２の電極よりなり、自己診断回路は前記第１０の電極に接続された第１の増幅器と、前記第１２の電極に接続された第２の増幅器と、前記第１の増幅器の出力と前記第２の増幅器の出力が差動増幅されるための差動増幅器とこの差動増幅器の出力を基準値と比較する比較器とを有するように構成された請求項１に記載の角速度センサであり、駆動部と検出部を音叉振動子の一面に全て形成することが可能であり、かつ、断線及び検出部の劣化によるアンバランスなどの自己診断を可能にするという作用効果を有する。

請求項４に記載の発明は、音叉振動子は非圧電材料からなり、駆動部は前記音叉振動子の２つのアームの各々の主面上の中心線より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第１、第２、第３、第４の電極と前記第１、第２、第３、第４の電極上に設けられた第１、第２、第３、第４の圧電薄膜と前記第１、第２、第３、第４の圧電薄膜上に設けられた第５、第６、第７、第８の電極よりなり、前記第５、第６、第７、第８の電極には第２の駆動回路により同相の駆動信号が印加され、検出部は前記アームの一方の主面上に前記第１、第２の電極に対して離間するように設けられた第９の電極とこの第９の電極上に設けられた第５の圧電薄膜とこの第５の圧電薄膜上に設けられた第１０の電極と前記アームの他方の主面上に前記第３、第４の電極に対して離間するように設けられた第１１の電極とこの第１１の電極上に設けられた第６の圧電薄膜とこの第６の圧電薄膜上に設けられた第１２の電極よりなり、自己診断回路は前記第１０の電極に接続された第１の増幅器と、前記第１２の電極に接続された第２の増幅器と、前記第１の増幅器の出力と基準値とを比較する第１の比較器と前記第２の増幅器の出力と基準値とを比較する第２の比較器とを有するように構成された請求項１に記載の角速度センサであり、検出部毎の異常を診断することが可能になるという作用効果を有する。

請求項５に記載の発明は、自己診断回路には、前記第１の増幅器の出力と前記第２の増幅器の出力がそれぞれ入力される差動増幅器と、その差動増幅器の出力を基準値と比較する比較器をさらに備えた請求項４に記載の角速度センサであり、検出部毎の異常を診断できるばかりでなく、断線及び検出部の劣化によるアンバランスを自己診断することも合わせて可能になるという作用効果を有する。

少なくとも２つのアームとこのアームを連結する少なくとも１つの基部とを有した音叉振動子と、この音叉振動子の少なくとも１つのアームの少なくとも１つの主面上に前記音叉振動子をＸ方向またはＺ方向に励振するために設けられた駆動部と、入力された角速度に対してＺ方向に振動する撓みを検出する為に前記音叉振動子の少なくとも１つのアームの少なくとも１つの主面上に設けられた検出部と、前記駆動部により前記音叉振動子をＸ方向に励振するための第１の駆動回路と、前記検出部より出力された信号を増幅し、角速度信号を得るための増幅器を有した検出回路と、前記駆動部により前記音叉振動子をＺ方向に励振するための駆動信号を供給するための第２の駆動回路と、前記第２の駆動回路により前記駆動部に駆動信号を印加した時、前記増幅器の出力を基準値と比較し、所定値が得られない場合は異常と判断する自己診断回路とを備えた角速度センサであり、音叉振動子上に特別の異常診断用信号入力電極や角速度検出の誤差を低減する為の基準電位接地電極を設けることなしに、異常診断が可能である。

以下に本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１は本発明の一実施の形態にかかる角速度センサの音叉振動子の構成図、図２は同振動子のＡ−Ａ断面図、図３は同実施の形態にかかる角速度センサの回路のブロック図である。

本実施の形態の角速度センサの構成について説明する。

図１、図２において、１は非圧電材料であるシリコンからなる音叉振動子、２，３は音叉振動子１のアーム、４は音叉振動子１の基部、５は音叉振動子１のアーム２，３の主面、６，７はアーム２、アーム３のそれぞれの中心線、８はアーム２の中心線６より内側に設けられた共通電極としての第１の電極、９はアーム２の中心線６より外側に設けられた共通電極としての第２の電極、１０はアーム３の中心線７より内側に設けられた共通電極としての第３の電極、１１はアーム３の中心線７より外側に設けられた共通電極としての第４の電極、１２，１３，１４，１５はそれぞれ第１の電極８、第２の電極９、第３の電極１０、第４の電極１１上にそれぞれ設けられたＰＺＴからなる膜面に垂直方向に分極処理された第１、第２、第３、第４の圧電薄膜、１６，１７，１８，１９は第１、第２、第３、第４の圧電薄膜１２，１３，１４，１５上にそれぞれ設けられた駆動電極としての第５、第６、第７、第８の電極、２０，２３はアーム２，３の中心線６，７上にそれぞれ設けられた共通電極としての第９、第１１の電極、２１，２４は第９、第１１の電極２０，２３上に設けられたＰＺＴからなる膜面に垂直方向に分極処理された第５、第６の圧電薄膜、２２，２５は第５、第６の圧電薄膜２１，２４上に設けられた検出電極としての第１０、第１２の電極、２６はアーム２，３の主面５上に設けられたモニタ用電極である。

図３（ａ）において、４０はモニタ用電極２６との接続端子、４１は接続端子４０に接続される増幅器、４２は増幅器４１に接続されたＡＧＣ回路、４３はＡＧＣ回路４２に接続され、音叉振動子１をｆ＝２２ｋＨｚでＸ方向に励振する為のバンドパスフィルタ、４４はＡＧＣ回路４２に接続され、自己診断を行うために音叉振動子１をｆ＝１２ｋＨｚでＺ方向に励振する為のバンドパスフィルタ、４５はＡＧＣ回路４２の出力をバンドパスフィルタ４３、バンドパスフィルタ４４のいずれかに切り替える為のスイッチ、４６はバンドパスフィルタ４３またはバンドパスフィルタ４４のいずれかの出力が入力され増幅した後音叉振動子１を励振するための出力を供給する出力増幅器、４７は出力増幅器４６に接続された反転増幅器、４８は出力増幅器４６または反転増幅器４７のいずれかの出力に切り替える為のスイッチ、４９は出力増幅器４６に接続され、かつ、第５、第７の電極１６，１８に接続された出力端子、５０はスイッチ４８により出力増幅器４６の出力または反転増幅器４７の出力が接続され、かつ、第６、第８の電極１７，１９に接続された出力端子、５１は接続端子４０、増幅器４１、ＡＧＣ回路４２、スイッチ４５、バンドパスフィルタ４３、出力増幅器４６、反転増幅器４７、スイッチ４８、出力端子４９と出力端子５０から構成された第１の駆動回路、５２は接続端子４０、増幅器４１、ＡＧＣ回路４２、スイッチ４５、バンドパスフィルタ４４、出力増幅器４６、スイッチ４８、出力端子４９と出力端子５０から構成された第２の駆動回路である。

図３（ｂ）において、６０，６１はそれぞれ第１０、第１２の電極２２，２５に接続された入力端子、６２，６３は入力端子６０，６１からの信号が入力される増幅器としての第１、第２の増幅器、６４は第１、第２の増幅器６２，６３の出力がそれぞれ差動入力され増幅する為の差動増幅器、６５は差動増幅器６４の出力が入力される位相器、６６は位相器６５の出力が入力され、増幅器４１の出力により位相器６５の出力を同期検波する為の同期検波器、６７は同期検波器６６が入力され角速度信号を出力する為のローパスフィルタ、６８はローパスフィルタ６７に接続された角速度信号兼自己診断信号出力端子、６９は入力端子６０，６１、第１、第２の増幅器６２，６３、差動増幅器６４、位相器６５、同期検波器６６、ローパスフィルタ６７と角速度信号兼自己診断信号出力端子６８から構成された角速度検出回路である。８０は差動増幅器６４の出力を全波整流する全波整流回路、８１は全波整流回路８０の出力と基準値発生手段８２から発せられる所定の値と比較する為の比較器、８３，８４は第１、第２の増幅器６２，６３の出力をそれぞれ全波整流する全波整流回路、８５，８６は全波整流回路８３，８４の出力と基準値発生手段８７，８８から発せられる所定の値とをそれぞれ比較する為の第１、第２の比較器、８９，９０は第１、第２の比較器８５，８６の出力信号を出力する為の第１、第２の自己診断信号出力端子、９１は、入力端子６０，６１、第１、第２の増幅器６２，６３、差動増幅器６４、全波整流器８０，８３，８４、比較器８１、基準値発生手段８２，８７，８８、角速度信号兼自己診断信号出力端子６８、第１、第２の比較器８５，８６、第１、第２の自己診断信号出力端子８９，９０から構成された自己診断回路である。

本実施の形態の角速度センサの動作について説明する。

本実施の形態の角速度センサの回路が電源オンとなると、スイッチ４５によりＡＧＣ回路４２の出力側とバンドパスフィルタ４４の入力側が接続され、かつ、スイッチ４８により出力増幅器４６の出力側と出力端子５０とが接続されることにより、出力端子４９と出力端子５０に同相の駆動信号が現れる（第２の駆動回路が作動する）。これによりアーム２，３が同じＺ軸方向に撓む。アーム２，３が同じＺ軸方向に撓むと第１０、第１２の電極２２，２５から大きな電荷が発生する。第１０、第１２の電極２２，２５に発生した大きな電荷は、第１の増幅器６２、第２の増幅器６３により増幅された後、第１の増幅器６２、第２の増幅器６３の出力はそれぞれ全波整流回路８３，８４に入力され、全波整流回路８３，８４の出力はそれぞれ第１の比較器８５、第２の比較器８６に入力される。例えば第１の比較器８５、第２の比較器８６にそれぞれ接続された基準値発生手段８７，８８の値を２０００ｍＶに設定しておくと、第１０、第１２の電極２２，２５から規定の電荷が発生しない、または、断線が発生し２０００ｍＶを下回る場合は第１の比較器８５、第２の比較器８６から異常と判断された信号が第１、第２の自己診断信号出力端子８９，９０に現れる。また、第１、第２の増幅器６２，６３の出力は差動増幅器６４に入力されており、その出力は全波整流器８０に入力され全波整流器８０の出力は比較器８１に入力され、比較器８１に接続された基準値発生手段８２を、例えば１００ｍＶに設定すると、何らかの劣化により第１０、第１２の電極２２，２５から規定の電荷が発生せず極わずかのアンバランスが発生し設定された１００ｍＶを超えた場合には異常と判断し比較器８１から異常と判断された信号が角速度信号兼自己診断信号出力端子６８に現れる（第１の自己診断モード）。ある一定時間上記で説明したような自己診断が行われた後は、スイッチ４５によりＡＧＣ回路４２の出力側とバンドパスフィルタ４３の入力側が接続され、かつ、スイッチ４８により出力増幅器４６の出力側と反転増幅器４７の入力側が接続され、かつ、反転増幅器４７の出力側が出力端子５０と接続される。すなわち出力端子４９，５０には逆相の駆動信号が現れる。これによりアーム２，３はＸ軸方向に音叉振動を行い、Ｙ軸周りに角速度が入力されると角速度検出回路６９に基づき通常の角速度検出が可能となる。このときの角速度出力は角速度信号兼自己診断信号出力端子６８から現れる。

また、所定時間上記のような角速度検出が通常通り行われ、再び自己診断を行う指令があった場合はスイッチ４５によりＡＧＣ回路４２の出力側とバンドパスフィルタ４４の入力側が接続され、かつ、スイッチ４８により出力増幅器４６の出力側と出力端子５０とが接続されることにより、出力端子４９と出力端子５０に同相の駆動信号が現れる（第２の駆動回路５２が作動する）。これによりアーム２，３が同じＺ軸方向に撓み、上記と同様な自己診断が行われる（第２の自己診断モード）。自己診断終了後は、再び通常の角速度検出を行うモードへ復帰する。

また、本実施の形態に述べられた角速度センサが移動手段、例えば自動車に搭載されている場合に車速がゼロになったことを検出すると、上記第２の駆動回路５２が作動し自己診断を行う（第３の自己診断モード）。自動車が再び動き出した場合は、通常の角速度検出を行うモードへ復帰する。

本実施の形態においては、第１、第２、第３の自己診断モードについて説明したが、少なくともいずれか一つの自己診断モードを行っても良いし、この３つの自己診断モードを適宜組み合わせて実施しても良い。

本実施の形態においては、比較器８１の出力を角速度信号兼自己診断信号出力端子６８から出力する例について説明したが、比較器８１の出力を単独に出力することも当然可能である。

また、本実施の形態においては、自己診断回路として比較器８１から自己診断信号を出力し、さらに第１、第２の比較器８５，８６から自己診断信号を合わせて出力する例について説明したが、比較器８１からのみ自己診断信号を出力したり、または、第１、第２の比較器８５，８６からのみ自己診断信号を出力することも当然可能である。

また本実施の形態においては、第２の駆動回路５２が作動する場合は第５、第６、第７、第８の電極１６，１７，１８，１９に全て同相の駆動信号を印加する例について説明したが、いずれか一つの電極に加えるなど、適宜選択可能である。

また本実施の形態においては、音叉振動子として非圧電材料からなるシリコンの例について説明したが、これに限定されるものではなく、例えばダイヤモンド、溶融石英、アルミナ、ＧａＡｓ等を用いることも可能である。また、水晶、ＬｉＴａＯ₃、ＬｉＮｂＯ₃等の圧電材料を用いることも可能である。

また本実施の形態においては、自己診断を行うために第２の駆動回路５２により第５、第６、第７、第８の電極１６，１７，１８，１９にＺ軸方向に振動させるための駆動信号を印加する例について説明したが、例えば、自己診断を行う為にアーム２上の第１０の電極２２に駆動信号を印加し、Ｚ軸方向に振動させ、その振動により共振したアーム３の撓みに基づく第１２の電極２５からの電荷の有無を監視すれば検出部に異常がないかまたは断線が無いか等の自己診断を行うこともできる。

また本実施の形態において、比較器８１に接続される基準値発生手段８２から発生された値は１００ｍＶ、第１、第２の比較器８５，８６へそれぞれ接続される基準値発生手段８７，８８から発生された値としては２０００ｍＶの例について説明してきたが、システム側から要求される仕様または本センサの設計上等から、これらの基準値は適宜任意に設定される。

本発明の角速度センサは、音叉振動子上に特別の異常診断用信号入力電極や角速度検出の誤差を低減する為の基準電位接地電極を設けることなしに、異常診断が可能な角速度センサとして有用である。

本発明の一実施の形態にかかる角速度センサの音叉振動子の構成図 同振動子のＡ−Ａ断面図 同実施の形態にかかる角速度センサの回路のブロック図 従来の角速度センサの振動子上の電極構成を示す展開図

符号の説明

１ 音叉振動子
２，３ アーム
４ 基部
５ 主面
６，７ 中心線
８ 第１の電極
９ 第２の電極
１０ 第３の電極
１１ 第４の電極
１２，１３，１４，１５ 第１、第２、第３、第４の圧電薄膜
１６，１７，１８，１９ 第５、第６、第７、第８の電極
２０，２３ 第９、第１１の電極
２１，２４ 第５、第６の圧電薄膜
２２，２５ 第１０、第１２の電極
２６ モニタ用電極
４０ 接続端子
４１ 増幅器
４２ ＡＧＣ回路
４３，４４ バンドパスフィルタ
４５，４８ スイッチ
４６ 出力増幅器
４７ 反転増幅器
４９，５０ 出力端子
５１ 第１の駆動回路
５２ 第２の駆動回路
６０，６１ 入力端子
６２，６３ 第１、第２の増幅器
６４ 差動増幅器
６５ 位相器
６６ 同期検波器
６７ ローパスフィルタ
６８ 角速度信号兼自己診断信号出力端子
６９ 角速度検出回路
８０，８３，８４ 全波整流回路
８１ 比較器
８２，８７，８８ 基準値発生手段
８５，８６ 第１、第２の比較器
８９，９０ 第１、第２の自己診断信号出力端子
９１ 自己診断回路

Claims (5)

1. 少なくとも２つのアームとこのアームを連結する少なくとも１つの基部とを有した音叉振動子と、この音叉振動子の少なくとも１つのアームの少なくとも１つの主面上に前記音叉振動子をＸ方向またはＺ方向に励振するために設けられた駆動部と、入力された角速度に対してＺ方向に振動する撓みを検出する為に前記音叉振動子の少なくとも１つのアームの少なくとも１つの主面上に設けられた検出部と、前記駆動部により前記音叉振動子をＸ方向に励振するための第１の駆動回路と、前記検出部より出力された信号を増幅し、角速度信号を得るための増幅器を有した検出回路と、前記駆動部により前記音叉振動子をＺ方向に励振するための駆動信号を供給するための第２の駆動回路と、前記第２の駆動回路により前記駆動部に駆動信号を印加した時、前記増幅器の出力を基準値と比較し、所定値が得られない場合は異常と判断する自己診断回路とを備えた角速度センサ。
2. 電源がオンになると最初に第２の駆動回路が作動し、自己診断回路により診断を行い、次に所定の角速度検出を行うために第１の駆動回路が作動するモードに移行するように構成されるか、前記第１の駆動回路が作動し角速度検出を所定時間行った後に前記第２の駆動回路が作動し、前記自己診断回路により自己診断を行い、再び前記第１の駆動回路が作動し、角速度検出が行われるように構成されるか、または、車速がゼロになったことを検出すると前記第２の駆動回路が作動し、前記自己診断回路により自己診断が行われるように構成されるかの少なくともいずれか１つである請求項１に記載の角速度センサ。
3. 音叉振動子は非圧電材料からなり、駆動部は前記音叉振動子の２つのアームの各々の主面上の中心線より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第１、第２、第３、第４の電極と前記第１、第２、第３、第４の電極上に設けられた第１、第２、第３、第４の圧電薄膜と前記第１、第２、第３、第４の圧電薄膜上に設けられた第５、第６、第７、第８の電極よりなり、前記第５、第６、第７、第８の電極には第２の駆動回路により同相の駆動信号が印加され、検出部は前記アームの一方の主面上に前記第１、第２の電極に対して離間するように設けられた第９の電極とこの第９の電極上に設けられた第５の圧電薄膜とこの第５の圧電薄膜上に設けられた第１０の電極と前記アームの他方の主面上に前記第３、第４の電極に対して離間するように設けられた第１１の電極とこの第１１の電極上に設けられた第６の圧電薄膜とこの第６の圧電薄膜上に設けられた第１２の電極よりなり、自己診断回路は前記第１０の電極に接続された第１の増幅器と、前記第１２の電極に接続された第２の増幅器と、前記第１の増幅器の出力と前記第２の増幅器の出力が差動増幅されるための差動増幅器とこの差動増幅器の出力を基準値と比較する比較器とを有するように構成された請求項１に記載の角速度センサ。
4. 音叉振動子は非圧電材料からなり、駆動部は前記音叉振動子の２つのアームの各々の主面上の中心線より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第１、第２、第３、第４の電極と前記第１、第２、第３、第４の電極上に設けられた第１、第２、第３、第４の圧電薄膜と前記第１、第２、第３、第４の圧電薄膜上に設けられた第５、第６、第７、第８の電極よりなり、前記第５、第６、第７、第８の電極には第２の駆動回路により同相の駆動信号が印加され、検出部は前記アームの一方の主面上に前記第１、第２の電極に対して離間するように設けられた第９の電極とこの第９の電極上に設けられた第５の圧電薄膜とこの第５の圧電薄膜上に設けられた第１０の電極と前記アームの他方の主面上に前記第３、第４の電極に対して離間するように設けられた第１１の電極とこの第１１の電極上に設けられた第６の圧電薄膜とこの第６の圧電薄膜上に設けられた第１２の電極よりなり、自己診断回路は前記第１０の電極に接続された第１の増幅器と、前記第１２の電極に接続された第２の増幅器と、前記第１の増幅器の出力と基準値とを比較する第１の比較器と前記第２の増幅器の出力と基準値とを比較する第２の比較器とを有するように構成された請求項１に記載の角速度センサ。
5. 自己診断回路には、前記第１の増幅器の出力と前記第２の増幅器の出力がそれぞれ入力される差動増幅器と、その差動増幅器の出力を基準値と比較する比較器をさらに備えた請求項４に記載の角速度センサ。

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