KR0139506B1 - 자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법 - Google Patents

자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법

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Abstract

본 발명은 자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에어백, 능동현가, 항법시스템 등 자동차용 전장시스템이나 변위, 속도, 진동, 가속도 및 각 가속도 측정을 위한 가전, 산업용 전자계측시스템 구성에 사용할 목적으로 동일크기의 질량체를 보(beam)의 양면에 각각 배치하여 질량편심을 없앰으로써 횡방향 감도(cross-axis sensitivity)를 향상시킴과 동시에, 양쪽 질량체간의 상대위치를 조절함으로써 자체진단(self-diagnosis)용 구조물의 설치가 가능하게끔 고안한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것이다.

Description

자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법
제1도는 (a)는 종래 편심질량형 외팔보 가속도계의 보 및 질량부의 단면도이고,
(b)는 대칭질량형 외팔보 가속도계의 보 및 질량부의 단면도이고,
(c)는 본 발명에 따른 외팔보 가속도계의 보 및 질량부의 단면도로써, 대칭질량형이면서 양쪽 질양체간의 상대위치를 조절하여 자체진단용 구조물의 설치가 가능하게 끔 고안한 것이고,
제2도는 본 발명에 가속도계의 중앙구조부의 일 실시예로서 대칭질량형 외팔보 압저항측정방식으로 구현한 경우의 사시도이고,
제3도는 제2도의 가속도계 중앙구조부의 양면에 평판부를 각각 부착하여 완성한 가속도계를 제2도의 A-A위치에서 절단하여 바라본 투시단면도이고,
제4도는 제2도의 가속도계 중앙구조부를 제작하기 위한 제조공정의 일 실시예로서 실리콘 기판을 소재로한 공정 흐름도이고,
제5도는 본 발명에 따른 가속도계 중앙구조부의 또다른 실시예로서 대칭질량형 양단지지보 형태로 구현한 경우의 보 및 질량부의 평면도(a) 및 단면도 (b)이다.
＊도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1,1a,1b:질량체 및 상,하부질량체 2:보
3a,3b:상,하유체틈새 간격 4:압저항계
5:자체진단체 혹은 자체진단 도선 6a,6b,6c,6d:압저항측정용 전극
7a,7b:자체진단용 전극 8:보와 상부질량체의 접속부
9a,9b:보의 양단부 10a,10b:상하평판부
11:지지대 본체 12a,12b:접착제홈
13a,13b:접착지지대양면 14a,14b:1차 식각부위
15a,15b:감쇠조절용 틈새간격 16a,16b:2차 식각부위
17:지지대부분 18,19,20:식각후 공간형성부위
21:실리콘기판 22a,22b:보호막
23:도선 24:평면
25:보의 중심선
본 발명은 자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에어백, 능동현가, 항법시스템 등 자동차용 전장시스템이나 변위, 속도, 진동, 가속도 및 각가속도 측정을 위한 가전, 산업용 전자계측시스템 구성에 사용할 목적으로 동일크기의 질량체를 보(beam)의 양면에 각각 배치하여 질량편심을 없앰으로써 횡방향 감도(cross-axis sensitivity)를 향상시킴과 동시에, 양쪽 질량체간의 상대위치를 조절함으로써 자체진단(self-diagnosis)용 구조물의 설치가 가능하게끔 고안한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것이다.
실리콘웨이퍼 등 동질평판 재료를 가공하여 보(beam)와 질량(proof mass)을 일체형으로 제작한 종래 가속도계 및 제조방법은 크게 다음과 같이 두가지 유형, 즉 첫째, 제1도(a)에 도시한 바와 같이 동질평판재료 양면을 비대칭적으로 가공하여 보(2)와 질량체(1)를 형성한 비대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법과, 둘째, 제1도(b)에 도시한 바와 같이 동질평판재료 양면을 대칭적으로 가공하여 보(2)와 질량체(1)를 형성한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법으로 대별된다.
이러한 가속도계 기본구조에 자체진단 기능을 부여한 종래의 가속도계 및 그 제조방법을 구체적으로 살펴보면, 첫째유형인 제1도 (a)의 비대칭질량형 가속도계의 경우, 보(2)의 파손여부를 판정하기 위하여 보(2)와 질량체(1) 혹은 지지부(11)가 이루는 평면상(24)상에 도체 혹은 저항체(5)를 설치함으로써 보(2)의 파손에 대비한 자체진단 기능이 부여되도록 한 것이고, 둘째유형인 제1도 (b)의 대칭질량형 가속도계의 경우는 보(2)의 파손여부를 판정하기 위하여 보(2)와 질량체(1) 혹은 지지부(11)의 경사면까지 도체 혹은 저항체(5)를 설치한 것으로 이 종래의 가속도계 및 그 제조방법의 문제점은 다음과 같다.
먼저 제1도 (a)의 비대칭질량형 가속도계는 질량의 편심(d)으로 인해 측정하고자 하는 가속도방향 이외의 가속도 성분에 의해 보(2)의 변형이 영향을 받게되어 횡감도(cross-axis sensitivity)의 악화를 초래하게 되는 문제가 있다.
또한, 제1도 (b)의 대칭질량형 가속도계의 경우, 상하대칭 질량체 (1a),(1b)를 사용함으로써 제1도 (a)의 비대칭질량형 가속도계에 비해 횡감도를 향상시킬 수 있다는 장점이 있지만, 자체진단 기능을 설치함에 있어서 보(2)와 질량체(1) 혹은 지지부(11)의 표면이 동일평면상에 존재하지 않아 가속도계의 취약부인 보의 양단 (9a),(9b)에 자체진단용 도체 혹은 저항체(5)를 설치하거나 난이해지는 문제가 있다.
한편, 제1도 (a) 및 (b)에 도시한 종래의 실리콘 가속도계 및 제조방법의 공통적인 문제점은 가속도계의 취약부인 보의 양단 (9a)와 (9b)의 급작스러운 두께 변화로 응력집중이 발생하며 가속도계 제조공정중 혹은 사용중 파손될 우려가 많다는 것이다.
또한, 제1도 (a) 및 (b)에 도시한 가속도계의 보 두께를 조절하는 제조공정으로서 식각시간 조정, p-n접합, 부식방지층을 이용하는 등의 방법이 있으나 제조공정 오차의 불균일성, 공정 및 장치의 복잡성, 보의 두께 조절의 난이성, 소재 및 물성의 제약성등의 문제점이 존재한다.
따라서, 본 발명자들은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 극복하고자 노력한 결과 동일크기의 질량체를 보의 양면에 각각 배치하여 질량편심을 없앰으로서 횡방향 감도를 향상시킴과 동시에 양쪽 질량체간의 상대위치를 조절함으로써 자체진단용 구조물의 설치가 가능하게끔 하였고, 식각속도 차를 이용한 방법으로 보의 두께를 조절하는 공정을 단순화하였으며, 가속도계의 취약부인 보의 양끝단에 곡률을 형성할 수 있는 제조방법으로 제조공정도중이나 가속도계 사용시 파손을 방지함으로써 생산성 및 사용수명의 향상을 꾀한 본 발명의 가속도계를 개발하게 되었다.
본 발명은 보의 양쪽에 동일질량체를 설치하여 횡감도를 향상시키고 보니 양끝단에 도체 설치를 위한 평면공간을 확보함으로써 자체진단기능을 부여한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
이하, 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 대칭질량형 가속도계에 있어서, 보(2), 질량체(1a,1b), 보(2)의 파손여부를 진단할 수 있는 자체진단체(5) 및 상하평판부의 지지대(13a)가 일체형으로 구성되어 있고, 또한 중앙구조부의 지지대 양면(13a,13b)과 지지대(11)에 접착홈(12a,12b)이 형성되어 있으면서 평판부(10a,10b)가 부착되어 있고, 질량체(1a,1b)와 평판부(10a,10b) 사이에 유체틈새간격(3a,3b)이 형성되어 있으며 보의 양끝단(9a,9b)에 곡률을 형성시켜서 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 가속도계를 제조함에 있어서, 제4도 (b)에서 감쇠조절용 틈새간격(15a),(15b)와 접착제 홈(12a),(12b), 보의 두께조절용 홈 및 전극을 형성할 부위(14a),(14b)를 동시에 식각하는 공정, 이때 (15a),(15b)의 식각 깊이를 조절하여 감쇠조절을 위한 공간 제3도의 (3a),(3b)를 형성하는 공정, 제4도 (c)에서 홈 (16a),(16b)를 일차 식각한 후 제4도 (d), 제4도 (e)의 다단계 식각공정을 거쳐 보(2)의 두께를 조절하는 공정, 제4도 (d)의 1차식각 공정과 제4도 (e)의 2차식각 공정을 이용하여 보의 양단에 곡률을 형성하는 공정, 제4도 (e)에서 상부질량체(1a)와 하부질량체(1b)의 상하부 면적을 동일하게 하되 두 질량체의 상대위치를 변화시켜 식각함으로써 자체진단체 설치를 위한 평면공간을 형성하는 공정, 제4도 (f)에서 압저항체와 자체진단용 저항체를 동시에 설치하는 제조방법, 제4도 (g)에서 압저항체와 자체진단용 저항체를 연결하여 각각의 회로를 구성하기 위한 전극 (6),(7)과 도선(23)을 동시에 제조하는 공정, 제4도 (e)와 (f)에서 보(2)와 파손방지보(2c)를 동시에 제조함으로써 공정도중 보(2)의 파손을 방지하고 제4도 (g)의 공정마지막 단계에서 파손방지보(2b)를 제거하는 공정 및 제4도 (e)에서 접합홈에 접착제를 넣고 상하평판부(10a)와 (10b)를 접착하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명을 첨부도면에 의거 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 첨부도면 제1도 (c)에 도시한 바와 같이 보(2)의 양면에 동일질량체(1a),(1b)를 배치하여 전체질량의 무게중심이 보의 중심면(25)상에 존재하게끔 함으로써 횡감도 향상을 꾀함과 동시에, 가속도계의 취약부(9a)및 (9b)에서 보(2)와 질량체(1) 혹은 지지부(11)의 연결부위 표면을 동일 평면상에 존재하게끔 양쪽 질량체 (1a),(1b)의 상대위치를 변화시킴으로써 자체진단 기능을 위한 도체 혹은 저항체(5)의 설치를 용이하게 하였고, 또한, 가속도계 보의 두께를 조절하는 제조공정을 단순화 하였으며, 가속도계의 취약부인 보의 양끝단 (9a),(9b)에 곡률을 줌으로써 응력집중에 의한 파손을 방지할 수있는 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따는 가속도계의 중앙구조부의 일 실시예는 제2도에 도시한 바와 같이 보(2), 대칭질량체(1a,1b), 보(2)의 파손 여부를 진단할 수 있는 자체진단체(5), 그리고 상하평판부의 지지대(13a)등이 모두 일체형으로 구성되어 있고, 제3도에 도시한 바와 같이 중앙구조부의 지지대 양면(13a),(13b) 및 (11)에 접착제를 담을 홈 (12a),(12b)를 만들고 평판부(10a)와 (10b)를 각각 부착함으로써 질량체 (1a),(1b)와 평판부 (10a),(10b) 사이의 유체틈새 간격 (3a),(3b)를 형성하고 있으며, 가속도계의 취약부인 보의 양끝단 (9a),(9b)에 곡률을 줌으로서 응력집중으로 인한 파손을 방지하게끔 고안된 것이다.
이와 같은 본 발명의 작동원리를 상술하면 다음과 같다.
제3도에 도시한 바와 같이 결합된 후의 가속도계 외곽지지대 부분(10a),(10b),(11),(13a),(13b)등의 z방향 절대운동변위를 za라 하고 질량체(1a),(1b)의 절대운동변위를 zo라 할때, 질량체와 지지대 부분간의 상대운동변위는 z=zo-za로 표시할 수 있다.
제3도의 가속도계에서 보(2)는 스프링 역할을 하며, 질량체(1a),(1b)는 표준질량(proof-mass), 질량체(1a),(1b)와 평판부 (10a),(10b)간의 틈새간격 (3a),(3b)에 존재하는 유체는 댐퍼 역할을 한다. 이때 보(2)의 스프링상수를 K, 질량체의 전체질량을 M, 댐퍼의 감쇠상수를 C라하면 제3도에 도시한 가속도계의 운동방정식은 뉴튼의 운동법칙에 의해 다음과 같이 구해진다.
정현파 함수 입력을 za=Zaeiwt로 가정하고 위 식(1)을 상대운동 변위 z=zo-za=Zei(wt-Φ)에 대하여 풀면, ω/ωn≪1인 경우에 다음과 같은 해를 얻을 수 있다.
여기서 고유진동수
감쇠비는
즉, 식(II)에 의해 가속도계 지지대의 가속도 점의 진폭은 질량체와 지지대간의 상대운동 변위 z의 진폭에 비례하게 되므로, 상대운동변위 z이 진폭, 즉 질량체의 처짐을 측정함으로써 가속도크기를 환산할 수 있게 된다.
제2도 및 제3도의 가속도계는 위와 같은 작동원리를 기반으로 가속도로 인한 보의처짐 z의 측정을 압저항 방식으로 구현한 일 실시예이다. 즉 보의 끝단에 압저항체(4)를 설치하여 질량체의 변위 z로 인해 보 끝에 발생하는 응력을 압저항체(4)의 저항변화로 나타낸다.
한편, 제2도 및 제3도의 압저항체(Piezoresistive material)(4)대신 압전체(Piezoelectric material)를 설치하거나 상,하평판부(10a),(10b)와 질량체(1a),(1b) 대향면에 전극을 설치함으로써, 가속도로 인한 질량체(1)의 변위를 압전체 발생전압으로 측정하는 압전형 가속도계 혹은 대향전극의 정전용량 변화를 측정하는 용량형 가속도계를 구성한다. 이러한 형태의 가속도계를 구성함에 있어서, 질량 (1a),(1b) 및 보(2)의 치수를 조절하여 원하는 고유진동수 ωn을 얻고 틈새간격 (3a),(3b)의 크기와 주위 유체의 점성, 압력을 조절하여 원하는 감쇠비 ζ를 얻는다.
한편, 제3도에 도시한 바와 같이 질량체 중심을 보의 중심면 B-B상에 위치하게끔 하여 질량 편심을 없애고 횡감도를 향상시킬 뿐만아니라, 양쪽 동일질량체 (1a),(1b)의 위치를 상대적으로 변화시켜 자체진단용 도체 혹은 압저항체(5)의 설치를 용이하게 하였다. 도체 혹은 압저항체(5)는 가속도계 파손여부를 확인할 수 있는 자체진단(self-diagnosis)기능 이외에도 상,하평판부(10a),(10b)와 질량체(1a),(1b) 대향면에 설치된 전극을 이용하여 고유진동수 등 가속도계 개별특성을 파악할 수 있는 자체시험(self-testing) 기능과 감도(sensitivity) 및 영점(zero-offset) 보상을 위한 자체보상(self-calibration) 기능 구성에 사용한다. 또한 가속도계의 취약부분인 보(2)의 양끝단 (9a)와 (9b)에 곡률을 줌으로써 응력집중 완화 및 파손방지 효과를 꾀하였다.
한편, 제4도는 제2도 및 제3도에 도시한 가속도계의 중앙구조부를 제작하기 위한 제조공정의 일 실시예로서, 실리콘 기판을 소재로 한 공정의 흐름을 나타낸 것으로 상술하면 다음과 같다.
(a) 실리콘기판(21)의 양면에 식각방지용 보호막 (22a)와 (22b)를 형성한다.
(b) 실리콘기판 양면의 보호막 (22a),(22b)중 접착제가 채워질 홈(12a),(12b)와 보의 두께조절용 홈 및 전극을 형성할 부분 (14a),(14b) 그리고 감쇠조절용 틈새간격을 형성할 부분 (15a),(15b)의 보호막을 선택적으로 제거한 후, 노출된 실리콘 기판부를 원하는 틈새간격, 즉 제3도의 (3a),(3b) 깊이 만큼 양면에서 동시 식각한다. 이때 상하 평판부가 접촉할 지지면 (13a),(13b)이 형성된다.
(c) 제4도 (a)와 같은 방법으로 실리콘기관 양면에 다시 식각방지용 보호막을 형성하고 실리콘 기판 양면의 보호막중 보의 두께를 조절하기 위한 홈 (16a),(16b)부분의 보호막을 제거한 후, 노출된 실리콘 기판부를 제3도의 보(2) 두께의 절반깊이 만큼 양면에서 동시 식각하여 보 두께조절용 홈(16a),(16b)를 형성한다.
(d) 제4도 (c)에서 사용한 식각방지용 보호막중 제3도의 보(2)가 될 부분과 제작공정시 파손방지를 위한 지지대 부분(17)의 보호막을 제거하여 일차적으로 식각한다. 이 공정은 최종적으로 완성될 제3도의 보(2) 양끝단 (9a),(9b)부분에 곡률을 주기 위한 것으로 제4도 (d)의 (17)부분의 식각길이는 제3도의 보(2)의 실제 길이보다 조금 짧은 길이로 일차적으로 일정깊이(50~80㎛정도)만큼 식각해 둔다.
(e) 제4도 (d)에서 사용한 식각방지용 보호막을 선별적으로 식각하여 (18)과 (19)부분이 뚫리는 순간에 식각을 중단함으로써 제2도의 저항체(4), 도선(23) 및 전극(6,7)을 형성할 평면과 제3도의 보(2) 두께의 박막 (2a),(2b)를 형성한다. 이때 제3도의 상부 질량체(1a)와 하부질량체(1b)의 상하부 면적을 대칭적으로 형성하되 두 질량체의 끝부분이 제4도 (e)의 (8)과 (9b)처럼 어긋나게 식각한다. 또한 보를 형성할 박막(2a)의 이차식각 길이는 제4도 (d)의 (17)부분의 일차 식각길이보다 길게하되 최종적인 보의 길이를 얻을 수 있도록 조절하며, 제4도 (d)의 일차식각과 제4도 (e)의 이차식각의 길이 및 깊이 따른 식각속도 차를 이용하여 최종적인 보의 양단(9a)와 (9b)에 곡률을 형성한다.
(f) 보의 왼쪽 끝부분에 보의 변형측정을 위한 압저항체(4)와 제4도 (e)의 (8)과 (9b)사이에 자체진단 저항체(5)를 동시에 설치한다.
(g) 제2도에 도시한 바와 같이 압저항측정용 전극 (6a),(6b),(6c),(6d)와 압저항브릿지 구성을 위한 도선(23), 그리고 자체진단용 전극 (7a),(7b) 및 도선(23)을 동시 제작한 후, 제4도 (e)의 박막 (2a),(2b)의 일부를 식각하여 제거함으로써 보(2) 및 파손방지보(2c)를 형성한다. 그 다음 파손방지보(2c)를 제거하여 홈(12a), (12b)에 접착제를 넣고 제3도에 도시한 바와 같이 상하평판부(10a)와 (10b)를 접착한다. 제4도에 기술한 제조공정은 제5도에 도시한 바와 같이 양단지지보 혹은 다수보를 설치한 가속도계 제조에도 동일하게 적용할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 가속도계의 구조적 특징에 의한 효과는 다음과 같다.
1) 제2도 및 제3도에 도시한 바와 같이 보(2)의 양쪽에 동일질량체(1a),(1b)를 설치함으로서 횡감도를 향상시킴과 동시에, 양쪽 질량체의 상대적 위치를 조절하여 가속도계 취약부인 보(2)의 양끝단에 도체 혹은 저항체 설치를 위한 평면공간을 확보함으로써 자체진단 기능을 부여할 수 있다.
2) 위의 1)항의 보 파손자체진단 기능을 기반으로 압전, 열팽창, 정전용량 등을 이용하여 가속도계에 자체보상(self-calibration) 혹은 자체시험(self-testing) 기능을 부가할 수 있다.
3) 제3도에 도시한 바와 같이 가속도의 취약부인 보(2)의 양끝단에 (9a),(9b)에 곡률을 형성함으로써 가속도계 사용중 응력집중을 완하시키고 파손방지 효과를 높일 수 있다.
4) 제3도에 도시한 바와 같이 질량 (1a),(1b)와 상하평판부 (10a),(10b) 사이의 틈새간격 (3a),(3b)를 조절함으로써 감쇠조절을 용이하게 할 수 있다.
5) 제3도에 도시한 바와 같이 가속도계 중앙구조부 양면에 접착제를 넣을 수 있는 홈(12a),(12b)가 있어 상하평판부(10a),(10b)의 정렬 및 접합을 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명의 가속도계의 제조공정에 의한 효과는 다음과 같다.
1) 제4도 (b)에서 틈새간격 (15a),(15b)를 공정초기에 설정함으로써 틈새간격 조절의 정확성 및 용이성을 향상시킬 수 있다.
2) 제4도 (c)에서 보 두께의 절반만큼 (16a),(16b)를 미리 식각한 후 제4도 (e)에서 (18),(19)부분이 완전히 뚫릴 때가지 계속 식각을 하면 원하는 보(2)의 두께의 식각시간을 측정하거나 공정도중 계속 두께를 측정할 필요없이 간단한 방법으로 원하는 보(2)의 두께를 정확히 얻을 수 있다.
3) 보의 식각공정을 제4도 (d)와 (e)의 두단계로 나누어 처리함으로써 가속도계의 취약부인 보(2)의 양끝단에 (9a),(9b)에 곡률을 줄 수가 있어 응력집중을 완화시키고 파손방지 효과를 꾀할 수 있다.
4) 제4도 (f)에 도시한 바와 같이 공정도중 보강지지대(2c)를 형성해 두었다가, 공정완료 직후 제4도 (g)단계에서 이를 제거함으로써 공정도중 보(2)의 파손을 방지할 수 있다.
5) 제4도 (b)에서 틈새간격 (15a),(15b) 식각시 접착제용 홈 (12a),(12b)를 동시에 제작함으로써 공정의 효율성을 높일 수 있다.

Claims (5)

  1. 적어도 동일 평판재질을 가공하여 보(2)와 질량체(1a),(1b) 그리고 질량체(1a),(1b)와 상,하평판부(10a),(10b) 사이의 감쇠조절 공간(3a),(3b)와 접착용 홈(12a),(12b),(13a),(13b)를 일체형으로 만들고, 감쇠조절공간(3a),(3b)의 깊이를 변화시켜 감쇠를 조절하며, 동일 면적, 동일 질량의 질량체(1a),(1b)를 보(2)의 양면에 각각 배치함과 동시에 보(2)와 지지대(11) 사이 그리고 양쪽 질량체(1a),(1b)사이의 상대위치를 각각 조절하며, 보(2)파손 여부를 판단할 수 있는 자체진단시설(5),(23),(7a),(7b)를 설치하기 위한 평면 공간을 형성하고, 보(2)의 양단부(9a),(9b)에 곡률을 형성함을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보(2)는 그위에 설치된 자체진단시설(5),(23),(7a),(7b)을 이용하여 가속도계 자체특성을 시험할 수 있는 자체보상(self-calibration) 또는 자체시험(self-testing) 기능이 부여된 것임을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보(2)는 그 위에 압저항체(4)를 설치한 압저항형 측정방식, 압전현상을 이용한 압전형 측정방식 또는 질량체(1a),(1b)와 상,하평판(10a),(10b)의 대향면에 전극을 설치하여 가속도를 측정하는 용량형 측정방식을 이용하여 질량체(1a),(1b)의 운동을 측정함으로써, 가속도를 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계.
  4. 대칭질량형 가속도계를 제조함에 있어서, 감쇠조절용 틈새간격(15a),(15b)와 접착제 홈(12a),(12b), 보의 두께조절용 홈 및 전극을 형성할 부위(14a),(14b)를 동시에 식각하는 공정, 이때 (15a),(15b)의 식각 깊이를 조절하여 감쇠조절을 위한 공간 (3a),(3b)을 형성하는 공정, 홈(16a),(16b)를 일차 식각한 후 다단계 식각공정을 거쳐 보(2)의 두께를 조절하는 공정, 1차식각 공정과 2차식각 공정을 이용하여 보의 양단에 곡률을 형성하는 공정, 상부질량체(1a)와 하부질량체(1b)의 상,하부 면적을 동일하게 하되 두 질량체의 상대 위치를 변화시켜 식각함으로써 자체진단체 설치를 위한 평면공간을 형성하는 공정, 압저항체와 자체진단용 저항체를동시에 설치하는 제조방법, 압저항체와 자체진단용 저항체를 연결하여 각각의 회로를 구성하기 위한 전극 (6),(7)과 도선(23)을 동시에 제조하는 공정, 보(2)와 파손방지보(2c)를 동시에 마지막단계에서 파손방지보(2b)를 제거하는 공정, 접합홈에 접착제를 넣고 상,하평판부(10a)와 (10b)를 접착하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제조공정에 추가적으로 양단지지보 또는 다수의 보를 형성함을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계의 제조방법.
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