JP2011137837A - 慣性力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】慣性力を検出する音叉型の振動子10と処理回路とを備え、振動子10は、2つの音叉アーム12、13と、これらを連結する基部14とを有し、音叉アーム12、13の一方の面は電極15を形成した電極面16とし、他方の面はトリミング部17を形成したトリミング面18とし、トリミング部17は音叉アーム12、13の角部19を除いた部分に形成した構成である。
【選択図】図1
Description
12 音叉アーム
13 音叉アーム
14 基部
15 電極
16 電極面
17 トリミング部
18 トリミング面
19 角部
Claims (6)
- 少なくとも2つのアームと、前記2つのアームを連結する基部とを有した振動子を備え、前記2つのアームにはそれぞれ角部から幅方向に向かって1/20以上離した部分にトリミング部を形成するとともに、前記2つのアームにおけるトリミング部を形成する位置は同じ箇所である慣性力センサ。
- 前記2つのアームの質量を互いに同等とした請求項1に記載の慣性力センサ。
- 前記2つのアームは一方の面に電極を形成し、前記トリミング部はそれぞれ前記2つのアームの他方の面に形成した請求項1に記載の慣性力センサ。
- 前記トリミング部はレーザによって形成した請求項1に記載の慣性力センサ。
- 前記レーザの波長は355nmよりも短くした請求項4に記載の慣性力センサ。
- 前記トリミング部を形成する位置は、不要信号の大きさに応じて前記2つのアームの幅方向で調整した請求項1に記載の慣性力センサ。
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