JP2001124563A - 振動ジャイロ用自己診断回路 - Google Patents
振動ジャイロ用自己診断回路Info
- Publication number
- JP2001124563A JP2001124563A JP30870099A JP30870099A JP2001124563A JP 2001124563 A JP2001124563 A JP 2001124563A JP 30870099 A JP30870099 A JP 30870099A JP 30870099 A JP30870099 A JP 30870099A JP 2001124563 A JP2001124563 A JP 2001124563A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- signal
- offset
- circuit
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検知回路部分の断線のみならず基準電圧とパ
ターンのショートに対しても異常検出の効果を有する振
動ジャイロの自己診断回路を提供する。 【解決手段】 振動子１の検出電極１Ｌと１Ｒにはイン
ピーダンスＺ１，Ｚ２を介してオフセット電圧Ｖ１，Ｖ
２が与えられ、振動子１の複数の検出信号は差動増幅器
２によって差動演算される。正常時には差動増幅器２の
出力にはＶ１−Ｖ２のＤＣオフセット電圧が出力され、
ショートなどの異常時には、差動増幅器２の出力のＤＣ
オフセットがなくなる。これにより、ショートの有無を
判別できる。
ターンのショートに対しても異常検出の効果を有する振
動ジャイロの自己診断回路を提供する。 【解決手段】 振動子１の検出電極１Ｌと１Ｒにはイン
ピーダンスＺ１，Ｚ２を介してオフセット電圧Ｖ１，Ｖ
２が与えられ、振動子１の複数の検出信号は差動増幅器
２によって差動演算される。正常時には差動増幅器２の
出力にはＶ１−Ｖ２のＤＣオフセット電圧が出力され、
ショートなどの異常時には、差動増幅器２の出力のＤＣ
オフセットがなくなる。これにより、ショートの有無を
判別できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロ用自
己診断回路に関し、特に、高信頼性の要求される車両姿
勢制御などに使用される車載電装用の振動ジャイロの短
絡事故を診断できるような自己診断回路に関する。
己診断回路に関し、特に、高信頼性の要求される車両姿
勢制御などに使用される車載電装用の振動ジャイロの短
絡事故を診断できるような自己診断回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】図９は振動ジャイロに用いられるバイモ
ルフ振動子の一例を示す外観図であり、（ａ）は平面図
を示し、（ｂ）は側面図である。図９において、バイモ
ルフ振動子１は、圧電素子を分極方向逆向きにして２枚
貼り付けて断面が四角形となるように形成したものであ
る。この振動子１を面垂直方向（Ｘ軸方向）に屈曲振動
モードで振動させておき、軸方向（Ｚ軸方向）にある角
速度（Ω）で回転させると、コリオリ力によって駆動面
と垂直方向（Ｙ軸方向）に屈曲振動モードで振動が生ず
る。
ルフ振動子の一例を示す外観図であり、（ａ）は平面図
を示し、（ｂ）は側面図である。図９において、バイモ
ルフ振動子１は、圧電素子を分極方向逆向きにして２枚
貼り付けて断面が四角形となるように形成したものであ
る。この振動子１を面垂直方向（Ｘ軸方向）に屈曲振動
モードで振動させておき、軸方向（Ｚ軸方向）にある角
速度（Ω）で回転させると、コリオリ力によって駆動面
と垂直方向（Ｙ軸方向）に屈曲振動モードで振動が生ず
る。
【０００３】この振動の振幅は角速度に比例するので、
これを利用して角速度の値が検出される。振動子１には
左右の検出電極１Ｌ，１Ｒと全面電極１Ｃが設けられて
いて、左右の検出電極１Ｌ，１ＲからＬ出力とＲ出力の
信号が出力される。
これを利用して角速度の値が検出される。振動子１には
左右の検出電極１Ｌ，１Ｒと全面電極１Ｃが設けられて
いて、左右の検出電極１Ｌ，１ＲからＬ出力とＲ出力の
信号が出力される。
【０００４】図１０は、図９に示したバイモルフ振動子
の振動波形を示し、特に（ａ），（ｂ）は角速度が印加
されていないときの波形図を示し、たとえば１．５Ｖの
振動入力に対して１Ｖの駆動出力を得た場合を示す。
（ｃ），（ｄ）は角速度が印加されているときの波形図
を示し、たとえば０．２Ｖのコリオリ信号が発生した場
合を示している。
の振動波形を示し、特に（ａ），（ｂ）は角速度が印加
されていないときの波形図を示し、たとえば１．５Ｖの
振動入力に対して１Ｖの駆動出力を得た場合を示す。
（ｃ），（ｄ）は角速度が印加されているときの波形図
を示し、たとえば０．２Ｖのコリオリ信号が発生した場
合を示している。
【０００５】振動子１に図１０（ａ）に示す駆動信号が
全面電極１Ｃに与えられると、Ｒ側出力とＬ側出力は図
１０（ｂ）に示すように同相のｓｉｎ波となる。このと
き、振動子１はＸ軸方向に曲げモードの振動をしてい
る。しかし、Ｚ軸まわりの角速度は加わっていないの
で、コリオリ力は発生せず、Ｙ軸方向の曲げモードの振
動は発生しない。振動子のＬ側出力とＲ側出力はＸ軸方
向のみの変位に対して生じ、結果として同一の信号が出
力される。
全面電極１Ｃに与えられると、Ｒ側出力とＬ側出力は図
１０（ｂ）に示すように同相のｓｉｎ波となる。このと
き、振動子１はＸ軸方向に曲げモードの振動をしてい
る。しかし、Ｚ軸まわりの角速度は加わっていないの
で、コリオリ力は発生せず、Ｙ軸方向の曲げモードの振
動は発生しない。振動子のＬ側出力とＲ側出力はＸ軸方
向のみの変位に対して生じ、結果として同一の信号が出
力される。
【０００６】次に、振動子１のＺ軸まわりに角速度Ωが
印加されると、ΩとＸ軸方向の速度ｖxに比例した−Ｙ
方向の力が発生する。これがコリオリ力である。このコ
リオリ力により振動子１はＹ軸方向に曲げられ、Ｘ軸方
向の曲げ振動と同じ周波数の−Ｙ軸方向の曲げ振動が発
生する。すると、このＹ軸方向の曲げ振動に応じて、Ｒ
側とＬ側の出力には逆相のコリオリ信号が発生する。こ
のコリオリ信号は角速度に比例して、図１０（ｃ），
（ｄ）では一定の大きさの直流の角速度が加わった場合
を示している。
印加されると、ΩとＸ軸方向の速度ｖxに比例した−Ｙ
方向の力が発生する。これがコリオリ力である。このコ
リオリ力により振動子１はＹ軸方向に曲げられ、Ｘ軸方
向の曲げ振動と同じ周波数の−Ｙ軸方向の曲げ振動が発
生する。すると、このＹ軸方向の曲げ振動に応じて、Ｒ
側とＬ側の出力には逆相のコリオリ信号が発生する。こ
のコリオリ信号は角速度に比例して、図１０（ｃ），
（ｄ）では一定の大きさの直流の角速度が加わった場合
を示している。
【０００７】振動子１のＲ側出力とＬ側出力よりコリオ
リ信号成分を抽出するためには、Ｒ出力とＬ出力に同相
で含まれる駆動出力成分を差動増幅器にて除去する。こ
れによって、ＲとＬ出力に逆相で含まれるコリオリ信号
は駆動出力信号とは反対に２倍になって出力される。ま
た、Ｒ出力とＬ出力の和をとると、ＲとＬに逆相で含ま
れるコリオリ信号は互いに打ち消し合い、駆動出力信号
は２倍となって出力される。この出力を自励発振に用い
ることができる。
リ信号成分を抽出するためには、Ｒ出力とＬ出力に同相
で含まれる駆動出力成分を差動増幅器にて除去する。こ
れによって、ＲとＬ出力に逆相で含まれるコリオリ信号
は駆動出力信号とは反対に２倍になって出力される。ま
た、Ｒ出力とＬ出力の和をとると、ＲとＬに逆相で含ま
れるコリオリ信号は互いに打ち消し合い、駆動出力信号
は２倍となって出力される。この出力を自励発振に用い
ることができる。
【０００８】なお、Ｚ軸まわりにダイナミック（交流成
分を持つ）な角速度が加わった場合には、発生するコリ
オリ信号も角速度と同じ交流成分を持つ。差動増幅器の
出力に現れるコリオリ信号は、Ｘ軸方向の曲げモード発
振周波数のｓｉｎ波が角速度の交流成分でＡＭ変調され
た波形となる。図１１（ａ）は印加された角速度を示
し、図１１（ｂ）は差動出力に現れた発振周波数のｓｉ
ｎ波がＡＭ変調された波形になることを示している。
分を持つ）な角速度が加わった場合には、発生するコリ
オリ信号も角速度と同じ交流成分を持つ。差動増幅器の
出力に現れるコリオリ信号は、Ｘ軸方向の曲げモード発
振周波数のｓｉｎ波が角速度の交流成分でＡＭ変調され
た波形となる。図１１（ａ）は印加された角速度を示
し、図１１（ｂ）は差動出力に現れた発振周波数のｓｉ
ｎ波がＡＭ変調された波形になることを示している。
【０００９】一方、車載用振動ジャイロでは、自動車の
基本機能制御に関わるため、異常検出機能や自己診断機
能が不可欠なものとして扱われてきた。その異常検出の
手段として、振動子発振ループの振幅や周波数をモニタ
する構成や、検出回路内の差動増幅器の出力振幅をモニ
タする構成がとられている。
基本機能制御に関わるため、異常検出機能や自己診断機
能が不可欠なものとして扱われてきた。その異常検出の
手段として、振動子発振ループの振幅や周波数をモニタ
する構成や、検出回路内の差動増幅器の出力振幅をモニ
タする構成がとられている。
【００１０】具体的には、たとえば特許番号２５４１３
７５号には、音片型振動ジャイロの発振信号振幅と検出
信号（検出回路差動増幅器の出力）振幅を整流回路を用
いて同時にモニタし、発振停止や検出回路信号線の断線
を検出するための回路手段が開示されている。
７５号には、音片型振動ジャイロの発振信号振幅と検出
信号（検出回路差動増幅器の出力）振幅を整流回路を用
いて同時にモニタし、発振停止や検出回路信号線の断線
を検出するための回路手段が開示されている。
【００１１】また、特開平５−２６４２７９号公報に
は、検出回路差動増幅器の出力振幅をモニタすることで
断線検知を行なう構成が、特開平６−１８２７０号公報
には発振回路信号の共振周波数をモニタすることで、発
振回路の異常検出を行なう構成が開示されている。
は、検出回路差動増幅器の出力振幅をモニタすることで
断線検知を行なう構成が、特開平６−１８２７０号公報
には発振回路信号の共振周波数をモニタすることで、発
振回路の異常検出を行なう構成が開示されている。
【００１２】このような従来例では、ジャイロ正常動作
時の発振ループ信号の振幅や周波数が一定となること
や、検出回路の出力振幅が正常動作時には一定値以上に
大きくならないこと、といった振動ジャイロに固有の技
術的な知識に基づいた検知回路の構成が述べられてい
る。
時の発振ループ信号の振幅や周波数が一定となること
や、検出回路の出力振幅が正常動作時には一定値以上に
大きくならないこと、といった振動ジャイロに固有の技
術的な知識に基づいた検知回路の構成が述べられてい
る。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来例で検
出可能な故障モードは、「ジャイロ振動子の発振停止」
と、「検知回路部の断線」のみであり、たとえば高温多
湿のような環境下で発生し得るジャイロ内部回路配線パ
ターン材やジャイロ振動子の電極材のマイグレーション
現象による「検知回路部のショート」については十分な
検知機能を有さない構成となっていた。
出可能な故障モードは、「ジャイロ振動子の発振停止」
と、「検知回路部の断線」のみであり、たとえば高温多
湿のような環境下で発生し得るジャイロ内部回路配線パ
ターン材やジャイロ振動子の電極材のマイグレーション
現象による「検知回路部のショート」については十分な
検知機能を有さない構成となっていた。
【００１４】それゆえに、この発明の主たる目的は、検
知回路部分の断線のみならずショートに対しても異常検
出の効果を有する振動ジャイロ用自己診断回路を提供す
ることである。
知回路部分の断線のみならずショートに対しても異常検
出の効果を有する振動ジャイロ用自己診断回路を提供す
ることである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
振動子をＸ軸方向に励振させ、Ｚ軸まわりに回転したと
きにＹ軸方向に発生したコリオリ力による振動を検出す
る振動ジャイロにおいて、振動子に設けられてコリオリ
力による振動を検出する複数の検出手段と、複数の検出
手段から出力される出力信号間の差動をとる差動演算手
段と、複数の検出手段から出力される信号の少なくとも
１つにオフセット信号を重畳するオフセット信号源と、
差動演算手段の出力信号中に含まれるオフセット信号に
起因する信号成分の有無を検出する信号検出手段を備え
て構成される。
振動子をＸ軸方向に励振させ、Ｚ軸まわりに回転したと
きにＹ軸方向に発生したコリオリ力による振動を検出す
る振動ジャイロにおいて、振動子に設けられてコリオリ
力による振動を検出する複数の検出手段と、複数の検出
手段から出力される出力信号間の差動をとる差動演算手
段と、複数の検出手段から出力される信号の少なくとも
１つにオフセット信号を重畳するオフセット信号源と、
差動演算手段の出力信号中に含まれるオフセット信号に
起因する信号成分の有無を検出する信号検出手段を備え
て構成される。
【００１６】請求項２に係る発明では、請求項１の発明
の構成に加えて、オフセット信号源はオフセット信号と
してオフセット電圧を出力する電圧信号源を含む。
の構成に加えて、オフセット信号源はオフセット信号と
してオフセット電圧を出力する電圧信号源を含む。
【００１７】請求項３に係る発明では、請求項１の発明
の構成に加えて、オフセット信号源はオフセット信号と
してオフセット電流を出力する電流信号源を含む。
の構成に加えて、オフセット信号源はオフセット信号と
してオフセット電流を出力する電流信号源を含む。
【００１８】請求項４に係る発明では、請求項１の発明
の構成に加えて、さらに差動演算手段の出力電圧とその
位相とに基づいて異常を検出する手段を含む。
の構成に加えて、さらに差動演算手段の出力電圧とその
位相とに基づいて異常を検出する手段を含む。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の第１の実施形態
の自己診断回路の回路図である。図１において、振動子
１には、複数の検出手段となる左側の検出電極１Ｌと右
側の検出電極１Ｒとが設けられていて、これらの検出電
極１Ｌと１Ｒから左右の検出信号が出力され、抵抗Ｒｓ
１，Ｒｓ２を介して差動増幅器２の−，＋入力に与えら
れる。差動増幅器２の＋入力には抵抗Ｒｆ１を介して基
準電圧が与えられ、−入力と出力との間には抵抗Ｒｆ２
が接続される。
の自己診断回路の回路図である。図１において、振動子
１には、複数の検出手段となる左側の検出電極１Ｌと右
側の検出電極１Ｒとが設けられていて、これらの検出電
極１Ｌと１Ｒから左右の検出信号が出力され、抵抗Ｒｓ
１，Ｒｓ２を介して差動増幅器２の−，＋入力に与えら
れる。差動増幅器２の＋入力には抵抗Ｒｆ１を介して基
準電圧が与えられ、−入力と出力との間には抵抗Ｒｆ２
が接続される。
【００２０】さらに、電極１Ｒと電極１Ｌには、同時に
参照するためにインピーダンスＺ１，Ｚ２を介してオフ
セット電圧Ｖ１，Ｖ２が与えられる。
参照するためにインピーダンスＺ１，Ｚ２を介してオフ
セット電圧Ｖ１，Ｖ２が与えられる。
【００２１】正常時には、差動増幅器２の出力にはＶ１
−Ｖ２の直流オフセット電圧が出力されるが、左右の検
出電極１Ｌ，１Ｒが短絡したような異常時には、電極１
Ｌ，電極１Ｒには同じオフセット電圧が印加されるた
め、差動増幅器２の出力の直流オフセット電圧がなくな
る。これを検出することによって、左側の検出電極１Ｌ
と右側の検出電極１Ｒの短絡の有無を判別することが可
能となる。
−Ｖ２の直流オフセット電圧が出力されるが、左右の検
出電極１Ｌ，１Ｒが短絡したような異常時には、電極１
Ｌ，電極１Ｒには同じオフセット電圧が印加されるた
め、差動増幅器２の出力の直流オフセット電圧がなくな
る。これを検出することによって、左側の検出電極１Ｌ
と右側の検出電極１Ｒの短絡の有無を判別することが可
能となる。
【００２２】図２はこの発明の第２の実施形態の自己診
断回路の回路図である。図２において、振動子１には、
振動子１を自己励振させるための駆動信号が与えられる
全面電極１Ｃが設けられている。この全面電極１Ｃには
駆動回路３から駆動信号が与えられる。駆動回路３は２
つの検出電極１Ｌ，１Ｒに発生される各検出信号を加算
回路４で加算した和信号を基準信号として、この和信号
が一定になるようにするためのＡＧＣ回路と、自己励振
の発振ループが継続するのに最適な位相状態を付与する
ための移相回路とから構成されている。
断回路の回路図である。図２において、振動子１には、
振動子１を自己励振させるための駆動信号が与えられる
全面電極１Ｃが設けられている。この全面電極１Ｃには
駆動回路３から駆動信号が与えられる。駆動回路３は２
つの検出電極１Ｌ，１Ｒに発生される各検出信号を加算
回路４で加算した和信号を基準信号として、この和信号
が一定になるようにするためのＡＧＣ回路と、自己励振
の発振ループが継続するのに最適な位相状態を付与する
ための移相回路とから構成されている。
【００２３】駆動回路３によって振動子１を自励振で駆
動すると、振動子に角速度が印加された場合に振動子の
２つの検出電極１Ｌ，１Ｒに発生する検出信号をもと
に、差動増幅器２から角速度信号が得られる。この差動
増幅器２の出力は、駆動回路３の駆動信号に同期した検
波回路を経て平滑・直流増幅され、最終的には角速度の
大きさに応じた直流電圧信号として出力される。
動すると、振動子に角速度が印加された場合に振動子の
２つの検出電極１Ｌ，１Ｒに発生する検出信号をもと
に、差動増幅器２から角速度信号が得られる。この差動
増幅器２の出力は、駆動回路３の駆動信号に同期した検
波回路を経て平滑・直流増幅され、最終的には角速度の
大きさに応じた直流電圧信号として出力される。
【００２４】ここで、検出電極１Ｌ，１Ｒに発生する信
号は、駆動信号により励起された駆動モード振動に起因
する交流信号と、角速度の印加により振動子１に発生す
るコリオリ力により励起された検出モード振動に起因す
る交流信号の２種類である。そして、この信号はいずれ
も振動子１の共振周波数と同じ交流信号である。また、
振動子１の検出電極は回路側から見ると圧電体により構
成されたコンデンサとして機能する。駆動モードならび
に検出モードにより発生する交流信号は、このコンデン
サと並列に接続された交流電流源とみなすことができ
る。
号は、駆動信号により励起された駆動モード振動に起因
する交流信号と、角速度の印加により振動子１に発生す
るコリオリ力により励起された検出モード振動に起因す
る交流信号の２種類である。そして、この信号はいずれ
も振動子１の共振周波数と同じ交流信号である。また、
振動子１の検出電極は回路側から見ると圧電体により構
成されたコンデンサとして機能する。駆動モードならび
に検出モードにより発生する交流信号は、このコンデン
サと並列に接続された交流電流源とみなすことができ
る。
【００２５】チューニングのなされた振動子１では、駆
動モードによりそれぞれの検出電極１Ｌ，１Ｒに発生す
る交流信号は振幅と位相が一致しており、角速度が印加
されない状態でオフセット信号がない場合には、差動増
幅器２の出力は基準電圧に等しくなる。
動モードによりそれぞれの検出電極１Ｌ，１Ｒに発生す
る交流信号は振幅と位相が一致しており、角速度が印加
されない状態でオフセット信号がない場合には、差動増
幅器２の出力は基準電圧に等しくなる。
【００２６】このようにジャイロが正常動作している場
合には、差動増幅器２の出力には上述の駆動モード振動
や検出モード振動に起因する交流信号の他に、オフセッ
ト電圧Ｖ１およびＶ２に起因する直流信号が重畳するこ
ととなる。この直流信号の大きさＶ０は、差動増幅器２
のアンプを理想アンプとすると、基準電圧に対して次式
で与えられる。
合には、差動増幅器２の出力には上述の駆動モード振動
や検出モード振動に起因する交流信号の他に、オフセッ
ト電圧Ｖ１およびＶ２に起因する直流信号が重畳するこ
ととなる。この直流信号の大きさＶ０は、差動増幅器２
のアンプを理想アンプとすると、基準電圧に対して次式
で与えられる。
【００２７】 Ｖ０＝（Ｖ１−Ｖ２）×（Ｒｆ／（Ｒｓ＋ＲＬ）） 今、検出電極１Ｌ，１Ｒが何らかの原因でショートした
場合を考える。この場合ショートした検出電極１Ｌ，１
Ｒの電位は、オフセット電位Ｖ１，Ｖ２の値によらず同
じ値となり、その結果差動増幅器２の出力の直流信号Ｖ
０は差し引き０となり、差動増幅器２の直流電圧は基準
電圧に等しくなる。
場合を考える。この場合ショートした検出電極１Ｌ，１
Ｒの電位は、オフセット電位Ｖ１，Ｖ２の値によらず同
じ値となり、その結果差動増幅器２の出力の直流信号Ｖ
０は差し引き０となり、差動増幅器２の直流電圧は基準
電圧に等しくなる。
【００２８】また、検出電極１Ｌまたは検出電極１Ｒの
どちらかがたとえば基準電圧電位にショートした場合に
は、ショートしていない方のオフセット電位に応じた直
流電圧Ｖ０が出力されることとなる。たとえば、右側の
検出電極１Ｒ側が基準電圧電位にショートしたとする
と、直流電圧Ｖ０は基準電圧に対して次式で与えられる
値となる。
どちらかがたとえば基準電圧電位にショートした場合に
は、ショートしていない方のオフセット電位に応じた直
流電圧Ｖ０が出力されることとなる。たとえば、右側の
検出電極１Ｒ側が基準電圧電位にショートしたとする
と、直流電圧Ｖ０は基準電圧に対して次式で与えられる
値となる。
【００２９】Ｖ０＝−Ｖ２×（Ｒｆ／（Ｒｓ＋ＲＬ）） したがって、基準電圧に対する差動増幅器２の直流電圧
Ｖ０は検出電極の状態にそれぞれ対応した値をとること
が可能となり、直流電圧Ｖ０をモニタして検出電極の状
態を把握することが可能となる。そのような具体例につ
いて図３および図４に示す。
Ｖ０は検出電極の状態にそれぞれ対応した値をとること
が可能となり、直流電圧Ｖ０をモニタして検出電極の状
態を把握することが可能となる。そのような具体例につ
いて図３および図４に示す。
【００３０】図３はウィンドウコンパレータを用いて検
出電極の状態を把握する実施形態を示す図である。図３
において、差動増幅器２の出力には複数のウィンドウコ
ンパレータ５１，５２…の＋入力が接続される。各ウィ
ンドウコンパレータ５１，５２…の−入力にはそれぞれ
異なる電位の基準電圧Ｖｃ１，Ｖｃ２…が与えられる。
これらの基準電位は、図２の実施形態で説明したよう
に、検出電極１Ｌと１Ｒがショートした場合に差動増幅
器２から出力される直流電圧を識別できる電位に設定し
たり、検出電極１Ｌまたは１Ｒのいずれかがたとえば基
準電圧電位とショートした場合に差動増幅２から出力さ
れる直流電圧を識別できる電位に設定しておくことによ
り、複数の原因の検出が可能となる。各ウィンドウコン
パレータ５１，５２の出力はＡＮＤゲート６に与えら
れ、状態検知出力が得られる。
出電極の状態を把握する実施形態を示す図である。図３
において、差動増幅器２の出力には複数のウィンドウコ
ンパレータ５１，５２…の＋入力が接続される。各ウィ
ンドウコンパレータ５１，５２…の−入力にはそれぞれ
異なる電位の基準電圧Ｖｃ１，Ｖｃ２…が与えられる。
これらの基準電位は、図２の実施形態で説明したよう
に、検出電極１Ｌと１Ｒがショートした場合に差動増幅
器２から出力される直流電圧を識別できる電位に設定し
たり、検出電極１Ｌまたは１Ｒのいずれかがたとえば基
準電圧電位とショートした場合に差動増幅２から出力さ
れる直流電圧を識別できる電位に設定しておくことによ
り、複数の原因の検出が可能となる。各ウィンドウコン
パレータ５１，５２の出力はＡＮＤゲート６に与えら
れ、状態検知出力が得られる。
【００３１】図４はデジタル的に検出電極の状態を把握
する実施形態を示す回路図である。図４において、差動
増幅器２の出力の直流電圧はＡ／Ｄコンバータ７に与え
られてデジタル信号に変換され、ＭＰＵ８へ与えられ
る。ＭＰＵ８は、デジタル信号に変換された直流電圧を
判別し、図３で説明した複数の原因を判別する。
する実施形態を示す回路図である。図４において、差動
増幅器２の出力の直流電圧はＡ／Ｄコンバータ７に与え
られてデジタル信号に変換され、ＭＰＵ８へ与えられ
る。ＭＰＵ８は、デジタル信号に変換された直流電圧を
判別し、図３で説明した複数の原因を判別する。
【００３２】図５はこの発明の第３の実施形態を示す回
路図である。この図５に示した自己診断回路は、図２に
示したオフセット電圧Ｖ１，Ｖ２に代えてオフセット電
流源Ｉ１，Ｉ２を用いるようにしたものであり、その他
の構成は図２と同じである。この場合、オフセット電流
は負荷抵抗ＲＬを介して検出電極１Ｌ，１Ｒにそれぞれ
オフセット電圧Ｉ１×ＲＬとＩ２×ＲＬを発生させる。
路図である。この図５に示した自己診断回路は、図２に
示したオフセット電圧Ｖ１，Ｖ２に代えてオフセット電
流源Ｉ１，Ｉ２を用いるようにしたものであり、その他
の構成は図２と同じである。この場合、オフセット電流
は負荷抵抗ＲＬを介して検出電極１Ｌ，１Ｒにそれぞれ
オフセット電圧Ｉ１×ＲＬとＩ２×ＲＬを発生させる。
【００３３】図２の実施形態と同様にして、検出電極１
Ｌ，１Ｒが正常な状態にある場合には、差動増幅器２の
出力電圧Ｖ０は基準電圧を基準として次式の値を出力す
る。
Ｌ，１Ｒが正常な状態にある場合には、差動増幅器２の
出力電圧Ｖ０は基準電圧を基準として次式の値を出力す
る。
【００３４】Ｖ０＝（Ｉ１−Ｉ２）×Ｒｆ これに対して、たとえば検出電極１Ｌと１Ｒがショート
した場合には、差動増幅器２の出力電圧Ｖ０は基準電圧
をＶｒｅｆとすると、 Ｖ０＝Ｖｒｅｆ となる。また、たとえば検出電極１Ｒが基準電圧にショ
ートした場合には、差動増幅器２の出力Ｖ０は基準電圧
を基準として Ｖ０＝−Ｉ２×Ｒｆ となる。したがって、図２と同様にして検出電極の状態
のモニタが可能となる。
した場合には、差動増幅器２の出力電圧Ｖ０は基準電圧
をＶｒｅｆとすると、 Ｖ０＝Ｖｒｅｆ となる。また、たとえば検出電極１Ｒが基準電圧にショ
ートした場合には、差動増幅器２の出力Ｖ０は基準電圧
を基準として Ｖ０＝−Ｉ２×Ｒｆ となる。したがって、図２と同様にして検出電極の状態
のモニタが可能となる。
【００３５】図６はこの発明の第４の実施形態を示す回
路図である。この実施形態は、図２に示した直流オフセ
ット電圧Ｖ１，Ｖ２を交流オフセット電圧Ｖ１０，Ｖ２
０に変更したものである。ただし、この実施形態では、
差動増幅器２の出力に現れる信号が交流であるため、図
２とは異なった検出方法が必要となる。すなわち、具体
的には、差動増幅器２の出力に接続されるモニタ回路
は、それぞれのオフセット電圧Ｖ１０とＶ２０に同期し
た検波回路によって構成される。
路図である。この実施形態は、図２に示した直流オフセ
ット電圧Ｖ１，Ｖ２を交流オフセット電圧Ｖ１０，Ｖ２
０に変更したものである。ただし、この実施形態では、
差動増幅器２の出力に現れる信号が交流であるため、図
２とは異なった検出方法が必要となる。すなわち、具体
的には、差動増幅器２の出力に接続されるモニタ回路
は、それぞれのオフセット電圧Ｖ１０とＶ２０に同期し
た検波回路によって構成される。
【００３６】オフセット電圧Ｖ１０とＶ２０をそれぞれ Ｖ１０＝Ｖａ×ｓｉｎω１ｔ、Ｖ２０＝Ｖｂ×ｓｉｎω
２ｔ とすると、正常動作時には差動増幅器２の出力Ｖ０は振
動子１の自励振ならびに角速度検出に起因する交流信号
に重畳する形でＶ１０およびＶ２０に起因する信号が出
力される。したがって、差動増幅器２の出力に２つのオ
フセット信号と同期して駆動される検波回路を接続して
おけば、正常動作時にはＶ１０およびＶ２０それぞれに
起因する交流信号を検出することができる。
２ｔ とすると、正常動作時には差動増幅器２の出力Ｖ０は振
動子１の自励振ならびに角速度検出に起因する交流信号
に重畳する形でＶ１０およびＶ２０に起因する信号が出
力される。したがって、差動増幅器２の出力に２つのオ
フセット信号と同期して駆動される検波回路を接続して
おけば、正常動作時にはＶ１０およびＶ２０それぞれに
起因する交流信号を検出することができる。
【００３７】図７はモニタ回路として２つのオフセット
信号と同期して駆動される検波回路を示す図である。図
７において、差動増幅器２の出力には同期検波回路９１
と９２が接続される。同期検波回路９１と９２には、そ
れぞれ交流オフセット電圧Ｖ１０，Ｖ２０が与えられ
る。同期検波回路９１，９２はこれらのオフセット電圧
Ｖ１０，Ｖ２０に同期して差動増幅器２の出力を検出す
る。すなわち、正常動作時には、オフセット電圧Ｖ１
０，Ｖ２０のそれぞれに起因する交流信号を検出し、検
出電極１Ｌまたは１Ｒが基準電圧などにショートした場
合には、それぞれのオフセット信号の検波出力が０とな
ることにより、ショート状態の検出が可能となる。
信号と同期して駆動される検波回路を示す図である。図
７において、差動増幅器２の出力には同期検波回路９１
と９２が接続される。同期検波回路９１と９２には、そ
れぞれ交流オフセット電圧Ｖ１０，Ｖ２０が与えられ
る。同期検波回路９１，９２はこれらのオフセット電圧
Ｖ１０，Ｖ２０に同期して差動増幅器２の出力を検出す
る。すなわち、正常動作時には、オフセット電圧Ｖ１
０，Ｖ２０のそれぞれに起因する交流信号を検出し、検
出電極１Ｌまたは１Ｒが基準電圧などにショートした場
合には、それぞれのオフセット信号の検波出力が０とな
ることにより、ショート状態の検出が可能となる。
【００３８】ただし、この実施形態の場合には、検出電
極１Ｌと１Ｒとがショートしても差動増幅器２の出力に
はそれぞれのオフセット電圧の合成信号が出力されるた
めに、ショートを検出することはできない。ショート検
出には、同期検波回路９１，９２の後段に検波信号の直
流レベルモニタ回路を設ける必要がある。
極１Ｌと１Ｒとがショートしても差動増幅器２の出力に
はそれぞれのオフセット電圧の合成信号が出力されるた
めに、ショートを検出することはできない。ショート検
出には、同期検波回路９１，９２の後段に検波信号の直
流レベルモニタ回路を設ける必要がある。
【００３９】図８はこの発明の第５の実施形態を示す自
己診断回路の回路図である。この図８に示した実施形態
は、図５に示したオフセット信号源の直流電流源Ｉ１，
Ｉ２を交流電流源Ｉ１０，Ｉ２０に変更したものであ
る。この実施形態の場合、差動増幅器２の出力には図６
に示した実施形態と同様にして、２つの交流信号源Ｉ１
０とＩ２０の周波数成分を含んだ信号が出力される。し
たがって、図７に示したような周波数ごとの同期検波回
路９１，９２を設けることにより、検出電極１Ｌと１Ｒ
の状態検知を行なうことが可能となる。
己診断回路の回路図である。この図８に示した実施形態
は、図５に示したオフセット信号源の直流電流源Ｉ１，
Ｉ２を交流電流源Ｉ１０，Ｉ２０に変更したものであ
る。この実施形態の場合、差動増幅器２の出力には図６
に示した実施形態と同様にして、２つの交流信号源Ｉ１
０とＩ２０の周波数成分を含んだ信号が出力される。し
たがって、図７に示したような周波数ごとの同期検波回
路９１，９２を設けることにより、検出電極１Ｌと１Ｒ
の状態検知を行なうことが可能となる。
【００４０】なお、上述の実施形態では、この発明をバ
イモルフ型の圧電振動子に適用した場合について説明し
たが、これに限ることなく、金属の四角柱や三角柱に圧
電素子を貼り付けた振動子や、円柱状の圧電素子を使用
した振動子、さらには音叉型の振動子などのようにＬ／
Ｒ信号が出力され、基準信号と励振電圧や和電圧が現れ
る圧電振動ジャイロにすべてこの発明を適用できる。
イモルフ型の圧電振動子に適用した場合について説明し
たが、これに限ることなく、金属の四角柱や三角柱に圧
電素子を貼り付けた振動子や、円柱状の圧電素子を使用
した振動子、さらには音叉型の振動子などのようにＬ／
Ｒ信号が出力され、基準信号と励振電圧や和電圧が現れ
る圧電振動ジャイロにすべてこの発明を適用できる。
【００４１】さらに、磁気式振動ジャイロや光学的な振
動ジャイロであってもこの発明を適用することができ
る。
動ジャイロであってもこの発明を適用することができ
る。
【００４２】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【００４３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、振動
子のコリオリ力による振動を検出して出力される信号の
少なくとも１つにオフセット信号を重畳し、検出出力の
差動をとる差動演算手段の出力信号中に含まれるオフセ
ット信号に起因する信号成分の有無を検出することによ
って、これまで困難であった検出電極相互のショートや
検出電極と接地電位または電源電圧ならびに回路基準電
位との間のショートを検出することが可能となる。これ
によって、従来以上に高い自己診断能力と信頼性を有す
る振動ジャイロを実現できる。
子のコリオリ力による振動を検出して出力される信号の
少なくとも１つにオフセット信号を重畳し、検出出力の
差動をとる差動演算手段の出力信号中に含まれるオフセ
ット信号に起因する信号成分の有無を検出することによ
って、これまで困難であった検出電極相互のショートや
検出電極と接地電位または電源電圧ならびに回路基準電
位との間のショートを検出することが可能となる。これ
によって、従来以上に高い自己診断能力と信頼性を有す
る振動ジャイロを実現できる。
【図１】 この発明の第１の実施形態の自己診断回路の
回路図である。
回路図である。
【図２】 この発明の第２の実施形態の自己診断回路の
回路図である。
回路図である。
【図３】 ウィンドウコンパレータを用いて検出電極の
状態を把握する実施形態を示す図である。
状態を把握する実施形態を示す図である。
【図４】 デジタル的に検出電極の状態を把握する実施
形態を示す図である。
形態を示す図である。
【図５】 この発明の第３の実施形態の自己診断回路の
回路図である。
回路図である。
【図６】 この発明の第４の実施形態の自己診断回路を
示す回路図である。
示す回路図である。
【図７】 モニタ回路として２つのオフセット信号と同
期して駆動される検波回路を示す図である。
期して駆動される検波回路を示す図である。
【図８】 この発明の第５の実施形態を示す自己診断回
路の回路図である。
路の回路図である。
【図９】 振動ジャイロに用いられるバイモルフ振動子
の一例を示す外観図である。
の一例を示す外観図である。
【図１０】 図９に示したバイモルフ振動子の振動波形
を示す図である。
を示す図である。
【図１１】 交流成分を持つダイナミックな角速度が加
わった場合に差動出力に現れるコリオリ信号を示す波形
図である。
わった場合に差動出力に現れるコリオリ信号を示す波形
図である。
１ 振動子、１Ｃ 全面電極、１Ｌ，１Ｒ 検出電極、
２ 差動増幅器、３駆動回路、４ 加算器、６ ＡＮＤ
ゲート、７ Ａ／Ｄコンバータ、８ ＭＰＵ、５１，５
２ ウィンドウコンパレータ、９１，９２ 同期検波回
路。
２ 差動増幅器、３駆動回路、４ 加算器、６ ＡＮＤ
ゲート、７ Ａ／Ｄコンバータ、８ ＭＰＵ、５１，５
２ ウィンドウコンパレータ、９１，９２ 同期検波回
路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江原 和博 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 2F105 AA02 BB20 CC06 CD02 CD06 2G014 AA02 AB20 AB24 AB25 AB26 AB51
Claims (4)
- 【請求項１】 振動子をＸ軸方向に励振させ、Ｚ軸まわ
りに回転したときにＹ軸方向に発生したコリオリ力によ
る振動を検出する振動ジャイロにおいて、 前記振動子に設けられて前記コリオリ力による振動を検
出する複数の検出手段、 前記複数の検出手段から出力される出力信号間の差動を
とる差動演算手段、 前記複数の検出手段から出力される信号の少なくとも１
つにオフセット信号を重畳するオフセット信号源、およ
び前記差動演算手段の出力信号中に含まれるオフセット
信号に起因する信号成分の有無を検出する信号検出手段
を備えた、振動ジャイロ用自己診断回路。 - 【請求項２】 前記オフセット信号源は、オフセット信
号としてオフセット電圧を出力する電圧信号源を含むこ
とを特徴とする、請求項１に記載の振動ジャイロ用自己
診断回路。 - 【請求項３】 前記オフセット信号源は、オフセット信
号としてオフセット電流を出力する電流信号源を含むこ
とを特徴とする、請求項１に記載の振動ジャイロ用自己
診断回路。 - 【請求項４】 さらに、前記差動演算手段の出力電圧と
その位相とに基づいて異常を検出する手段を含むことを
特徴とする、請求項１に記載の振動ジャイロ用自己診断
回路。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30870099A JP3520821B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 振動ジャイロ用自己診断回路 |
| US09/697,412 US6588274B1 (en) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | Self-diagnosing circuit for vibrating gyroscope |
| DE10053534A DE10053534B4 (de) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Selbstdiagnoseschaltung für Schwinggyroskope |
| FR0013813A FR2800455B1 (fr) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Circuit de diagnostic automatique pour gyroscope vibrant |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30870099A JP3520821B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 振動ジャイロ用自己診断回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124563A true JP2001124563A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3520821B2 JP3520821B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=17984240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30870099A Expired - Fee Related JP3520821B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 振動ジャイロ用自己診断回路 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6588274B1 (ja) |
| JP (1) | JP3520821B2 (ja) |
| DE (1) | DE10053534B4 (ja) |
| FR (1) | FR2800455B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184074A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Denso Corp | センサ回路 |
| JP2007057262A (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-08 | Denso Corp | センサ回路 |
| JPWO2005068939A1 (ja) * | 2004-01-20 | 2007-09-06 | 日本碍子株式会社 | 検波回路、検波方法および物理量測定装置 |
| JP2012220310A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | 駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002213961A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 |
| JP4765171B2 (ja) * | 2001-01-29 | 2011-09-07 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 |
| JP3791485B2 (ja) | 2002-06-04 | 2006-06-28 | 株式会社村田製作所 | 音叉形振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および音叉形振動子の製造方法 |
| US7188523B2 (en) * | 2005-08-08 | 2007-03-13 | Northrop Grumman Corporation | Vibrating mass gyroscope and method for minimizing bias errors therein |
| JP5365173B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2013-12-11 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量測定装置および電子機器 |
| JP5368181B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法 |
| US10455816B2 (en) * | 2016-07-20 | 2019-10-29 | International Business Machines Corporation | Sensor based activity monitor |
| EP3786581B1 (en) * | 2019-08-29 | 2023-06-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Offset-cancelling capacitive mems gyroscope |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2541375B2 (ja) | 1990-12-11 | 1996-10-09 | 株式会社村田製作所 | 検知回路 |
| JPH05264279A (ja) | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Akai Electric Co Ltd | 診断機能付振動ジャイロ |
| JP2566707B2 (ja) | 1992-07-06 | 1996-12-25 | 赤井電機株式会社 | 診断機能付振動ジャイロ |
| EP0636860B1 (en) * | 1992-11-17 | 1998-01-28 | Citizen Watch Co. Ltd. | Angular velocity detector circuit |
| JPH07151553A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| US5696420A (en) * | 1993-11-17 | 1997-12-09 | Sony Corporation | Vibration type gyroscope apparatus |
| JP3201135B2 (ja) * | 1994-03-30 | 2001-08-20 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ検出方式 |
| KR0139506B1 (ko) * | 1994-10-07 | 1998-07-15 | 전성원 | 자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법 |
| KR0155205B1 (ko) * | 1994-11-14 | 1998-12-01 | 무라따 야스따까 | 진동 자이로스코프 |
| DE69622815T2 (de) * | 1995-05-30 | 2002-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drehgeschwindigkeitssensor |
| JP3536497B2 (ja) * | 1995-12-21 | 2004-06-07 | 株式会社デンソー | 振動型角速度検出装置 |
| JP3739492B2 (ja) * | 1996-02-21 | 2006-01-25 | 富士通株式会社 | 音叉型圧電振動ジャイロ |
| US5970793A (en) * | 1996-07-08 | 1999-10-26 | Citizen Watch Co., Ltd. | Angular velocity sensor and angular velocity sensing system |
| JPH1073437A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Fujitsu Ltd | 振動ジャイロの検出回路及びこれを用いた振動ジャイロ装置 |
| JPH10197255A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Sony Corp | 角速度センサー |
| US6101878A (en) * | 1997-03-24 | 2000-08-15 | Denso Corporation | Angular rate sensor and method of improving output characteristic thereof |
| JPH1151655A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Tookin Seramikusu Kk | 圧電振動ジャイロおよびそれに使用される自己診断回路 |
| DE19853063B4 (de) * | 1997-11-18 | 2011-07-28 | DENSO CORPORATION, Aichi-pref. | Winkelgeschwindigkeitssensor und Diagnosesystem dafür |
| US6205857B1 (en) * | 1998-02-25 | 2001-03-27 | Citizen Watch Co., Ltd. | Angular velocity sensing device |
| JP3932661B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2007-06-20 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ駆動回路 |
| JP2000337881A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロスコープの駆動検出装置 |
| JP4449110B2 (ja) * | 1999-08-18 | 2010-04-14 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
-
1999
- 1999-10-29 JP JP30870099A patent/JP3520821B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-26 US US09/697,412 patent/US6588274B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-27 FR FR0013813A patent/FR2800455B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2000-10-27 DE DE10053534A patent/DE10053534B4/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005068939A1 (ja) * | 2004-01-20 | 2007-09-06 | 日本碍子株式会社 | 検波回路、検波方法および物理量測定装置 |
| JP4610012B2 (ja) * | 2004-01-20 | 2011-01-12 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量測定装置 |
| JP2006184074A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Denso Corp | センサ回路 |
| JP4513559B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-07-28 | 株式会社デンソー | センサ回路 |
| JP2007057262A (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-08 | Denso Corp | センサ回路 |
| JP4561528B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2010-10-13 | 株式会社デンソー | センサ回路 |
| JP2012220310A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | 駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10053534B4 (de) | 2005-11-17 |
| DE10053534A1 (de) | 2001-05-23 |
| FR2800455A1 (fr) | 2001-05-04 |
| JP3520821B2 (ja) | 2004-04-19 |
| FR2800455B1 (fr) | 2005-08-05 |
| US6588274B1 (en) | 2003-07-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7107843B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| US7779688B2 (en) | Vibration gyro sensor | |
| JP3674467B2 (ja) | 振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 | |
| JP4449110B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP4310571B2 (ja) | 静電容量検出型振動ジャイロ、および静電容量変化検出方法 | |
| US6282957B1 (en) | Angular velocity sensor and diagnosis system for this sensor | |
| JP2001124563A (ja) | 振動ジャイロ用自己診断回路 | |
| JPH09126783A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
| JP4126785B2 (ja) | 角速度センサ | |
| US6608425B2 (en) | Vibrating gyroscope, electronic device using the same, and self-diagnosis method for vibrating gyroscope | |
| JPH07181042A (ja) | 角速度センサの故障診断装置 | |
| JP2000088584A (ja) | 角速度センサ | |
| JPH0618267A (ja) | 診断機能付振動ジャイロ | |
| JPH1151655A (ja) | 圧電振動ジャイロおよびそれに使用される自己診断回路 | |
| JP2000193459A (ja) | 角速度センサ | |
| JP2008070131A (ja) | 角速度センサ | |
| JP2566707B2 (ja) | 診断機能付振動ジャイロ | |
| JP2002213961A (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 | |
| JPH05264279A (ja) | 診断機能付振動ジャイロ | |
| JP4765171B2 (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 | |
| JP2022099492A (ja) | 物理量検出装置及び物理量検出装置の故障診断方法 | |
| JP2022099493A (ja) | 物理量検出装置及び物理量検出装置の故障診断方法 | |
| WO2011030541A1 (ja) | 角速度センサ | |
| JP3122925B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用の圧電振動子 | |
| JP2000241166A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040113 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040126 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090213 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090213 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100213 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110213 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110213 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130213 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |